JPS60179638A - 熱間金属材料の表面欠陥検出装置 - Google Patents
熱間金属材料の表面欠陥検出装置Info
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- JPS60179638A JPS60179638A JP59035232A JP3523284A JPS60179638A JP S60179638 A JPS60179638 A JP S60179638A JP 59035232 A JP59035232 A JP 59035232A JP 3523284 A JP3523284 A JP 3523284A JP S60179638 A JPS60179638 A JP S60179638A
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/72—Investigating presence of flaws
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
熱間金属材料の表面欠陥検出装置に関して、この明細書
で述べる技術内容は、かかる欠陥検出の際に不可避に発
生するノイズにつき、その効果的な低域を図ることによ
り、表面欠陥の検出精度を高めることに関連している。
で述べる技術内容は、かかる欠陥検出の際に不可避に発
生するノイズにつき、その効果的な低域を図ることによ
り、表面欠陥の検出精度を高めることに関連している。
（従来技術とその問題点）
゛従来、熱間金属材料の表面欠陥を検出する代表的な方
法として、該材料から放射される自発光たどえば赤外光
の処理信号から表面欠陥を検出づるいわゆる光学式パッ
シブ法と、該材料に外部から光を照射し、その反射光の
処理信号から表面欠陥を検出するいわゆる光学式アクテ
ィブ法とが知られている。
法として、該材料から放射される自発光たどえば赤外光
の処理信号から表面欠陥を検出づるいわゆる光学式パッ
シブ法と、該材料に外部から光を照射し、その反射光の
処理信号から表面欠陥を検出するいわゆる光学式アクテ
ィブ法とが知られている。
前者の光学式パッシブ法では、ヘゲ疵やれんが疵および
スケール疵などの材質異常に基づく表面欠陥は比較的容
易に検出できるけれども、単純な凹みなどの形状異常に
ついては、欠陥部と正常部との間の温度差が小さいため
に欠陥信号とノイズ信号との区別が難しく、適正な検出
は困難であった。
スケール疵などの材質異常に基づく表面欠陥は比較的容
易に検出できるけれども、単純な凹みなどの形状異常に
ついては、欠陥部と正常部との間の温度差が小さいため
に欠陥信号とノイズ信号との区別が難しく、適正な検出
は困難であった。
一方、後者の光学式アクティブ法では逆に、形状異常に
基く表面欠陥は比較的らくに検出できる（プれども、形
状異常に基因した表面欠陥については、やはり欠陥信号
とノイズ信号との弁別が難しく、従って的確な欠陥の検
出はできなかった。
基く表面欠陥は比較的らくに検出できる（プれども、形
状異常に基因した表面欠陥については、やはり欠陥信号
とノイズ信号との弁別が難しく、従って的確な欠陥の検
出はできなかった。
このように１掲した光学式パッシブ法およびアクティブ
法にはそれぞれ一長一短があって、いずれの方法におい
ても表面欠陥の種類によっては欠陥信号とノイズ信号と
の区別がつがなかったが、かかるノイズの発生は、大部
分熱間金属材料の表面に生成する酸化鉄に起因していた
。
法にはそれぞれ一長一短があって、いずれの方法におい
ても表面欠陥の種類によっては欠陥信号とノイズ信号と
の区別がつがなかったが、かかるノイズの発生は、大部
分熱間金属材料の表面に生成する酸化鉄に起因していた
。
その他特開昭４９−１３１１９２号公報において、上記
した二つの方法を同時に用いた熱間処理製品の表面欠陥
検査法が提案されたが、この方法は自発光と反射光それ
ぞれの処理信号から、それぞれ異なる欠陥を個別に検出
する方法であるため、やはり光学式パッシブ法と光学式
アクティブ法とを単独で用いた場合と同様の不利を免れ
得ながったのである。
した二つの方法を同時に用いた熱間処理製品の表面欠陥
検査法が提案されたが、この方法は自発光と反射光それ
ぞれの処理信号から、それぞれ異なる欠陥を個別に検出
する方法であるため、やはり光学式パッシブ法と光学式
アクティブ法とを単独で用いた場合と同様の不利を免れ
得ながったのである。
上述したように従来の欠陥検出法はいずれも、熱間金属
材料の表面に生成する酸化鉄の影響をまともに受けてい
たため、これまで表面欠陥の検出に当っては、それに先
立って脱スケール処理を行ってきたのであるが、かかる
脱スケール処理を施したとしても表面スケールを完全に
除去することは難しく、それ故依然として欠陥信号の誤
検出率が高いところに問題があったのである。
材料の表面に生成する酸化鉄の影響をまともに受けてい
たため、これまで表面欠陥の検出に当っては、それに先
立って脱スケール処理を行ってきたのであるが、かかる
脱スケール処理を施したとしても表面スケールを完全に
除去することは難しく、それ故依然として欠陥信号の誤
検出率が高いところに問題があったのである。
（課題解決の解明経緯）
発明者らは上記の問題を解決すべく鋭意研究を重ねたと
ころ、正字式パッシブ法およびアクティブ法のいずれに
おいＣも、表面欠陥に起因した欠陥信号は、信号値の強
弱の差こそあれ走査線上の同一位置に表われるのに対し
、表面の酸化鉄に起因したノイズ信号は、上記パッシブ
法とアクティブ法とでは、それぞれ走査線上の異なる位
置で検出されることの知見を得た。
ころ、正字式パッシブ法およびアクティブ法のいずれに
おいＣも、表面欠陥に起因した欠陥信号は、信号値の強
弱の差こそあれ走査線上の同一位置に表われるのに対し
、表面の酸化鉄に起因したノイズ信号は、上記パッシブ
法とアクティブ法とでは、それぞれ走査線上の異なる位
置で検出されることの知見を得た。
そこで発明者らは、かかる知見に基いて、新しい表面欠
陥検出法についてさらに研究を重ねた結果、熱間金属材
料につき、その被検出部から放射される自発光について
光電変換すると共に、該被検出部に上記自発光とは非干
渉の光を照射して得た反射光について光電変換し、つい
で得られた２つの電気信号をそれぞれ個別に２値化した
のち両者の論理積をとり、かかる論理積に塁いて表面欠
陥の判定を行うようにすれば、ノイズに由来した誤検出
を招くことなしに、高い精度の下に表面欠陥の検出が実
現されることを究明したのである。
陥検出法についてさらに研究を重ねた結果、熱間金属材
料につき、その被検出部から放射される自発光について
光電変換すると共に、該被検出部に上記自発光とは非干
渉の光を照射して得た反射光について光電変換し、つい
で得られた２つの電気信号をそれぞれ個別に２値化した
のち両者の論理積をとり、かかる論理積に塁いて表面欠
陥の判定を行うようにすれば、ノイズに由来した誤検出
を招くことなしに、高い精度の下に表面欠陥の検出が実
現されることを究明したのである。
（発明の目的）
この発明は、上記した如き表面欠陥検出法の実施に用い
て好適な熱間金属材料の表面欠陥検出装置を提案するこ
とを目的とする。
て好適な熱間金属材料の表面欠陥検出装置を提案するこ
とを目的とする。
（発明の構成〉
すなわちこの発明は、熱間金属材料から放射される自発
光に対して非干渉の光を該材料の被検出部に照射する投
光装置と、該被検出部からの反射光を自発光と同時に受
光し、ついで両者を分光してから分光したそれぞれの光
を光電変換する撮像装置および光電変換された２つの電
気信号を処理し該被検出部についＣ表面欠陥を判定する
信号処理回路からなり、撮像装置は、反射光ｄ３よぴ自
発光を受光、集光する光学レンズ系、かかる光学レンズ
系通過後の光を近赤外域と可視域とに分光する分光フィ
ルタならびに分光された近赤外光は透過させる一方で可
視域光はし−１１）断づるフィルタをそなえる自発光用
のリニアアレイイメージセンサおよび分光された可視域
光は透過させる一方で近赤外光は吸収するフィルタをそ
なえる反射光用のリニアアレイイメージセンサをそなえ
、また信号処理回路は、撮像装置で光電変換された反射
光Ｊ３よび自発光それぞれの電気信号を個別に２値化処
理して欠陥信号と覆る２値化回路、２値化された２つの
欠陥信号を論理積処理する論理積回路および得られた論
理積に基いて表面欠陥を判定する判定回路をそなえるこ
とを特徴とする熱間金属材料の表面欠陥検出装置である
。
光に対して非干渉の光を該材料の被検出部に照射する投
光装置と、該被検出部からの反射光を自発光と同時に受
光し、ついで両者を分光してから分光したそれぞれの光
を光電変換する撮像装置および光電変換された２つの電
気信号を処理し該被検出部についＣ表面欠陥を判定する
信号処理回路からなり、撮像装置は、反射光ｄ３よぴ自
発光を受光、集光する光学レンズ系、かかる光学レンズ
系通過後の光を近赤外域と可視域とに分光する分光フィ
ルタならびに分光された近赤外光は透過させる一方で可
視域光はし−１１）断づるフィルタをそなえる自発光用
のリニアアレイイメージセンサおよび分光された可視域
光は透過させる一方で近赤外光は吸収するフィルタをそ
なえる反射光用のリニアアレイイメージセンサをそなえ
、また信号処理回路は、撮像装置で光電変換された反射
光Ｊ３よび自発光それぞれの電気信号を個別に２値化処
理して欠陥信号と覆る２値化回路、２値化された２つの
欠陥信号を論理積処理する論理積回路および得られた論
理積に基いて表面欠陥を判定する判定回路をそなえるこ
とを特徴とする熱間金属材料の表面欠陥検出装置である
。
この発明におい−Ｃ１熱間金属材料の被検出部に照１）
Ｊ ＝ｌる外部光は、該材料から放射される自発光に対
して非干渉であることすなわち波長域が界なることが肝
要であって、自発光としては波長が７００ｎｍ以上の近
赤外光が、また外部光としては波長４００〜ｅｏｏｎｍ
程度の可視域光がとりわけ有利に適合する。
Ｊ ＝ｌる外部光は、該材料から放射される自発光に対
して非干渉であることすなわち波長域が界なることが肝
要であって、自発光としては波長が７００ｎｍ以上の近
赤外光が、また外部光としては波長４００〜ｅｏｏｎｍ
程度の可視域光がとりわけ有利に適合する。
以下この発明を′具体的に説明する。
第１図に、この発明の好適実施例を模式で示し、図中Ａ
が投光器、Ｂが撮像装置、Ｃが信号処理回路、そしてＳ
が熱間金属材料である。
が投光器、Ｂが撮像装置、Ｃが信号処理回路、そしてＳ
が熱間金属材料である。
投光器Ａとし−Ｃは、超高圧水銀灯がとりわけ有利に適
合するが、かかる投光器へには、照射光として、熱間金
属材料Ｓの被検出部から放射される自発光と干渉しない
４００〜６００’ｎ ｍ程度の波長の光を投光できるよ
うに、赤外カットフィルタがイ」設されている。
合するが、かかる投光器へには、照射光として、熱間金
属材料Ｓの被検出部から放射される自発光と干渉しない
４００〜６００’ｎ ｍ程度の波長の光を投光できるよ
うに、赤外カットフィルタがイ」設されている。
次に撮像装置Ｂにおいて、番号１は光学レンズ系、２は
］−ルドミラーからなる分光フィルタであり、３は赤外
吸収フィルタ、４は反射光用のリニアアレイイメージセ
ンサ、また５は赤外透過フィルタ、６は自発光用のリニ
アアレイイメージセンサ、そして７はこれらのセンサ４
，６の作動を制御する駆動回路である。
］−ルドミラーからなる分光フィルタであり、３は赤外
吸収フィルタ、４は反射光用のリニアアレイイメージセ
ンサ、また５は赤外透過フィルタ、６は自発光用のリニ
アアレイイメージセンサ、そして７はこれらのセンサ４
，６の作動を制御する駆動回路である。
さらに信号処理回路Ｃにおいて、番号８，９は光電変換
されｌ〔反射光ａ３よび自発光からの電気信号をそれぞ
れ個別に２値化処理する２値化回路、６そしで１０が論
理積回路、１１が判定回路である。
されｌ〔反射光ａ３よび自発光からの電気信号をそれぞ
れ個別に２値化処理する２値化回路、６そしで１０が論
理積回路、１１が判定回路である。
さて第１図に示したところにおいＣ１投光器△から照射
され、熱間金属相ＦＡＳの被検出部で反射された反射光
は該被検出部から放射される自発光と共に光学レンズ系
１で集光されて撮像装置Ｂ内へ入る。撮像装置Ｂ内に侵
入した光は、まずコールドミラーからなる分光フィルタ
２にぶつかるが、ここでｉｊＪ視域光と近赤外光とに分
光される。すなわち近紫外、近赤外および可視域Ｊべで
を含んだ光は、第２図に示したような性質をそなえるコ
ールドミラーによって、波長：約７００ｎｍを境として
可視域光は反射され、一方近赤外光は透過されることに
なる。しかしながら反則された光の中にも第２図に示さ
れたように波長７００ｎｍ以上の近赤外光が１０〜１５
％の割合で混在しているｌｃめ、リニアアレイイメージ
センサ４の前に、第３図に示したような特性をそなえる
赤外吸収フィルタ３を配置し、このフィルタ３によって
余分な赤外光をしゃ断してから可視域の反射光のみをリ
ニアアレイイメージセンサ４に受光させるようにしであ
る。同様に］−ルドミラ−２を透過した光の中にも、近
紫外や６００〜７００ ｎ ｍの赤色領域光が含まれで
いるので、第４図に示すような特性をもつ赤外透過フィ
ルタ５にてフィルタリングを施すことによって近赤外域
の自発光のみをリニアアレイイメージセンサ６に受光さ
けるようにしである。かくして可視域光Ｊ５ Ｊ、び近
赤外光に弁別された被検出部からの反射光Ｊ＞よび自発
光は、それぞれのリニアアレイイメージセンサ４，６に
−Ｃ光電変換され、２系統の電気信号とし°Ｃ信号処理
回回路に送られることになる。
され、熱間金属相ＦＡＳの被検出部で反射された反射光
は該被検出部から放射される自発光と共に光学レンズ系
１で集光されて撮像装置Ｂ内へ入る。撮像装置Ｂ内に侵
入した光は、まずコールドミラーからなる分光フィルタ
２にぶつかるが、ここでｉｊＪ視域光と近赤外光とに分
光される。すなわち近紫外、近赤外および可視域Ｊべで
を含んだ光は、第２図に示したような性質をそなえるコ
ールドミラーによって、波長：約７００ｎｍを境として
可視域光は反射され、一方近赤外光は透過されることに
なる。しかしながら反則された光の中にも第２図に示さ
れたように波長７００ｎｍ以上の近赤外光が１０〜１５
％の割合で混在しているｌｃめ、リニアアレイイメージ
センサ４の前に、第３図に示したような特性をそなえる
赤外吸収フィルタ３を配置し、このフィルタ３によって
余分な赤外光をしゃ断してから可視域の反射光のみをリ
ニアアレイイメージセンサ４に受光させるようにしであ
る。同様に］−ルドミラ−２を透過した光の中にも、近
紫外や６００〜７００ ｎ ｍの赤色領域光が含まれで
いるので、第４図に示すような特性をもつ赤外透過フィ
ルタ５にてフィルタリングを施すことによって近赤外域
の自発光のみをリニアアレイイメージセンサ６に受光さ
けるようにしである。かくして可視域光Ｊ５ Ｊ、び近
赤外光に弁別された被検出部からの反射光Ｊ＞よび自発
光は、それぞれのリニアアレイイメージセンサ４，６に
−Ｃ光電変換され、２系統の電気信号とし°Ｃ信号処理
回回路に送られることになる。
なお駆動回路７は、これらのリニアアレイイメージセン
サ４，６の受光開始や信号伝送開始の制御を行うほか、
後続の信号処理回路Ｃへの電気信号の送信を司る。
サ４，６の受光開始や信号伝送開始の制御を行うほか、
後続の信号処理回路Ｃへの電気信号の送信を司る。
第５図ａ、ｂに、リニアアレイイメージセンサ４．６′
ｃ゛とらえた被検出部力日らの反射光および自発光の走
査線信号をそれぞれ示したが、同図より明らかなように
いずれもかなりのノイズが見られる。
ｃ゛とらえた被検出部力日らの反射光および自発光の走
査線信号をそれぞれ示したが、同図より明らかなように
いずれもかなりのノイズが見られる。
さて信号処理回路Ｃにａ３いて、リニアアレイイメージ
センサ４，６から送られてきた反射光ｄ５よび自発光か
らの電気信号はまず、それぞれの２値化回路８２，９に
おいて予め定めでおいた閾値により個別に２値化処理が
施される。
センサ４，６から送られてきた反射光ｄ５よび自発光か
らの電気信号はまず、それぞれの２値化回路８２，９に
おいて予め定めでおいた閾値により個別に２値化処理が
施される。
第６図ａ、ｂに、第５図ａ、ｂに示した反射光および自
発光の走査線信号をそれぞれ個別に２値化処理して得た
欠陥信号を示す。
発光の走査線信号をそれぞれ個別に２値化処理して得た
欠陥信号を示す。
第６図ａ、ｂから明らかなように、ノイズ信号は依然と
して多く、したがって従来の如く単にこれらのデータだ
けから欠陥を判定した場合には依然として誤検出率は高
い。
して多く、したがって従来の如く単にこれらのデータだ
けから欠陥を判定した場合には依然として誤検出率は高
い。
なＪ５かような誤検出を抑制するだめの手段どして、２
値化処理時における閾値を高くすることが考えられるが
、閾値を高く設定した場合には、誤検出率は幾分低減す
ることができるかもしれないけれども、今度は欠陥の見
逃し率の増大という一層の不利を招く。従って見逃し率
の増大を回避するためには、閾値はある程度低めに設定
せざるを得ず、それ故ノイズの混入もまた不可避とされ
ていたのである。
値化処理時における閾値を高くすることが考えられるが
、閾値を高く設定した場合には、誤検出率は幾分低減す
ることができるかもしれないけれども、今度は欠陥の見
逃し率の増大という一層の不利を招く。従って見逃し率
の増大を回避するためには、閾値はある程度低めに設定
せざるを得ず、それ故ノイズの混入もまた不可避とされ
ていたのである。
ところでこの発明では、それぞれ個別に２値化した欠陥
信号をさらに論理積回路１０にて論理積処理するわけで
あるが、かかる論理積処理によって余分なノイズ信号は
効果的に除去され゛Ｃ１本当の表面欠陥に由来した欠陥
信号のみが抽出されるのである。
信号をさらに論理積回路１０にて論理積処理するわけで
あるが、かかる論理積処理によって余分なノイズ信号は
効果的に除去され゛Ｃ１本当の表面欠陥に由来した欠陥
信号のみが抽出されるのである。
ここに上記した如き論理積処理によってノイズ信号が効
果的に除去される理由は次のとおりである。
果的に除去される理由は次のとおりである。
すなわち光電変換後の電気信号を２値化処理した場合、
本当の表面欠陥に由来した欠陥信号は、反射光、自発光
ども走査線上の同じ位置に表われるのに対し、酸化鉄に
由来するノイズ信号は、反射光Ｊ５よび自発光とでは、
走査線上の異なる位置に表われ、従って両者の論理積を
とった場合、ノイズ信号についで相互にフィルタリング
作用を及ぼしあって消滅するからである。
本当の表面欠陥に由来した欠陥信号は、反射光、自発光
ども走査線上の同じ位置に表われるのに対し、酸化鉄に
由来するノイズ信号は、反射光Ｊ５よび自発光とでは、
走査線上の異なる位置に表われ、従って両者の論理積を
とった場合、ノイズ信号についで相互にフィルタリング
作用を及ぼしあって消滅するからである。
第７図に、第６図ａ、ｂに示した両欠陥信号を論理積処
理した後の欠陥信号を示す。第７図から明らかなように
反射光と自発光両者の欠陥信号の論理積をとることによ
り表面の酸化鉄に由来したノイズ信号はほぼ完全に除去
されて、表面欠陥に由来した信号のみが残存することに
なる。
理した後の欠陥信号を示す。第７図から明らかなように
反射光と自発光両者の欠陥信号の論理積をとることによ
り表面の酸化鉄に由来したノイズ信号はほぼ完全に除去
されて、表面欠陥に由来した信号のみが残存することに
なる。
そしてかくして得られた論理積に基いて、欠陥であるか
否かの判定を行うわけであるが、第７図と第６図ａ、ｂ
それぞれに示された欠陥信号を比較すれば歴然としＣい
るように、この発明装置により、表面欠陥の的確な判定
が可能になったのである。
否かの判定を行うわけであるが、第７図と第６図ａ、ｂ
それぞれに示された欠陥信号を比較すれば歴然としＣい
るように、この発明装置により、表面欠陥の的確な判定
が可能になったのである。
そしてかかる欠陥の判定に際しては、論理積処理後の信
号を長さ、連続性判定回路１３に導いＣ１その欠陥信号
の長さや連続性を加味した上で欠陥か否かの判定を下す
わけである。
号を長さ、連続性判定回路１３に導いＣ１その欠陥信号
の長さや連続性を加味した上で欠陥か否かの判定を下す
わけである。
なお上に述べた実施例では、分光フィルタとしてコール
ドミラーを用いた場合についＣ説明したが、］−ルドミ
ラーの替りにハーフミラ−やコールドフィルタを使用す
ることもできる。ただしコールドフィルタを使用する場
合は、このフィルタの性質がコールドミラーとは逆に、
可視域光は透過する一ノラ赤外光は反射するものである
ため、第１図に示した赤外透過フィルタ５と赤外吸収フ
ィルタ３どの位置を入れ変える必要がある。
ドミラーを用いた場合についＣ説明したが、］−ルドミ
ラーの替りにハーフミラ−やコールドフィルタを使用す
ることもできる。ただしコールドフィルタを使用する場
合は、このフィルタの性質がコールドミラーとは逆に、
可視域光は透過する一ノラ赤外光は反射するものである
ため、第１図に示した赤外透過フィルタ５と赤外吸収フ
ィルタ３どの位置を入れ変える必要がある。
（発明の効果）
かくしてこの発明によれば熱間金属材料の表面欠陥の検
出に当り、とくに脱スケール処理を行わなくとも、該ス
ケールに起因したノイズ信号に基く誤検出を数１００％
から１５％程度にわたって著しく低減でき、従って検出
精度の大幅な向上が実現され、有利ひある。
出に当り、とくに脱スケール処理を行わなくとも、該ス
ケールに起因したノイズ信号に基く誤検出を数１００％
から１５％程度にわたって著しく低減でき、従って検出
精度の大幅な向上が実現され、有利ひある。
第１図は、この発明の好適実施例の模式図、第２図は、
コールドミラーの分光透過率を示したグラフ、 第３図は、赤外吸収フィルタの分光透過率を示したグラ
フ、 第４図は、赤外線透過フィルタの分光透過率を示したグ
ラフ、 第５図ａ、ｂはそれぞれ光電変換後の反射光および自発
光の電気信号の波形を示した図、第６図ａ、ｂはそれぞ
れ、第５図ａ、ｂに示した波形を２値化処理した後の２
値化信号を示した図、 第７図は、上記した２つの２値化信号を論理積処理した
のちの欠陥信号を示した図である。 Ａ・・・投光器 Ｂ・・・撮像装置 Ｃ・・・信号処理回路 Ｓ・・・熱間金属材料１・・・
光学レンズ系 ２・・・分光フィルタ３・・・赤外吸収
フィルタ ４・・・反則光用のリニアアレイイメージセンサ５・・
・赤外透過フィルタ ６・・・自発光用のリニアアレイイメージセンサ７・・
・駆動回路 ８，９・・・２値化回路１０・・・論理積
回路 １１・・・判定回路第１図 第２図 第３図 第４図
コールドミラーの分光透過率を示したグラフ、 第３図は、赤外吸収フィルタの分光透過率を示したグラ
フ、 第４図は、赤外線透過フィルタの分光透過率を示したグ
ラフ、 第５図ａ、ｂはそれぞれ光電変換後の反射光および自発
光の電気信号の波形を示した図、第６図ａ、ｂはそれぞ
れ、第５図ａ、ｂに示した波形を２値化処理した後の２
値化信号を示した図、 第７図は、上記した２つの２値化信号を論理積処理した
のちの欠陥信号を示した図である。 Ａ・・・投光器 Ｂ・・・撮像装置 Ｃ・・・信号処理回路 Ｓ・・・熱間金属材料１・・・
光学レンズ系 ２・・・分光フィルタ３・・・赤外吸収
フィルタ ４・・・反則光用のリニアアレイイメージセンサ５・・
・赤外透過フィルタ ６・・・自発光用のリニアアレイイメージセンサ７・・
・駆動回路 ８，９・・・２値化回路１０・・・論理積
回路 １１・・・判定回路第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、熱間金属材お１から放射される自発光に対して非干
渉の光を該材料の被検出部に照射する投光装置と、該被
検山部からの反射光を自発光と同時に受光し、ついで両
者を分光してから分光しｌ〔それぞれの光を光電変換す
る撮像装置および光電変換された２つの電気信号を処理
し該被検出部について表面欠陥を判定する信号処理回路
からなり、撮像装置は、反射光Ｊ５ Ｊ：び自発光を受
光、集光する光学レンズ系、かかる光学レンズ系通過後
の光を近赤外域と可視域とに分光する分光フィルタなら
びに分光された近赤外光は透過させる一方で可視域光は
しゃ断するフィルタをそなえる自発光用のリニアアレイ
イメージセンサおよび分光された可視域光は透過させる
一方で近赤外光は吸収するフィルタをそなえる反射光用
のリニアアレイイメージセン４）をそなえ、また信号処
理回路は、撮像装置で光電変換された反射光および自発
光それぞれの電気信号を個別に２値化処理して欠陥信号
とする２値化回路、２値化された２つの欠陥信号の論理
積処理を行う論理積回路および得られた論理積に基いて
表面欠陥を判定する判定回路をそなえることを特徴とす
る熱間金属材料の表面欠陥検出装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59035232A JPS60179638A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 熱間金属材料の表面欠陥検出装置 |
| ZA849609A ZA849609B (en) | 1984-02-28 | 1984-12-11 | Method and apparatus for detection of surface defects of hot metal body |
| CA000470204A CA1229392A (en) | 1984-02-28 | 1984-12-14 | Method and apparatus for detection of surface defects of hot metal body |
| EP85100338A EP0153565B1 (en) | 1984-02-28 | 1985-01-15 | Method and apparatus for detection of surface defects of hot metal body |
| DE8585100338T DE3570132D1 (en) | 1984-02-28 | 1985-01-15 | Method and apparatus for detection of surface defects of hot metal body |
| KR1019850000437A KR870001401B1 (ko) | 1984-02-28 | 1985-01-24 | 열간 금속체의 표면 결함 검출 방법 및 장치 |
| US07/048,477 US4759072A (en) | 1984-02-28 | 1987-05-06 | Method and apparatus for detection of surface defects of hot metal body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59035232A JPS60179638A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 熱間金属材料の表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60179638A true JPS60179638A (ja) | 1985-09-13 |
Family
ID=12436091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59035232A Pending JPS60179638A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 熱間金属材料の表面欠陥検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60179638A (ja) |
| ZA (1) | ZA849609B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1566616A1 (de) * | 2004-02-20 | 2005-08-24 | Hella KGaA Hueck & Co. | Sensoranordnung |
| JP2007278916A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Jfe Steel Kk | 鋳片欠陥検査方法及び装置 |
| JP2011117975A (ja) * | 2011-02-28 | 2011-06-16 | Jfe Steel Corp | 圧延性ロール疵検査装置 |
| AT510662A1 (de) * | 2010-08-13 | 2012-05-15 | Voestalpine Stahl Gmbh | Vorrichtung und verfahren zum berührungslosen erkennen wenigstens einer fehlerstelle und/oder mindestens einer abmessung an einem warmen stranggegossenen material |
| JP2022512238A (ja) * | 2018-12-13 | 2022-02-02 | ヘンケル・アクチェンゲゼルシャフト・ウント・コムパニー・コマンディットゲゼルシャフト・アウフ・アクチェン | 部材の表面特性の検出方法、部材の表面品質をモニタリングするための前記方法の使用、および部材の表面特性を調整するためのデバイス |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS49131192A (ja) * | 1973-04-20 | 1974-12-16 | ||
| JPS5249856A (en) * | 1975-10-17 | 1977-04-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Display device for surface of steel |
| JPS5383671A (en) * | 1976-12-28 | 1978-07-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Detecting method of surface defects |
-
1984
- 1984-02-28 JP JP59035232A patent/JPS60179638A/ja active Pending
- 1984-12-11 ZA ZA849609A patent/ZA849609B/xx unknown
Patent Citations (3)
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| JP2022512238A (ja) * | 2018-12-13 | 2022-02-02 | ヘンケル・アクチェンゲゼルシャフト・ウント・コムパニー・コマンディットゲゼルシャフト・アウフ・アクチェン | 部材の表面特性の検出方法、部材の表面品質をモニタリングするための前記方法の使用、および部材の表面特性を調整するためのデバイス |
| US11846501B2 (en) | 2018-12-13 | 2023-12-19 | Henkel Ag & Co. Kgaa | Method for detecting the surface properties of components, use of the method for monitoring the surface quality of components and device for adjusting the surface properties of components |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ZA849609B (en) | 1985-07-31 |
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