JPS6016700B2 - 熱陰極電子源装置 - Google Patents
熱陰極電子源装置Info
- Publication number
- JPS6016700B2 JPS6016700B2 JP3446678A JP3446678A JPS6016700B2 JP S6016700 B2 JPS6016700 B2 JP S6016700B2 JP 3446678 A JP3446678 A JP 3446678A JP 3446678 A JP3446678 A JP 3446678A JP S6016700 B2 JPS6016700 B2 JP S6016700B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hot cathode
- temperature
- sample
- cathode
- electron source
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H01J37/242—Filament heating power supply or regulation circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡およびその類似装置における仏Ｂ６
熱陰極電子源装置に関する。
熱陰極電子源装置に関する。
Ｌａ＆熱陰極電子源はタングステン・ヘャピン熱陰極電
子源にくらべ高い輝度（５〜１Ｍ音）と寿命が長いとい
う特長があるため、使用雰囲気が高真空（１０‐６ｏｎ
以上）でなければならず、装置が高価であるという短所
があるにもか）わらず、一部で使用されて来た。
子源にくらべ高い輝度（５〜１Ｍ音）と寿命が長いとい
う特長があるため、使用雰囲気が高真空（１０‐６ｏｎ
以上）でなければならず、装置が高価であるという短所
があるにもか）わらず、一部で使用されて来た。
従来ＬａＢ熱陰極は一般に１８００ｏ〜１９０び ｋの
固定温度で用いられており、寿命も１００〜数１０独特
間とタングステン・ヘヤピン熱陰極とくらべると長いが
、高真空雰囲気で使用する熱陰極としては寿命が短かく
普及を妨げる原因となっていた。本発明の目的は、試料
上に照射する電子線ビームの径に対応してＬａＢ６熱陰
極の加熱温度を可変することにより、実用上に支障をき
たさずいＢ６熱陰極の長寿命化を計ることにある。
固定温度で用いられており、寿命も１００〜数１０独特
間とタングステン・ヘヤピン熱陰極とくらべると長いが
、高真空雰囲気で使用する熱陰極としては寿命が短かく
普及を妨げる原因となっていた。本発明の目的は、試料
上に照射する電子線ビームの径に対応してＬａＢ６熱陰
極の加熱温度を可変することにより、実用上に支障をき
たさずいＢ６熱陰極の長寿命化を計ることにある。
図１に走査電子顕微鏡の概略説明図を示す。
熱陰極１より照射された電子線２は、電子レンズ３，４
で集東され、試料５上に電子線２のスポットサイズを所
要の大きさに縮少し照射する。又偏向コイル６，７は上
記縮少した電子線スポットを試料５上を平面に走査させ
る。試料５上に照射された電子線スポットは、２次電子
等試料の形上村料に関する情報を発生する。検出器１０
、増中器１１で検出・増中された信号をブラウン管１２
のグリッドーこ導入し、ブラウン管１２の電子線１３を
制御し、ブラウン管面の蛍光体の輝度を変化させる。ブ
ラウン管１２の偏向コイル８は、偏向コイル６，７と同
期して偏向電源９で駆動される。ブラウン管上に表示さ
れる試料像は、試料５上を走査する電子線１の走査中そ
と、ブラウン管面を走査する電子線１３の中Ｌの比Ｌ／
そに拡大される。走査電子顕微鏡及びその類似装置にお
いては高倍率像を観察する能力、即ち分解能が重要な性
能の一つであり、分解能は試料上に照射する電子線のス
ポットの大きさにより制限される。
で集東され、試料５上に電子線２のスポットサイズを所
要の大きさに縮少し照射する。又偏向コイル６，７は上
記縮少した電子線スポットを試料５上を平面に走査させ
る。試料５上に照射された電子線スポットは、２次電子
等試料の形上村料に関する情報を発生する。検出器１０
、増中器１１で検出・増中された信号をブラウン管１２
のグリッドーこ導入し、ブラウン管１２の電子線１３を
制御し、ブラウン管面の蛍光体の輝度を変化させる。ブ
ラウン管１２の偏向コイル８は、偏向コイル６，７と同
期して偏向電源９で駆動される。ブラウン管上に表示さ
れる試料像は、試料５上を走査する電子線１の走査中そ
と、ブラウン管面を走査する電子線１３の中Ｌの比Ｌ／
そに拡大される。走査電子顕微鏡及びその類似装置にお
いては高倍率像を観察する能力、即ち分解能が重要な性
能の一つであり、分解能は試料上に照射する電子線のス
ポットの大きさにより制限される。
スポットの大きさが小ささければ、試料上の走査中〆を
小さくしても像質は悪くないならないが、スポットの大
きさが大きいと走査中を大きくしなければ像がボケ、像
が不鮮明になり倍率を高くすることの意味がなくなる。
すなわち、分解能をあげるためにはスポットの大きさを
出来るだけ小さくすることが望ましいが、一方試料に照
射される電子線量はスポットの大きさに比例して減少す
る。今図２に示すように試料に照射される電流を１凶、
電子源の輝度をＢ（Ａ／の．ｓｔｒ）とすると、試料５
より絞り１５を見込む半角ａｓが変らないとすれば、電
子源の径ｄ。
小さくしても像質は悪くないならないが、スポットの大
きさが大きいと走査中を大きくしなければ像がボケ、像
が不鮮明になり倍率を高くすることの意味がなくなる。
すなわち、分解能をあげるためにはスポットの大きさを
出来るだけ小さくすることが望ましいが、一方試料に照
射される電子線量はスポットの大きさに比例して減少す
る。今図２に示すように試料に照射される電流を１凶、
電子源の輝度をＢ（Ａ／の．ｓｔｒ）とすると、試料５
より絞り１５を見込む半角ａｓが変らないとすれば、電
子源の径ｄ。
と試料上の電子線スポット経ｄＳの比Ｍ＝ｄ。／ｄｓと
試料に照射される電流ｌｓとの間には次の関係がある。
ＩＳ＝Ｂ汀（ＯＳ／Ｍ）２・汀ｄ客ノ４ ＝ｍ２／必携ｄ奪＝ＫＢｄき………………｛１｝但し、
Ｋ＝の２ ０奪／４Ｍ＝ｄ。
試料に照射される電流ｌｓとの間には次の関係がある。
ＩＳ＝Ｂ汀（ＯＳ／Ｍ）２・汀ｄ客ノ４ ＝ｍ２／必携ｄ奪＝ＫＢｄき………………｛１｝但し、
Ｋ＝の２ ０奪／４Ｍ＝ｄ。
／ｄＳ＝８Ｓ／８。立体角＝竹（１一ｃｏｓ８）；竹８
２ ‘１｝式より、試料上の電子線のスポット径が小さくな
れば、試料に照射される電流が減少することがわかる。
２ ‘１｝式より、試料上の電子線のスポット径が小さくな
れば、試料に照射される電流が減少することがわかる。
このためスポット径を小さくしてゆくと、２次電子等の
信号量が減少し、検出器１０、増中器１１で発生する雑
音とのＳ／Ｎが悪くなり、スポット径がｄ・さくなった
にもかかわらず、像質が悪く分解能が良くならない結果
となる。このためタングステン・ヘャピン形熱陰極では
、一般に、電子線のスポット径を５０〜１００Ａ、試料
電流を２〜５×１０‐１２Ａ程度に設定している。試料
電流は、電子線源の輝度に比例することからタングステ
ン・ヘャピン形にくらべ、数倍輝度の高い凶Ｂ６熱陰極
を用いると、信号量も増し、試料に照射する電子線のス
ポット径を小さくすることも可能であり、高分解館化が
可能となる。しかし山Ｂ６熱陰極の使用にあたっては、
この熱陰極附近の真空度が１０‐６Ｔｏｍよりも良いこ
とが必要である。このように高真空を維持するためにも
、又装置の稼動率を高めるためにも、熱陰極の寿命を出
来るだけ長くし、上記陰極の交換のため大気にさらすひ
ん度を出来るだけ少くすることが必要である。又ＬａＢ
熱陰極は高価であり、これも長寿命化が望まれる一因で
もある。いＢ６熱陰極の寿命は、いＢ６の蒸発速度によ
ってさまる。
信号量が減少し、検出器１０、増中器１１で発生する雑
音とのＳ／Ｎが悪くなり、スポット径がｄ・さくなった
にもかかわらず、像質が悪く分解能が良くならない結果
となる。このためタングステン・ヘャピン形熱陰極では
、一般に、電子線のスポット径を５０〜１００Ａ、試料
電流を２〜５×１０‐１２Ａ程度に設定している。試料
電流は、電子線源の輝度に比例することからタングステ
ン・ヘャピン形にくらべ、数倍輝度の高い凶Ｂ６熱陰極
を用いると、信号量も増し、試料に照射する電子線のス
ポット径を小さくすることも可能であり、高分解館化が
可能となる。しかし山Ｂ６熱陰極の使用にあたっては、
この熱陰極附近の真空度が１０‐６Ｔｏｍよりも良いこ
とが必要である。このように高真空を維持するためにも
、又装置の稼動率を高めるためにも、熱陰極の寿命を出
来るだけ長くし、上記陰極の交換のため大気にさらすひ
ん度を出来るだけ少くすることが必要である。又ＬａＢ
熱陰極は高価であり、これも長寿命化が望まれる一因で
もある。いＢ６熱陰極の寿命は、いＢ６の蒸発速度によ
ってさまる。
蒸発速度と熱陰極温度をの関係の一例を、図３に１７０
００ ｋ時の蒸発速度を基準として線Ｖであらわしてい
る。又輝度と陰極温度との関係を線Ｂで示している。走
査電子顕微鏡及びその類似装置において試料像を高倍率
で観察する場合、高輝度の電子源を用いることは有用で
ある。
００ ｋ時の蒸発速度を基準として線Ｖであらわしてい
る。又輝度と陰極温度との関係を線Ｂで示している。走
査電子顕微鏡及びその類似装置において試料像を高倍率
で観察する場合、高輝度の電子源を用いることは有用で
ある。
しかし通常観察にもちいられる数千倍以下の倍率におい
ては、従来のタングステン。へャピン形の熱陰極でも充
分な試料照射電流が得られている。図１のブラウン管の
偏向中Ｌを１００側とし、５０，００の苦から１，００
ぴ苔迄の試料上を偏向する中をそ、ブラウン管の解像度
を１／１５００とし、これに見合ったスポット径ｄｓ（
即ちｄｓノ〆＝１／１５００）及び高倍率（５０，００
０倍）時のスポット径５０Ａの時の試料電流を基準とし
た、各倍率におけるスポット径の時の試料電流比を求め
ると表１のようになる。
ては、従来のタングステン。へャピン形の熱陰極でも充
分な試料照射電流が得られている。図１のブラウン管の
偏向中Ｌを１００側とし、５０，００の苦から１，００
ぴ苔迄の試料上を偏向する中をそ、ブラウン管の解像度
を１／１５００とし、これに見合ったスポット径ｄｓ（
即ちｄｓノ〆＝１／１５００）及び高倍率（５０，００
０倍）時のスポット径５０Ａの時の試料電流を基準とし
た、各倍率におけるスポット径の時の試料電流比を求め
ると表１のようになる。
表１
表１に示す通り５０，０００倍での試料電流を１とする
と、５，００の鞠こおいては６．７倍の試料電流が得ら
れる。
と、５，００の鞠こおいては６．７倍の試料電流が得ら
れる。
したがって５，００折音観察する場合には、５０，００
０倍での条件より輝度を１／６・７に下げて観察しうる
。５，００Ｍ部こおいては、熱電子へャピンフイラメン
トの輝度は３〜５×ｉびＡ／の。
０倍での条件より輝度を１／６・７に下げて観察しうる
。５，００Ｍ部こおいては、熱電子へャピンフイラメン
トの輝度は３〜５×ｉびＡ／の。
ｓｔｒで十分であることが従来の装置から判明している
ため、５，００ぴ音の陰極温度は図３から１７０００
ｋで良いことがわかる。この場合の蒸発速度は「２００
０ｏ ｋに比較すれば１ノ１００、】９０びｋと比較し
ても１ノ３０となり寿命は１００倍〜３Ｍ苔とのびるこ
とがわかる。さらに、５０，０００倍で観察する場合に
、５，００ぴ音で観察した時と同一の試料電流を得るた
めには、３〜５×１び×６．７字２〜３×１ぴＡ／の．
ｓＶの輝度が必要となり、図３から１９５０〜２０００
０ ｋの陰極温度が必要であることがわかる。従来の熱
電子へャピンフィラメントを用いる場合は３×１びＡ／
地．ｓｔｒが限界であったことから５０，００併苔での
観察においては、従来の４〜雌音の輝度が得られ、明る
いＳ／Ｎの良い像観察が可能となる。又１０，００の割
こおいては、５０，０００倍の１／１．７の試料電流で
あり、２〜３×１０−６／１．７三１〜１．７×１ぴＡ
／洲．ｓｔｒで良く、１８５０〜１９０００ｋの陰極温
度となり、約１０ぴｋ程度下げることができ、寿命は約
５倍にのびる。尚表１において、スポットの蚤ｄｓと試
料電流の関係は、ｄｓの２乗に比例するため、５０Ａの
試料電流を１とすると１３０Ａにおいては（１３０／５
０）２＝６．７倍となる。従来いＢ６熱陰極は最高倍率
時に必要な輝度が得られる温度で常時使用されてきた。
ため、５，００ぴ音の陰極温度は図３から１７０００
ｋで良いことがわかる。この場合の蒸発速度は「２００
０ｏ ｋに比較すれば１ノ１００、】９０びｋと比較し
ても１ノ３０となり寿命は１００倍〜３Ｍ苔とのびるこ
とがわかる。さらに、５０，０００倍で観察する場合に
、５，００ぴ音で観察した時と同一の試料電流を得るた
めには、３〜５×１び×６．７字２〜３×１ぴＡ／の．
ｓＶの輝度が必要となり、図３から１９５０〜２０００
０ ｋの陰極温度が必要であることがわかる。従来の熱
電子へャピンフィラメントを用いる場合は３×１びＡ／
地．ｓｔｒが限界であったことから５０，００併苔での
観察においては、従来の４〜雌音の輝度が得られ、明る
いＳ／Ｎの良い像観察が可能となる。又１０，００の割
こおいては、５０，０００倍の１／１．７の試料電流で
あり、２〜３×１０−６／１．７三１〜１．７×１ぴＡ
／洲．ｓｔｒで良く、１８５０〜１９０００ｋの陰極温
度となり、約１０ぴｋ程度下げることができ、寿命は約
５倍にのびる。尚表１において、スポットの蚤ｄｓと試
料電流の関係は、ｄｓの２乗に比例するため、５０Ａの
試料電流を１とすると１３０Ａにおいては（１３０／５
０）２＝６．７倍となる。従来いＢ６熱陰極は最高倍率
時に必要な輝度が得られる温度で常時使用されてきた。
９０％以上の使用ひん度がある。
１０，００川音以下の倍率の時に陰極温度を適正温度（
その時に必要なビーム径・試料電流を得るのに必要最低
限の温度）にセット出来る機構を有しておればなんら性
能の低下を伴なわずに１０〜数１針音の長寿命化が可能
となる。
その時に必要なビーム径・試料電流を得るのに必要最低
限の温度）にセット出来る機構を有しておればなんら性
能の低下を伴なわずに１０〜数１針音の長寿命化が可能
となる。
図４なし、し図６はそれぞれ本発明の実施例の回略図で
ある。図４はステップ切換え方式であり、直流電源量５
の出力を抵抗とツェナーダィオード１６の直列回路に供
給し、ツヱナーダィオード１６の両端に生ずる一定電圧
をシリーズ抵抗ｒ．，ｒ２・・・・・・で分圧し、各分
圧点の電圧をトランジスタ１９のベースに切換印加する
。
ある。図４はステップ切換え方式であり、直流電源量５
の出力を抵抗とツェナーダィオード１６の直列回路に供
給し、ツヱナーダィオード１６の両端に生ずる一定電圧
をシリーズ抵抗ｒ．，ｒ２・・・・・・で分圧し、各分
圧点の電圧をトランジスタ１９のベースに切換印加する
。
これにより、ＤＣ−ＤＣコンバータ２０の入力電圧、し
たがって熱陰極１に供給される電流値が増減されてその
輝度が制御される。したがって、切換スイッチ１７を適
当な位置に切換えることにより、いＢ６熱陰極の加熱温
度をレンズ倍率または所要照射ビーム径の変化に応じて
必要最小限の値に設定することができる。図５は、図４
の分圧用シリーズ抵抗の代りに可変抵抗ＶＲを用いて連
続切換えができるようにしたものであり、その動作は図
４の場合と全く同様である。これらの場合、切換スイッ
チ１７または可変抵抗摺動子１７Ａの指標をレンズ倍率
または所要スポット径であらわしておくこともでき、さ
らに前記スイッチまたは情勤子を電子レンズの電流切換
えスイッチと連動させれば、操作性の向上に役立て）。
たがって熱陰極１に供給される電流値が増減されてその
輝度が制御される。したがって、切換スイッチ１７を適
当な位置に切換えることにより、いＢ６熱陰極の加熱温
度をレンズ倍率または所要照射ビーム径の変化に応じて
必要最小限の値に設定することができる。図５は、図４
の分圧用シリーズ抵抗の代りに可変抵抗ＶＲを用いて連
続切換えができるようにしたものであり、その動作は図
４の場合と全く同様である。これらの場合、切換スイッ
チ１７または可変抵抗摺動子１７Ａの指標をレンズ倍率
または所要スポット径であらわしておくこともでき、さ
らに前記スイッチまたは情勤子を電子レンズの電流切換
えスイッチと連動させれば、操作性の向上に役立て）。
又通常は蒸発速度が遅くて寿命が長く、しかもタングス
テン・ヘヤピン形熱陰極と同種度の輝度が得られる１，
６００ｏ ｋ〜１，８００ｏ ｋの陰極温度に設定して
おき、高輝度電子源が必要な時のみ陰極温度をあげ、一
定時間後（例えば、電子線装置の使用を停止した後）は
自動的に、通常設定温度に復帰するようにすれば、熱陰
極の長寿命化には一段と有効である。
テン・ヘヤピン形熱陰極と同種度の輝度が得られる１，
６００ｏ ｋ〜１，８００ｏ ｋの陰極温度に設定して
おき、高輝度電子源が必要な時のみ陰極温度をあげ、一
定時間後（例えば、電子線装置の使用を停止した後）は
自動的に、通常設定温度に復帰するようにすれば、熱陰
極の長寿命化には一段と有効である。
図５はその一例である。図６において、リレー２３の接
点ＳＩ，Ｓ２は通常は黒接点側に接しており、トランジ
スタ１９のベース電位は、分圧抵抗Ｒ１，Ｒ２により例
えば１６００〜１８００ｏ ｋの温度に対応する値に設
定されている。高倍率観測時にセットスイッチ２２を開
成すると、リレー２３が付勢されて接点Ｓ１，Ｓ２が白
接点側に切換えられ、熱陰極１は切換スイッチ１７の接
点位置に応じた大きさの電流で加熱され、所定の高輝度
に上げられると同時に、接点Ｓ２によりリレー２３が自
己保持される。観察を終って電源１５がオフにされると
、リレー２３の自己保持が解かれて初期状態に戻るので
、熱陰極１は通常の設定状態になる。以上は走査型露顕
について説明したが、透過型電顕の場合も全く同様、高
倍率では高温度に、低倍率で使用する場合は低い温度に
加熱して、寿命を長くすることで、前前述の如きいＢ６
電子源の特長を生かすことができる。
点ＳＩ，Ｓ２は通常は黒接点側に接しており、トランジ
スタ１９のベース電位は、分圧抵抗Ｒ１，Ｒ２により例
えば１６００〜１８００ｏ ｋの温度に対応する値に設
定されている。高倍率観測時にセットスイッチ２２を開
成すると、リレー２３が付勢されて接点Ｓ１，Ｓ２が白
接点側に切換えられ、熱陰極１は切換スイッチ１７の接
点位置に応じた大きさの電流で加熱され、所定の高輝度
に上げられると同時に、接点Ｓ２によりリレー２３が自
己保持される。観察を終って電源１５がオフにされると
、リレー２３の自己保持が解かれて初期状態に戻るので
、熱陰極１は通常の設定状態になる。以上は走査型露顕
について説明したが、透過型電顕の場合も全く同様、高
倍率では高温度に、低倍率で使用する場合は低い温度に
加熱して、寿命を長くすることで、前前述の如きいＢ６
電子源の特長を生かすことができる。
図面の簡単な説明図１、図２は本発明の原理を説明する
略線図、図３は陰極温度と輝度および蒸発速度との関係
を示す図表、図４ないし図６はそれぞれ本発明の実施例
の回路図である。
略線図、図３は陰極温度と輝度および蒸発速度との関係
を示す図表、図４ないし図６はそれぞれ本発明の実施例
の回路図である。
１・・・熱陰極、１５…直流電源、１６・・・ッェナダ
ィオード、１７・・・切換スイッチ、２０・・・ＤＣ−
ＤＣコンバータ、２３…リレー。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
ィオード、１７・・・切換スイッチ、２０・・・ＤＣ−
ＤＣコンバータ、２３…リレー。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 高真空中で加熱されるＬａＢ＿６熱陰極と、前記熱
陰極に電流を供給する電源装置と、発生した電子線を加
速する手段と、電子線を集束する手段とを具備した熱陰
極電子源装置において、熱陰極の加熱温度を電子線集束
手段の切換と連動する手段を設け、ＬａＢ＿６熱陰極の
加熱温度を電子線のビーム径の変化に応じてビーム径が
小さいほど高温に、またビーム径が大きいほど低温にな
るように制御することを特徴とする熱陰極電子源装置。 ２ 熱陰極の加熱温度を、通常は比較的低温に設定し、
ビーム径を小さくする時は高温に切換え、予定時間経過
後は自動的に通常設定状態に復帰させることを特徴とす
る第１項記載の熱陰極電子源装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3446678A JPS6016700B2 (ja) | 1978-03-25 | 1978-03-25 | 熱陰極電子源装置 |
| NL7902266A NL7902266A (nl) | 1978-03-25 | 1979-03-22 | Electronenbroneenheid met hete kathode. |
| DE19792911741 DE2911741A1 (de) | 1978-03-25 | 1979-03-26 | Gluehkathoden-elektronenquellenanordnung |
| GB7910461A GB2019172A (en) | 1978-03-25 | 1979-03-26 | Control circuit for a hot-cathode electron source device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3446678A JPS6016700B2 (ja) | 1978-03-25 | 1978-03-25 | 熱陰極電子源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54127272A JPS54127272A (en) | 1979-10-03 |
| JPS6016700B2 true JPS6016700B2 (ja) | 1985-04-26 |
Family
ID=12415018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3446678A Expired JPS6016700B2 (ja) | 1978-03-25 | 1978-03-25 | 熱陰極電子源装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016700B2 (ja) |
| DE (1) | DE2911741A1 (ja) |
| GB (1) | GB2019172A (ja) |
| NL (1) | NL7902266A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4424448A (en) * | 1979-12-26 | 1984-01-03 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Electron beam apparatus |
| US6456009B1 (en) * | 2000-07-31 | 2002-09-24 | Communication And Power Industries | Adaptive heater voltage algorithm and control system for setting and maintenance of the heater voltage of a vacuum electron device |
-
1978
- 1978-03-25 JP JP3446678A patent/JPS6016700B2/ja not_active Expired
-
1979
- 1979-03-22 NL NL7902266A patent/NL7902266A/xx not_active Application Discontinuation
- 1979-03-26 GB GB7910461A patent/GB2019172A/en not_active Withdrawn
- 1979-03-26 DE DE19792911741 patent/DE2911741A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2019172A (en) | 1979-10-24 |
| NL7902266A (nl) | 1979-09-27 |
| JPS54127272A (en) | 1979-10-03 |
| DE2911741A1 (de) | 1979-10-11 |
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