JPS60164142A - クリ−ンル−ム用搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、台車の走行用管路を、クリーンルーム内に延
出すると共に、前記走行用管路のうちの前記クリーンル
ーム内に位置する荷役用管路部分に開口させた荷役用口
を開閉する扉を設けたクリーンルーム用搬送設備に関す
る。

かかる搬送設備は、外部窓間と遮断された走行用管路内
を通して台車を走行させながら物品搬送を行なわせるよ
うにすることによって、汚染望間内を通して物品搬送を
行なう場＆ＶＣおいても、纏埃及び微生物等の微粒子が
クリーンルーム内に侵入することを抑制できるものであ
るが、次に述べる不都合があった。

すなわち、走行用管路は、上述の如く外部かららの微粒
子侵入が抑制されるものの、その内部を走行する台車の
スリップに起因する摩耗粉の発生、台車の車輪軸支部等
に供給されている潤滑油の飛散、及び、台車あるいは走
行用管路に発生する錆に起因する金属粉の飛散等のため
に、かなりの微粒子が存在する傾向にある。　その結果
、何役用口を開いた時に、走行用管路内の微粒子がクリ
ーンルーム内に侵入する虞れがあり、改善の余地があっ
た。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、そ
の第１目的は、荷役時に走行管路内の微粒子がクリーン
ルーム内に侵入することを、設備の簡素化並びに作業能
率の向上を図る状態で効果的に抑制する点にあり、その
第２目的は、上記第１目的に加えて、台車移送を気流に
よって行なわせるようにして、搬送設備の簡素化を図る
と共に、その気流移送に伴って、台車停止及び発進のた
めに本来的に備えさせることになる空気遮断用ゲートを
有効利用して、走行用管路内の微粒子がクリーンルーム
内に侵入することを抑制するための設備の一層の簡素化
を図る点にある。

本第１発明によるクリーンルーム用搬送設備の特徴構成
は、前記荷役用管路部分を他の管路部分に対して密閉あ
るいはそれに近い状態で遮断するシャッター装置を設け
ると共に、前記荷役用管路部分に対して作用する浄化装
置を設けた点にあり、その作用効果は次の通りである。

すなわち、シャッター装置によって荷役用管路部分を他
の管路部分に対して速断させ、浄化装置によって荷役用
管路部分内の微粒子を除去したのち、荷役用口を開いて
荷役作業を行なわせることによって、走行用管路内の微
粒子がクリーンルーム内に侵入することを抑制できるよ
うにしである。

そして、走行用管路の一部である荷役用管路部分のみを
浄化することによシ、走行用管路内の微粒子がクリーン
２レーム内に侵入することを抑制させるようにするから
、例えば、荷役Ｉｃ際して走行用管路内の全体を浄化さ
せるようにするに較べて、浄化装置として小容量のもの
を用いることができるものとなって、設備の簡素化を図
ることができると共に、浄化に要する時間を極力短くで
きるものとなって、荷役作業を能率良く行なわせること
ができる。

従って、設備の簡素化を図り、しかも、作業能率の向上
を図る状態で、クリーンルーム内への微粒子侵入を効果
的に抑制できるのであり、もって、クリーンルーム内へ
の微粒子侵入を可及的に抑制する必要がある、半導体製
造工場等の各種工場や医療用設備等における物′品搬送
に極めて有用なりリーンルーム用搬送設備を得るに至っ
た。

本第２発明によるクリーンルーム用搬送設備の特徴構成
は、前記走行用管路を、台車移送用気流を流動自在に設
け、前記台車の停止及び発進のために管路を遮断する一
対の気流遮断用グートラ、前記荷役用口の両側に振分は
位置させて設け、前記荷役用管路部分に対して作用する
浄化装置を設けた点にあり、その作用効果は次の通りで
ある。

すなわち、上記第１発明と同じ作用を得ることができる
のみならず、台車を気流によって移送させるようにして
、台車移送設備の簡素化を図り、シかも、その場合にお
いて、台車をエアクッション作用により停止させるよう
にするために、及び、台車を発進させるために本来的に
備えさせることになる一対の気流遮断用ゲートを利用し
て、それらゲートによって荷役用管路部分を他の管路部
分に対して遮断させながら、荷役用管路部分を浄化でき
るようにしである。

従って、上記第１発明と同じ利点を得ることができるの
みならず、台車移送のための設備、及び、微粒子侵入を
抑制するたｌ１備夫々の簡素化を図ることができるので
あり、もって、実用上の利点穴なりリーンルーム用搬送
設備を得るに至った。

以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図及び第２図に示すように、角筒状の台車走行用管
路（Ｌｌを、一対のクリーンルーム囚間に亘って、閉ル
ープを形成する状態で、且つ、各クリーンルーム国内を
通過させる状態で設けると共に、第８図乃至第９図に示
すように、走行用管路ｆＬｌ内に流動される移送用気流
によって走行される台車（ト））を設け、そして、走行
用管路ｆＬｌのうちのクリーンルーム内に位置する荷役
用管路部分（ｉりに開口させた荷役用口（１）を開閉す
るスライド式の扉（２）を設け、もって、例えは半導体
製造工場においてクエハを収納するカプセル（３）を一
方何のクリーンルーム囚から他方側のクリーンルーム（
４）に搬送する等、各種の物品をクリーンルーム国内に
搬送する際に使用できるように構成しである。

前記クリーンルーム囚を構成するに、ＨＥＰＡフィルタ
（Ｆｌを天井側に設けると共に、床形成用のグンーチン
グ（３）を設け、そして、堅気をＨＥＰＡフィルタＩＦ
Ｉを通して下方に送風しながら上下に循環流動させるブ
ロワ（４）を設け、もって、浄化堅気を天井側から米側
に流動させる、いわゆるダクンフロー形式に構成しであ
る。

前記台車−１ｔ−４１！或するに、上部開方状態の物品
収納部を、前後一対の受圧板（５）の間Ｖｃ設け、管路
底壁を走行する左右一対の転輪（６）の２組を、台車前
後方向に間隔を隔てて設け、管路横側壁を転動する一対
の補助転輪（７）の４組を、台車（Ｂｌの四角部犬々に
設け、さらに、緩衝用突起（８）を、車体の前後端部夫
々に設けである。

そして、′前後夫々の左右転輪（６）を支持する前後一
対の枠体（９）夫々を、縦軸芯（Ｐ１周シで揺動自在に
枢着すると共に、管路横側壁を転動する一対の操向操作
用転輪（１０）を、車体横巾方向にスライド自在に支承
した長尺状枠体（ＩＩＪの両端部ＶｃＪＩＸ付け、前後
一対の転輪支持枠体（９）の犬々がら突設したアーム（
９Ａ）の遊端部を、長尺状枠体（Ｉｌ）に一体＄動する
ように係止連結し、もって、第１θ図に示すように、管
路ｆｉｌのホリゾンタルヵーグ部分を走行させる際に、
前後夫々の左右転輪（６１、＋６１を管路屈曲方向に沿
う状態に向き変更操作できるようにしである。

前記扉（２）について説明すれば、第４因乃至第７図に
示すように、扉（２）の左右両横側部夫々をスライド自
在に保合支持する案内輪Ｈの複数個１を設け、電動モー
タ饅にて駆動回転自在な円盤状部材（Ｉ萄を、押引ロツ
ドリりを介して扉（２）に連動連結し、もって、円盤状
部材α萄の回転に伴って扉（２）を開閉操作できるよう
に構成しである。

そして、荷役用口（１）を形成する板状部材（１６）に
おける扉閉じ側口縁、及び、扉開閉方向に沿う両横側口
縁の夫々に閉じ状態において接触するコの字状のシール
用ゴム９７）、並びに、走行用管路ｔＬｌの扉開き側に
位置する壁にｆｆ＆した角軸状部材−に閉じ状態におい
て接触する長尺状シール用ゴム（Ｉ９）＠：、扉（１１
の下面側にボルト止置して、閉じ状部において密閉でき
るようにしである。

但し、前記扉開閉方向に沿う両横側口縁の夫々を、扉閉
じ側はど内力に位置する傾斜状に形成して、楔作用によ
れシール用ゴムＱ７）を確実に合着させることができる
ようにしである。

前記台車俤）を荷役用管路部分（Ｉりにおいて停止、及
び、発進させる、台車走行操作構成について説明すれば
、第８図、第４図、及び、第１１図（イ）乃至（す）に
示すように、荷役用口（１）の搬送上手側箇所において
管路（７）を密閉あるいはそれに近い状態で閉じる第１
気流遮断用グー）（Ｇｌ）、及び、荷役用口＋１１の搬
送下手側箇所において管路（Ｌｌｔ−密閉あるいはそれ
に近い状態で閉じる第２気流遮断用グー）（Ｇりの夫々
を、電動モータ（Ｍｔ）、（Ｍ２）Ｖｃよりて各別に揺
ｗＪ囲閉自在ＶＣ設け、ブロソ痢に連通ずる吸引流路（
８）を、第１気流遮断グー）（Ｇｌ）よりも搬送上手側
の管路部分に接続すると共に、ブロワ（ロ）に連通ずる
第１及び第２吐田流路（ｒｌ）　、　（、、）の夫々を
、第２気流遮断ゲート（Ｇ２）よりも搬送下手側の管路
部分、及び、第１気流遮断グー）（Ｇｌ）と荷役用口ｆ
ｉ＋との間に位置する管路部分に各別に接続し、前記第
１及び第２吐出流路（ｒ、）。

（ｒ２）の出口夫々を、ｖＪｌ及び第２グー）（Ｇ１）
。

（Ｇ２）を閉じ操作するに伴ってそのグー）　（Ｇｌ）
。

（Ｇ、）にて吐じることができるように設け、さらに、
荷役用口ｆｌの搬送上手側に停止された台車ｉＢ）　１
に荷役用口ｆｌ）の下方に相当する箇ｆｒＶｃ移送する
左右一対のコンベア（財）を設けると共に、そのコンベ
ア＠１）によって移送されてくる台車ＦＢ＋の搬送下手
側への移動範囲を規制する第１ストツパー（Ｓ□）、及
び、その第１ストツパー（Ｓｌ）にて受止められた台車
ｔＢｌの搬送上手側への移動を規制する第２ストツパー
（Ｓ２）の夫々を、電動モータ（財）等の駆動装置によ
って各別に受止め解除位置に切換揺動操作自在ＶＣ設け
、もって、各ゲート（Ｇ１）　、　（Ｇｇ）、コンベア
馨η、及び、各ストッパー（Ｓｌ）　、　（Ｓｔ）の夫
々を順次的に操作して、台車ＩＢＩを停止、及び、発進
させることができるように構成しである。

詳述すれば、第１１図（イ）に示すように、第２るいは
それに近い状態の台車ｕ３）をコンベア２１１によって
移送し、次に、第１１図（ロ）Ｋ示すように、第１．第
２気流遮断ゲート（Ｇ１’）　、　（Ｇりをともに閉じ
操作するｄ１共に、両ストッパー（Ｓｔ）。

（Ｓりにて台車ｆＢｌを保持した状態において、後述の
如く荷役用管路部分＜１＞内を浄化し、その後、第１１
図（ハ）、に）に示すように、第１気流遮断ゲート（Ｇ
ｌ）を関き操作したのちにおいて扉（２＋　１に開き操
作して、ブロワ（社）の吸引圧によりクリーンルーム国
内の突気を荷役用管路部分（１）内に流動させる状態で
、物品の供給あるい１ｌｔ）Ｄ、出しを行なう。　そし
て、次に、第１１図（ホ）、（へ）、（ト）に示すよう
に、扉（２）の閉じ操作、第１気流遮断グー）（’Ｇｌ
）の閉じ操作、及び、第２気流遮断、グー）（Ｇｚ）の
開き操作を順次的に行なって台車ｔＢ）を発進させ、そ
の後、第１１図（力、（！ｊ）ＶＣ示すように、第２気
流遮断グー）　（Ｇ、　）の洲き操作、及び、第１気流
遮断グー）（Ｇ＋）の閉じ操作を行なって次の台車（ト
））を受入れることになる。

第１１図（ロ）に示すように、第１．第２気流遮断ゲー
ト（ＧＬ）　、　（Ｇａ）を閉じることにより、荷役用
管路部分（１）を他の管路部分に対して密閉あるいはそ
れに近い状態で遮断できるように構成しである。　そし
て、第８図及び第４図に示すように、荷役用管路部分（
１）の下方に配設した送風機−における吸引口（２８ａ
）に連通ずる排気孔（８４ａ）　ｔ、荷役用管路部分＜
１）の横側壁下部に形成し、送風機（イ）の吐出口（２
８ｂ）　Ｋ連通する長孔状送気孔（２４ｂ）を、荷役用
管路部分（Ｊ）の横側壁上部に形成し、さらに、吐出口
Ｃ２８ｂ）と送気孔（２４ｂ）との連通流路内に位置さ
せてＨＥＰＡフィルタ＠５１を設けて、荷役用管路部分
（ｆ）に対して作用する浄化装置■を構成しである。

従って、荷役用管路部分（ｌｌ内を浄化したのち扉（２
）を開き操作することによって、走行用管路ｔＬｌ内の
微粒子がクリーンルーム国内に侵入することを抑制でき
るようにしである。

尚、浄化装置（６）を起動させるタイミングは、第１１
図（イ）に示すように、コンベアシｌ）にて台車（ト）
）１に移動させる時に起動させるようにしたり、第１１
図（ロ）Ｋ示すように、第一１．第２気流遮断ゲート（
ａ、）−（ｒ、−）＆藺ドｍ　／Ｆｓ　ｌ　今小’　Ｌ
　Ｖｒ　モρて起動させるようにしてもよい。

又、第３図中の閤は、第１気流速断ゲート（Ｇｌ）の遊
端が閉じ状態において接触作用する板状体であシ、そし
て、コンベア馨りを、板状体（至）の下方を迂回させて
回転させるようにローラ　′回によって案内させである
。

次に、台車ｔＢｌよって搬送されてくるカプセル（３）
を棚の）に移送する、あるいは、棚ＣＤＩ　Ｋ収納した
カプセル閃を台車ｔＢｌに移送する荷役設備について第
１２図乃至第１４図に基づいて説明する。

一対のカプセル係止具（２８ａ）を備えた物品吊下枠（
ハ）を、縦軸芯（Ｐ１周りで揺動［動自在に、且つ、昇
降駆動自在ＶＣＣ付用管路部分（ｒ）の上部に設けると
共に、カプセル受は共（２９ａ）を、棚ｐ）の横中方向
にスライド駆動自在で、且つ、昇降駆動自在な物品受は
枠四）に、棚の）に対する出退方向に駆！１１Ｉ＄助自
在ＶＣ設け、もって、物品吊下枠（ハ）によって台車ｔ
Ｂｌに対するカプセル供給あるいはカプセ／Ｌ／取出し
を行なえるようにし、そして、物品受は枠間によって、
物品吊下枠端から供給されるカプセル（１）を棚（ロ）
に収納すること、あるいは、棚鱒）に収納されたカプセ
ル（３）を物品吊下枠（ハ）に供給することを行なえる
ようにしである。

次に、別の実施例を説明する。

台車中）を走行させるに、気流を利用する他、台車＋Ｂ
＋に走行駆動用電動モータ等の駆動装置を備えさせるよ
うにしたり、台車旧）側を二次導体とし、且つ、走行用
管路（ＬＪ側を一次コイｌし部とする、いわゆるリニア
モータにて走行駆動させるようにする等、各種変更でき
る。

又、気流を用いて台車走行を行なわせるに、第１５図（
イ）乃至（ホ）に示すように、各流路（８）。

（ｒ□）、（ｒｚ）を各別に開閉する弁（Ｖｌ　、　（
Ｖ□）。

（Ｖ□）を設けてＸ施してもよい。　詳述すれば、第１
５図（イ）に示すように、第１気流遮断ゲート（Ｇ□）
ヲ用イて、エアクッション作用により台車旧）を停止さ
せ、第１５図（ロ）ＩＣ示すように、コンベア＠蔚によ
って台車（ト））を移送し、次に、第１５図（／つに示
す状態において、荷役用管路部分（１）内を浄化し、そ
の後、１ｇ１５図に）に示すように、扉（２）を開閉さ
せながら物品の供給、あるいは、取出しを行ない、第１
５図（ホ）に示すように、第１ストツパー（Ｓ工）を解
除させると共に第２気流速断グー）（ｉを開いて台車（
Ｂｌを発進させるようにしてもよい。　そして、その場
合において、第１６図（イ）乃至（ホ）に示すように、
コンベア馨りを省略してもよい。−りまシ、ブロワ（ホ
）に連通する補助吸引流路（ＲＯ）を、第２気流遮断ゲ
ート（Ｇｔ）と荷役用口（ｌｌとの間に位置する管路部
分に接続すると共に、その補助吸引流路（Ｒｏ）を開閉
する弁（■。）を設け、もって、第１６図（ロ）に示す
ように、補助吸引流路（Ｒ４）の吸引圧によって台車（
Ｂ）を荷役用口ｆｌ）側へ移送させるように構成しても
よい。

台車（ト））を荷役用口ｆｌ）　Ｖｃ対応する箇所で停
止させるに、第１．第２ストツパー（Ｓ□）、（Ｓｔ）
を用いて台車ＩＢ）の位置を確定すれば、実施例で述べ
た荷役用設備を用いて、物品の自動供給めるいは自動取
出しを行なわせるのに好都合：Ｔ：あ・　るが、手動で
物品供給あるいは取出しを行なわせる場合には、第１．
第２ストツパー（Ｓｔ）。

（Ｓりを省略してもよい。

扉（２）を設けるに、スライド囲閉式にする池、揺動開
閉式にする等、開閉のための構成は各種変更でき、そし
て、開閉用操作構成も各種変更できる。

上記実施例では、第１及び第２気流遮断用ゲート（Ｇｌ
）　、　（Ｇ２）を用いて、荷役用管路部分Ｃ１）ＶＣ
対するシャッター装置（Ｇ）を構成する場合を例示した
が、台車（Ｂｌを気流によって走行させない場合には、
上記グー）（Ｇ□）、ＣＧ２）と同じように揺ｌ１ＩＩ
Ｊ型式で、あるいは、スライド型式で流路遮断用の扉を
設けてシャッター装置ｆＧｌを構成するとよい。

前記浄化装置（６）としては、浄化を気を管路土壁から
底壁に同りて横断流動させるようにする等、その基体構
成は各種変更できる。

第１７図は、台車（ト））をブロワ（至）の吸引圧に工
つて走行させる場合を例示し、そして、ブロワに）がら
の排風をクリーンルーム（４）外に案内放出させるよう
にすると共に、クリーンルーム国内に連通ずる吸引口（
８０ｍ）を備えた管ｍ）Ｋよって走行用管路（６）内に
堅気を供給させるようにして、走行用管路（旬内を極力
浄化させるようにしである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係るクリーンルーム用搬送設備の実施例
を示し、第１図は搬送設備の概略平面図、第２図はクリ
ーンルームの縦断正面図、第８図は荷役用管路部分を示
す側面図、第４図は第８図における１ｆ−ｆｆ線矢視図
、第５図＃−ｔＩ４装着部の一部切欠平面図、第６図及
び第７図の夫々は第５図における■−■線及び■−■線
矢視図、第８図は台車の一部切欠平面図、第９図は台車
の底面図、第１０図は台車の概略底面図、第１１図（イ
）乃至（す）は台車の停止及び発進の操作順序を示す概
略側面図、第１２図乃至第１４図は荷役用設備の正面図
、平面図、及び側面図、第１５図（イ）乃至（ホ）及び
第１６図（イ）乃至（ホ）に別の実施例の概略図、第１
７図はさらに別の実施例の概略側面図である。 ＋１１・・・・・・荷役用口、（２）・・・・・・扉、
囚・・・・・・クリーンルーム、（ト））・・・・・・
台ｊｌＬ　、（Ｇｌ・・・・・・シャッター装置、（Ｇ
工）・・・・・・気流遮断用ゲート、（５）・・・・・
・浄化装置、（Ｌｌ・・・・・・走行用管路、（Ａ’）
・・・・・・荷役用管路部分。 代理人　弁理士　北　村　修 １に１１図 （イ） 第　１１　図 （へ） 第１２図 藁］３　■ 第１４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■　台車ｔＢｌの走行用管路（旬を、クリーンルーム（
   ４）内に延出すると共に、前記走行用管路（Ｌｌのうち
   の前記クリーンルーム国内に位置する荷役用管路部分（
   １）に開口させた荷役用口ｆｉｌを開閉する扉（２１１
   に設けたクリーン少寸ム用搬送設備であって、前記荷役
   用管路部分（１）を他の管路部分に対して密閉あるいは
   それに近い状態で遮断するシャッター装置ＩＧＩを設け
   ると共に、前記荷役用管路部分（Ａ’）　Ｋ対して作用
   する浄化装置（転）を設けであるクリーンルーム用搬送
   設備。 ■　台車（ト））の走行用管路ｔＬｌを、クリーンルー
   ム国内に延出すると共に、前記走行用管路（Ｌｌのうち
   の前記クリーンルーム国内に位置する荷役用管路部分（
   菊に関口させた荷役用口（１）１に開閉する扉（２）を
   設けたクリーンルーム用搬送設備でろって、前記走行用
   管路（旬を、台車移送用気流を流動自在ＶＣ設け、前記
   台車（Ｂｌの停止及び発進のために管路を遮断する一対
   の気流速断用ゲート（Ｇｓ）　、　（Ｇ２）を、前記荷
   役用口ｆｌ）の両側に振分は位置させて設け、前記荷役
   用管路部分（１）に対して作用する浄化装置（転）を設
   けであるクリーンルーム用搬送設備。