JPS60159171A - 被覆硬質部材の製造方法 - Google Patents
被覆硬質部材の製造方法Info
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- JPS60159171A JPS60159171A JP1351184A JP1351184A JPS60159171A JP S60159171 A JPS60159171 A JP S60159171A JP 1351184 A JP1351184 A JP 1351184A JP 1351184 A JP1351184 A JP 1351184A JP S60159171 A JPS60159171 A JP S60159171A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）技術分野
本発明は、耐摩耗性と靭性に優れた被覆硬質部材の製造
法に関するものである。
法に関するものである。
（ロ）技術の背景
超硬合金の表面に耐摩耗性の優れたＴｉＣ。
ＴｉＮ、 Ａｌ２Ｏ，などの硬質物質を１種又は２種以
上の単層又は２層以上被覆した被覆超硬合金は既に実用
化されている。その中でも／Ｖ！２０３を外層とした二
重被覆超硬合金工具は、Ａｌ２Ｏ３のもつ耐熱性、耐酸
化性等のため優れた耐摩耗性を示すことが知られている
。切削工具に要求される切削条件は年々過酷になってき
ておシ、切削速度も５００ ｍ／ｍｉｎ を越える場合
も多くなってきておシ、よシ耐摩耗性の高い切削工具が
要求されるようになってきている。これらの要求に対し
て％ Ｍ２Ｏ５膜厚を厚くする方向がある。
上の単層又は２層以上被覆した被覆超硬合金は既に実用
化されている。その中でも／Ｖ！２０３を外層とした二
重被覆超硬合金工具は、Ａｌ２Ｏ３のもつ耐熱性、耐酸
化性等のため優れた耐摩耗性を示すことが知られている
。切削工具に要求される切削条件は年々過酷になってき
ておシ、切削速度も５００ ｍ／ｍｉｎ を越える場合
も多くなってきておシ、よシ耐摩耗性の高い切削工具が
要求されるようになってきている。これらの要求に対し
て％ Ｍ２Ｏ５膜厚を厚くする方向がある。
しかしながら、Ｍ２Ｏ３自体は脆性材料のため、厚膜化
することは靭性低下につなかっ、耐摩耗性と靭性を兼ね
そなえる汎用工具としては、靭性向で不満足のものであ
る。このような靭性向の改良方法として、Ａｌ２０３
とＴｉＣやＴｉＮをり互に繰シ返してなる多重層コーテ
ィングも開発さｉｌてはいるが、依然としてＡＪ！２０
． とＴｉＣの二重コーティングによるものの性能領域
を大巾に越えるものではなく、Ａｌ４０３ の金側膜厚
が大きくなれば、靭性低下するので、即層のＭ２Ｏ３と
比較しても大巾な性能向上はみられない。
することは靭性低下につなかっ、耐摩耗性と靭性を兼ね
そなえる汎用工具としては、靭性向で不満足のものであ
る。このような靭性向の改良方法として、Ａｌ２０３
とＴｉＣやＴｉＮをり互に繰シ返してなる多重層コーテ
ィングも開発さｉｌてはいるが、依然としてＡＪ！２０
． とＴｉＣの二重コーティングによるものの性能領域
を大巾に越えるものではなく、Ａｌ４０３ の金側膜厚
が大きくなれば、靭性低下するので、即層のＭ２Ｏ３と
比較しても大巾な性能向上はみられない。
Ｃ→ 発明の目的
本発明は、上記の困難を解消し、耐摩耗性と靭性に優れ
た新規な被覆硬質部材の製造方法を提供することを目的
とする。
た新規な被覆硬質部材の製造方法を提供することを目的
とする。
に）発明の構成
すなわち本発明は、水素および塩化アルミニウムと一酸
化窒奏および／又は二酸化窒素からなる混合気体を用い
て、超硬合金、サーメット、セラミックスから遇ばれる
基体上に酸窒化アルミニウムの被覆層を形成することを
特徴とする被覆硬質部材の製造方法。
化窒奏および／又は二酸化窒素からなる混合気体を用い
て、超硬合金、サーメット、セラミックスから遇ばれる
基体上に酸窒化アルミニウムの被覆層を形成することを
特徴とする被覆硬質部材の製造方法。
超硬合金、ザーメット、セラミックスから選ばれる基体
上に、該基体に接する内層としてＡｅＮ、 ＴｉＮ、
ＴｉＣ，ＴｉＣ０，ＴｉＣＮ０ よりなる群から選ばれ
る１種以上の化合物からなる被覆層を形成した後に、外
層として、水素および塩化アルミニウムと一酸化窒素お
よび／又は二酸化窒素からなる混合気体を用いて、酸蟹
化アルミニウムの被覆層を形成することを特徴とする被
覆硬質部材の製造方法。
上に、該基体に接する内層としてＡｅＮ、 ＴｉＮ、
ＴｉＣ，ＴｉＣ０，ＴｉＣＮ０ よりなる群から選ばれ
る１種以上の化合物からなる被覆層を形成した後に、外
層として、水素および塩化アルミニウムと一酸化窒素お
よび／又は二酸化窒素からなる混合気体を用いて、酸蟹
化アルミニウムの被覆層を形成することを特徴とする被
覆硬質部材の製造方法。
超硬合金、サーメット、セラミックスから選はれる基体
上に、該基体に接する内層としてＡεＮ、 ＴｉＮ、
’Ｈ，Ｃ，ＴｉＣ０，ＴｉＣＮ０ よシなる群から選ｒ
Ｊ：れる１種以上の化合物からなる被覆層を形成した後
に、中間層として水素および塩化アルミニウムと一酸化
窒素および／又は二酸化窒素からなる混合気体を用いて
酸窒化アルミニウム被覆層を形成し、さらに外層として
酸化アルミニウムの被覆層を形成することを特徴とする
被覆硬質部材の製造方法に関するものである０ ここで酸窒化アルミニウムとは化学式、ＱＯＮで表わさ
れるもので、ＡｉＮに酸素が固溶したもの、あるいはＡ
ｇ２Ｏ，に窒素が固溶したものとも考えられている０ 本発明の特徴は、被覆膜の靭性を改良するためにＡ１１
ＯＮ あるいは、ＭＯＮとＭ２Ｏ３の混合体の複合セラ
ミックとして高い靭性と耐摩耗性と耐熱性をもた老たと
ころにあるＯ従来ＡＰ、ＯＮ を生成させる手段として
は、ＭＣＬ３ 、 Ｈ２、ＣＯ２、Ｃｏ’ ガスの混合
ガス中に窒素ガス等を添加していたが、単体の窒素ガス
は不活性であって、Ａｌ０Ｎ を生成できず、本発明の
ような固溶体化、複合化は不可能であった〇 本発明者らは、上記従来法の単体の窒素ガス使用とは異
な勺、４ＯＮ の酸素源、窒素源としてＮＯおよび／又
はＮＯ２を用い、酸素と窒素を同時供給することによっ
て、Ａｌ０Ｎ あるいはＡｇ０ＮとＭ２Ｏ３の混合体と
して存在せしめ、目的とする酸窒化アルミ複合相を得る
ことにより、高い靭性と耐摩耗性と耐熱性を有する新規
な被覆硬質部材の製法を見出した０本発明の方法により
Ａ１０Ｎ あるいはＡＱＯＮとＮ、ｚＯＢ の混合相を
得る反応の詳細は未だ不明であるが、下記の化学反応式
（１）〜（３）のような反応によっていると考えられる
ＯＡ９．Ｃ１，＋ Ｎｏ ’＋ −ｕ、→ＭＯＮ ＋
５ ＥＩＣＬ ・・・（１）ＮＯ２＋Ｈ２→ Ｎｏ ＋
Ｈ２０・・・ （２ンＡｊ４Ｃｔ３ ＋ ３ Ｈ２Ｏ→
ＡＡ２０３＋５Ｈα・・・（３）即ち、ＮＯガス単体使
用の場合Ｖ？−ハ上記（１）式によりＡｉ！ＯＮ が生
成される。また、Ｎｏ、ガスを用いれば上記（２）式に
よシ生成したＮＯガスにより（１）式に従ってＡｌ０Ｎ
が生成され、一方（２）式により生成したＮ２０ガス
により（３）式に従ってＡＩ２０３が生成されると考え
られる。
上に、該基体に接する内層としてＡεＮ、 ＴｉＮ、
’Ｈ，Ｃ，ＴｉＣ０，ＴｉＣＮ０ よシなる群から選ｒ
Ｊ：れる１種以上の化合物からなる被覆層を形成した後
に、中間層として水素および塩化アルミニウムと一酸化
窒素および／又は二酸化窒素からなる混合気体を用いて
酸窒化アルミニウム被覆層を形成し、さらに外層として
酸化アルミニウムの被覆層を形成することを特徴とする
被覆硬質部材の製造方法に関するものである０ ここで酸窒化アルミニウムとは化学式、ＱＯＮで表わさ
れるもので、ＡｉＮに酸素が固溶したもの、あるいはＡ
ｇ２Ｏ，に窒素が固溶したものとも考えられている０ 本発明の特徴は、被覆膜の靭性を改良するためにＡ１１
ＯＮ あるいは、ＭＯＮとＭ２Ｏ３の混合体の複合セラ
ミックとして高い靭性と耐摩耗性と耐熱性をもた老たと
ころにあるＯ従来ＡＰ、ＯＮ を生成させる手段として
は、ＭＣＬ３ 、 Ｈ２、ＣＯ２、Ｃｏ’ ガスの混合
ガス中に窒素ガス等を添加していたが、単体の窒素ガス
は不活性であって、Ａｌ０Ｎ を生成できず、本発明の
ような固溶体化、複合化は不可能であった〇 本発明者らは、上記従来法の単体の窒素ガス使用とは異
な勺、４ＯＮ の酸素源、窒素源としてＮＯおよび／又
はＮＯ２を用い、酸素と窒素を同時供給することによっ
て、Ａｌ０Ｎ あるいはＡｇ０ＮとＭ２Ｏ３の混合体と
して存在せしめ、目的とする酸窒化アルミ複合相を得る
ことにより、高い靭性と耐摩耗性と耐熱性を有する新規
な被覆硬質部材の製法を見出した０本発明の方法により
Ａ１０Ｎ あるいはＡＱＯＮとＮ、ｚＯＢ の混合相を
得る反応の詳細は未だ不明であるが、下記の化学反応式
（１）〜（３）のような反応によっていると考えられる
ＯＡ９．Ｃ１，＋ Ｎｏ ’＋ −ｕ、→ＭＯＮ ＋
５ ＥＩＣＬ ・・・（１）ＮＯ２＋Ｈ２→ Ｎｏ ＋
Ｈ２０・・・ （２ンＡｊ４Ｃｔ３ ＋ ３ Ｈ２Ｏ→
ＡＡ２０３＋５Ｈα・・・（３）即ち、ＮＯガス単体使
用の場合Ｖ？−ハ上記（１）式によりＡｉ！ＯＮ が生
成される。また、Ｎｏ、ガスを用いれば上記（２）式に
よシ生成したＮＯガスにより（１）式に従ってＡｌ０Ｎ
が生成され、一方（２）式により生成したＮ２０ガス
により（３）式に従ってＡＩ２０３が生成されると考え
られる。
窒素、酸素源としては、Ｎｏ ガス単体、もしくはＮＯ
２ガス単体、または両者の混合体のいずれを供給しても
、本発明の目的は達成し得る。一般的な傾向としては、
ＮＯガスを用いれば窒素含有量が増し、Ｎ０２ガスを用
いれば、Ｍ２Ｏ３成分の多い混合体層が得られる。
２ガス単体、または両者の混合体のいずれを供給しても
、本発明の目的は達成し得る。一般的な傾向としては、
ＮＯガスを用いれば窒素含有量が増し、Ｎ０２ガスを用
いれば、Ｍ２Ｏ３成分の多い混合体層が得られる。
また、酸素源として、Ｃｏ、 ＣＯ２ガスのような酸素
を含むガスを同時に、Ｎｏ および／又はＮＯ２とは別
個に、添加することもできる。
を含むガスを同時に、Ｎｏ および／又はＮＯ２とは別
個に、添加することもできる。
ＡＣＯＮ の固溶体相もしくはＡＡｚ Ｏｓ −Ｍ Ｏ
Ｎの混合体が生成することに起因して、硬質部材が高い
靭性と耐摩耗性、耐熱性を有するという効果を奏すると
考えられる。Ａ１．−Ｃｊ−Ｈの固溶体層、もしくはＡ
ｔ！−２０１１−Ａ２０Ｎ の混合体層は、単体の／ｕ
２０３ 膜よりは若干耐摩耗性耐熱性が劣るがやはり高
い耐摩耗性耐熱性をもち、一方、靭性については大巾に
向上することができる。
Ｎの混合体が生成することに起因して、硬質部材が高い
靭性と耐摩耗性、耐熱性を有するという効果を奏すると
考えられる。Ａ１．−Ｃｊ−Ｈの固溶体層、もしくはＡ
ｔ！−２０１１−Ａ２０Ｎ の混合体層は、単体の／ｕ
２０３ 膜よりは若干耐摩耗性耐熱性が劣るがやはり高
い耐摩耗性耐熱性をもち、一方、靭性については大巾に
向上することができる。
なお、本発明のｄ −０−Ｎ 固溶体、もしくはＡｌｚ
Ｏａ −ＡＩ ＯＮの混合体層は、化学蒸着法（Ｃ，
Ｖ、Ｄ法）のほか、プラズマＣＶＤ法、イオンブレーテ
ィング等の物理蒸着法でも形成きせることかできる。
Ｏａ −ＡＩ ＯＮの混合体層は、化学蒸着法（Ｃ，
Ｖ、Ｄ法）のほか、プラズマＣＶＤ法、イオンブレーテ
ィング等の物理蒸着法でも形成きせることかできる。
本発明の被覆層の基体としては、超硬合金。
サーメットは勿論、脆性材料であるセラミックの上に被
覆しても、効果がある。
覆しても、効果がある。
さらに、Ａ１０−Ｎ 固溶体層もしくは、Ａｅｚ ０３
− Ａｎ ＯＮ 固溶体と基体との接着性改善のために
内層として、ＡＡＮ、 ＴｉＮ、 ＴｉＣ，ＴｉＣ０゜
ＴｉＣＮ０を用いれば、本発明の被覆層と基体との接着
性が向上できることも見い出した。ヌ、これらの２重層
の表面にＡＩ２ ｏ３単相を被覆して、耐摩耗性をさら
に向上させることもできるＱ （ホ）実施例 以下本発明を実施例によ勺さらに具体的に説明する。
− Ａｎ ＯＮ 固溶体と基体との接着性改善のために
内層として、ＡＡＮ、 ＴｉＮ、 ＴｉＣ，ＴｉＣ０゜
ＴｉＣＮ０を用いれば、本発明の被覆層と基体との接着
性が向上できることも見い出した。ヌ、これらの２重層
の表面にＡＩ２ ｏ３単相を被覆して、耐摩耗性をさら
に向上させることもできるＱ （ホ）実施例 以下本発明を実施例によ勺さらに具体的に説明する。
実施例１
市販のコーティングチップ（型番ＳＮＭＮ４３２）を基
材としてＣＶＤ法によや本発明の被覆硬質部材を製造し
た。該基材を収容する容器内にＡｇ２Ｃｔ３２容量係、
Ｎｏ ガス５容量係、残部上２ガスよシなる混合ガスを
温度１０００℃、圧力２０ ｔｏｒｒ にて反応させ被
覆膜を形成した。
材としてＣＶＤ法によや本発明の被覆硬質部材を製造し
た。該基材を収容する容器内にＡｇ２Ｃｔ３２容量係、
Ｎｏ ガス５容量係、残部上２ガスよシなる混合ガスを
温度１０００℃、圧力２０ ｔｏｒｒ にて反応させ被
覆膜を形成した。
（実施例１−１）
得られた膜質をＸ線解析、及びオージェ分光分析で解析
したところ、ＡＱ （ＯＱ５ Ｎｏ、５）の組成？もつ
酸望化アルミニウム（５μ厚さ）が得られているとわか
った０ また混合ガス組成を第１表に示すように変えた以外は上
記の同条件にて被覆膜を形成したとき得られた膜質の分
析結果についても・実施例１−２． １−１−、比較例
１−１として第１表にまとめて示す。
したところ、ＡＱ （ＯＱ５ Ｎｏ、５）の組成？もつ
酸望化アルミニウム（５μ厚さ）が得られているとわか
った０ また混合ガス組成を第１表に示すように変えた以外は上
記の同条件にて被覆膜を形成したとき得られた膜質の分
析結果についても・実施例１−２． １−１−、比較例
１−１として第１表にまとめて示す。
さらに得られたそれぞれの被覆されたコーティングチッ
プと、同じ基材について５μＡ１２０３１５μＴｉＣの
２重層被覆したものを用いて、下記の条件で切削したと
ころ、第１表に示すような結果が得らｈた。
プと、同じ基材について５μＡ１２０３１５μＴｉＣの
２重層被覆したものを用いて、下記の条件で切削したと
ころ、第１表に示すような結果が得らｈた。
切削速度（ｖ） ３００ ｍ／ｍｉｎ
送 リ（ｆ ） ０．５６ ａｍ／ ｒｅＶ 、０．６
ｍ／ ｒｅＶ切 込（（１） ２ ｍ／ｒｅＶ 被削材 ８０Ｍ４３５■（ＨＢ＝２８０）切削時間 １
０ｍｉｎ 窒素の固溶していないＡｌ２Ｏ３は例えば０．６■／ｒ
ｓＶ といった高速ルのような靭性の要求される条件下
では使用に勘え得なかった。
ｍ／ ｒｅＶ切 込（（１） ２ ｍ／ｒｅＶ 被削材 ８０Ｍ４３５■（ＨＢ＝２８０）切削時間 １
０ｍｉｎ 窒素の固溶していないＡｌ２Ｏ３は例えば０．６■／ｒ
ｓＶ といった高速ルのような靭性の要求される条件下
では使用に勘え得なかった。
（実施例２）
１０容蓋係の相合相（Ｃ”ｏ、Ｎｉ）と硬質相（Ｔ１．
Ｔａ、 Ｍｏ、 ｗ） （ＯＮ） とからなるサーメ
ット、および７０重量係ＭｚＯａ −５０重量係ＴｉＣ
よシなるセラミックを基材とし’−ｃＣＶＤ法によル、
反応温度１０００Ｃ，反応圧力２゜ｔｏｒｒ 、Ｎｏガ
ス２．５容ｉｉ％、ＮＯ？ガス２．５容量係、 Ａ１２
Ｃ１３２谷量係、残部Ｈ２よルなる混合ガス中で、６５
容量係のＭ （Ｏｏ、ｓ Ｎｏ、ｓ ）と５５容量係の
ＡＰ、２０３ の混合体層を５μ厚となるようコーティ
ングした。
Ｔａ、 Ｍｏ、 ｗ） （ＯＮ） とからなるサーメ
ット、および７０重量係ＭｚＯａ −５０重量係ＴｉＣ
よシなるセラミックを基材とし’−ｃＣＶＤ法によル、
反応温度１０００Ｃ，反応圧力２゜ｔｏｒｒ 、Ｎｏガ
ス２．５容ｉｉ％、ＮＯ？ガス２．５容量係、 Ａ１２
Ｃ１３２谷量係、残部Ｈ２よルなる混合ガス中で、６５
容量係のＭ （Ｏｏ、ｓ Ｎｏ、ｓ ）と５５容量係の
ＡＰ、２０３ の混合体層を５μ厚となるようコーティ
ングした。
これらのチップと従来の方法で作成した５μ厚Ａｌｔ２
０３ コーティングのものとについて、実施例１の切削
条件（ｆ＝ｏ、３ｂ ） で切削テストを行ったところ
、本発明によるものは、それぞれ、フランク摩耗蓋がＬ
ｌ、２５． ０．２’Ｏｗであったのに対し、従来品は
、切削時間８分。
０３ コーティングのものとについて、実施例１の切削
条件（ｆ＝ｏ、３ｂ ） で切削テストを行ったところ
、本発明によるものは、それぞれ、フランク摩耗蓋がＬ
ｌ、２５． ０．２’Ｏｗであったのに対し、従来品は
、切削時間８分。
６分でそれぞれ欠損した。
（実施例３）
５．５重量％ｃｏ−９４−ｓ重量％ ＷＣの超硬合金に
、ＣＶＤ法により内層として、それぞれ、５μ厚のＴｉ
Ｎ、 ＡゑＮ、 ＴｉＣ０，ＴｉＣＮ０を被覆した後、
実施例１と同様に、１０００℃、２０ｔｏｒｒにて、Ｎ
Ｑ ガス４容量％、Ｎ０２ガス１容量優。
、ＣＶＤ法により内層として、それぞれ、５μ厚のＴｉ
Ｎ、 ＡゑＮ、 ＴｉＣ０，ＴｉＣＮ０を被覆した後、
実施例１と同様に、１０００℃、２０ｔｏｒｒにて、Ｎ
Ｑ ガス４容量％、Ｎ０２ガス１容量優。
ＭＣ１３２容量係、残部Ｈ２よりなる混合ガス中で、９
０容童係のＡ１．（Ｏｏ、５Ｎｏ、５）と１０容量係の
Ａｌ１２０３ の混合体層を２μ厚にコーティングした
。（実施例５−１〜３−４） 比較のために外層のみをＭ２Ｏ３２μをコーティングし
たものを作成した。（比較例３−１〜３−４） これらのチップについて実施例１の切削条件（ｆ＝ｏ、
ｂ）で切削テストを行った。結果を第２表に示す。
０容童係のＡ１．（Ｏｏ、５Ｎｏ、５）と１０容量係の
Ａｌ１２０３ の混合体層を２μ厚にコーティングした
。（実施例５−１〜３−４） 比較のために外層のみをＭ２Ｏ３２μをコーティングし
たものを作成した。（比較例３−１〜３−４） これらのチップについて実施例１の切削条件（ｆ＝ｏ、
ｂ）で切削テストを行った。結果を第２表に示す。
第２表
（実施例４）
５．５重量％Ｃｏ−９４，５重量％ｗｅ の超硬合金に
ＣＶＤ法によ勺、内層に３μのＴｉＣ、中１１↓層とし
て、実施例１の実１−１と同条件にて３μ厚のＡｔ！（
Ｏｏ、ｓ Ｎｏ、ｓ ）外層として１μ厚のＭ２Ｏ３を
被覆した。（実施例４−１）比較のために同じ超硬合金
について、内層３μＴｉＣ１外層４μのｏ２ｏｓ を被
覆した。（比較例４−１）以上により得られた夫々の被
覆コーティングチップを用いて実施例１と同じ切削条件
で切削テストを行った。テスト結果を第３表に示す。
ＣＶＤ法によ勺、内層に３μのＴｉＣ、中１１↓層とし
て、実施例１の実１−１と同条件にて３μ厚のＡｔ！（
Ｏｏ、ｓ Ｎｏ、ｓ ）外層として１μ厚のＭ２Ｏ３を
被覆した。（実施例４−１）比較のために同じ超硬合金
について、内層３μＴｉＣ１外層４μのｏ２ｏｓ を被
覆した。（比較例４−１）以上により得られた夫々の被
覆コーティングチップを用いて実施例１と同じ切削条件
で切削テストを行った。テスト結果を第３表に示す。
（へ）発明の効果
以上詳述したところおよび実施例、比較例の結果から明
らかなように、本発明の被覆硬質部材の製造方法は、高
度の耐摩耗性と靭性を兼ね備え、耐熱性にも優れた被覆
硬質部材を作製し得る新規な方法である。
らかなように、本発明の被覆硬質部材の製造方法は、高
度の耐摩耗性と靭性を兼ね備え、耐熱性にも優れた被覆
硬質部材を作製し得る新規な方法である。
代理人 内 １） 明
代理人 萩 原 亮 −
Claims (3)
- （１） 水素および塩化アルミニウムと一酸化窒素およ
び／ヌは二酸化窒素からなる混合気体を用いて、超硬合
金、サーメット、セラミックスから選ばれる基体上に酸
窒化アルミニウムの被覆層を形成することを特徴とする
被覆硬質部材の製造方法。 - （２）超硬合金、サーメット、セラミックスから選ばり
、る基体上に、該基体に接する内層としてＡｌＮ、 Ｔ
ｉＮ、 ＴｉＣ，ＴｉＣ０，’ｌ［’ｉｃＮ○ よりな
る群から選ばれる１種以上の化合物からなる被覆層を形
成した後に、外層として、水素および塩化アルミニウム
と一酸化窒素および／Ｘは二酸化窒素からなる混合気体
を用いて、酸窒化アルミニウムの被覆層を形成すること
を特徴とする被覆硬質部材の製造方法。 - （３）超硬合金、サーメット、セラミックスから選ばれ
る基体上に、該基体に接する内層としてＡＡＮ、 Ｔｉ
Ｎ、 ＴｉＣ，ＴｉＣ０，ＴｉＣＮ０ よ勺なる群から
選ばれる１種以上の化合物からなる被覆層を形成した後
に、中間層として水素および塩化アルミニウムと一酸化
窒素および／スは二酸化窒素からなる混合気体を用いて
酸窒化アルミニウム被覆層を形成し、さらに外層として
酸化アルミニウムの被覆層を形成することを特徴とする
被覆硬質部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1351184A JPS60159171A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 被覆硬質部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1351184A JPS60159171A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 被覆硬質部材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60159171A true JPS60159171A (ja) | 1985-08-20 |
Family
ID=11835166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1351184A Pending JPS60159171A (ja) | 1984-01-30 | 1984-01-30 | 被覆硬質部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60159171A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0328375A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-06 | Kyocera Corp | 被覆超硬合金 |
| JPH03281779A (ja) * | 1990-01-09 | 1991-12-12 | Alps Electric Co Ltd | 酸窒化アルミニウムの合成方法 |
| EP0784103A1 (en) * | 1996-01-10 | 1997-07-16 | Mitsubishi Materials Corporation | Method of manufacturing coated cutting tools |
-
1984
- 1984-01-30 JP JP1351184A patent/JPS60159171A/ja active Pending
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