JPS60152928A - 多面鏡の分割角度誤差測定装置 - Google Patents
多面鏡の分割角度誤差測定装置Info
- Publication number
- JPS60152928A JPS60152928A JP970284A JP970284A JPS60152928A JP S60152928 A JPS60152928 A JP S60152928A JP 970284 A JP970284 A JP 970284A JP 970284 A JP970284 A JP 970284A JP S60152928 A JPS60152928 A JP S60152928A
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- JP
- Japan
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- polygon mirror
- mirror
- light
- reflected
- angle error
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本発明はレーザプリンタ等に用いられる多面鏡の分割角
度誤差を低コストで、しかも、短時間で測定できるよう
にした分割角度誤差測定装置に関する。
度誤差を低コストで、しかも、短時間で測定できるよう
にした分割角度誤差測定装置に関する。
(従来技術)
従来の多面鏡の分割角度の誤差測定は、高精度で回転可
能なインデックステーブル上に9分割角度誤差を測定す
る多面鏡をセットし、テニプルを回転しつつ、多面鏡の
鏡面に光源より光を入射し。
能なインデックステーブル上に9分割角度誤差を測定す
る多面鏡をセットし、テニプルを回転しつつ、多面鏡の
鏡面に光源より光を入射し。
その反射光を受光し、受光した光の反射角度を読み取る
ことにより行っている。例えば、6面鏡の場合正確に製
作されていれば、60°の回転ごとに、光源からの入射
光が反射光として識別できる筈であるが、多面鏡々面に
角度誤差があれば、60°の回転角度にずれを生じるこ
とになる。
ことにより行っている。例えば、6面鏡の場合正確に製
作されていれば、60°の回転ごとに、光源からの入射
光が反射光として識別できる筈であるが、多面鏡々面に
角度誤差があれば、60°の回転角度にずれを生じるこ
とになる。
しかしながら、従来の分割角度誤差測定装置は。
高精度のインデックステーブルを使用するものであり、
そのため、高価格となり、かつ多面鏡の各面について、
インデックステーブルを回転させて個々に誤差を測定す
ることになるので測定時間が極めて長くなるという欠点
があった。
そのため、高価格となり、かつ多面鏡の各面について、
インデックステーブルを回転させて個々に誤差を測定す
ることになるので測定時間が極めて長くなるという欠点
があった。
(発明の目的および構成)
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、低価格な装
置を使用し、かつ短時間に多面鏡の分割角度誤差を測定
するため、誤差測定対象の多面鏡を回転しつつ、光源よ
り光を多面鏡々面に入射し。
置を使用し、かつ短時間に多面鏡の分割角度誤差を測定
するため、誤差測定対象の多面鏡を回転しつつ、光源よ
り光を多面鏡々面に入射し。
隣接する少なくとも2つの鏡面の反射光束をフォトディ
テクターで検出し9分割角度誤差を時間差に変換し計測
するようにした。多面鏡の分割角度誤差測定装置を提供
するものである。
テクターで検出し9分割角度誤差を時間差に変換し計測
するようにした。多面鏡の分割角度誤差測定装置を提供
するものである。
(実施例)
以下本発明による多面鏡の分割角度誤差測定装置を詳細
に説明する。誤差測定対象物である多面鏡はモータ等に
よって一定速で回転される台上にセットされる。1つ若
しくは複数の光源から射出した光をコリメート光学系に
より平行光束として多面鏡の2つ以上の鏡面に入射させ
る。鏡面に入射し1反射した光束を集束光学系で集束し
、その集束点にフォトディテクターをおいて光を検出す
ると、鏡面に分割角度誤差があるときは、鏡面が回転し
ているので対応する鏡面への光束到達時間を測定するこ
とにより2分割角度誤差を光束のフォトディテクターへ
の到達時間差として計測することができる。本発明の多
面鏡の分割角度誤差測定装置においては光源は1つ若し
くは複数であってもよく、同時に多面鏡の2つ以上の対
応する鏡面に入射させることにより、複数の鏡面の分割
角度誤差の同時測定が可能である。第1図に実施例とし
て光源が1つであって、被測定対象で多面鏡の隣接する
2つの鏡面に光束が入射する場合について説明する。光
を射出する半導体レーザ1があり、半導体レーザより射
出された発散ビームを平行光束とするコリメートレンズ
2がある。回転できるようになっている。被測定対象で
ある多面鏡3があり、コリメートレンズ2からの光束は
分割されることなく、多面鏡3の隣接する2つの鏡面に
入射するようになっている。2つの鏡面で反射された平
行光束を夫々集束する集束光学系4がある。この集束し
た光束を多面[3の回転により横切らせるようにフォト
ディテクタ5が置かれている。光束の通過によって各フ
ォトディテクタ5がらパルス出力があるので、これを計
測するタイムインターバルカウンタ6がある。
に説明する。誤差測定対象物である多面鏡はモータ等に
よって一定速で回転される台上にセットされる。1つ若
しくは複数の光源から射出した光をコリメート光学系に
より平行光束として多面鏡の2つ以上の鏡面に入射させ
る。鏡面に入射し1反射した光束を集束光学系で集束し
、その集束点にフォトディテクターをおいて光を検出す
ると、鏡面に分割角度誤差があるときは、鏡面が回転し
ているので対応する鏡面への光束到達時間を測定するこ
とにより2分割角度誤差を光束のフォトディテクターへ
の到達時間差として計測することができる。本発明の多
面鏡の分割角度誤差測定装置においては光源は1つ若し
くは複数であってもよく、同時に多面鏡の2つ以上の対
応する鏡面に入射させることにより、複数の鏡面の分割
角度誤差の同時測定が可能である。第1図に実施例とし
て光源が1つであって、被測定対象で多面鏡の隣接する
2つの鏡面に光束が入射する場合について説明する。光
を射出する半導体レーザ1があり、半導体レーザより射
出された発散ビームを平行光束とするコリメートレンズ
2がある。回転できるようになっている。被測定対象で
ある多面鏡3があり、コリメートレンズ2からの光束は
分割されることなく、多面鏡3の隣接する2つの鏡面に
入射するようになっている。2つの鏡面で反射された平
行光束を夫々集束する集束光学系4がある。この集束し
た光束を多面[3の回転により横切らせるようにフォト
ディテクタ5が置かれている。光束の通過によって各フ
ォトディテクタ5がらパルス出力があるので、これを計
測するタイムインターバルカウンタ6がある。
以上の構成において、多面鏡の分割角度誤差を測定する
操作を説明する。半導体レーザ1から射出された発散光
束はコリメートレンズ2により平行光束となり1回転し
ている多面鏡3の隣接する2つの鏡面に入る。2つの鏡
面から反射された平行光束は集束レンズ4により集束し
、フォトディテクタ5に入る。多面鏡3が回転すること
により。
操作を説明する。半導体レーザ1から射出された発散光
束はコリメートレンズ2により平行光束となり1回転し
ている多面鏡3の隣接する2つの鏡面に入る。2つの鏡
面から反射された平行光束は集束レンズ4により集束し
、フォトディテクタ5に入る。多面鏡3が回転すること
により。
光束の通過がフォトディテクタ5によりパルスとして得
られタイムインターバルカウンタ6で計測される。第3
図は2つのフォトディテクタ5からの出力をAおよびB
として、タイムインターバルカウンタ6の計測するAと
Bの時間差Δtの変化をCとして示している。tは1つ
の面の通過時間をあられし、その値のバラツキは多面鏡
3の回転速度むらおよび分割角度誤差に依存している。
られタイムインターバルカウンタ6で計測される。第3
図は2つのフォトディテクタ5からの出力をAおよびB
として、タイムインターバルカウンタ6の計測するAと
Bの時間差Δtの変化をCとして示している。tは1つ
の面の通過時間をあられし、その値のバラツキは多面鏡
3の回転速度むらおよび分割角度誤差に依存している。
Δtのバラツキは多面鏡3の回転むらおよび分割角度誤
差に依存するが、予め正確に製作された基準多面鏡を使
用してΔtt−tに比較して充分小さくなるように2つ
のフォトディテクタ5を配置(尚。
差に依存するが、予め正確に製作された基準多面鏡を使
用してΔtt−tに比較して充分小さくなるように2つ
のフォトディテクタ5を配置(尚。
2つのフォトディテクタ5を多面鏡3を中心にして対称
配置する構成はΔtをtに比べて充分小さくする構成で
あるが、更に9例えば、第1図の破線で示すように多面
鏡の回転むらによって光束が移動するときは7へ)する
ことによって多面鏡3の回転むらによる影響を充分小さ
くできるので。
配置する構成はΔtをtに比べて充分小さくする構成で
あるが、更に9例えば、第1図の破線で示すように多面
鏡の回転むらによって光束が移動するときは7へ)する
ことによって多面鏡3の回転むらによる影響を充分小さ
くできるので。
調整後はΔtを計測することによって多面鏡の分割角度
誤差をめることができる。
誤差をめることができる。
第2図は光源が2つで、光源からの光束が被測定対象で
ある多面鏡の隣接する2つの鏡面に入射し9反射して1
つのフォトディテクタに集束する場合を示している。光
を射出する半導体レーザ1があり、半導体レーザ1より
射出した発散光束を平行光束とするコリメート光学系2
がある。被測定対象である回転できる多面鏡3があり、
コリメート光学系2からの平行光束が多面鏡3の互いに
隣接する2つの鏡面に入射するようになっている。
ある多面鏡の隣接する2つの鏡面に入射し9反射して1
つのフォトディテクタに集束する場合を示している。光
を射出する半導体レーザ1があり、半導体レーザ1より
射出した発散光束を平行光束とするコリメート光学系2
がある。被測定対象である回転できる多面鏡3があり、
コリメート光学系2からの平行光束が多面鏡3の互いに
隣接する2つの鏡面に入射するようになっている。
2つの鏡面で反射された平行光束を集束するため集光学
系4がある、集束した光束を多面鏡3の回転により横切
らせるように設置されたフォトディテクタ5がある。多
面鏡の角度誤差を測定する操作は第1図における場合と
同様であって、半導体レーザ1より射出された発散光束
はコリメート光学レンズ2によって平行光束とされ回転
している被測定対象である多面鏡3の互いに隣接する2
つの鏡面より反射され1次に集束レンズ4により集束さ
れ、フォトディテクタ5に入る。多面鏡3が回転するこ
とにより、光束の通過がフォトディテクタ5により対応
するパルスとして得られる。フォトディテクタ5から出
力する2つのパルス間隔Δtを測定することにより、多
面鏡の分割角度誤差がめられる。
系4がある、集束した光束を多面鏡3の回転により横切
らせるように設置されたフォトディテクタ5がある。多
面鏡の角度誤差を測定する操作は第1図における場合と
同様であって、半導体レーザ1より射出された発散光束
はコリメート光学レンズ2によって平行光束とされ回転
している被測定対象である多面鏡3の互いに隣接する2
つの鏡面より反射され1次に集束レンズ4により集束さ
れ、フォトディテクタ5に入る。多面鏡3が回転するこ
とにより、光束の通過がフォトディテクタ5により対応
するパルスとして得られる。フォトディテクタ5から出
力する2つのパルス間隔Δtを測定することにより、多
面鏡の分割角度誤差がめられる。
(発明の効果)
以上説明した通り2本発明によるレーザプリンタ等に用
いる&面鏡の分割角度誤差測定装置によれば、多面鏡を
回転しつつ、光源より光束を多面鏡の鏡面に入射し、そ
の反射光束をフォトディテクタで検出し1分割角度誤差
を時間差に変換し計測するようにしたため、低価格の装
置で、且つ短時間に多面鏡の分割角度誤差の測定ができ
た。
いる&面鏡の分割角度誤差測定装置によれば、多面鏡を
回転しつつ、光源より光束を多面鏡の鏡面に入射し、そ
の反射光束をフォトディテクタで検出し1分割角度誤差
を時間差に変換し計測するようにしたため、低価格の装
置で、且つ短時間に多面鏡の分割角度誤差の測定ができ
た。
第1図は光源が1つでフォトディテクタが2つの場合の
実施例を示す説明図、第2図は光源が2つでのフォトデ
ィテクタが1つの場合の実施例を示す説明図、第3図は
タイムインターバルカウンタにおけるパルス説明図。 符号の説明 1・・・半導体レーザ。 2・・・コリメート光学系。 3・・・多面鏡。 4・・・集束光学系。 5・・・フォトディテクタ。 6・・・タイムインターバルカウンタ。 7・・・フォトディテクタ。 特許出願人 富士ゼロックス株式会社 第1図 窄 Z2.7 第2図 第3図
実施例を示す説明図、第2図は光源が2つでのフォトデ
ィテクタが1つの場合の実施例を示す説明図、第3図は
タイムインターバルカウンタにおけるパルス説明図。 符号の説明 1・・・半導体レーザ。 2・・・コリメート光学系。 3・・・多面鏡。 4・・・集束光学系。 5・・・フォトディテクタ。 6・・・タイムインターバルカウンタ。 7・・・フォトディテクタ。 特許出願人 富士ゼロックス株式会社 第1図 窄 Z2.7 第2図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザプリンタ等に用いる多面鏡の分割角度誤差測定装
置において。 多面鏡を回転しつつ、光源から射出した光をコリメート
光学系により平行光束とし前記多面鏡の鏡面に入射させ
る手段と。 前記鏡面に入射し1反射された光束を集束光学系により
集束させる手段と。 その集束点に設けられた光束検出手段とを有することを
特徴とする多面鏡の分割角度誤差測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP970284A JPS60152928A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 多面鏡の分割角度誤差測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP970284A JPS60152928A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 多面鏡の分割角度誤差測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60152928A true JPS60152928A (ja) | 1985-08-12 |
Family
ID=11727562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP970284A Pending JPS60152928A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 多面鏡の分割角度誤差測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60152928A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0491208A2 (de) * | 1990-12-13 | 1992-06-24 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, den Stellungen von Bauteilen, insbesondere Radstellungen an Fahrzeugen |
EP0495190A2 (de) * | 1991-01-16 | 1992-07-22 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, insbesondere von Radstellungen an Fahrzeugen in einer vertikalen Ebene |
US7701564B2 (en) | 2005-05-18 | 2010-04-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System and method for angular measurement |
-
1984
- 1984-01-23 JP JP970284A patent/JPS60152928A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0491208A2 (de) * | 1990-12-13 | 1992-06-24 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, den Stellungen von Bauteilen, insbesondere Radstellungen an Fahrzeugen |
EP0495190A2 (de) * | 1991-01-16 | 1992-07-22 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, insbesondere von Radstellungen an Fahrzeugen in einer vertikalen Ebene |
US7701564B2 (en) | 2005-05-18 | 2010-04-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System and method for angular measurement |
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