JPS60152928A - 多面鏡の分割角度誤差測定装置 - Google Patents
多面鏡の分割角度誤差測定装置Info
- Publication number
- JPS60152928A JPS60152928A JP970284A JP970284A JPS60152928A JP S60152928 A JPS60152928 A JP S60152928A JP 970284 A JP970284 A JP 970284A JP 970284 A JP970284 A JP 970284A JP S60152928 A JPS60152928 A JP S60152928A
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- JP
- Japan
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- polygon mirror
- mirror
- light
- reflected
- angle error
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はレーザプリンタ等に用いられる多面鏡の分割角
度誤差を低コストで、しかも、短時間で測定できるよう
にした分割角度誤差測定装置に関する。
度誤差を低コストで、しかも、短時間で測定できるよう
にした分割角度誤差測定装置に関する。
（従来技術）
従来の多面鏡の分割角度の誤差測定は、高精度で回転可
能なインデックステーブル上に９分割角度誤差を測定す
る多面鏡をセットし、テニプルを回転しつつ、多面鏡の
鏡面に光源より光を入射し。
能なインデックステーブル上に９分割角度誤差を測定す
る多面鏡をセットし、テニプルを回転しつつ、多面鏡の
鏡面に光源より光を入射し。
その反射光を受光し、受光した光の反射角度を読み取る
ことにより行っている。例えば、６面鏡の場合正確に製
作されていれば、６０°の回転ごとに、光源からの入射
光が反射光として識別できる筈であるが、多面鏡々面に
角度誤差があれば、６０°の回転角度にずれを生じるこ
とになる。
ことにより行っている。例えば、６面鏡の場合正確に製
作されていれば、６０°の回転ごとに、光源からの入射
光が反射光として識別できる筈であるが、多面鏡々面に
角度誤差があれば、６０°の回転角度にずれを生じるこ
とになる。
しかしながら、従来の分割角度誤差測定装置は。
高精度のインデックステーブルを使用するものであり、
そのため、高価格となり、かつ多面鏡の各面について、
インデックステーブルを回転させて個々に誤差を測定す
ることになるので測定時間が極めて長くなるという欠点
があった。
そのため、高価格となり、かつ多面鏡の各面について、
インデックステーブルを回転させて個々に誤差を測定す
ることになるので測定時間が極めて長くなるという欠点
があった。
（発明の目的および構成）
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、低価格な装
置を使用し、かつ短時間に多面鏡の分割角度誤差を測定
するため、誤差測定対象の多面鏡を回転しつつ、光源よ
り光を多面鏡々面に入射し。
置を使用し、かつ短時間に多面鏡の分割角度誤差を測定
するため、誤差測定対象の多面鏡を回転しつつ、光源よ
り光を多面鏡々面に入射し。
隣接する少なくとも２つの鏡面の反射光束をフォトディ
テクターで検出し９分割角度誤差を時間差に変換し計測
するようにした。多面鏡の分割角度誤差測定装置を提供
するものである。
テクターで検出し９分割角度誤差を時間差に変換し計測
するようにした。多面鏡の分割角度誤差測定装置を提供
するものである。
（実施例）
以下本発明による多面鏡の分割角度誤差測定装置を詳細
に説明する。誤差測定対象物である多面鏡はモータ等に
よって一定速で回転される台上にセットされる。１つ若
しくは複数の光源から射出した光をコリメート光学系に
より平行光束として多面鏡の２つ以上の鏡面に入射させ
る。鏡面に入射し１反射した光束を集束光学系で集束し
、その集束点にフォトディテクターをおいて光を検出す
ると、鏡面に分割角度誤差があるときは、鏡面が回転し
ているので対応する鏡面への光束到達時間を測定するこ
とにより２分割角度誤差を光束のフォトディテクターへ
の到達時間差として計測することができる。本発明の多
面鏡の分割角度誤差測定装置においては光源は１つ若し
くは複数であってもよく、同時に多面鏡の２つ以上の対
応する鏡面に入射させることにより、複数の鏡面の分割
角度誤差の同時測定が可能である。第１図に実施例とし
て光源が１つであって、被測定対象で多面鏡の隣接する
２つの鏡面に光束が入射する場合について説明する。光
を射出する半導体レーザ１があり、半導体レーザより射
出された発散ビームを平行光束とするコリメートレンズ
２がある。回転できるようになっている。被測定対象で
ある多面鏡３があり、コリメートレンズ２からの光束は
分割されることなく、多面鏡３の隣接する２つの鏡面に
入射するようになっている。２つの鏡面で反射された平
行光束を夫々集束する集束光学系４がある。この集束し
た光束を多面［３の回転により横切らせるようにフォト
ディテクタ５が置かれている。光束の通過によって各フ
ォトディテクタ５がらパルス出力があるので、これを計
測するタイムインターバルカウンタ６がある。
に説明する。誤差測定対象物である多面鏡はモータ等に
よって一定速で回転される台上にセットされる。１つ若
しくは複数の光源から射出した光をコリメート光学系に
より平行光束として多面鏡の２つ以上の鏡面に入射させ
る。鏡面に入射し１反射した光束を集束光学系で集束し
、その集束点にフォトディテクターをおいて光を検出す
ると、鏡面に分割角度誤差があるときは、鏡面が回転し
ているので対応する鏡面への光束到達時間を測定するこ
とにより２分割角度誤差を光束のフォトディテクターへ
の到達時間差として計測することができる。本発明の多
面鏡の分割角度誤差測定装置においては光源は１つ若し
くは複数であってもよく、同時に多面鏡の２つ以上の対
応する鏡面に入射させることにより、複数の鏡面の分割
角度誤差の同時測定が可能である。第１図に実施例とし
て光源が１つであって、被測定対象で多面鏡の隣接する
２つの鏡面に光束が入射する場合について説明する。光
を射出する半導体レーザ１があり、半導体レーザより射
出された発散ビームを平行光束とするコリメートレンズ
２がある。回転できるようになっている。被測定対象で
ある多面鏡３があり、コリメートレンズ２からの光束は
分割されることなく、多面鏡３の隣接する２つの鏡面に
入射するようになっている。２つの鏡面で反射された平
行光束を夫々集束する集束光学系４がある。この集束し
た光束を多面［３の回転により横切らせるようにフォト
ディテクタ５が置かれている。光束の通過によって各フ
ォトディテクタ５がらパルス出力があるので、これを計
測するタイムインターバルカウンタ６がある。
以上の構成において、多面鏡の分割角度誤差を測定する
操作を説明する。半導体レーザ１から射出された発散光
束はコリメートレンズ２により平行光束となり１回転し
ている多面鏡３の隣接する２つの鏡面に入る。２つの鏡
面から反射された平行光束は集束レンズ４により集束し
、フォトディテクタ５に入る。多面鏡３が回転すること
により。
操作を説明する。半導体レーザ１から射出された発散光
束はコリメートレンズ２により平行光束となり１回転し
ている多面鏡３の隣接する２つの鏡面に入る。２つの鏡
面から反射された平行光束は集束レンズ４により集束し
、フォトディテクタ５に入る。多面鏡３が回転すること
により。
光束の通過がフォトディテクタ５によりパルスとして得
られタイムインターバルカウンタ６で計測される。第３
図は２つのフォトディテクタ５からの出力をＡおよびＢ
として、タイムインターバルカウンタ６の計測するＡと
Ｂの時間差Δｔの変化をＣとして示している。ｔは１つ
の面の通過時間をあられし、その値のバラツキは多面鏡
３の回転速度むらおよび分割角度誤差に依存している。
られタイムインターバルカウンタ６で計測される。第３
図は２つのフォトディテクタ５からの出力をＡおよびＢ
として、タイムインターバルカウンタ６の計測するＡと
Ｂの時間差Δｔの変化をＣとして示している。ｔは１つ
の面の通過時間をあられし、その値のバラツキは多面鏡
３の回転速度むらおよび分割角度誤差に依存している。
Δｔのバラツキは多面鏡３の回転むらおよび分割角度誤
差に依存するが、予め正確に製作された基準多面鏡を使
用してΔｔｔ−ｔに比較して充分小さくなるように２つ
のフォトディテクタ５を配置（尚。
差に依存するが、予め正確に製作された基準多面鏡を使
用してΔｔｔ−ｔに比較して充分小さくなるように２つ
のフォトディテクタ５を配置（尚。
２つのフォトディテクタ５を多面鏡３を中心にして対称
配置する構成はΔｔをｔに比べて充分小さくする構成で
あるが、更に９例えば、第１図の破線で示すように多面
鏡の回転むらによって光束が移動するときは７へ）する
ことによって多面鏡３の回転むらによる影響を充分小さ
くできるので。
配置する構成はΔｔをｔに比べて充分小さくする構成で
あるが、更に９例えば、第１図の破線で示すように多面
鏡の回転むらによって光束が移動するときは７へ）する
ことによって多面鏡３の回転むらによる影響を充分小さ
くできるので。
調整後はΔｔを計測することによって多面鏡の分割角度
誤差をめることができる。
誤差をめることができる。
第２図は光源が２つで、光源からの光束が被測定対象で
ある多面鏡の隣接する２つの鏡面に入射し９反射して１
つのフォトディテクタに集束する場合を示している。光
を射出する半導体レーザ１があり、半導体レーザ１より
射出した発散光束を平行光束とするコリメート光学系２
がある。被測定対象である回転できる多面鏡３があり、
コリメート光学系２からの平行光束が多面鏡３の互いに
隣接する２つの鏡面に入射するようになっている。
ある多面鏡の隣接する２つの鏡面に入射し９反射して１
つのフォトディテクタに集束する場合を示している。光
を射出する半導体レーザ１があり、半導体レーザ１より
射出した発散光束を平行光束とするコリメート光学系２
がある。被測定対象である回転できる多面鏡３があり、
コリメート光学系２からの平行光束が多面鏡３の互いに
隣接する２つの鏡面に入射するようになっている。
２つの鏡面で反射された平行光束を集束するため集光学
系４がある、集束した光束を多面鏡３の回転により横切
らせるように設置されたフォトディテクタ５がある。多
面鏡の角度誤差を測定する操作は第１図における場合と
同様であって、半導体レーザ１より射出された発散光束
はコリメート光学レンズ２によって平行光束とされ回転
している被測定対象である多面鏡３の互いに隣接する２
つの鏡面より反射され１次に集束レンズ４により集束さ
れ、フォトディテクタ５に入る。多面鏡３が回転するこ
とにより、光束の通過がフォトディテクタ５により対応
するパルスとして得られる。フォトディテクタ５から出
力する２つのパルス間隔Δｔを測定することにより、多
面鏡の分割角度誤差がめられる。
系４がある、集束した光束を多面鏡３の回転により横切
らせるように設置されたフォトディテクタ５がある。多
面鏡の角度誤差を測定する操作は第１図における場合と
同様であって、半導体レーザ１より射出された発散光束
はコリメート光学レンズ２によって平行光束とされ回転
している被測定対象である多面鏡３の互いに隣接する２
つの鏡面より反射され１次に集束レンズ４により集束さ
れ、フォトディテクタ５に入る。多面鏡３が回転するこ
とにより、光束の通過がフォトディテクタ５により対応
するパルスとして得られる。フォトディテクタ５から出
力する２つのパルス間隔Δｔを測定することにより、多
面鏡の分割角度誤差がめられる。
（発明の効果）
以上説明した通り２本発明によるレーザプリンタ等に用
いる＆面鏡の分割角度誤差測定装置によれば、多面鏡を
回転しつつ、光源より光束を多面鏡の鏡面に入射し、そ
の反射光束をフォトディテクタで検出し１分割角度誤差
を時間差に変換し計測するようにしたため、低価格の装
置で、且つ短時間に多面鏡の分割角度誤差の測定ができ
た。
いる＆面鏡の分割角度誤差測定装置によれば、多面鏡を
回転しつつ、光源より光束を多面鏡の鏡面に入射し、そ
の反射光束をフォトディテクタで検出し１分割角度誤差
を時間差に変換し計測するようにしたため、低価格の装
置で、且つ短時間に多面鏡の分割角度誤差の測定ができ
た。
第１図は光源が１つでフォトディテクタが２つの場合の
実施例を示す説明図、第２図は光源が２つでのフォトデ
ィテクタが１つの場合の実施例を示す説明図、第３図は
タイムインターバルカウンタにおけるパルス説明図。 符号の説明 １・・・半導体レーザ。 ２・・・コリメート光学系。 ３・・・多面鏡。 ４・・・集束光学系。 ５・・・フォトディテクタ。 ６・・・タイムインターバルカウンタ。 ７・・・フォトディテクタ。 特許出願人 富士ゼロックス株式会社 第１図 窄 Ｚ２．７ 第２図 第３図
実施例を示す説明図、第２図は光源が２つでのフォトデ
ィテクタが１つの場合の実施例を示す説明図、第３図は
タイムインターバルカウンタにおけるパルス説明図。 符号の説明 １・・・半導体レーザ。 ２・・・コリメート光学系。 ３・・・多面鏡。 ４・・・集束光学系。 ５・・・フォトディテクタ。 ６・・・タイムインターバルカウンタ。 ７・・・フォトディテクタ。 特許出願人 富士ゼロックス株式会社 第１図 窄 Ｚ２．７ 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザプリンタ等に用いる多面鏡の分割角度誤差測定装
置において。 多面鏡を回転しつつ、光源から射出した光をコリメート
光学系により平行光束とし前記多面鏡の鏡面に入射させ
る手段と。 前記鏡面に入射し１反射された光束を集束光学系により
集束させる手段と。 その集束点に設けられた光束検出手段とを有することを
特徴とする多面鏡の分割角度誤差測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP970284A JPS60152928A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 多面鏡の分割角度誤差測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP970284A JPS60152928A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 多面鏡の分割角度誤差測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60152928A true JPS60152928A (ja) | 1985-08-12 |
Family
ID=11727562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP970284A Pending JPS60152928A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 多面鏡の分割角度誤差測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60152928A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0491208A2 (de) * | 1990-12-13 | 1992-06-24 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, den Stellungen von Bauteilen, insbesondere Radstellungen an Fahrzeugen |
| EP0495190A2 (de) * | 1991-01-16 | 1992-07-22 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, insbesondere von Radstellungen an Fahrzeugen in einer vertikalen Ebene |
| US7701564B2 (en) | 2005-05-18 | 2010-04-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System and method for angular measurement |
-
1984
- 1984-01-23 JP JP970284A patent/JPS60152928A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0491208A2 (de) * | 1990-12-13 | 1992-06-24 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, den Stellungen von Bauteilen, insbesondere Radstellungen an Fahrzeugen |
| EP0495190A2 (de) * | 1991-01-16 | 1992-07-22 | Hofmann Werkstatt-Technik Gmbh | Vorrichtung zur optischen Messung eines Winkels, insbesondere von Radstellungen an Fahrzeugen in einer vertikalen Ebene |
| US7701564B2 (en) | 2005-05-18 | 2010-04-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System and method for angular measurement |
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