JPS60152910A - 測定機のバランス装置 - Google Patents
測定機のバランス装置Info
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- JPS60152910A JPS60152910A JP988384A JP988384A JPS60152910A JP S60152910 A JPS60152910 A JP S60152910A JP 988384 A JP988384 A JP 988384A JP 988384 A JP988384 A JP 988384A JP S60152910 A JPS60152910 A JP S60152910A
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- slider
- piston rod
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0016—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to weight
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、三次元測定機等の測定機における8m定子の
操作力を軽減させるバランス装置に関するものである。
操作力を軽減させるバランス装置に関するものである。
[背景技術]
例えば、三次元測定機では、定盤の両側に支柱を介して
Y軸スライダ(水平ビーム)を前記定盤の前後方向(Y
軸方向)へ、Y軸スライタに沿ってX軸スライダを定盤
の左右方向(X軸方向)へ、X軸スライダにX軸スライ
ダを定盤の上下ブJ向(X軸方向)へ各々移動自在に設
け、これらのx、y、z軸方向への移動により、前記Z
軸スライダの下端に取付けられた測定子(プローブ)を
被測定物に順次接触させながら三次元方向へ移動させ、
その被測定物の寸法、形状等を測定するようにしている
。このような構造のものは、測定時、Z軸スライダの下
端を把持しながら移動させる際、Z軸スライダの重量が
操作上大きな障害となる。
Y軸スライダ(水平ビーム)を前記定盤の前後方向(Y
軸方向)へ、Y軸スライタに沿ってX軸スライダを定盤
の左右方向(X軸方向)へ、X軸スライダにX軸スライ
ダを定盤の上下ブJ向(X軸方向)へ各々移動自在に設
け、これらのx、y、z軸方向への移動により、前記Z
軸スライダの下端に取付けられた測定子(プローブ)を
被測定物に順次接触させながら三次元方向へ移動させ、
その被測定物の寸法、形状等を測定するようにしている
。このような構造のものは、測定時、Z軸スライダの下
端を把持しながら移動させる際、Z軸スライダの重量が
操作上大きな障害となる。
そのため、従来の測定機では、2輔スライタのに端にワ
イヤーの一端を連結し、このワイヤーの他端を°プーリ
を通して重錘に連結し、この重錘とZ軸スライダとの重
量を互いにバランスさせた、謂わゆるカウンタウェイト
方式を採用していた。
イヤーの一端を連結し、このワイヤーの他端を°プーリ
を通して重錘に連結し、この重錘とZ軸スライダとの重
量を互いにバランスさせた、謂わゆるカウンタウェイト
方式を採用していた。
しかしながら、このカウンタウェイト方式は、Z軸スラ
イダの重量とバランスする重錘の重量の他、プーリやカ
バー等の重量がスライダを介してY軸スライダに加わる
ため、そのY軸スライタの撓み等によって測定精度に悪
影響を及ぼす要因となっていた。そこで、この点の対策
として、構造体を大型化すれば、精度低下を防止できる
反面、各部材の重量が増大することによって高速測定が
期待できなくなる。
イダの重量とバランスする重錘の重量の他、プーリやカ
バー等の重量がスライダを介してY軸スライダに加わる
ため、そのY軸スライタの撓み等によって測定精度に悪
影響を及ぼす要因となっていた。そこで、この点の対策
として、構造体を大型化すれば、精度低下を防止できる
反面、各部材の重量が増大することによって高速測定が
期待できなくなる。
一方、上記カウンタウェイト方式の欠点を解決するもの
として、Z軸スライダとエアーシリンダとをロープ、或
いはリンク等を介して互いに連結し、Z軸スライダの重
量をエアーシリンダの空気圧によってバランスさせるよ
うにした、謂わゆるエアーシリンダ方式が開発された。
として、Z軸スライダとエアーシリンダとをロープ、或
いはリンク等を介して互いに連結し、Z軸スライダの重
量をエアーシリンダの空気圧によってバランスさせるよ
うにした、謂わゆるエアーシリンダ方式が開発された。
しかしながら、この方式でも、Z軸スライダとは別個に
シリンダを併設しているため、全体として大型化し、そ
の結果カバーおよび取付部材等の重量を考慮すると、全
体として重量の大幅な軽減はとても望めるものではなか
った。しかも、前記エアーシリンダやエアーシリンダと
Z軸スライダとの連結構造等の組立て精度が低くて各部
品間の整合性が高くないと各部に無理な力が加わり易く
、Z軸スライダを円滑に上下動させることができず、破
損を招く場合もあった。
シリンダを併設しているため、全体として大型化し、そ
の結果カバーおよび取付部材等の重量を考慮すると、全
体として重量の大幅な軽減はとても望めるものではなか
った。しかも、前記エアーシリンダやエアーシリンダと
Z軸スライダとの連結構造等の組立て精度が低くて各部
品間の整合性が高くないと各部に無理な力が加わり易く
、Z軸スライダを円滑に上下動させることができず、破
損を招く場合もあった。
また、三次元測定機のZ軸スライタに限らず、三次元測
定機以外の測定機のスライダの操作力を軽減させようと
するときにも同様の欠点を招くことがあった。
定機以外の測定機のスライダの操作力を軽減させようと
するときにも同様の欠点を招くことがあった。
[発明の目的]
本発明の目的は、このような従来の両方式の欠点を解決
し、小型、軽量化を図ることができ、しかも、高い組立
て精度を要求されることなくスライダを円滑に動かすこ
とのできる測定機のバランス装置を提供することにある
。
し、小型、軽量化を図ることができ、しかも、高い組立
て精度を要求されることなくスライダを円滑に動かすこ
とのできる測定機のバランス装置を提供することにある
。
[発明の構成]
そのため、本発明は、構造体に、下端に測定子を取付け
た中空なスライダを上下動自在に設け、このスライダの
内部に間接または直接にピストンを上下動自在に嵌挿し
、このピストンをピストンロッドの下端に連結するとと
もに、ピストンロッドの上端をピストンロッドの軸方向
と交差する方向に移動可能な移動体を介して前記構造体
に支持させ、且つ、ピストンロッドと移動体との相互間
、ピストンロッドとピストンとの相互間、およびピスト
ンとシリンダとの相互間のうちの少なくとも何れか1つ
の相互間を互いに回動可能にし。
た中空なスライダを上下動自在に設け、このスライダの
内部に間接または直接にピストンを上下動自在に嵌挿し
、このピストンをピストンロッドの下端に連結するとと
もに、ピストンロッドの上端をピストンロッドの軸方向
と交差する方向に移動可能な移動体を介して前記構造体
に支持させ、且つ、ピストンロッドと移動体との相互間
、ピストンロッドとピストンとの相互間、およびピスト
ンとシリンダとの相互間のうちの少なくとも何れか1つ
の相互間を互いに回動可能にし。
更に、前記スライダの上下動に伴なうピストンに加わる
圧力の変動を一定圧力以内に制御する圧力調整手段を設
けることにより全体として小型、軽量化を図り、しかも
、ピストンロッドがその軸方向に対して回動(傾斜)す
ることを許容して高い組立て精度を特に要求されること
のないようにして、前記目的を達成しようとするもので
ある。
圧力の変動を一定圧力以内に制御する圧力調整手段を設
けることにより全体として小型、軽量化を図り、しかも
、ピストンロッドがその軸方向に対して回動(傾斜)す
ることを許容して高い組立て精度を特に要求されること
のないようにして、前記目的を達成しようとするもので
ある。
[実施例の説明]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は第1実施例の三次元測定機の外観を示している
。同三次元測定機は、定盤lの両側に設けられた支柱2
A 、2Bを介してY軸スライダ(水平ビーム)3が前
記定盤lの前後方向(Y軸方向)へ、このY軸スライダ
3に沿ってX軸スライダ4が前記定盤lの左右方向(X
軸方向)へ、このX軸スライダ4に下端に測定子5を有
するスライダとしてのZ軸スライダ6が前記定盤lの上
下方向(Z軸方向)へ各々移動自在に設けられ、つまり
、これらの構造体を介して測定子5が三次元方向へ移動
自在に設けられている。また、測定子5が正次元方向へ
移動され、前記定盤lに載置された被測定物に当接され
ると、Y軸スライダ3のY軸方向における位置、X軸ス
ライダ4のX軸方向における位置およびZ軸スライダ6
のZ軸方向における位置が各々図示しない検出器によっ
て検出された後、表示器等に各々表示されるようになっ
ている。
。同三次元測定機は、定盤lの両側に設けられた支柱2
A 、2Bを介してY軸スライダ(水平ビーム)3が前
記定盤lの前後方向(Y軸方向)へ、このY軸スライダ
3に沿ってX軸スライダ4が前記定盤lの左右方向(X
軸方向)へ、このX軸スライダ4に下端に測定子5を有
するスライダとしてのZ軸スライダ6が前記定盤lの上
下方向(Z軸方向)へ各々移動自在に設けられ、つまり
、これらの構造体を介して測定子5が三次元方向へ移動
自在に設けられている。また、測定子5が正次元方向へ
移動され、前記定盤lに載置された被測定物に当接され
ると、Y軸スライダ3のY軸方向における位置、X軸ス
ライダ4のX軸方向における位置およびZ軸スライダ6
のZ軸方向における位置が各々図示しない検出器によっ
て検出された後、表示器等に各々表示されるようになっ
ている。
第2図は前記Z軸スライダ6の内部構造を拡大して不し
ている。回Z軸スライダ6は、前記X軸スライダ4の前
面上下位置に一体的に構成された保持枠iiに上下動自
在つまりZ軸方向に移動自在に保持され、また、Z軸ス
ライダ6はその中心軸方向へ向って円形の中空穴12を
有する角柱状の軸材より構成されている。スライダ6と
前記保持枠11との間には、第3図に示す如く、スライ
ダ6の4つの外側面に対して圧縮空気を噴出するエアパ
ッド14がポルト15を介して各々保持されている。ま
た、スライダ6には、その下端に前記測定子5を取付け
るためのホルダ16が設けられているとともに、中空穴
12の内部にシリンダ装置17が嵌挿されている。
ている。回Z軸スライダ6は、前記X軸スライダ4の前
面上下位置に一体的に構成された保持枠iiに上下動自
在つまりZ軸方向に移動自在に保持され、また、Z軸ス
ライダ6はその中心軸方向へ向って円形の中空穴12を
有する角柱状の軸材より構成されている。スライダ6と
前記保持枠11との間には、第3図に示す如く、スライ
ダ6の4つの外側面に対して圧縮空気を噴出するエアパ
ッド14がポルト15を介して各々保持されている。ま
た、スライダ6には、その下端に前記測定子5を取付け
るためのホルダ16が設けられているとともに、中空穴
12の内部にシリンダ装置17が嵌挿されている。
前記シリンダ装置17は、前記スライダ6の中空穴12
内に嵌挿され且つ連結盤18を介してスライダ6と一体
的に連結されたシリンダ19と、このシリンダ19の内
部に上下動(摺動)自在に嵌挿されたピストン21と、
前記シリンダ19の上端に被嵌されたシリンダヘッド2
0と、このシリンダヘッド20の中心を貫通し下端が前
記ピストン21に球面軸受22を介して相互に回動可能
に連結されたピストンロッド23と、から構成されてい
る。ここにおいて、ピストン21はスライダ6内に(シ
リンダ19を介して)間接に上下動自在に嵌挿されてい
ることとなる。また、球面軸受22は、ピストンロフト
23の下端が固定された球形ジャーナル部22Aと、こ
のジャーナル部22Aが回動自在に保持され[1つピス
トン21に11定された保持部22Bと、から構成され
ている。
内に嵌挿され且つ連結盤18を介してスライダ6と一体
的に連結されたシリンダ19と、このシリンダ19の内
部に上下動(摺動)自在に嵌挿されたピストン21と、
前記シリンダ19の上端に被嵌されたシリンダヘッド2
0と、このシリンダヘッド20の中心を貫通し下端が前
記ピストン21に球面軸受22を介して相互に回動可能
に連結されたピストンロッド23と、から構成されてい
る。ここにおいて、ピストン21はスライダ6内に(シ
リンダ19を介して)間接に上下動自在に嵌挿されてい
ることとなる。また、球面軸受22は、ピストンロフト
23の下端が固定された球形ジャーナル部22Aと、こ
のジャーナル部22Aが回動自在に保持され[1つピス
トン21に11定された保持部22Bと、から構成され
ている。
前記ピストンロッド23の4一端は、前記X軸スライダ
4に固定されたブラケット24の挿通穴25を通って」
:方へ突出yれている。ブラケット24の上方へ突出し
たピストンロッド23の上端は移動体26を介して構造
体であるブラケット24に支持されている。移動体26
はブラケット24の上端面上にスラストベアリングまた
はスラストエアベアリング等のベアリング軸受27を介
して水平方向、別言すれば、ピストンロッド23の軸方
向と交差(直交)する方向、更に別言すれば、XY平面
方向に移動自在に載置され、この移動体26には球面軸
受28を介してピストンロッド23の上端が相互に回動
可能に連結されている。なお、球面軸受28は、ピスト
ンロッド23を上端が固定された球形ジャーナル部28
Aと、このジャーナル部28Aが回動自在に保持され且
つ移動体26に固定された保持部28Bと、から構成さ
れている。また、ピストンロッド23の上端はその軸方
向と交差(直交)する方向(シリンダ19の径方向)に
変位可能とされているわけである。
4に固定されたブラケット24の挿通穴25を通って」
:方へ突出yれている。ブラケット24の上方へ突出し
たピストンロッド23の上端は移動体26を介して構造
体であるブラケット24に支持されている。移動体26
はブラケット24の上端面上にスラストベアリングまた
はスラストエアベアリング等のベアリング軸受27を介
して水平方向、別言すれば、ピストンロッド23の軸方
向と交差(直交)する方向、更に別言すれば、XY平面
方向に移動自在に載置され、この移動体26には球面軸
受28を介してピストンロッド23の上端が相互に回動
可能に連結されている。なお、球面軸受28は、ピスト
ンロッド23を上端が固定された球形ジャーナル部28
Aと、このジャーナル部28Aが回動自在に保持され且
つ移動体26に固定された保持部28Bと、から構成さ
れている。また、ピストンロッド23の上端はその軸方
向と交差(直交)する方向(シリンダ19の径方向)に
変位可能とされているわけである。
前記シリンダヘッド20には、給気孔31および排気孔
32が穿設され、これら孔31.32にパイプ33.3
4を介して前記シリンダ装M17の圧力、別言すればピ
ストン21に加わる圧力の変動を一定圧に保持する圧力
調整手段35が接続されている。この圧力調整手段35
には圧力源36から一定圧の空気が供給されるとともに
、圧力調整手段35からは前記エアパッド14に空気圧
が与えられるようになっている。また、スライダ6の例
えば上部側面には、スライダ6内の過剰空気を逃す漏出
口37が穿設されている。
32が穿設され、これら孔31.32にパイプ33.3
4を介して前記シリンダ装M17の圧力、別言すればピ
ストン21に加わる圧力の変動を一定圧に保持する圧力
調整手段35が接続されている。この圧力調整手段35
には圧力源36から一定圧の空気が供給されるとともに
、圧力調整手段35からは前記エアパッド14に空気圧
が与えられるようになっている。また、スライダ6の例
えば上部側面には、スライダ6内の過剰空気を逃す漏出
口37が穿設されている。
次に、本実施例の作用を説明する。
測定にあたっては、Z軸スライダ6の下端を手で持ち測
定子5を三次元方向へ移動させながら被測定物(図示せ
ず)の必要箇所に順次当接させる。すると、測定子5が
被測定物に当接したX。
定子5を三次元方向へ移動させながら被測定物(図示せ
ず)の必要箇所に順次当接させる。すると、測定子5が
被測定物に当接したX。
Y、Z軸方向へおける位置が図示しない検出器により各
々検出された後、表示器等に表示される。
々検出された後、表示器等に表示される。
いま、2軸スライダ6、ホルダ16、測定子5、シリン
ダ19およびシリンダヘッド2oの総重量とつり合う空
気圧が前記シリンダ19内へ供給されている状態におい
て、Z軸スライダ6を上昇させると、シリンダ19内の
容積が増加し、その内圧が低下し始め、また、バランス
状態から前記軸材13を下降させると、シリンダ19内
の容積が減少し、その内圧が上昇し始めるが、この内圧
は圧力調整手段35により設定圧に保持される。
ダ19およびシリンダヘッド2oの総重量とつり合う空
気圧が前記シリンダ19内へ供給されている状態におい
て、Z軸スライダ6を上昇させると、シリンダ19内の
容積が増加し、その内圧が低下し始め、また、バランス
状態から前記軸材13を下降させると、シリンダ19内
の容積が減少し、その内圧が上昇し始めるが、この内圧
は圧力調整手段35により設定圧に保持される。
このように、Z軸スライダ6を構成する各部材の重量が
空気圧によってバランスされているので、測定時にプロ
ーブ軸6を比較的軽い力で上下方向へ操作させることが
できる。
空気圧によってバランスされているので、測定時にプロ
ーブ軸6を比較的軽い力で上下方向へ操作させることが
できる。
このような本実施例によれば次のような効果がある。
Z軸スライダ6の重量をシリンダ装置17の空気圧によ
りバランスさせるようにしたので、従来のカウンタウェ
イト方式に較べ、軽量化することができ、従って測定精
度に悪影響を及ぼすこ/なく、高速化を図ることができ
る。また、シリンダ装置17をZ軸スライダ6の中空穴
12内に設けたので、全体として小型化することができ
、カバーおよび取付部材等の重量を考慮すれば、エアー
シリンダ方式と較べても軽量化することができる。
りバランスさせるようにしたので、従来のカウンタウェ
イト方式に較べ、軽量化することができ、従って測定精
度に悪影響を及ぼすこ/なく、高速化を図ることができ
る。また、シリンダ装置17をZ軸スライダ6の中空穴
12内に設けたので、全体として小型化することができ
、カバーおよび取付部材等の重量を考慮すれば、エアー
シリンダ方式と較べても軽量化することができる。
また、シリンダ装置17の空気圧によってバランスさせ
る方式なので、例えば測定項目に応して各種形状、重量
の測定子5がZ軸スライダ6に取付けられた場合であっ
ても、空気圧を調整することにより測定子5の重量変化
に対応させることができる。
る方式なので、例えば測定項目に応して各種形状、重量
の測定子5がZ軸スライダ6に取付けられた場合であっ
ても、空気圧を調整することにより測定子5の重量変化
に対応させることができる。
また、ピストンロッド23の上端が球面軸受28を介し
て移動体26に回動可能に連結され、移動体26はシリ
ンダ19の径方向、別言すれば、ピストンロッドト23
の軸方向と交差(直交)する方向に移動可能とされ、一
方、ピストンロフト23の下端は球面軸受22を介して
ピストン21に回動可能に連結されているため、ピスト
ンロフト23の軸方向に対する回動(傾斜)や或いはピ
ストンロフト23の軸方向と直交する方向の位置ずれ等
が許容されている。従って、例えば、シリンダ19の中
心軸線」;にピストンロッド23が極めて正確に配置さ
れなくとも、即ち、ピストン口。
て移動体26に回動可能に連結され、移動体26はシリ
ンダ19の径方向、別言すれば、ピストンロッドト23
の軸方向と交差(直交)する方向に移動可能とされ、一
方、ピストンロフト23の下端は球面軸受22を介して
ピストン21に回動可能に連結されているため、ピスト
ンロフト23の軸方向に対する回動(傾斜)や或いはピ
ストンロフト23の軸方向と直交する方向の位置ずれ等
が許容されている。従って、例えば、シリンダ19の中
心軸線」;にピストンロッド23が極めて正確に配置さ
れなくとも、即ち、ピストン口。
ト23の配置位置等に不整合が生じても、ピストンロッ
ド23の」−成端位置に無理な力が加わることなく、ピ
ストン21を極めて円滑に上下動されるという効果があ
る。また、そのため、組立てに際して特に高精度な組立
て精度を要求されることなく、Z軸スライタ6を円滑に
作動させることができる。
ド23の」−成端位置に無理な力が加わることなく、ピ
ストン21を極めて円滑に上下動されるという効果があ
る。また、そのため、組立てに際して特に高精度な組立
て精度を要求されることなく、Z軸スライタ6を円滑に
作動させることができる。
また、組立て後にあっても、ピストンロッド23に位置
ずれか生じても各部に無理な力が加わることがないため
、Z軸スライダ6を常に円滑に操作することができる。
ずれか生じても各部に無理な力が加わることがないため
、Z軸スライダ6を常に円滑に操作することができる。
次に、前記以外の実施例につき説明するが、前記実施例
と同−若しくは近似する部分は同一符号を用い説明を省
略若しくは簡略にする。
と同−若しくは近似する部分は同一符号を用い説明を省
略若しくは簡略にする。
第4図には第2実施例が示され、この第2実施例におい
てはピストンロッド23の下端はピストン21に回動不
能に(固定的に)取付けられている。また、第5図には
第3実施例が示され、この第3実施例ではピストンロッ
ド23の上端が移動体26に回動不能に(固定的に)取
付けられている。このような第2.3実施例ではピスト
ンロッド23とピストン21との相互間のみが、或いは
、ピストンロッド21と移動体26との相互間のみが、
夫々回動可能に連結されているものであるが、前記第1
実施例と略同様の作用、効果を奏するものである。
てはピストンロッド23の下端はピストン21に回動不
能に(固定的に)取付けられている。また、第5図には
第3実施例が示され、この第3実施例ではピストンロッ
ド23の上端が移動体26に回動不能に(固定的に)取
付けられている。このような第2.3実施例ではピスト
ンロッド23とピストン21との相互間のみが、或いは
、ピストンロッド21と移動体26との相互間のみが、
夫々回動可能に連結されているものであるが、前記第1
実施例と略同様の作用、効果を奏するものである。
また、第6図には第4実施例が示されている。
この第4実施例では、ピストン121が球形とされてお
り、従って、ピストン121はシリンダ19内において
回動可能に嵌挿され、これにより、ピストンロッド23
とピストン121とは互いに固定的に連結されるが、ピ
ストンロッド23の下端はシリンダ19内において回動
可能とされている。この第4実施例においても前記各実
施例と同様の作用効果を奏し、特にシリンダ19が細径
である場合に適する。
り、従って、ピストン121はシリンダ19内において
回動可能に嵌挿され、これにより、ピストンロッド23
とピストン121とは互いに固定的に連結されるが、ピ
ストンロッド23の下端はシリンダ19内において回動
可能とされている。この第4実施例においても前記各実
施例と同様の作用効果を奏し、特にシリンダ19が細径
である場合に適する。
また、第7図には第5実施例が示されている。
この第5実施例においては、前記第1〜4実施例と異な
り、Z軸スライタ6の内部に直接ピストン21が上下動
自在に嵌挿されている。この直接にピストン21が嵌挿
された第5実施例にあっては、前記第1〜4実施例と比
較して一層簡易な構造とすることができる。
り、Z軸スライタ6の内部に直接ピストン21が上下動
自在に嵌挿されている。この直接にピストン21が嵌挿
された第5実施例にあっては、前記第1〜4実施例と比
較して一層簡易な構造とすることができる。
なお、実施にあたり、ピストンロフト23は、通常のピ
ストンロッドより十分細径にし、且つ、可撓性を持たせ
るようにすればこのピストンロフト23自体においても
ピストンロフト23の配置状態の不整合性等が吸収され
るため、Z軸スライダ6を一層円滑に移動させることが
できる。また、前記圧力調整手段35は空気圧を利用す
るものの他、油圧を利用するものであってもよい。また
、前記各実施例では三次元測定機のZ軸スライダ6を対
象としたが、これに限らず、」―下動するスライダを有
するものであれば他の測定機についても適用することが
でき、また、手動により操作する場合に限らず予め定め
られた手順に従って自動的に操作する場合にも適用する
ことができる。
ストンロッドより十分細径にし、且つ、可撓性を持たせ
るようにすればこのピストンロフト23自体においても
ピストンロフト23の配置状態の不整合性等が吸収され
るため、Z軸スライダ6を一層円滑に移動させることが
できる。また、前記圧力調整手段35は空気圧を利用す
るものの他、油圧を利用するものであってもよい。また
、前記各実施例では三次元測定機のZ軸スライダ6を対
象としたが、これに限らず、」―下動するスライダを有
するものであれば他の測定機についても適用することが
でき、また、手動により操作する場合に限らず予め定め
られた手順に従って自動的に操作する場合にも適用する
ことができる。
[発明の効果]
上述のように本発明によれば、従来の両方式の欠点を解
決し、小型、軽量化を図ることができ、しかも、高い組
立て精度を要求されることなくスライダを円滑に動かす
角ことのできる測定機のバランス装置を提供することが
できる。
決し、小型、軽量化を図ることができ、しかも、高い組
立て精度を要求されることなくスライダを円滑に動かす
角ことのできる測定機のバランス装置を提供することが
できる。
第1図は本発明に係る測定機のバランス装置が適用され
る三次元測定機の全体構成を示す斜視図、第2図は前記
実施例の要部を拡大して示す断面図、第3図は第2図の
■−■線に従う矢視断面図、第4図〜7図は夫々第2〜
5実施例を示す断面図である。 4・・・構造体としてのX軸スライダ、6・・・スライ
ダとしてのZ軸スライタ、17・・・シリンダ装置、1
9・・・シリング、21.121・・・ピストン、22
.28・・・球面軸受、26・・・移動体、27・・・
ベアリング軸受、35・・・圧力調整手段。 代理人 弁理士 木下 実三 (ほか1名)第1図 第4 羅−゛ 第7目 22
る三次元測定機の全体構成を示す斜視図、第2図は前記
実施例の要部を拡大して示す断面図、第3図は第2図の
■−■線に従う矢視断面図、第4図〜7図は夫々第2〜
5実施例を示す断面図である。 4・・・構造体としてのX軸スライダ、6・・・スライ
ダとしてのZ軸スライタ、17・・・シリンダ装置、1
9・・・シリング、21.121・・・ピストン、22
.28・・・球面軸受、26・・・移動体、27・・・
ベアリング軸受、35・・・圧力調整手段。 代理人 弁理士 木下 実三 (ほか1名)第1図 第4 羅−゛ 第7目 22
Claims (1)
- (1)構造体に、下端に測定子を取付けた中空なスライ
ダを上下動自在に設け、このスライダの内部に間接また
は直接にピストンを上下動自在に嵌挿L、このピストン
をピストンロッドの下端に連結するとともに、ピストン
ロッドの上端をピストンロッドの軸方向と交差する方向
に移動可能な移動体を介して前記構造体に支持させ、且
つ、ピストンロッドと移動体との相互間、ピストンロッ
ドとピストンとの相互間、およびピストンとシリンダと
の相互間のうちの少なくとも何れか1つの相互間を互い
に回動可能にし、更に、前記スライダの上下動に伴なう
ピストンに加わる圧力の変動を一定圧力以内に制御する
圧力調整手段を設けたことを特徴とする測定機のバラン
ス装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP988384A JPS60152910A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 測定機のバランス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP988384A JPS60152910A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 測定機のバランス装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60152910A true JPS60152910A (ja) | 1985-08-12 |
Family
ID=11732547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP988384A Pending JPS60152910A (ja) | 1984-01-23 | 1984-01-23 | 測定機のバランス装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60152910A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0322740A2 (en) * | 1987-12-28 | 1989-07-05 | THE WARNER & SWASEY COMPANY | Coordinate measuring machine with a probe shaft counter balance system |
WO2008075170A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Hexagon Metrology S.P.A. | Co-ordinate measuring machine with a device for balancing the weight of a vertically mobile member |
DE102016201574A1 (de) * | 2016-02-02 | 2017-08-03 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Pinole, Verfahren zum Betreiben des Koordinatenmessgeräts und Verfahren zum Herstellen des Koordinatenmessgeräts |
-
1984
- 1984-01-23 JP JP988384A patent/JPS60152910A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0322740A2 (en) * | 1987-12-28 | 1989-07-05 | THE WARNER & SWASEY COMPANY | Coordinate measuring machine with a probe shaft counter balance system |
WO2008075170A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-26 | Hexagon Metrology S.P.A. | Co-ordinate measuring machine with a device for balancing the weight of a vertically mobile member |
US8186071B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-05-29 | Hexagon Metrology S.P.A. | Co-ordinate measuring machine with a device for balancing the weight of a vertically mobile member |
DE102016201574A1 (de) * | 2016-02-02 | 2017-08-03 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Pinole, Verfahren zum Betreiben des Koordinatenmessgeräts und Verfahren zum Herstellen des Koordinatenmessgeräts |
DE102016201574B4 (de) * | 2016-02-02 | 2020-12-10 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit einer Pinole, Verfahren zum Betreiben des Koordinatenmessgeräts und Verfahren zum Herstellen des Koordinatenmessgeräts |
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