JP4253403B2

JP4253403B2 - 球面測定装置

Info

Publication number: JP4253403B2
Application number: JP20995199A
Authority: JP
Inventors: 拓也赤堀
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1999-07-23
Filing date: 1999-07-23
Publication date: 2009-04-15
Anticipated expiration: 2019-07-23
Also published as: JP2001033348A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レンズ等の光学素子の球面形状を測定する球面測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レンズ等の球面の測定を行う従来の球面測定装置としては、特開平８−２３３５０５号公報に記載されている。図５はこの従来装置の概念図を示す。球欠リング１と測定子２とがそれぞれの軸心を一致させた状態でハウジング３に取り付けられており、これにより、球欠リング１及び測定子２が一体的となっている。球欠リング１は有底の円環状となっており、下端の開放部分がレンズ１８側に向くように配置されている。また、測定子２は球欠リング１に内部からハウジング３を貫通するように上方に延びている。ハウジング３の外周面には、横孔４が対向するように貫通している（図５では、一方の横孔４だけを示す。）。横孔４は軸受５が嵌合するものであり、その径が軸受５の外径と一致しており、軸受５をガタなく固定することができる。
【０００３】
ハウジング３の周囲には、Ｘダイ６が配置されている。Ｘダイ６はその骨格だけを線図で示すように、ハウジング３を囲む平面ロ字形となっている。Ｘダイ６の外周には、一対の横孔７，８がそれぞれ貫通するように形成されている。一対の横孔７はＹ軸方向で対向し、一対の横孔８はＸ軸方向で対向するように設けられている。
【０００４】
各横孔７には軸受５に挿入された軸９が嵌合しており、これにより、Ｘダイ６と軸９とは横孔７を介して一体となっている。軸９は軸受５に対して矢印Ｙａで示す方向に摺動自在となっている。また、Ｘダイ６は軸９を介して軸受５に対してＹｂ方向に揺動自在となっている。
【０００５】
一方、各横孔８には、軸受１３がそれぞれガタなく固定されている。それぞれの軸受１３には、軸１２が嵌合し、軸１２は軸受１３に対して矢印Ｘａ方向に摺動自在となっている。この軸１２はＹダイ１０に連結される。Ｙダイ１０はその骨格だけを線図で示すように、側面コ字形となっており、その両側の下端部分には軸１２が嵌合して軸１２が連結される横孔１１が形成されている。従って、Ｙダイ１０は軸１２と一体となっている。また、Ｘダイ６はＹダイ１０に対し軸１２を介して矢印Ｘｂ方向に揺動自在となっている。
【０００６】
Ｙダイ１０の上方には、骨格を線図で示す固定ダイ１６が配置されている。固定ダイ１６には、下方向に向けて複数のシャフト１５が植設されており、このシャフト１５がＹダイ１０に設けた軸受１５ａに嵌合し、これにより固定ダイ１６は上下方向に摺動自在となっている。なお、シャフト１５の外周には、ばね１７が巻回されている。
【０００７】
測定子２の上端部には、テーパ形状の嵌合部２ａが形成されており、この嵌合部１２ａが固定ダイ１６の中央に設けたテーパ形状の嵌合孔１６ａに係合している。嵌合部２ａ及び嵌合孔１６ａは球欠リング１及び測定子２の自重により、常時は係合状態となって相互に位置決めされるようになっている。
【０００８】
被測定物であるレンズ１８は球欠リング１の下方に配置され、このレンズ１８が上昇して球欠リング１及び測定子２に当接し、この当接によってレンズ１８の球面の測定が行われる。
【０００９】
このような装置では、レンズ１８が一定の圧力で球欠リング１の縁に圧接することにより、球欠リング１及び測定子２が計測と同時に上方に持ち上がり、ばね１７が縮んで固定ダイ１６の嵌合孔１６ａから測定子２の嵌合部２ａが外れる。これにより、球欠リング１及び測定子２の位置決めが解除される。球欠リング１の縁にレンズ１８の表面が片当たりしている場合、測定子２は軸受５及び軸受１３をそれぞれガイドとして、直交するＸ及びＹ方向にスライド移動及びその軸心回りに揺動する。このため、チルト機構を備えている球欠リング１がレンズ１８の球面に倣い、球欠リング１の内縁がレンズ１８の球面に線接触する。このとき、測定子２の先端部分がレンズ１８の球面に押されて上方に変位し、この変位量を測定子アンプ部（図示省略）が表示する。この変位量と球欠リング１の縁径とによってレンズ１８の球面の曲率半径を測定することができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の装置では、球欠リング１の揺動中心が軸９と軸１２の軸心が形成するＸＹ平面上であるため、曲率半径の小さいレンズや凸形状の曲率半径の大きいレンズの曲率中心位置に対しては、球欠リング１が上方で大きく離れた位置となる。このため、このようなレンズに対しては、球欠リング１はレンズ１８の球面に沿った揺動運動ができないものとなる。これにより、上述したようなレンズの球面に対しては、球欠リング１の内縁が倣わないことが発生し、測定値の再現性が悪くなり、曲率半径の小さなレンズや、凸形状の曲率半径の大きなレンズの測定には不向きである問題を有している。
【００１１】
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、曲率半径の小さいレンズや凸形状の曲率半径の大きいレンズを測定する際にも安定した球面測定を行うことのできる球面測定装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明は、測定子が光学素子に接触して光学素子の球面形状を測定する装置において、前記測定子と一体となっており、端面に前記光学素子の球面が圧接する球欠リングと、この球欠リングを保持し、前記測定子の軸心と一致した前記球欠リングの軸心Ａと交差する軸心Ｂを揺動中心として球欠リングを揺動すると共に、前記軸心Ｂの方向に球欠リングを移動させる第１揺動部材と、前記球欠リングの軸心Ａと交差し、且つ第１揺動部材の軸心Ｂと交差する軸心Ｃを揺動中心として球欠リングを揺動すると共に、前記軸心Ｃの方向に球欠リングを移動させる第２揺動部材と、前記第１揺動部材に保持された球欠リングを揺動可能状態と揺動停止状態とに切り換える切換手段と、前記光学素子が載置されると共に、前記軸心Ｂと軸心Ｃとの交点を含む平面上に光学素子の曲率中心が位置するように光学素子を移動させる移動手段と、を備えていることを特徴とする。
【００１３】
この発明では、球欠リングは軸心Ｂを揺動中心として揺動すると共に、軸心Ｃを揺動中心として揺動するため、球欠リングは軸心Ｂ及び軸心Ｃの交点を中心として揺動する。また、球欠リングは第１揺動部材及び第２揺動部材によって軸心Ｂ及び軸心Ｃの方向に移動可能となっている。これに加えて、移動手段が光学素子を移動させることにより、球欠リングの揺動運動の中心である軸心Ｂ及び軸心Ｃの交点と、光学素子の曲率中心とを一致させることができる。これにより、球欠リングの揺動中心が光学素子の曲率中心の高さと略同じ高さの平面上となるため、球欠リングが光学素子の球面に倣って移動することができる。従って、曲率半径の小さいレンズや凸形状の曲率半径の大きいレンズを測定する際にも安定した球面測定を行うことが可能となる。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１記載の発明であって、前記第１揺動部材に保持された球欠リングの端面と、前記軸心Ｂと軸心Ｃとの交点を含む平面との距離を相対的に変化させる距離変更手段を備えていることを特徴とする。
【００１５】
この発明では、距離変更手段が、球欠リングの端面と、その揺動中心である軸心Ｂと軸心Ｃとの交点を含む平面との距離を相対的に変化させるため、曲率半径の異なった光学素子であっても、そのまま測定に適用することができ、汎用性のある装置とすることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面を参照して説明する。なお、各図及び従来図で共通する要素には、同一の符号を付して対応させてある。
【００１７】
図１及び図２は本発明の概念図をそれぞれ示す。図１と図２との相違は、軸受５が、図１では一対が配置されるのに対し、図２では軸受５が単一となっている点である。この相違により、軸受５が取り付けられる第１揺動部材５１としてのＸダイやハウジング（いずれも図示省略）の形状が異なるものである。しかしながら、図１及び図２の作用は実質的に同様であるため、以下、図１に基づいて本発明の概念を説明する。
【００１８】
図１において、球欠リング１と測定子２とは一体的となっている。すなわち、球欠リング１はその軸心Ａが測定子２の軸心と一致した状態で測定子２と一体となっている。測定される光学素子としてのレンズ１８は凸レンズであり、その曲率中心１９がレンズ１８の下方に位置している。これらに加えて、第１揺動部材５１及び第２揺動部材５２が配置される。
【００１９】
球欠リング１は第１揺動部材５１に保持されている。第１揺動部材５１は骨格を線図で示すようにコ字形となっており、その両側の下端部に軸受５が取り付けられている。軸受５はＹ方向に沿って配置されると共に、軸９が嵌合されており、これにより軸受５を介して軸９に対してＹ方向に微小距離移動可能であると共に、軸９の軸心Ｂを中心に揺動可能となっている。従って、第１揺動部材５１は軸心Ｂを揺動中心として球欠リング１を揺動させると共に、軸心Ｂの方向に球欠リング１を移動させるように作用する。
【００２０】
第２揺動部材５２は骨格を線図で示すようにコ字形となっており、この第２揺動部材５１に軸１２が取り付けられている。軸１２はＸ方向に延びていると共に、軸受１３に挿入されている。この軸１２はＸ方向に微小移動可能となっている。従って、第２揺動部材５２は軸１２を介してＸ方向に移動可能であると共に、軸１２が回転することにより一体的に揺動するようになっている。
【００２１】
上述した軸受５は第２揺動部材５２の両端部に連結されており、この軸受５に第１揺動部材５１を介して連結されている球欠リング１は第２揺動部材５２にも連結される。従って、第２揺動部材５２の運動が球欠リング１にも伝達され、球欠リング１は第２揺動部材５２によってＸ方向に移動可能であると共に、揺動可能となっている。
【００２２】
この場合、第１揺動部材５１は球欠リング１の軸心Ａと直交状に交差する軸心Ｂを有しており、第１揺動部材５１の揺動はこの軸心Ｂを揺動中心として行われる。また、第２揺動部材５２は球欠リング１の軸心Ａ及び第１揺動部材５１の軸心Ｂと直交状に交差する軸心Ｃを有しており、第２揺動部材５２の揺動はこの軸心Ｂを揺動中心として行われる。
【００２３】
図示を省略するが、レンズ１８は移動手段に載置されており、移動手段の駆動によって上下方向に移動し、この移動によってレンズ１８の曲率中心１９も上下方向に移動する。この移動はレンズ１８の曲率中心１９が、第１揺動部材５１の軸心Ｂ及び第２揺動部材５２の軸心Ｃが交差する交点を含んだＸＹ平面上に位置するように行われる。これにより、軸心Ｂ及びＣが形成するＸＹ平面はレンズ１８の曲率中心と略同じ高さとなる。
【００２４】
このような構成では、球欠リング１はＸＹ方向に微小移動可能であり、しかも球欠リング１の揺動運動の中心は、レンズ１８の曲率中心１９の高さと略同じ高さのＸＹ平面上である。このため、球欠リング１の縁にレンズ１８が圧接した際の球欠リング１の運動は、レンズ１８の球面に略沿った動きとなる。これにより、球欠リング１はレンズ１８に倣い易くなり、球欠リング１の揺動運動を容易に行うことができる。従って、曲率半径の小さいレンズや凸形状の曲率半径の大きいレンズを測定する際にも安定した球面測定を行うことが可能となる。
【００２５】
なお、軸受５と軸９との関係及び軸受１３と軸１３との関係では、第１揺動部材５１及び第２揺動部材５２に対する固定を逆にしても良く、軸受と軸との関係は相対的に一方が他方に対して微小移動し、且つ揺動可能であれば良いものである。また、図２における第１揺動部材５１及び第２揺動部材５２はＬ字形となっているが、図１と同様に作用することができる。
【００２６】
（実施の形態１）
図３は本発明の実施の形態１を示す。球欠リング１は有底円環状となっており、その上部には環状凸部が設けられ、環状凸部の外周面に形成したねじをハウジング３にねじ込むことによりハウジング３に取り付けられる。球欠リング１には測定子２が固定される。測定子２はその軸心が球欠リング１の軸心Ａと一致するように固定されるものである。
【００２７】
測定子２の先端部は、レンズ１８の球面に当接することにより上下動し、この上下動によって、測定子２の先端部は球欠リング１の内縁に対して相対的に変位する。かかる測定子２の先端部の変位は、測定子２の上端に接続されている検出電線３９を介してアンプ（図示省略）に出力され、アンプに接続されたディスプレー（図示省略）が変位位置を表示する。
【００２８】
ハウジング３は水平方向に配置されており、その両側には２つのＸダイ６が固定される。２つのＸダイ６は球欠リング１の下端よりも、さらに下方向に垂直状に延びた形状となっており、ハウジング３に対してはボルト２１によって固定される。これらのハウジング３及び２つのＸダイ６は球欠リング１を保持する第１揺動部材を構成するものである。
【００２９】
２つのＸダイ６のそれぞれの下部には、軸受５が挿入されることによって固定されている。軸受５の内部には軸９が挿入されており、軸受５は軸９に対してＹ方向に微小移動可能となっている。また、軸受５は軸９の軸心ＢをＹｂ方向に揺動中心として揺動可能となっている。軸心Ｂは球欠リング１の軸心Ａに対して直交状に交差するように設けられ、これにより、ハウジング３及び２つのＸダイ６からなる第１揺動部材は、球欠リング１の軸心Ａと直交状に交差する方向に揺動可能となっている。従って、球欠リング１を保持する第１揺動部材は、球欠リング１の軸心Ａと直交状に交差する軸心Ｂを揺動中心として球欠リング１をＹｂ方向に揺動すると共に、軸心Ｂの方向に球欠リング１を微小移動させるように作用する。
【００３０】
軸９にはＹダイ１０が取り付けられる。Ｙダイ１０は水平方向に延びたコ字形となっており、その両端部に軸９が挿入された状態でボルト２２を螺合することにより軸９に取り付けられる。この場合、２つのＸダイ６はＹダイ１０の内部に位置するものである。Ｙダイ１０は第２揺動部材として機能するものである。
【００３１】
Ｙダイ１０の中央部分には、軸１２が固定状態で挿入されている。軸１２は軸受１３内に挿入されており、軸受１３に対してＸ方向に微小移動可能となっていると共に、軸１２の軸心Ｃを揺動中心としてＸｂ方向に揺動可能となっている。軸心Ｃは球欠リング１の軸心Ａ及び第１揺動部材の軸心Ｂに対して直交状に交差するように設けられるものである。これにより、Ｙダイ１０は球欠リング１の軸心Ａと交差し、且つ第１揺動部材の軸心Ｂと交差する軸心Ｃを揺動中心としてＸｂ方向に球欠リング１を揺動すると共に、軸心Ｃの方向に球欠リング１を移動させるように作用する。この場合、軸受１３はベース２５の支柱部２５ａに挿入され、ボルト２４を螺合させることにより、ベース２５の支柱部２５ａに固定される。
【００３２】
なお、軸１２の後端部には、軸１２が軸受１３から飛び出すことを防止するストッパボルト２３が設けられている。従って、ストッパボルト２３またはＹダイ１０の中央部分が当接する範囲で、Ｙダイ１０はベース２５の支柱部２５ａに対して微小摺動可能となっている。
【００３３】
測定されるレンズ１８は凸状の球面となっており、外周部分がレンズ台６に嵌合状態で挿入されることにより位置決めされる。レンズ台２６はＬ字形の移動台２７にねじ込み式によって固定されている。移動台２７はベース２５の支柱部２５ａ側面に上下方向に設けられたガイドレール２８に沿って上下動可能となっている。この移動台２７の上下動は、ベース２５上に設けられているシリンダ３０によって行われる。シリンダ３０はそのピストンロッド３０ａが自在継ぎ手などのジョイント２９を介して移動台２７下面に接続されており、シリンダ３０が駆動することにより上下動する。シリンダ３０はレンズ１８を上下方向に移動する移動手段として機能するものであり、レギュレータ（図示省略）により圧力調整が可能となっており、所定の力量でレンズ１８が球欠リング１のリング状の内縁に圧接できるように作用する。
【００３４】
測定子２の上方には、エアチャック３２が設けられている。エアチャック３２はＬ字形のブラケット板３３に取り付けられ、このブラケット板３３がベース２５の支柱部２５ａにねじで固定されることにより、ベース２５の支柱部２５ａに取り付けられている。エアチャック３２は測定子２の上部に延びる一対のチャック爪３１を有しており、一対のチャック爪３１によって測定子２を把持するようになっている。かかるエアチャック３２はチャック爪３１が測定子２を把持することによって測定子２を固定し、これにより球欠リング１を揺動停止状態とすると共に、チャック爪３１が測定子２の把持を解放することにより、球欠リング１を揺動可能状態とする。従って、エアチャック３２は球欠リング１を揺動可能状態と揺動停止状態とに切り換える切換手段となっている。
【００３５】
なお、上述したシリンダ３０の昇降及びエアチャック３２の開閉は、図示を省略した手動ボタンによって行うことができる。
【００３６】
この実施の形態において、軸９の軸心Ｂと軸１２の軸心Ｃとによって構成されるＸＹ平面の高さ（例えば、ベース２５の水平部２５ｂの上面からＸＹ平面までの高さ）は、レンズ１８の球面が球欠リング１のリング状の内縁に当接した際のレンズ１８の曲率中心の位置（即ち、ベース２５の平面部２５ｂの上面からレンズ１８の曲率中心までの高さ）となるように調整される。
【００３７】
この実施の形態では、手動ボタンによってエアチャック３２を閉じ、測定子２をチャック爪３１によって測定子２を把持することにより、球欠リング１の位置を概略上下方向の初期位置に固定する。そして、シリンダ３０のピストンロッド３０ａを下げた状態で、レンズ台２６に被測定物であるレンズ１８を嵌合させ、レンズ１８を位置決めする。手動ボタンにより、シリンダ３０を駆動してレンズ台２６を上昇させ、レンズ１８の球面を球欠リング１のリング状の内縁及び球欠リング１の中心部分の測定子２先端部に所定の圧力で圧接する。この圧接により、測定子２の先端部はレンズ１８の球面によって上昇する。
【００３８】
次に手動ボタンによりエアチャック３２を開状態にし、チャック爪３１による測定子２の把持を解除して球欠リング１、測定子２及びハウジング３を初期位置の固定状態から開放状態とする。これにより球欠リング１には、レンズ１８の球面に対して安定した位置に動こうとする力、即ちレンズ１８の球面に倣おうとする外力が作用し、測定子２の検出先端部の軸心上にレンズ１８の曲率中心が位置していない場合には、軸心上にレンズ１８の曲率中心が位置するように、一対のＸダイ６は軸受５の摺動によりＹ軸方向に微小移動し、Ｙダイ１０は軸１２の摺動によりＸ方向に微小移動する。また、球欠リング１は軸９の軸心Ｂと軸１２の軸心Ｃの交点、即ち、レンズ１８の曲率中心付近を中心にして微小量揺動する。
【００３９】
これにより、安定した位置である球欠リング１がレンズ１８の球面に倣った位置、即ち、測定子２の検出先端部の軸心Ａ上にレンズ１８の曲率中心が位置して状態で停止する。このときアンプに接続されているディスプレーの表示により、レンズ１８の球面の曲率半径（或いは曲率）を算出することができる。
【００４０】
以上によって、測定が終了した後は、手動ボタンによりエアチャック３２を閉状態として球欠リング１を初期位置に固定し、シリンダ３０によりレンズ台２６を下降させてレンズ１８を取り出す。
【００４１】
このような実施の形態によれば、倣い移動時に、レンズ１８の曲率中心付近を中心として球欠リング１が揺動するため、球欠リング１がレンズ１８の球面に無理なく倣うことができる。従って、曲率半径の小さいレンズや、凸形状の曲率半径の大きいレンズのような倣い難いレンズでも安定した測定が可能となり、測定の再現性が向上する。
【００４２】
（実施の形態２）
図４は実施の形態２を示す。この実施の形態は、基本的には実施の形態１と同様となっている。この実施の形態における一対のＸダイ６は磁性を帯びた素材が使用されている。一対のＸダイ６の間にハウジング３を水平方向に取り付けてボルト２１で固定するため、ボルト２１固定用の固定用孔３４がＸダイ６に形成されている。固定用孔３４はハウジング３の高さ位置を選択できるように、Ｘダイ６の高さ方向に沿って複数が形成されている。
【００４３】
この実施の形態における水平方向のハウジング３と、ハウジング３を取り付けるボルト２１と、下端部に軸受５を備えた一対のＸダイ６とからなる骨格構造はコ字形を伏せた形状となる。従って、コ字形状の水平部の上方側に、磁性を帯びた素材を一体的に突出した構成とみなすことができる。そして、このように突出した形状では、全体がＨ字形となり、Ｈ字形の水平部がハウジングとして機能する。
【００４４】
この実施の形態では、実施の形態１におけるチャック爪３１、エアチャック３２、ブラケット板３３に代えて、コ字形の取付板３５と、取付板３５の両端下面に取り付けた磁石３６と、取付板３５を上下動させて磁石３６をＸダイ６付近まで下降させるガイド付きシリンダ３７とが配置されるものである。なお、ガイド付きシリンダ３７の昇降作動は不図示の手動ボタンによって行うことができる。
【００４５】
このような実施の形態では、不図示の手動ボタンによってガイド付きシリンダ３７を駆動して磁石３６を下降させる。この下降により、磁石３６はＸダイの上面付近に位置するため、その磁力によってＸダイ６が引き寄せられ、球欠リング１が概略上下方向の初期位置に固定される。
【００４６】
曲率半径の異なるレンズを測定する際には、レンズ１８を固定するためのレンズ台２６を交換すると共に、Ｘダイ６にハウジング３を取り付けるためのボルト２１を外し、球欠リング１のリング状の内縁に新たなレンズの球面が当接したときに球欠リング１の揺動中心がレンズの曲率中心近傍になるような固定用孔３４にボルト２１を入れ直してハウジング３の高さを調整する。その他の操作方法及び作動は実施の形態１と同様である。
【００４７】
このような実施の形態では、ハウジング３やＸダイ６を曲率が異なるごとに変更する必要がなく、曲率の大きく異なるレンズでもハウジングの高さ調整といったわずかな段取りで対応でき、安定した測定が可能となる。
【００４８】
以上の説明から、本発明は以下の発明を包含するものである。
【００４９】
（１）光学素子の球面形状を測定する装置において、測定子と、この測定子と共通の軸心を有して一体化された球欠リングと、前記軸心に直交すると共に、それぞれが直交する２本の軸と、前記球欠リングを前記２本の軸のそれぞれの方向に微小移動させる移動手段と、前記球欠リングを前記２本の軸のそれぞれの回りに回動させる回動手段と、前記球欠リングに前記光学素子が圧接しないときに球欠リングを固定する固定手段とを備え、前記球欠リングの光学素子が圧接したときに前記２本の軸を含む平面上に光学素子の曲率中心が略位置するようになしたことを特徴とする球面測定装置。
【００５０】
この発明では、球欠リングの回動中心が光学素子の曲率中心の高さと略同じ高さの平面上となるため、球欠リングが光学素子の球面に倣って移動することができ、曲率半径の小さいレンズや凸形状の曲率半径の大きいレンズを測定する際にも安定した球面測定を行うことが可能となる。
【００５１】
（２）前記２本の軸を含む平面の位置を、前記球欠リングに対して相対的に変位させる変位手段を備えていることを特徴とする上記（１）項記載の球面測定装置。
【００５２】
この発明では、２本の軸を含め平面を変位させるため、曲率半径の異なった光学素子であっても、簡単な段取りで測定することができる。
【００５３】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、球欠リングが光学素子の球面に倣って移動することができるため、曲率半径の小さいレンズや凸形状の曲率半径の大きいレンズを測定する際にも安定した球面測定を行うことが可能となる。
【００５４】
請求項２の発明によれば、曲率半径の異なった光学素子であっても、簡単な段取りで測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の概念を説明する斜視図である。
【図２】本発明の概念を説明する別の斜視図である。
【図３】実施の形態１の斜視図である。
【図４】実施の形態２の斜視図である。
【図５】従来の球面測定装置の斜視図である。
【符号の説明】
１球欠リング
２測定子
５１３軸受
９１２軸
１８レンズ
５１第１揺動部材
５２第２揺動部材

Claims

測定子が光学素子に接触して光学素子の球面形状を測定する装置において、
前記測定子と一体となっており、端面に前記光学素子の球面が圧接する球欠リングと、
この球欠リングを保持し、前記測定子の軸心と一致した前記球欠リングの軸心Ａと交差する軸心Ｂを揺動中心として球欠リングを揺動すると共に、前記軸心Ｂの方向に球欠リングを移動させる第１揺動部材と、
前記球欠リングの軸心Ａと交差し、且つ第１揺動部材の軸心Ｂと交差する軸心Ｃを揺動中心として球欠リングを揺動すると共に、前記軸心Ｃの方向に球欠リングを移動させる第２揺動部材と、
前記第１揺動部材に保持された球欠リングを揺動可能状態と揺動停止状態とに切り換える切換手段と、
前記光学素子が載置されると共に、前記軸心Ｂと軸心Ｃとの交点を含む平面上に光学素子の曲率中心が位置するように光学素子を移動させる移動手段と、
を備えていることを特徴とする球面測定装置。
前記第１揺動部材に保持された球欠リングの端面と、前記軸心Ｂと軸心Ｃとの交点を含む平面との距離を相対的に変化させる距離変更手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の球面測定装置。