JPS60143425A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To provide a magnetic recording medium which is suitable for magnetic recording at a higher density by a helical scanning system using a rotary magnetic head and is free from rubbing flaws even if an alloy head is used. CONSTITUTION:A magnetic recording medium in which the fine particles consisting of a Co alloy contain >=0.5% and <=3% h.c.p (hexagonal closest-packing) metal except Co and the h.c.p metal precipitates on the surface of said fine particles coagulates hardly to the surface of a head thus making both of the head surface and the magnetic recording layer resistant to flawing. The fine particles 26 which are the crystal grown on a substrate 25 consist of a ferromagnetic metal 27 and a surface layer 28 consisting mainly of the h.c.p metal and the oxide of a ferromagnetic metallic element. The thin film is formed when the fine particles constituted in such a way gather. The Co alloy usable in this invention is Co-Fe, Co-Ni, Co-Cr, Co-Si, etc. including the case of Co alone and the h.c.p metal includes Zn, Cd, Ru, Re, Zr, Y, Mg, Be, etc.

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は高密度磁気記録再生用記録媒体に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a recording medium for high-density magnetic recording and reproduction.

［従来例の構成とその問題点］ 近年磁気記録は情報産業の中核の技術のひとつとして発
展を続（プ、記録密度の向上は目覚ましいものがある。[Conventional configurations and their problems] In recent years, magnetic recording has continued to develop as one of the core technologies of the information industry, and the improvement in recording density has been remarkable.

その中でも回転磁気ヘッドにより、音声、画像の記録再
生を行なう技術は最も高密度記録が進んでおり、更に磁
気ヘッドの開発、高密度磁気記録に原理的に適する強磁
性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の開発が両
輪として進められ、より高密度記録の実用化のための検
ｔ」が重ねられてきている。Among these, the technology for recording and reproducing audio and images using rotating magnetic heads is the most advanced in high-density recording.Furthermore, the development of magnetic heads and the use of ferromagnetic metal thin films, which are theoretically suitable for high-density magnetic recording, as magnetic recording layers. The development of magnetic recording media for high-density recording is proceeding in tandem, and tests are being carried out to put higher-density recording into practical use.

現状ではセンダストヘッドやアモルファスヘッド等の合
金ヘッドと、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記
録媒体との組み合わせが有望視されている。Currently, a combination of an alloy head such as a Sendust head or an amorphous head and a magnetic recording medium whose magnetic recording layer is a ferromagnetic metal thin film is seen as promising.

第１図は磁気記録を行なうためのヘッドとテープの関係
を模式的に示した図であり、第２図はテープ表面の拡大
断面図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing the relationship between a head and a tape for performing magnetic recording, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of the tape surface.

磁気記録媒体１は磁気記録層３と支持体４から成り、磁
気ヘッド２はギャップを有するコア５とコイル６とから
成ってｄ）す、磁気ヘッド２ど磁気記録媒体１とは相対
運動を行ない磁気記録層３を部分磁化し、記録トラック
７を形成する。The magnetic recording medium 1 consists of a magnetic recording layer 3 and a support 4, and the magnetic head 2 consists of a core 5 having a gap and a coil 6.d) The magnetic head 2 moves relative to the magnetic recording medium 1. The magnetic recording layer 3 is partially magnetized to form recording tracks 7.

現行のビデオテープレコーダでは、前記した相対運動の
速度は３〜５ｍ／ｓｅｃと極めて高速であり、支持体上
４に形成されている強磁性金属薄膜を構成する微粒子１
０の一部または全部が欠落１ノ、マクロ的にいわゆるキ
ズの発生が磁気記録に支障をきたず。In current video tape recorders, the speed of the above-mentioned relative motion is extremely high, 3 to 5 m/sec, and the fine particles 1 constituting the ferromagnetic metal thin film formed on the support 4
Some or all of the 0's are missing, and the so-called scratches occur from a macroscopic perspective, which interferes with magnetic recording.

前記問題に鑑み、微粒子１０を強磁性金属微粒子８と強
磁性金属の酸化物層９とから成る磁気記録層が提案され
、滑剤保護層との（ｊｌ用により、キズの発生頻度は大
幅に抑制できることが確認されたものの、使用環境によ
っては、特に高温、高湿環境では合金ヘッドとの凝着を
トリガーにして、磁気記録媒体側か磁気ヘッド側にキズ
が入り、著しく磁気記録性能を低下せしめることが問題
となっている。In view of the above problems, a magnetic recording layer consisting of fine ferromagnetic metal particles 8 and a ferromagnetic metal oxide layer 9 has been proposed, and by combining the fine particles 10 with a lubricant protective layer, the frequency of scratches can be significantly suppressed. However, depending on the usage environment, especially in high-temperature and high-humidity environments, adhesion with the alloy head may trigger scratches on either the magnetic recording medium side or the magnetic head side, significantly reducing magnetic recording performance. This has become a problem.

［発明の目的］ 本発明は回転磁気ヘッドを用いたヘリカル走査方式での
磁気記録の高密度化に適し、合金系ヘッドを用いてもス
リキズの発生しない磁気記録媒体を提供するものである
。[Object of the Invention] The present invention provides a magnetic recording medium that is suitable for high-density magnetic recording using a helical scanning method using a rotating magnetic head and does not cause scratches even when an alloy head is used.

［発明の構成］ 本発明の磁気記録媒体はＣＯ系合金から成る微粒子が、
ＣＯを除り０．５％以上３％以下のり、ｃ。[Structure of the Invention] The magnetic recording medium of the present invention has fine particles made of a CO-based alloy,
0.5% or more and 3% or less of glue, excluding CO, c.

ｐ、（六方最密バッキング）金属を含み且つそのり。p, (hexagonal close-packed backing) containing metal and so on.

ｃ、ｐｔＬ屈が前記微粒子の表面に析出していることを
特徴とする。c, ptL is precipitated on the surface of the fine particles.

本発明に用いることの出来るＧｏ系合金とは、ＣＯ単独
の場合を含み、Ｃｏ　−ｒｅ　、　ＣＯ−Ｎｒ　。Go-based alloys that can be used in the present invention include CO alone, Co-re, CO-Nr.

Ｃｏ　−Ｃｒ　、Ｃｏ−８ｉ等で、０．５％以上３％以
下含有させるり、ｃ、ｐ金属としてはＺｌｌ、Ｃｄ。Co-Cr, Co-8i, etc., containing 0.5% or more and 3% or less, and c and p metals such as Zll and Cd.

ＲＵ　、　Ｒｅ　、Ｚｒ　、　’１’、　Ｍｇ　、　Ｉ
３ｅ等がある。RU, Re, Zr, '1', Mg, I
There are 3e etc.

表面に析出している状態は、例えばオージェ電子分光で
調べることができる。第３図は後述する本発明の実施例
１でＭ（＋を３％含む場合のオージェ電子分光による元
素の深さ方向分布であるが、この場合、表面から約５０
人にＭｇ元素が検出されており、本明細書において「析
出している」とはこのように表面に高濃度に元素が存在
している状態をいうものとする。The state of precipitation on the surface can be examined, for example, by Auger electron spectroscopy. FIG. 3 shows the depth distribution of elements by Auger electron spectroscopy in Example 1 of the present invention, which will be described later, when 3% of M (+) is included.
Mg element has been detected in humans, and in this specification, "precipitated" refers to a state in which the element is present at a high concentration on the surface.

これらのり、ｃ、ｐ金属の元素のいずれであっても表面
に析出していることにより、ヘッド表面との凝着が起こ
りにくくなるため、ヘッド表面にも、磁気記録層のいず
れにもキズが入らなくなる。Any of these glue, C, and P metal elements precipitates on the surface, making it difficult for them to adhere to the head surface, thereby preventing scratches on either the head surface or the magnetic recording layer. It won't come in.

この作用効果を顕著にするには０．５％以上の１１゜ｃ
　、　ｐ、金属の含有量が必要であるが、これらの元・
素はいずれも磁性を希釈する元素であるから３％以上含
むと、磁気記録層の飽和磁束密度（Ｓｓ　）が著しく低
下する。これは、３％以上になると表面析出以外の元素
がＣｏと合金化した状態になり、Ｂｓが下がるものと考
えられる。In order to make this action and effect noticeable, 11°C of 0.5% or more is required.
, p, metal content is required, but these elements and
All of these elements dilute magnetism, so if they are contained in an amount of 3% or more, the saturation magnetic flux density (Ss) of the magnetic recording layer will drop significantly. This is considered to be because when the content exceeds 3%, elements other than those precipitated on the surface become alloyed with Co, resulting in a decrease in Bs.

本発明の磁気記録層の構成微粒子は、部分酸化している
状態であっても同様にｈ　、　ｃ　、　ｐ金属の存在は
キズの防止に有効である。Even when the fine particles constituting the magnetic recording layer of the present invention are in a partially oxidized state, the presence of h, c, and p metals is effective in preventing scratches.

なお本発明と従来用られる構成とを明確に区別するため
に更に言うならば、例えばＣｏ、Ｎｉ−Ｍ（＋合金でＭ
（］を１１０％００７０％、Ｎｉ２Ｏ％）含有したとし
てもＭｇが均一に分散した状態では、磁気ヘッド表面と
Ｎｉが凝着を起こしてキズが発生するが、本発明では、
Ｎ１よりＭｇが支配的に表面元素どして磁気ヘッド表面
と相互作用することになり凝着が起こらないので、公知
の合金系薄膜から成る磁気記録層とは全く異質のもので
ある。In order to clearly distinguish between the present invention and conventionally used configurations, for example, Co, Ni-M (+ alloy with M
Even if it contains (110%0070%, Ni2O%), if Mg is uniformly dispersed, the magnetic head surface and Ni will adhere and cause scratches, but in the present invention,
Since Mg is more dominant than N1 as a surface element and interacts with the surface of the magnetic head, no adhesion occurs, so the magnetic recording layer is completely different from known magnetic recording layers made of alloy-based thin films.

［実施例の説明］ 以下代表的な実施例について説明するが、実施例で述べ
られない他の構成についても本発明の要旨とするところ
を逸■；２シない範囲で実施できるのは勿論である。[Description of Examples] Typical examples will be described below, but it goes without saying that other configurations not described in the examples can also be implemented within the scope of the present invention. be.

第４図は本発明の磁気記録媒体を製造する巻取蒸着機の
主要部分の構成図である。FIG. 4 is a block diagram of the main parts of a winding vapor deposition machine for producing the magnetic recording medium of the present invention.

第４図で基板１１は、送り出し軸１２がらフリーローラ
ー１３を通って蒸着キャン１４に沿って移動し、フリー
ローラー１５を通って巻取り軸１Ｇによって巻取られる
。In FIG. 4, the substrate 11 moves along the deposition can 14 from the feed shaft 12 through the free roller 13, passes through the free roller 15, and is wound up by the winding shaft 1G.

一方、蒸発源容器１７にて保持された強磁性金属蒸発材
料１８は、図示していない加熱手段、例えば電子衝撃加
熱により蒸気流１９を形成し、蒸着キャン１４で保持し
た基板１１の表面に遮蔽板２ｏにより限定された角度成
分で蒸着され、薄膜が形成される。On the other hand, the ferromagnetic metal evaporation material 18 held in the evaporation source container 17 forms a vapor flow 19 by a heating means (not shown), for example, electron impact heating, and shields it on the surface of the substrate 11 held in the evaporation can 14. Vapor deposition is performed with a limited angular component by the plate 2o, and a thin film is formed.

本実施例では例えばＺｎ等のｈ　、　、ｃ　、　ｐ金属
の前記薄膜への添加は一例としてイオン化蒸着によって
行なわれる。ｈ、ｃ、ｐ金属はイオン銃（例えばデュオ
プラズマトロン型のイオン銃）２１によりイオンビーム
２２として照射され、電子光学系の設計により、蒸気流
１９と同時に薄膜形成にあずかる。In this embodiment, the addition of h, , c, p metals such as Zn to the thin film is carried out, for example, by ionized vapor deposition. The h, c, and p metals are irradiated as an ion beam 22 by an ion gun (for example, a duoplasmatron type ion gun) 21, and participate in the formation of a thin film simultaneously with the vapor flow 19 due to the design of the electron optical system.

以上述べた工程は、真空排気系２２で連続排気された真
空容器２３内で行なわれるが、必要に応じて外部よりガ
スを導入することもできる。The steps described above are performed in the vacuum container 23 which is continuously evacuated by the vacuum evacuation system 22, but gas may be introduced from the outside if necessary.

第５図は、本発明の磁気記録媒体の構成要素である微粒
子１個の拡大役式図である。FIG. 5 is an enlarged view of one fine particle which is a component of the magnetic recording medium of the present invention.

基板２５上に成長した結晶である微粒子２６は、強磁性
金属２７と、主として１１．　ｃ　、　ｐ金属と強磁性
金属元素酸化物とからなる表面層２８から成るもので、
この層の厚みは、３０人から２００人、好ましくは５０
人から１５０人である。このような構成の微粒子が集っ
て薄膜が形成される。The fine particles 26, which are crystals grown on the substrate 25, are composed of a ferromagnetic metal 27 and mainly 11. c, consisting of a surface layer 28 consisting of a p metal and a ferromagnetic metal element oxide,
The thickness of this layer is from 30 to 200, preferably 50
People range from 150 people. Fine particles having such a configuration gather to form a thin film.

この薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体のうち、Ｃｏ
　−Ｎｉ−Ｍｇ系、Ｃｏ　−Ｃｒ−Ｒｕ系についての実
施例を以下に説明する。Among magnetic recording media that use this thin film as a magnetic recording layer, Co
-Ni-Mg system and Co-Cr-Ru system examples will be described below.

［実施例１コ 厚み７．５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
に第４図の装置を用いてＧｏ　−Ｎｉ　−ＭＱ系の蒸着
を行なった。[Example 1] A Go-Ni-MQ system was deposited on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 7.5 μm using the apparatus shown in FIG.

蒸着キャン１４の直径は５０ｃｍで、表面温瓜は１０℃
である。蒸発源容器１７は蒸着キャン１４の直下３０Ｃ
ｍに配置した。イオン銃２１は蒸着キャン１４の中心か
ら１２５ＣＩ１１で、イオンビームを偏面なしで基板に
照射した場合に基板上の照射位置が、蒸気流の入射角が
４５°になる位置に対応するよう配設した。蒸気流の最
小入射角は３０°で、真空痕は外部Ｊ：り酸素を導入し
て７Ｘ１０−５丁ｏｒｒで保持した。The diameter of the vapor deposition can 14 is 50 cm, and the surface temperature is 10°C.
It is. The evaporation source container 17 is located 30C directly below the evaporation can 14
It was placed at m. The ion gun 21 is arranged at 125 CI 11 from the center of the deposition can 14 so that when the ion beam is irradiated onto the substrate without deflection, the irradiation position on the substrate corresponds to the position where the incident angle of the vapor flow is 45°. did. The minimum angle of incidence of the vapor flow was 30°, and the vacuum trace was maintained at 7×10 −5 orr by introducing external oxygen.

蒸発源はＣＯ〜Ｎ１（Ｃｏ８０％、Ｎｉ２Ｏ％）を電子
ビームで加熱する方式のものを用いた。The evaporation source used was one in which CO to N1 (Co80%, Ni2O%) was heated with an electron beam.

第１表の３種類のテープを作成し、それらを回転ヘリカ
ルスキャン方式のビデオテープレコーダを用い、スチル
状態で磁気ヘッド、テープのいずれかまたは両方にキズ
の発生するまでの時間を調べた。６０分経過してもキズ
の発生のない場合は６０分で中止した。Three types of tapes shown in Table 1 were prepared, and using a rotating helical scan type video tape recorder, the time required for scratches to occur on either the magnetic head or the tape or both was examined in a still state. If no scratches were observed after 60 minutes, the process was stopped after 60 minutes.

酸化層厚み及びり、ｃ、ｐ金属元素の高濃度析出居厚み
はオージェ電子分光法で調べた。The thickness of the oxide layer and the thickness of the precipitates with high concentrations of c and p metal elements were investigated by Auger electron spectroscopy.

表中、比較例は、Ｍｇをｃｏ−Ｎ’ｉの蒸発源に混入さ
せて作成したもので、Ｍｇがほぼ均一に微粒子内に分布
しているものである。In the table, the comparative example was prepared by mixing Mg into the co-N'i evaporation source, and Mg was almost uniformly distributed within the fine particles.

第１表 ＊１　スチル竹性は４０′Ｃ柑ヌ９謬反り０％（ｑ）眼
（Ｏ◇。Table 1 *1 Still bamboo quality is 40'C, 9 bends, 0% (q) eyes (O◇).

第１表より本発明品の磁気記録媒体は、センダストヘッ
ド、アモルファスヘッドのいずれの合金ヘッドともに、
スチル寿命が６０分以上で、耐久性が優れていることが
わかる。From Table 1, the magnetic recording medium of the present invention has the following properties for both the Sendust head and the amorphous head:
It can be seen that the still life is over 60 minutes, indicating excellent durability.

また磁気特性についても、角形比が良いことと、保持力
も大きく、高密度記録用として良好な特性を有している
のも特徴である。Also, regarding magnetic properties, it has a good squareness ratio and a large coercive force, making it suitable for high-density recording.

［実施例２］ 第４図の装置を用いて、厚み８μｍの芳香族ポリアミド
フィルム上に垂直磁化可能なｃｏ−Ｑｒ−Ｒｕ膜を形成
した。[Example 2] Using the apparatus shown in FIG. 4, a perpendicularly magnetizable co-Qr-Ru film was formed on an aromatic polyamide film having a thickness of 8 μm.

第４図で示す遮蔽板２０を改造し、蒸発源を２元蒸発源
に改造して実施した。The experiment was carried out by modifying the shielding plate 20 shown in FIG. 4 and modifying the evaporation source into a binary evaporation source.

遮蔽板は蒸着キャン１４の中心から下した垂線をはさん
で対称に配置し、基板１１の移動方向の幅が４．５ｃｍ
のスリットを有するものにした。蒸発源はＣＯとＯｒを
同じく前記垂線をはさんで対称に配置し、それぞれの蒸
発源の中心間の距離が１８ｃｍで、蒸着キャン中心から
前記蒸発源中心までの距離は６３０ｍとした。The shielding plates are arranged symmetrically across a perpendicular line drawn from the center of the deposition can 14, and have a width of 4.5 cm in the direction of movement of the substrate 11.
slit. The evaporation sources were CO and Or arranged symmetrically across the perpendicular line, the distance between the centers of each evaporation source was 18 cm, and the distance from the center of the evaporation can to the center of the evaporation source was 630 m.

なおＲｕイオンを照射するためのイオン銃の位置は実施
例１と同位置とし、蒸着キャンの表面温度は１５０℃と
した。蒸着時の真空度は１．５ｘｌＯ−６Ｔ　ｏｒｒで
あった。The position of the ion gun for irradiating Ru ions was the same as in Example 1, and the surface temperature of the deposition can was 150°C. The degree of vacuum during vapor deposition was 1.5xlO-6T orr.

得られた磁気テープの特性及び評価結果を第２表に示し
た。Table 2 shows the characteristics and evaluation results of the obtained magnetic tape.

なお比較例は、ＣＯ蒸発源にＲＬＩを混ビて同時に蒸発
させた場合である。The comparative example is a case in which RLI is mixed with a CO evaporation source and evaporated at the same time.

第２表 ＊１　スヂル特性は４０℃相対湿度９０％での値である
。Table 2 *1 Sujiru characteristics are values at 40°C and 90% relative humidity.

第２表より明らかなように、本発明品の磁気記録媒体は
、合金ヘッドを用いてもキズが発生しないためスチル寿
命も６０分以上を確保できる。As is clear from Table 2, the magnetic recording medium of the present invention does not cause scratches even when an alloy head is used, so that a still life of 60 minutes or more can be ensured.

また磁気特性をみても本発明品の方が保磁力が大きい。Also, in terms of magnetic properties, the product of the present invention has a larger coercive force.

これはＣ軸分散が小さいことからもわかるように結晶の
配向性が良いためで、高密度記録を推し進める上で重要
である。This is because the crystal orientation is good, as can be seen from the small C-axis dispersion, which is important in promoting high-density recording.

本発明の磁気記録媒体を得る製法を用いてり。The manufacturing method for obtaining the magnetic recording medium of the present invention is used.

Ｃ６ｐ金属でない金属を添加する試みについて検問した
。We inquired about attempts to add metals other than C6p metals.

ｂ、ｃ、ｃ　（体心立方格子）金属の代表としてＶを０
．５％〜３％添加したがメチル寿命の改善はみられなか
った。b, c, c (body-centered cubic lattice) V is 0 as a representative of metals.
．． Although 5% to 3% was added, no improvement in methyl lifespan was observed.

［、Ｃ０Ｃ（面心立方格子）金属の代表として、Ａ、ｕ
　＠　０．３％〜１．２％添加したが同様にメチル寿命
の改善はみられなかった。[, A, u as a representative of C0C (face-centered cubic lattice) metals
Although 0.3% to 1.2% of methyl was added, no improvement in methyl lifespan was observed.

以上の結果より本発明の作用効果は、高濃度析出層の構
成金属がり、ｃ、ｐ金属であることからくることを験証
できたことになる。From the above results, it has been demonstrated that the effects of the present invention come from the fact that the highly concentrated precipitated layer is composed of c, p metals.

［発明の効果］ 高密度記録を達成するために、合金系磁気ヘッドと、強
磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体とを回転
ヘリカル走査方式にて組み合わせた時に発生するキズの
原因となる凝着を防止するために、ＣＯ系合金から成る
微粒子を構成要素とする強磁性金属薄膜を磁気記録層と
する磁気記録媒体を、前記微粒子中に０．５％から３％
までのＣＯを除（ｈ、ｃ、ｐ金属を添加し且つその１１
゜Ｃ８ｐ金属が微粒子の表面に析出した状態に構成する
ことで、４０’Ｃ９０％ＲＨの環境でスヂル状態で用い
ても、アモルファスヘッド、センダストヘッド、磁気記
録媒体のいずれの表面にも傷の発生はみられず、優れた
耐久性を確保した高密Ｖ磁気記録再生用媒体を得ること
ができる。[Effect of the invention] In order to achieve high-density recording, we have solved the cause of scratches that occur when an alloy magnetic head and a magnetic recording medium whose magnetic recording layer is a ferromagnetic metal thin film are combined in a rotating helical scanning system. In order to prevent adhesion, a magnetic recording medium whose magnetic recording layer is a ferromagnetic metal thin film composed of fine particles made of a CO-based alloy is added in an amount of 0.5% to 3% in the fine particles.
Removing CO up to (adding h, c, p metals and adding 11
By configuring the C8p metal to be precipitated on the surface of the fine particles, scratches will not occur on the surface of any amorphous head, sendust head, or magnetic recording medium even when used in a 40'C90%RH environment in a still state. Therefore, a high-density V magnetic recording and reproducing medium with excellent durability can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は、回転ヘリカル走査方式での磁気ヘッドと磁気
記録媒体との相対関係を示寸模式図であり、第２図は、
磁気記録媒体の表面拡大断面図である。 第３図は、本発明の磁気記録媒体のオージェ電子分光法
による解析結果の一例で、表面にＭｇが析出している状
態を示す図である。 第４図は本発明の磁気記録媒体を製造する蒸着装置の一
実施例の要部構成図であり、第５図は本発明の磁気記録
媒体を構成する微粒子１個の拡大模式図である。。 １・・・磁気記録媒体　２・・・磁気ヘッド　３・・・
磁気記録層　１１・・・基板　１４・・・蒸着キャン　
１９・・・蒸気流２１・・・イオン銃　２２・・・イオ
ンビーム　２５・・・基板２６・・・微粒子　２７・・
・強磁性金属　２８・・・表面層特許出願人　松下電器
産業株式会ネ１ 第１　口 蹄２Ｉ」 第３図 系２　（入） 第６図FIG. 1 is a schematic diagram showing the relative relationship between a magnetic head and a magnetic recording medium in a rotating helical scanning system, and FIG.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the surface of a magnetic recording medium. FIG. 3 is an example of the analysis result of the magnetic recording medium of the present invention by Auger electron spectroscopy, and is a diagram showing a state in which Mg is precipitated on the surface. FIG. 4 is a block diagram of essential parts of an embodiment of a vapor deposition apparatus for manufacturing the magnetic recording medium of the present invention, and FIG. 5 is an enlarged schematic diagram of one fine particle constituting the magnetic recording medium of the present invention. . 1... Magnetic recording medium 2... Magnetic head 3...
Magnetic recording layer 11... Substrate 14... Vapor deposition can
19... Vapor flow 21... Ion gun 22... Ion beam 25... Substrate 26... Fine particles 27...
・Ferromagnetic metal 28...Surface layer patent applicant Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. No. 1 Foot-and-hoof 2I" Figure 3 Series 2 (Included) Figure 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】 ＣＯ系合金から成る微粒子を構成要素とする強磁性金属
薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体であって、前記微
粒子が０．５％以上３％以下のＣ。 を除＜ｈ、ｃ、ｐ金属を含み且つそのり、ｃ、ｐ金属が
微粒子の表面に析出していることを特徴とする磁気記録
媒体。[Scope of Claims] A magnetic recording medium whose magnetic recording layer is a ferromagnetic metal thin film whose constituent elements are fine particles made of a CO-based alloy, wherein the fine particles have a carbon content of 0.5% or more and 3% or less. A magnetic recording medium characterized in that it contains h, c, and p metals, and the c and p metals are precipitated on the surfaces of fine particles.