JPS6014203A - カラ−フイルタ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、カラーフィルターに関する詳しくは、カラー
用固体撮像素子に塔載する色分解カラーフィルターに関
する。

カラーフィルターの塔載方法には大別して次の一つがあ
げられる。

■　例えば、シリコンウェーハー等の上に光検知部等を
設けてなる固体撮像素子上に直接色分解有機カラーフィ
ルターを製造するもの（以下「直付型」と云う）。

■　固体撮像素子と色分解有機カラーフィルターを夫々
個別に製造しておき、両者を位鰺合わせしつつ、適当な
接着剤等で貼合せるもの（以下「貼合せ型」と云う）Ｏ 本発明は量産性に優れていると考えられる直付型カラー
フィルターに特に有用である。

直付型カラーフィルターを製造する場合、通常、固体撮
像素子の表面を平坦化し、ひずみのないカラーフィルタ
ーを得るためにポリマー層（以後「平坦化」層と呼ぶ）
を塗布する。その後その上に被染色層を形成するための
感光性物質層をもうけ、しかる後に、 ■　被染色層上にパターニングしたレジストを設け、露
出している被染色層の部分を染色して染色層を形成後レ
ジストを剥離し、その後に同様にして次の染色層を形成
する。（単一の被染色層を複数の染色部分に染め分ける
方法。） ■　被染色層を所定のパターンに露光し、現像　３− しだ後染色して染色層を形成し、次いで、透明な耐染色
性絶縁層を被榎後、その上に同様にして次の染色層を形
成する。

上記■の方法は、各染色部分の境界における色のにじみ
等の問題があり、一般には■の方法が広く行われている
。

上記■の方法で得られるカラーフィルターにおいては、
耐染色性絶縁層の選択が重要である。

耐染色性絶縁層は、第２色目以降の染色の際に、既に染
色された第１色目の染色層の耐染色層としての役割と、
出来上ったカラーフィルターの染色層間の経時的な色の
にじみを防止するという重要な役割を持っている。また
、耐染色性絶縁層は、基本的に、耐染色性、基板及び染
色層との接着性、無色透明性、耐現像性、塗膜性が良好
であることが必要とされる。

しかしながら、これらの性質のいずれをも満足するよう
々ものの選択は難しい。すなわち、例えば、被染色層と
しては、通常、ゼラチン、カゼイン、グリユー、ポリビ
ニルアルコール等　４− と重クロム酸塩の混合物といった水溶性の感光性物質が
使用され、また、染色は水溶性染料が使用される。従っ
て、耐染色性絶縁層としては、耐染色１イ１゛の観点か
らは親油性の高いものが要求されるが、染色層との接着
性の観点からは親水性の高いものが要求されるといった
相矛盾した性質が要求されるからである。

さらに直付型のカラーフィルターの場合、カラー用固体
撮像素子に直接結合しているものであるから、カラー用
固体撮像素子から電気信号を取り出すためには、耐染色
性絶縁層の一部を取除き、所謂ボンディング・パッド部
等を形成しなければならない。このため直付形のカラー
フィルターの耐染色性絶縁層としては感光性樹脂を用い
所望パターンに露光し、現像することによってボンディ
ング・パッド部等を形成している。しかｊ〜ながら、こ
の感光性樹脂を用いて耐染色性絶縁層を形成する場合、
加工するだめの露光光源として経済性、操作性等の点か
ら可視光線、近紫外光線を使用しうる感光性樹脂を用い
ると、可視光線、近紫外光線を吸収することとなるので
、無色透明で、可視光線、近紫外光線を出来る限如完全
に透過しなければならないと云う耐染色性絶縁層本来の
役を果たさなくなると云う欠点を生起する。このため、
高価で、かつ生産性の劣る電子ビーム露光等でしか加工
できないポリメタクリル酸メチル等が耐染色性絶縁層と
して用いられているが、まだ種々の点で満足なものとは
云い難い。

本発明者等は上述したような従来の耐染色性絶縁層の欠
点を解消すべく、種々検討の結果、特殊の重合体を組合
せることによシ耐染色性、基板及び染色層との接着性、
可視、近紫外光線に対する無色透明性等に優れ、しかも
可視光線、近紫外光線を用いて加工可能な感光性樹脂を
見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明の要旨は少くとも着色層及び透明ポリ
マー層から成るカラーフィルターにおいて、該透明ポリ
マー層が、 （ａ）　一般式（１） （式中、Ｒ＋はアルキル基を示し、Ｒ２は水素原子また
はメチル基を示す。）で表わされる単位、 一般式（ＩＩ） Ｂ （式中、Ｒ３は水素原子またはメチル基を示す。）で表
わされる単位、 および、一般式（Ｉｎ） ４ （式中、Ｒ４は水素原子またはメチル基を示す。）で表
わされる単位を有する共重合体を、（ｂ）　一般式（Ｉ
Ｖ） （式中、又はハロゲンアニオン、ＢＰ？、ｐｙｐまたは
有機スルホン酸アニオンを示し、ｎは２〜２０を示す。

）で表わされる単位を有するジアゾ樹脂で架橋した透明
ポリマー層であることを特徴とするカラーフィルターに
存する０ 以下本発明のカラーフィルターの一例につき工程の一例
を示す説明図である。

図中／はシリコンウェハー、コは光検知部、３は保護膜
、ダは平坦化層、左は被染色層、６はマスク、りは耐染
色性絶縁層、ｇはボンディング・パッド、９は被染色層
、１０は表面層、をそれぞれ示す。

直伺型カラーフィルターの場合は固体撮像素子面上に直
接カラーフィルターが設けられるものであり、その基体
となる固体撮像素子は例えば第１図（ａ）に示すような
シリコンウェハー／に光検知部ユが設けられ、その上面
にリンガラス、石英等の保護膜３が設けられた構造とさ
れている。固体撮像素子にはその他、走査線、遮光膜等
が設けられているが、図面には省略した。

本発明のカラーフィルターは上述のような固体撮像素子
の一ヒ面に形成するものでありその工程順に説明する。

まず固体撮像素子の保護膜３の上に０．１〜コ、θμ程
度の厚さに平坦化層グを被覆する。この平坦化層は後述
する耐染色性絶縁層７と同じものを使用するのが良い。

この層によって光検知部の表面が平坦化され、被染色ｆ
ｆＭ　”　％耐染色性絶縁層り等の形成が容易とカシ、
まだ被染色層Ｓの厚みむら等に基づく色のヒズミ等が軽
減される。次いでこの平坦化層グ上に所定のポンディン
グパッドｇ等を加工する（第１図（ｂ））。

この平坦化層弘の材質、ポンディングパッドどの加工方
法については後に耐染色性絶縁層７の説明と合せて詳細
に述べる。

次いで平坦化層グ上にゼラチン、カゼイン、グリユー、
アルブミン等、或いは、ポリビニルアルコール等の合成
ポリマー等の水溶性ポリマーと重クロム酸アンモニウム
等の重クロム酸塩との混合物を塗布して被染色層３を構
成するだめの感光性物質層を形成する（第１図（Ｃ））
。

被染色層Ｓを構成するだめの感光性物質層は、通常、Ｏ
１／〜コμとなるように設ける。

次いで、被染色層Ｓを構成するだめの感光性物質層上に
所定のパターンを有するマスク乙を通して露光する（第
１図（ｄ））。被染色層Ｓを構成するための感光性物質
には、通常、ｔｉｌＩｏ〜３ｇθｎｍ　に感光性をもた
せるようにするので、かかる領域の波長を有する高圧水
銀燈等を光源として露光する。

次いで、水で現像して所定のパターンの被染色層５を構
成する部分を形成しく第１図（ｅ））、所定の分光特性
を有する第７色目の染料で公知の方法に従い染色して被
染色層左を形成する。

次いで、耐染色性絶縁層７を形成するだめの感光性樹脂
組成物を被覆する（第１図（ｆ））。本発明においては
、耐染色性絶縁層７の形成には、下記の一般式（Ｉ）　
、　（１１）および（ＩＩＩ）で表わされる単位を有す
る共重合体と一般式（ＩＶ）で表わされるいわゆるジア
ゾ樹脂を用いる。

２ −　ＣＨ２−０−・・・・・・・（１）０００Ｒ’ （式中、Ｒ１はアルキル基を示し、Ｒ２は水素原子まだ
はメチル基を示す。）で表わされる単位、３ （式中、Ｒ゛は水素原子またはメチル基を示す。）で表
わされる単位、 ４ （式中、Ｒ４は水素原子まだはメチル基を示す。）で表
わされる単位 １１− （式中、Ｘはハロゲンアニオン、’ＢＰ？、ＰＦ？また
は有機スルホン酸アニオンを示し、ｎはλ〜２０を示す
。） 本発明においては上記一般式ＣＩ）、（ＩＩ）及び（Ｉ
ＩＩ）で表わされる単位を有する共重合体と一般式（Ｉ
Ｖ）で表わされるジアゾ樹脂との組成物を被染色層Ｓを
形成した上に塗布しく第１図（ｆ））、所定のパターン
、すなわち、ボンディング・パッド部を形成する部分等
が光不透過性とされたパターン等を有するマスク６を用
いて露光する（第１図（ｇ））。露光に当っては上記ジ
アゾ樹脂の感光領域であるｙｌＩｏ〜３ざＯｎｍ　程度
の波長の高圧水銀燈等を用いれば良い。露光された上記
組成物は、組成物中のジアゾ樹脂のジアゾ部分が外れ、
フェニル基にプラスイオンが生成し、前記共重合体の一
般式（ＤＩ）で表わされた単位の水酸基部分と結合する
こととなり、前記共重合体は前記ジアゾ樹脂によシ架橋
される。このとき、ジアゾ樹脂のジアゾ部分は外れてし
まうので黄色を程していた上記組成物は架橋が進−１２
＝ むにつれ、実質的に無色透明となる。また、ジアゾ樹脂
のジアゾ部分が残っていると耐染色性絶縁層りに色が残
るので露光はジアゾ部分がほぼ完全に外れるまで行ない
、これによ９実質的に無色透明な耐染色性絶縁層７が得
られる。ジアゾ部分がなくなることによυ耐染色性絶縁
層での可視光、近紫外線光での光の吸収は極めて少なく
なる。

本発明においては一般式（１）で表わされる単位が好ま
しくはデＯ−コθモルチ、さらに好ましくは３３〜≠５
モルチで、一般式（ＩＩ）で表わされる単位が好ましく
は３〜６０モルチ、さらに好ましくはＳ−１ＩＯモル係
で、一般式（ｎｌ）で表わされる単位が好ましくは３〜
コＯモルチさらに好ましくは！〜／３モルー〇共重合体
が使用される。一般式（ＩＶ）で表わされるジアゾ樹脂
は、重合度（式中ｎの値）が−〜コＯのものが用いられ
、好ましくは３〜１０のものが用いられる。このジアゾ
樹脂は上記共重合体７００重量部に対し好ましくは７〜
２０重量部、更に好ましくけ−〜／夕重量部が使用され
る。場合によっては物性を若干変えるだめ他の一種又は
複数種の成分を更に共重合する場合もある。壕だ、上記
共重合体に７０重量係程度他のポリマーを添加混合して
用いることもでき、この場合添加するポリマーとしては
親水性のものが望ましい。

一般式（Ｉ）で表わされる単位が上記範囲より多くなる
と親水性が低下し、染色層との接着性が低下する。逆に
、上記範囲より少なくなると、親水性が増大し、耐染色
性が低下したり、或いは染色層形成の際の現像時に溶出
乃至剥離してし貰う。また、一般式（１）で表わされる
単位の割合が上記よυ少なくなるとジアゾ樹脂との架橋
性（画像形成性）が悪くなり画像が得られなくなシ、逆
に割合が上記より多くなると耐染色性が著しく低下する
。

架橋剤成分としての一般式（ＩＶ）で表わされるジアゾ
樹脂の前記共重合体に対する割合が上記より少なく々る
と画像形成性が劣り、逆に上記より、多くなるとジアゾ
基を実質的に完全に分解させて層を実質的に無色透明に
するのに長い露光時間が必要となる。

次いで、エチルセロソルブやメチルエチルケトン、或い
は、これらにベンジルアルコールやＮ−メチルピロリド
ンを混合したもの等適当な現像液で現像すればボンディ
ング・パッド部分などに相当する露光されなかった部分
が溶出されることにより加工され、しかも耐染色性絶縁
層７（フィルタ一部分）は露光によってジアゾ樹脂が分
解し、無色透明となった耐染色性絶縁層７が得られる（
第７図（ｈ））。平坦化層ヶに本感光性組成物を使用し
た場合も同様の操作でボンディング・パッドｇ等の加工
がなされた透明な平坦化層ダを得ることが出来る。

本発明で用いる共重合体は下記一般式（■）、（ＶＩＬ
（■）で表わされるモノマーをアゾビスイソブチロニト
リル、過酸化ベンゾイルなどをラジカル開始剤としてラ
ジカル重合させる公知の方法によって容易に得られる。

この場合出発物質及び生成したポリマーの双方を良く溶
かし、１５− ラジカル連鎖移動定数のあまり大きくない溶媒たとえば
ジメチルスルホキシド、メタノール、デトラどｒＤフフ
ン ｆｆｉ等の溶媒中で反応を行うと良好な塗膜性を示す重
合体が容易に得られる。固有粘度は通常０．／　〜３．
０　ｄｌ／１１好ましくは０．３〜．２．Ｓａｔ／１１
のものが好適に用いられる。

ジアゾ樹脂（ＩＶ）もジアゾニウムジフェニルアミンと
パラホルムアルデヒドを酸性触媒で重縮合させる公知の
方法で容易に合成される。重合度は平均値で通常コ〜コ
０のもの好ましくは一〜／Ｓのものが好適に用いられる
。

Ｒ＠　Ｒ１ （Ｖ）（■） ４ （■） 次いで、該耐染色性絶縁層７上に、前述と同様にして被
染色層を構成するための感光性物質１６− を設け、霧光、現像して所定のパターンの被染色層部分
を形成する。そして、所定の分光特性を有する第一色目
の染料で染色して第２の被染色層９を形成する（第７図
（１））。

かかる操作を繰返し、耐染色性絶縁層を介して更に他の
被染色層を形成してもよい。

被染色層としては、赤、緑、青の三原色系の３種を用い
ることもあれば、シアン、緑、黄の補色系の３種を用い
ることもある。その際、例えば、第１のシアンの被染色
層に、第一の黄の被染色層を一部重なるように形成して
、その重なり部分で第３色目の緑色を得るようにしても
よい。

通常、最上部の被染色層上に、表面の平滑化、或いは染
色層の保護のために表面層１０を設ける０ 表面層１０としては、強度、透明性、中間層及び染色層
との密着性及びボンディング・パッド部などの加工性が
要求され、その要求を満たしたものならなんでもよいが
、前述の感光性組放物を使用しても良い。

表面層ＩＯは通常０．／〜−μの膜厚と々るように設け
さらに露光現像して所定のボンディング・パッドなどの
加工を行なう（第１図（ｊ））。

以上のようにして、本発明のカラーフィルターを得るこ
とが出来るが、本発明のカラーフィルターの平坦化層も
しくは耐染色性絶縁層は耐染色性が完全であり、基板或
いは染色層との接着性が良好であり従って鮮明な画像を
得ることが出来るのである。

本発明においては平坦化層および／または耐染色性絶縁
層として上記した特殊の感光性組成物を用いるものであ
るが、本発明においては上記感光性組成物からなる層を
少なくとも一層設け、他は他の樹脂層等とすることもで
き、用途に応じ適宜選択決定すれば良い。但し上記感光
性組成物の物性上、平坦化層よシも耐染色性絶縁層とし
て用いるのが好ましい。他の感光性樹脂としてはポリグ
リシジルメタクリレート、ポリメチルメタクリレート、
ポリメチルイソプロペニルケトン、メチルメタクリルア
ミド、ポリへキサフロロブチルメタクリレート、ポリブ
テン−／−スルホン等＃種々のものが用い得る。

以下実施例により本発明を更に具体的に説明する。

合成例 メタクリル酸メチル、？　ｑ、ｂ　１！　（ｏ、ｔｒｔ
　ｏモル）、メタクリル酸／り、Ｏｇ（０，２０モル）
、メタクリル酸コーヒドロキシエチルｔ、Ａ　ｇ（０，
Ｏ４７モル）をジメチルスルホキシド３３０ｍ７！にと
かし開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル／、６２
ｇを加え窒素雰囲気下で！ｒθ℃３時間反応させた。反
応後／、！；１の水に滴下してポリマーを析出させ、Ｆ
別乾燥後ｒｏｏｍｔのテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）に
溶解し、出来た溶液を／、！；　１のｎ−ヘキサンに滴
下して再沈する。出来たポリマーを減圧乾燥する０収率
は６７％であった。

ＴＨＦ溶液中３０℃、濃度０．２１１７ｄｉで還元粘度
ηｓｐ／ｃを測定すると０．３．７であった。

１９一 本例は実施例３及び７で使用した重合体の合成例である
が、他の実施例に用いた重合体も同様の操作で合成した
。

実施例／〜７ 多数の光検知部とこれらを駆動する駆動回路とからなる
固体撮像素子基板上に、前記合成例によって得られ、表
／に示した組成のメタクリル酸メチルとメタクリル酸と
メタクリル酸コーヒドロキシエチルの共重合体と３〜７
０程度の重合度のジアゾ樹脂の溶液（溶媒エチルセロソ
ルブ／Ｎ−メチルピロリドン＝８／２（容量比）混合溶
媒）を膜厚がコμとなるようにスピンコーティング塗布
して、平坦化層を形成するだめの樹脂層を形成した。塗
布した樹脂層は黄色みを帯びていた。この平坦化層を形
成する樹脂層にボンディング・パッド等の所定のパター
ンを゛　有するマスクを通して、高圧水鍋焼が装備され
たマスクアライナ−ＭＡ１０型（ミカサ■製）を用い３
００ミリジユール／　ｃｒｌｌのエネルギー量で露光シ
た後、２０℃のエチルセロソルブでコ分＝２０− 間現像した。得られたボンディング・パッド部などの加
工がなされた平坦化層は、黄色みが消え透明な層であっ
た。

次いでこの平坦化層上にゼラチン−重クロム酸アンモニ
ウム（ＩＯ”、２．重量比）の水溶液　５を膜厚が／μ
となるようにスピンコーティングにより塗布して被染色
層を形成する感光性物質層を形成した。この被染色層を
形成する感光性物質層に、所定のパターンを有するマス
クを通して前記と同じ装置を用いλ００　ミｌｊジュー
ル／　ｃｌｌのエネルギー量で露光した後、ｌ１５℃の
水で７分間現像した。次いで７．１０℃で７３分加熱し
てゼラチン膜を硬化させた。

酢酸でｐＨを　ダに調整した“カヤノールイエローＮｓ
ａ’（日本化薬■製）（カヤノールは日本化薬■の商品
名）の約０．７％水溶液中に’Ｉ！ｉ℃、／分間浸漬し
染色処理して被染色層を形成した。

次いで平坦化層と同じ組成の感光性組成物を膜厚が０．
５μとなるようにスピンコーティング塗布し、平坦化層
の場合と同様に露光、現像して透明でかつボンディング
・パッド部などの加工がなされた耐染色性絶縁層を形成
した。

次いで、この耐染色性絶縁層上に、前述と同様にしてゼ
ラチン−重クロム酸アンモニウム層を形成し、前述と同
様に露光、現像した後、酢酸でｐＨを　夕に調整した“
ダイアクロン　ターキスブルーＧＦ（三菱化成工業■製
）（ダイアクロンは三菱化成工業■の登録商標）の約０
．３％水溶液で７．５−℃、／分間染色処理して被染色
層を形成した。

次いで、保護膜として平坦化層と同じ感光性組成物を膜
厚Ｏ，Ｓμとなるようにスピンコーティングにより塗布
して前記と同様の条件にて露光、現像してボンディング
・パッド部等の加工のなされた透明な表面層４を形成し
カラーフィルターが直付された固体カラー撮像素子を得
た。

得られたカラーフィルターの特性は次記のようにして評
価した。評価結果を第１表に示した〇０耐染色性 リンガラス板上に平坦化層を形成したと同じ樹脂組成物
を／μの厚さに塗布し、実施例に示した条件で露光、現
像を行ない、Ａ２０ｎｍの波長の光線透過度を測定した
。

次いで実施例に示した被染色層の染色条件と同じ条件下
にダイアクロンターキスブルーＧＦの水溶液に浸漬した
後Ａ　２０　ｎｍの波長の光線透過度を測定し、染色前
の透過度に対する染色後の透過度の百分率をめ、耐染色
性を評価した。評価基準は次記の通りである。

○　：　９３係以上 △　：　９．！ｔ−９０チ ×　：　？Ｏ係以下 ０透明性 リンガラスの光線透過度を測定した後、リンガラス上に
平坦化層を形成したのと同じ樹脂組成物を／μの厚さに
塗布し、実施例に示した条件で露光、現像を行ない、再
度光線透過度を測定し、リンガラスの光線透過度に対す
る平坦化層形成後の光線透過度の百分率をめ、透明性を
評価した。評価基準は耐染色性の評価と同じである。

０接着性 透明性評価の場合と同様にしてリンガラス上に平坦化層
を設け、この平坦化層面に粘着テープ（セロハンテープ
）を指圧によりよく接着し、これを剥離することによシ
ガラスとの接着性を評価した。また平坦化層の上面に実
施例と同様にしてゼラチンの被染色層を形成し、上記と
同様粘着テープで接着強度を評価した。評価基準は次記
の通りである。

○：全く剥離しないもの ×ニ一部でも剥離の見られるもの ０画像性 リンガラス上に平坦化層を形成する際／θμのライン／
スペースのパターンを有するマスクを用いて露光、現像
し、このパターンの現像の良否で評価した。評価基準は
次記の通り。

○：１０μのライン／スペースが解像できる。

×：　解像できない。

比較例／ ポリメタクリル酸メチル（三菱樹脂■製ＢＲ−ｇ３）の
みを用いて実施例／と同様の条件にて平坦化層を形成し
、その上に被染色層を形成したが接着性が悪く、剥離し
てし捷い染色出来なかった。結果を第１表に示す。

比較例λ ポリメタクリル酸のみを用いて実施例／と同（日本化栗
社製）の０．１％水溶液で’７！；’Ｃ１／分間染色し
たところ、平坦化層が溶解剥離してしまった。

比較例３ メタクリル酸メチルとメタクリル酸共重合体（メタクリ
ル酸メチルハｉ、メタクリル酸ｌＩ＆％）にジアゾ樹脂
ｇ　ｗｔ％を砲加し、実施例／と同じ条件にて平坦化層
を形成し、露光の際マスクを用いてボンディング・パッ
ド部を形成させようとしたが、加工出来るだけの画像性
が得られなかった。結果を第１表に示す。

比較例１ ポリメタクリル酸コーヒドロキシエチルを用い、これに
ｇ　ｗｔ％のジアゾ樹脂を添加し、実施例／と同様にし
て平坦化層を形成し、露光、現像してボンディング・パ
ッド部を加工した。次いで、この平坦化層上に実施例／
に示したと同様に被染色層を形成し、パターニング後“
カヤノールイエローＮＳＧ′（日本化薬社製）のｏ、ｉ
％水溶液で７＆℃、１分間染色したところ、平坦化層も
染色してしまった０結果を第１表に示す。

比較例５〜６ メタクリル酸メチルとメタクリル酸コーヒドロキシエチ
ルの共重合体を用い、これにｇ　ｗｔ％のジアゾ樹脂を
添加し、実施例／と同様にして平坦化層を形成しボンデ
ィング・パッド部を加工した後災施例１と同様にして被
染色層を形成後染色したが、被染色層に対する接着性と
耐染色性を両立させることが出来なかった。結果を第１
表に示す。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（、＋）は直付型カラーフィルターの製
造工程の一例を示す説明図である。 ａｌ剤はシリコンウェハー、λは光検知部、３は保饅膜
、ダは平坦化層、Ｓは被染色層、６はマスク、りは耐染
色性絶縁Ｉｌ＃、ざはボンディング・パッド、９は被染
色層、／θは表面層をそれぞれ示す。 出　動　人　三菱化成工業株式会社 代　理　人　弁理士長台用　− （ほか７名） ＝３０− ２　２ １　電信の表示 昭和５８年特許願第１２２５１７号 ２　発明の名称 カラーフィルター ３　補正をづる者 事件との関係　特許出願人 （５９６）三菱化成工業株式会社 ４代理人　〒１００ 東京都千代田区丸の内二丁目５番２号 三菱化成工業株式会社内 ５　補正命令の日付　昭和５８年１０月２５日（発送日
）６　補正の対象 図面 ７　補正の内容 別紙の通り 以　」二

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）少くとも着色層及び透明ポリマー層から成るカラ
   ーフィルターにおいて、該透明ポリマー層が、 （ａ）　一般式（Ｉ） ２ （式中、Ｒ′はアルキル基を示し、Ｒ２は水素原子また
   はメチル基を示す。）で表わされる単位、 一般式（ＩＩ） ３ （式中、Ｒ゛は水素原子またはメチル基を示す。）で表
   わされる単位、 および、一般式（ｍ） ４ ＵＬＪｔＪＵＭ２ＬｉＭ、ＯＲ （式中、Ｒ４は水素原子またはメチル基を示す。）で表
   わされる単位を有する共重合体を、 （ｂ）　一般式１’１Ｖ） （式中、Ｘはハロゲンアニオン、ＢＦＴ。 ＰＦ？または有機スルホン酸アニオンを示し、ｎは−〜
   ２０を示す。）で表わされる単位を有するジアゾ樹脂で
   架橋した透明ポリマー層であることを特徴とするカラー
   フィルター。
2. （２）当該共重合体が、一般式（１）で表わされる単位
   がｑｏ−，２ｏモルチ、一般式（Ｉｔ）で表わされる単
   位が３〜６０モルチ、一般式（ＩＩＩ）で表わされる単
   位が３〜．２Ｏモル係からなる共重合体であることを特
   徴とする特許請求の範門弟（１）項記載のカラーフィル
   ター。
3. （３）　当該ジアゾ樹脂を該共重合体１００重量部に対
   して７〜コθ重量部使用することを特徴とする特許請求
   の範囲第（１）項又は第（２）項記載のカラーフィルタ
   ー。
4. （４）一般式（１）においてＲ１とＲ２がメチル基、一
   般式（ＩＩ）においてＲ３がメチル基、一般式（ｌ［［
   ）においてＲ４がメチル基、一般式（ＩＶ）においてＸ
   が○ＰＦ又は有機スルホン酸アニオンであることを特徴
   とする特許請求範囲第（１）項乃至第（３）項のいずれ
   かに記載のカラーフィルター。