JPS60139911A - スピンドルユニツト - Google Patents
スピンドルユニツトInfo
- Publication number
- JPS60139911A JPS60139911A JP24460983A JP24460983A JPS60139911A JP S60139911 A JPS60139911 A JP S60139911A JP 24460983 A JP24460983 A JP 24460983A JP 24460983 A JP24460983 A JP 24460983A JP S60139911 A JPS60139911 A JP S60139911A
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- Japan
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- bearing
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- inner ring
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C25/00—Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
- F16C25/06—Ball or roller bearings
- F16C25/08—Ball or roller bearings self-adjusting
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/52—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C35/00—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers
- F16C35/08—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers for spindles
- F16C35/12—Rigid support of bearing units; Housings, e.g. caps, covers for spindles with ball or roller bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、工作機械等において使用されるスピンドルユ
ニットの改良に関するものである。
ニットの改良に関するものである。
近年、生産性の向上や加工精度の向上を目的として、工
作機械の主軸の高速化には著しいものがある。主軸の高
速化の程度を所謂ｄｍ−ｎ 値（ｄｍ：軸受の平均直径
、ｎ：回転数）で表わすと、従来ｄｍ−ｎ 値が３０〜
４０万であったのが、最近では６０〜７０万の工作機械
が生産されており、更に８０万を超えるようなスピンド
ルユニットが要求され始めている。
作機械の主軸の高速化には著しいものがある。主軸の高
速化の程度を所謂ｄｍ−ｎ 値（ｄｍ：軸受の平均直径
、ｎ：回転数）で表わすと、従来ｄｍ−ｎ 値が３０〜
４０万であったのが、最近では６０〜７０万の工作機械
が生産されており、更に８０万を超えるようなスピンド
ルユニットが要求され始めている。
一方、上記スピンドルユニットにおいては、軸受の回転
速度を高めるとともにその剛性を高める目的や、軸の振
動あるいは異音の発生を防止する目的で、アンギュラ軸
受に予圧をムけることが一般に行なわれてお゛す、予圧
の方法には定位置予圧と定圧予圧とがある。ここに定位
置予圧とは、間座やシムを寸法調整する等の方法により
、予圧された軸受、の相対的な位置が使用中にも変化せ
ず一定となるような予圧方法であり、また定圧予圧とは
、ばね部材等を用いることにより、予圧された軸受の相
対的な位置は使用中に変化するが、予圧はほぼ一定とな
るような予圧方法である。
速度を高めるとともにその剛性を高める目的や、軸の振
動あるいは異音の発生を防止する目的で、アンギュラ軸
受に予圧をムけることが一般に行なわれてお゛す、予圧
の方法には定位置予圧と定圧予圧とがある。ここに定位
置予圧とは、間座やシムを寸法調整する等の方法により
、予圧された軸受、の相対的な位置が使用中にも変化せ
ず一定となるような予圧方法であり、また定圧予圧とは
、ばね部材等を用いることにより、予圧された軸受の相
対的な位置は使用中に変化するが、予圧はほぼ一定とな
るような予圧方法である。
従って、定位置予圧は剛性が高く、定圧予圧は剛性が低
い。
い。
前記ｄｍ−ｎ 値が８０万を超えるようなスピンドルユ
ニットはこれまでにも皆無だったわけではないが（例え
ば高周波スピンドル、ジェットエンジンにおいて）、こ
れらは定圧予圧で使用されるのが一般的であった。しか
しながら、切削工作機械のスピンドルユニットには定圧
予圧は不向きである。即ち、切削工作機械のスピンドル
ユニットにあっては、軽予圧で高速回転するのみでなく
、低速回転時には重予圧即ち剛性が大きい状態で回転す
る機能も要求されるので、高速回転に適した定圧予圧は
低剛性のため採用することはできないのである。従って
、切削工作機械のスピンドルユニットの予圧としては剛
性の大きな定位置予圧を採用せざるを得ない。しかしな
がら、この場合にはまた別の問題が発生する。
ニットはこれまでにも皆無だったわけではないが（例え
ば高周波スピンドル、ジェットエンジンにおいて）、こ
れらは定圧予圧で使用されるのが一般的であった。しか
しながら、切削工作機械のスピンドルユニットには定圧
予圧は不向きである。即ち、切削工作機械のスピンドル
ユニットにあっては、軽予圧で高速回転するのみでなく
、低速回転時には重予圧即ち剛性が大きい状態で回転す
る機能も要求されるので、高速回転に適した定圧予圧は
低剛性のため採用することはできないのである。従って
、切削工作機械のスピンドルユニットの予圧としては剛
性の大きな定位置予圧を採用せざるを得ない。しかしな
がら、この場合にはまた別の問題が発生する。
上記問題とは、軸受の回転時に遠心力により軸受の内部
に発生する内部スラスト荷重（予圧荷重）に関すること
である。詳述すると、第１図において中空軸１０には段
部１２に二つのアンギュラ玉軸受１４のうち左方の内輪
１５が当接され、内輪間座１６及び外輪間座１８、別の
二つのアンギュラ玉軸受２０が嵌合され、右方の軸受の
内輪２１に当接するスペーサ２２及びナツト２４によっ
て取り付けられている。右方の軸受２０の外輪２６はハ
ウジング３０の段部３２に当接され、左方の軸受１４の
外輪３４はカバー３７によって押圧されている。軸受２
０と２６とは背面かつ並列組合せとなっている。そして
外輪間座１８の幅は内輪間座１６の幅よりも犬きくされ
ており、これによって軸受１４．２２に所定の予圧が加
えられている。
に発生する内部スラスト荷重（予圧荷重）に関すること
である。詳述すると、第１図において中空軸１０には段
部１２に二つのアンギュラ玉軸受１４のうち左方の内輪
１５が当接され、内輪間座１６及び外輪間座１８、別の
二つのアンギュラ玉軸受２０が嵌合され、右方の軸受の
内輪２１に当接するスペーサ２２及びナツト２４によっ
て取り付けられている。右方の軸受２０の外輪２６はハ
ウジング３０の段部３２に当接され、左方の軸受１４の
外輪３４はカバー３７によって押圧されている。軸受２
０と２６とは背面かつ並列組合せとなっている。そして
外輪間座１８の幅は内輪間座１６の幅よりも犬きくされ
ており、これによって軸受１４．２２に所定の予圧が加
えられている。
この場合には、中空軸１０及び内輪１５．２１の回転に
つれてボール３６．３８は自転しつつ公転し、公転によ
り発生する遠心力によって半径方向外方に運動しようと
する。その際アンギ丘う玉軸受１４．２０の外輪２６．
３４の傾斜面に転動体が押圧され、その分圧によってボ
ール３６．３８とともに内輪１５．２１が軸方向（内輪
１５は左方に、内輪２１は右方に）に移動しようとする
。然るに内輪は段部１２、スペーサ２２で軸方向に移動
不能とされているので、実質的に予圧を加えたのと同じ
状態となるのである。内部スラスト荷１重の大きさはボ
ールの公転速度、半径の増大につれて大きくなり、例え
ば、７０２４Ｂのアンギュラ玉軸受（内径１２０ｍｍ、
外径１８０閣、玉径１９．０５調、接触角４０° ）に
２００に９ｆ の予圧をかけて回転数５０００回／分で
使用すると、予圧の大きさは約５２０ Ｋｇｆ に上昇
する（増加分３２０Ｋｆｆ）。従って、定位置予圧では
高速回転時に前記要求に反して重予圧となり、温度上昇
に基づく軸受の焼付きが発生する危険があった。
つれてボール３６．３８は自転しつつ公転し、公転によ
り発生する遠心力によって半径方向外方に運動しようと
する。その際アンギ丘う玉軸受１４．２０の外輪２６．
３４の傾斜面に転動体が押圧され、その分圧によってボ
ール３６．３８とともに内輪１５．２１が軸方向（内輪
１５は左方に、内輪２１は右方に）に移動しようとする
。然るに内輪は段部１２、スペーサ２２で軸方向に移動
不能とされているので、実質的に予圧を加えたのと同じ
状態となるのである。内部スラスト荷１重の大きさはボ
ールの公転速度、半径の増大につれて大きくなり、例え
ば、７０２４Ｂのアンギュラ玉軸受（内径１２０ｍｍ、
外径１８０閣、玉径１９．０５調、接触角４０° ）に
２００に９ｆ の予圧をかけて回転数５０００回／分で
使用すると、予圧の大きさは約５２０ Ｋｇｆ に上昇
する（増加分３２０Ｋｆｆ）。従って、定位置予圧では
高速回転時に前記要求に反して重予圧となり、温度上昇
に基づく軸受の焼付きが発生する危険があった。
本発明は、上述した事情を背景にして、従来技術におけ
る欠点を解消すること、即ち、定位置予圧でありながら
、回転軸の回転速度が小さい時は重予圧（高剛性）で、
回転速度が犬きくなっても重予圧とならない切削工作機
械用スピンドルユニットを提供することを目的としてな
されたものである。
る欠点を解消すること、即ち、定位置予圧でありながら
、回転軸の回転速度が小さい時は重予圧（高剛性）で、
回転速度が犬きくなっても重予圧とならない切削工作機
械用スピンドルユニットを提供することを目的としてな
されたものである。
上記目的を達成するために、本考案においては、回転軸
の回転速度に応答して隔設されたアンギュラ軸受の一方
の外輪を軸方向に押圧する駆動手段を設け、回転軸の回
転速度が所定値よりも大きくなった時のみ、駆動手段で
外輪を押圧して外スペーサ（通常外輪間座ンを変形させ
、内外スペーサの寸法差を減少させて、前記内部スラス
ト荷重を相殺するようにしたのである。
の回転速度に応答して隔設されたアンギュラ軸受の一方
の外輪を軸方向に押圧する駆動手段を設け、回転軸の回
転速度が所定値よりも大きくなった時のみ、駆動手段で
外輪を押圧して外スペーサ（通常外輪間座ンを変形させ
、内外スペーサの寸法差を減少させて、前記内部スラス
ト荷重を相殺するようにしたのである。
以下、本発明の実施例を第２図をもとに説明するが、簡
略化のだめ前記従来例（第１図）と共通する部分は同一
の符号で示し、異なる部分を中心に説明を進めることと
する。
略化のだめ前記従来例（第１図）と共通する部分は同一
の符号で示し、異なる部分を中心に説明を進めることと
する。
外輪間座５０は内周面に凹溝５２が形成されており、こ
れによって軸方向の圧縮力に対する変形能が向上してい
る。中空軸１０の回転数は回転数センサ５４によって検
出され、それに基いた信号が油圧ポンプ５６に出力され
るようになっている。ハウジング３０には軸受２０の側
方に油室５８が形成され、ここに油圧ビス＋ン６０が滑
合されている。油圧ピストン６０は中空軸１０の軸方向
と平行に移動可能とされ、先端部６２が右方の軸受２０
の外輪２６の端面に当接可能とされている。
れによって軸方向の圧縮力に対する変形能が向上してい
る。中空軸１０の回転数は回転数センサ５４によって検
出され、それに基いた信号が油圧ポンプ５６に出力され
るようになっている。ハウジング３０には軸受２０の側
方に油室５８が形成され、ここに油圧ビス＋ン６０が滑
合されている。油圧ピストン６０は中空軸１０の軸方向
と平行に移動可能とされ、先端部６２が右方の軸受２０
の外輪２６の端面に当接可能とされている。
なお、軸受１４．２０の内外輪の幅寸法及び間座１６．
５０の幅寸法は第１図に示したものと同様とされており
、従ってナツト２４と締めつけることにより軸受１４．
２０には所定の予圧が与えられている。
５０の幅寸法は第１図に示したものと同様とされており
、従ってナツト２４と締めつけることにより軸受１４．
２０には所定の予圧が与えられている。
次に本実施例の作動について説明する。中空軸１００回
転速度をセンサ５４で検出し、これが所定値に達しない
間はセンサ５４から油圧ポンプ５６に信号が出力されな
い。従って油圧ピストン６０は右方の軸受２０の外輪２
６に当接しているが、実質的に外輪間座５０を変形させ
ていない。そのため、軸受１４．２０には尚初セットさ
れた大きさの重子圧（例えば２００〜ｆ ）がそのまま
加えられており、剛性が大きいために重切削加工するの
に適している。
転速度をセンサ５４で検出し、これが所定値に達しない
間はセンサ５４から油圧ポンプ５６に信号が出力されな
い。従って油圧ピストン６０は右方の軸受２０の外輪２
６に当接しているが、実質的に外輪間座５０を変形させ
ていない。そのため、軸受１４．２０には尚初セットさ
れた大きさの重子圧（例えば２００〜ｆ ）がそのまま
加えられており、剛性が大きいために重切削加工するの
に適している。
これに対して、中空軸１０の回転速度が所定値をこえる
と、センサ５４から油圧ポンプ５６にその旨の信号が出
力されるので、油圧ピストン６０が前進して軸受２０の
外輪２６を押圧する。この押圧力により外輪間座５０に
軸方向と直角な方向にたわみが発生し、これによって間
座１６．５０の幅寸法差がなくなるのでそれまで軸受１
４．２０に加わっていた予圧がぬける。それ故、中空軸
１Ｇの高速回転時にボール３６．３８に作用する遠心力
によって内部スラスト荷重が発生しても、この内部スラ
スト荷重と上記予圧の減少分とが相殺され、軸受１４．
２０に作用する予圧は低速回転時に比べて上昇しないこ
とになる。
と、センサ５４から油圧ポンプ５６にその旨の信号が出
力されるので、油圧ピストン６０が前進して軸受２０の
外輪２６を押圧する。この押圧力により外輪間座５０に
軸方向と直角な方向にたわみが発生し、これによって間
座１６．５０の幅寸法差がなくなるのでそれまで軸受１
４．２０に加わっていた予圧がぬける。それ故、中空軸
１Ｇの高速回転時にボール３６．３８に作用する遠心力
によって内部スラスト荷重が発生しても、この内部スラ
スト荷重と上記予圧の減少分とが相殺され、軸受１４．
２０に作用する予圧は低速回転時に比べて上昇しないこ
とになる。
高速回転時の予圧が低速回転時の予圧に比べてどのよう
になるかは、油圧ポンプ５６の出力、外輪間座５０の変
形能によって異なるが、重要なことは前者が後者よりも
著しく大きくならないことであって、前者が後者と略等
しいことが望ましい。前者の方が後者よりも小さくなれ
ば更に望ましい。何れにしても、本実施例によれば、高
速回転時の軸受１４．２０の予圧を従来例（第１図）に
比較して下げることができ、最適の状態で低速及び高速
回転による切削作業を行なうことができる。
になるかは、油圧ポンプ５６の出力、外輪間座５０の変
形能によって異なるが、重要なことは前者が後者よりも
著しく大きくならないことであって、前者が後者と略等
しいことが望ましい。前者の方が後者よりも小さくなれ
ば更に望ましい。何れにしても、本実施例によれば、高
速回転時の軸受１４．２０の予圧を従来例（第１図）に
比較して下げることができ、最適の状態で低速及び高速
回転による切削作業を行なうことができる。
なお、上述したのはあくまで本発明の一実′施例に過ぎ
ず、本発明は決してこれに限定して解釈されるべきでな
いことは言うまでもない。例えば、カバー３７側の軸受
１４の外輪３４を油圧ピストン６０で押圧することもで
きるし、□油圧ピストン６０、油室５８の形状は上記実
施例のものに限定されない。まだ、軸受１４．２０の予
圧を緩和させるだめの手段は、油圧駆動式ではなく、機
械駆動式のものであっても良い。まだ、回転軸１川の回
転速度を検出するセンサ５４を設けず、回転軸１０を駆
動する駆動モータ（図示せず）の回転速度に応じた抑圧
量を予め記憶させておいても良い。更に外輪間座５０の
変形能を向上させるためには、前記実施例のように凹溝
５２を形成する代わりに、間座の厚さを減じたシ、材質
を工夫すれば良い。内輪間座は軸に環状突起を形成して
も良い。軸受のタイプもアンギュラ玉軸受の他にも円錐
コロ軸受であっても良いし、軸受の組み方も単列背面組
合せにする等適宜変更可能である。
ず、本発明は決してこれに限定して解釈されるべきでな
いことは言うまでもない。例えば、カバー３７側の軸受
１４の外輪３４を油圧ピストン６０で押圧することもで
きるし、□油圧ピストン６０、油室５８の形状は上記実
施例のものに限定されない。まだ、軸受１４．２０の予
圧を緩和させるだめの手段は、油圧駆動式ではなく、機
械駆動式のものであっても良い。まだ、回転軸１川の回
転速度を検出するセンサ５４を設けず、回転軸１０を駆
動する駆動モータ（図示せず）の回転速度に応じた抑圧
量を予め記憶させておいても良い。更に外輪間座５０の
変形能を向上させるためには、前記実施例のように凹溝
５２を形成する代わりに、間座の厚さを減じたシ、材質
を工夫すれば良い。内輪間座は軸に環状突起を形成して
も良い。軸受のタイプもアンギュラ玉軸受の他にも円錐
コロ軸受であっても良いし、軸受の組み方も単列背面組
合せにする等適宜変更可能である。
以上述べてきたように、本発明によれば、定位置予圧方
式のスピンドルユニットでありながら、回転軸の回転速
度が小さい時は重予圧即ち高剛性で、回転速度が大きく
なっても重子圧とならない切削工作機械用スピンドルユ
ニットを得ることができる効果が奏される。
式のスピンドルユニットでありながら、回転軸の回転速
度が小さい時は重予圧即ち高剛性で、回転速度が大きく
なっても重子圧とならない切削工作機械用スピンドルユ
ニットを得ることができる効果が奏される。
第１図は従来から使用されているスピンドルユニットの
一例を示す正面半断面図、第２図は本発明の一実施例を
示す同様の断面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １０・・・回転軸 ５４・・・センサ １４．２０・・・アンギュラ玉軸受 １６・・・内輪間座 ５６・・・油圧ポンプ５０・・・
外輪間座 ５８・・・油室 ６゛０・・・油圧ピストン
一例を示す正面半断面図、第２図は本発明の一実施例を
示す同様の断面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １０・・・回転軸 ５４・・・センサ １４．２０・・・アンギュラ玉軸受 １６・・・内輪間座 ５６・・・油圧ポンプ５０・・・
外輪間座 ５８・・・油室 ６゛０・・・油圧ピストン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 回転軸上に内スペーサ及び外スペーサを藺にして
第１及び第２のアンギュラ軸受を隔設し、内外スペーサ
の幅寸法を調整することにより第１及び第２のアンギュ
ラ軸受に所定の予圧が加えられてなるスピンドルユニッ
トにおいて、 前記回転軸の回転速度に応じて前記第１又は第２のアン
ギュラ軸受の外輪を軸方向に押圧して外スペーサを変形
させる駆動手段を設けたことを特徴とするスピンドルユ
ニット。 ２、前記駆動手段とは、油圧ポンプ及び油室内に滑合さ
れアンギュラ軸受の外輪に当接可能とされた油圧ピスト
ンを含む特許請求の範囲第１項に記載のスピンドルユニ
ット。 ３、 前記内スペーサとは内輪間座であり、外スペーサ
とは外輪間座である特許請求の範囲第２項に記載のスピ
ンドルユニット。 ４、前記外輪間座の内周面には凹溝が形成されている特
許請求の範囲第３項に記載のスピンドルユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24460983A JPS60139911A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | スピンドルユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24460983A JPS60139911A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | スピンドルユニツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60139911A true JPS60139911A (ja) | 1985-07-24 |
| JPH0378488B2 JPH0378488B2 (ja) | 1991-12-13 |
Family
ID=17121275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24460983A Granted JPS60139911A (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | スピンドルユニツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60139911A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62126616U (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-11 | ||
| JPH01216743A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-30 | Nagase Iron Works Co Ltd | 加工装置における振動防止機構の軸支構造 |
| JPH0658329A (ja) * | 1990-08-17 | 1994-03-01 | Torrington Co:The | 可変予圧軸受装置 |
| EP2269767A1 (en) | 2009-07-03 | 2011-01-05 | Jtekt Corporation | Spindle device for machine tool with preload adjustment of the bearing |
| EP2278181A2 (en) | 2009-07-21 | 2011-01-26 | Jtekt Corporation | Spindle device |
| JP2011117599A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-16 | Astrium Sas | 位置調節のできる転がり軸受のためのスペーサ |
| JP2016070349A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | アイシン・エーアイ株式会社 | 回転軸の軸受構造 |
| JP2020148220A (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | Ntn株式会社 | 転がり軸受装置 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP24460983A patent/JPS60139911A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0378488B2 (ja) | 1991-12-13 |
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