JPS60132829A - リニアモ−タ式移動テ−ブル - Google Patents
リニアモ−タ式移動テ−ブルInfo
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- JPS60132829A JPS60132829A JP24023283A JP24023283A JPS60132829A JP S60132829 A JPS60132829 A JP S60132829A JP 24023283 A JP24023283 A JP 24023283A JP 24023283 A JP24023283 A JP 24023283A JP S60132829 A JPS60132829 A JP S60132829A
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- JP
- Japan
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- mover
- stator
- magnetic pole
- pole teeth
- lower core
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は直交座標系ロボットや産業用ＸＹテーブルなど
に応用できる磁極歯を有するリニアモータ式移動テーブ
ルに関するものである。
に応用できる磁極歯を有するリニアモータ式移動テーブ
ルに関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来の磁極歯を有するリニアモータ式移動テーブルは第
１図にその具体構成を示すように１等ピ・ッチでかつ複
数列のステータ磁極歯列１Ｘ 、 １Ｙ。
１図にその具体構成を示すように１等ピ・ッチでかつ複
数列のステータ磁極歯列１Ｘ 、 １Ｙ。
１ｚを有するステータ２と１図示しないベアリング手段
によってステータ磁極歯列１Ｘ 、１Ｙ 。
によってステータ磁極歯列１Ｘ 、１Ｙ 。
１ｚ上を適切な空隙を維持しつつステータ２の長手方向
（矢印入方向）へ走行可能に設けられたムーバ−３より
構成される。ムーバ−３は上部コア４、永久磁石６ａ
、 ５ｂ 、下部：＋７６１Ｌ 、６ｂ 。
（矢印入方向）へ走行可能に設けられたムーバ−３より
構成される。ムーバ−３は上部コア４、永久磁石６ａ
、 ５ｂ 、下部：＋７６１Ｌ 、６ｂ 。
駆動：＋イル７Ｘ 、７Ｙ 、７Ｚ及び下部コアｅａ。
６ｂに設けられかつステータ磁極歯列１Ｘ 、 １Ｙ。
１ｚと対向したムーバ−磁極歯ｓａ、ｓｂよりなる。こ
のようなりニアモータの動作原理は一ステータ磁極歯列
１Ｘ、１Ｙ、１Ｚとムーバ−磁極歯ｓａ、’ｓｂ間に発
生する永久磁石ｓａ、６ｂと駆動コイル７Ｘ、７Ｙ、７
Ｚの合成磁束による磁気力を利用するものであシ、詳細
は特開昭６７−２５１５１号公報の通りである０ 第１図を各相ごとに断面で示したものが第２図であり、
この図により更に詳細にムーバ−磁極歯８１Ｌ 、 Ｂ
ｂトスｆ−夕磁極歯列１Ｘ、１Ｙ、１Ｚの相対位置関係
を説明する。ステータ磁極歯列ＩＸ、ＩＹ、１Ｚはそれ
ぞれステータ磁極歯ピッチＰに対し１１５Ｐだけずらせ
て配置し、一方ムーバー磁極歯９ａ、８ｂは８ａに対し
８ｂが１１２Ｐだけずらせである。すなわちステータ磁
極歯列１Ｘ。
のようなりニアモータの動作原理は一ステータ磁極歯列
１Ｘ、１Ｙ、１Ｚとムーバ−磁極歯ｓａ、’ｓｂ間に発
生する永久磁石ｓａ、６ｂと駆動コイル７Ｘ、７Ｙ、７
Ｚの合成磁束による磁気力を利用するものであシ、詳細
は特開昭６７−２５１５１号公報の通りである０ 第１図を各相ごとに断面で示したものが第２図であり、
この図により更に詳細にムーバ−磁極歯８１Ｌ 、 Ｂ
ｂトスｆ−夕磁極歯列１Ｘ、１Ｙ、１Ｚの相対位置関係
を説明する。ステータ磁極歯列ＩＸ、ＩＹ、１Ｚはそれ
ぞれステータ磁極歯ピッチＰに対し１１５Ｐだけずらせ
て配置し、一方ムーバー磁極歯９ａ、８ｂは８ａに対し
８ｂが１１２Ｐだけずらせである。すなわちステータ磁
極歯列１Ｘ。
１Ｙ、１Ｚに対しムーバ−磁極歯ｓａ 、ｓｂの相対位
置関係は１／６Ｐずつずれた極が６群おることが容易に
わかる。駆動コイル７Ｘ、７Ｙ、、？Ｚは３相分しかな
いが、コイルに双方向の電流を流すいわゆる３相全□波
駆動方式とすることにより任意の方向へ駆動できる。
置関係は１／６Ｐずつずれた極が６群おることが容易に
わかる。駆動コイル７Ｘ、７Ｙ、、？Ｚは３相分しかな
いが、コイルに双方向の電流を流すいわゆる３相全□波
駆動方式とすることにより任意の方向へ駆動できる。
このような磁極歯を有するリニアモータ式移動テーブル
の性能向上を計る上からは、推方向上の為には磁極歯訃
ツチＰを小さくすることと空隙Ｃを小さくすることが有
効であり、更に位置決め性能向上の為ヒ鉦ステータ磁極
歯列１Ｘ、１Ｙ。
の性能向上を計る上からは、推方向上の為には磁極歯訃
ツチＰを小さくすることと空隙Ｃを小さくすることが有
効であり、更に位置決め性能向上の為ヒ鉦ステータ磁極
歯列１Ｘ、１Ｙ。
１；ｚとムーバ□−磁極歯ａａ、ｓｂとの相対位置精度
を向上させる方法が有効であることが広く知られている
。但し、空隙Ｃを小さくすることは推力を大きくす為反
面、コギング力を大きくし同時にム□−バーと哀テータ
間の吸引力も近似的に空□隙Ｃの２乗に反比例して大き
くなり位置決め精度やベアリング寿命に悪影響を与える
。この為空隙Ｃは設計上目標とする仕様に合せ最適値を
とるが、この空隙がねらい通りに確保できなければ出来
上ったリニアモータは充分な性能を発揮することができ
ないのである。ここで産業用として目標の性能を確保す
る１で前記ステー゛夕磁極歯列とムーバ−６ページ 磁極歯の相対位置精度は前記１／６Ｐの±６％（Ｐを１
．ａｍｍとすると±０．０１３ｍｍ）以下が望ましく、
父、空＠Ｃはねらい値に対し±１０μｍ以下を確保する
必要があることが実験的に確かめられている。
を向上させる方法が有効であることが広く知られている
。但し、空隙Ｃを小さくすることは推力を大きくす為反
面、コギング力を大きくし同時にム□−バーと哀テータ
間の吸引力も近似的に空□隙Ｃの２乗に反比例して大き
くなり位置決め精度やベアリング寿命に悪影響を与える
。この為空隙Ｃは設計上目標とする仕様に合せ最適値を
とるが、この空隙がねらい通りに確保できなければ出来
上ったリニアモータは充分な性能を発揮することができ
ないのである。ここで産業用として目標の性能を確保す
る１で前記ステー゛夕磁極歯列とムーバ−６ページ 磁極歯の相対位置精度は前記１／６Ｐの±６％（Ｐを１
．ａｍｍとすると±０．０１３ｍｍ）以下が望ましく、
父、空＠Ｃはねらい値に対し±１０μｍ以下を確保する
必要があることが実験的に確かめられている。
しかしながら上記の様な構成ではムーバ−磁極歯ａａ、
ｓｂが別部品である為−８ａと８ｂの相対位置精度を前
記±０．０１３ ｍｍ以内で組立てることはかなシ困難
であり、多大の組立調整時間と測定時間を要し、更に８
ａと８ｂの厚さが累々る時は空隙Ｃの精度確保が不可能
となシ修正等の手間を要していた。この為、量産性が悪
くコスト高を招いており、又、保守の為に分解した時も
復帰が困難である等□の欠点を有していた。
ｓｂが別部品である為−８ａと８ｂの相対位置精度を前
記±０．０１３ ｍｍ以内で組立てることはかなシ困難
であり、多大の組立調整時間と測定時間を要し、更に８
ａと８ｂの厚さが累々る時は空隙Ｃの精度確保が不可能
となシ修正等の手間を要していた。この為、量産性が悪
くコスト高を招いており、又、保守の為に分解した時も
復帰が困難である等□の欠点を有していた。
次に第３図は当社よシ先願のりニアモータ式移動テーブ
ルのムーバ一部構成のみを示したもので。
ルのムーバ一部構成のみを示したもので。
従来例の問題点を解決すべ〈発明されたものであるが、
以下に述べる理由によりリニアモータ式移動テーブルと
して組立る際に空隙Ｃの精度を確保、する上で欠点を有
していた。
以下に述べる理由によりリニアモータ式移動テーブルと
して組立る際に空隙Ｃの精度を確保、する上で欠点を有
していた。
′ベージ
その構成を図面を参照しながら説明する。なお第１〜２
図と同機能部品には同一番号を付して説明する０ムーバ
−３は上部コア４と、永久磁石６ａ 、ｓｂと、下部コ
アユニット９及び駆動コイル７Ｘ 、７Ｙ 、７Ｚ（図
示せず）より構成される。
図と同機能部品には同一番号を付して説明する０ムーバ
−３は上部コア４と、永久磁石６ａ 、ｓｂと、下部コ
アユニット９及び駆動コイル７Ｘ 、７Ｙ 、７Ｚ（図
示せず）より構成される。
下部コアユニットは下部コア素材（下部コア６ａ。
６ｂより加工シロだけ大きめの素材）間に非磁性体より
なる部材１０をはさみ込み、溶接、ビンの絞め等により
一体的に構成した後下部コアユニット９の永久磁石ｓａ
、ｓｂ側の面及びムーバ−磁極歯ａａ 、ａｂを加工し
たものである。
なる部材１０をはさみ込み、溶接、ビンの絞め等により
一体的に構成した後下部コアユニット９の永久磁石ｓａ
、ｓｂ側の面及びムーバ−磁極歯ａａ 、ａｂを加工し
たものである。
したがって、従来の下部コアａａ、ａｈが別部品のもの
に比べ非磁性部材１０を介して下部コアａａ、ａｂを一
体にしたことにより、ムーバ−磁極歯ｓａ、ａｂは一体
的に加工することができａａ 、ｓｂの相対位置精度及
び厚さ精度を精度良く加工することができる。
に比べ非磁性部材１０を介して下部コアａａ、ａｂを一
体にしたことにより、ムーバ−磁極歯ｓａ、ａｂは一体
的に加工することができａａ 、ｓｂの相対位置精度及
び厚さ精度を精度良く加工することができる。
しかし・ながら上記・のような構成では、下部コアユニ
ット９単体では精度良く製作することができるが、実際
にロボットやＸＹテーブルの駆動手段として搭載する場
合、ムーバ−としての締結面が上部コア４の上面となる
為ベアリング手段を併なった移動ベースと固定ベースに
それぞれムーバ−３とステータ２を組込んだ時に前記空
隙Ｃの大きさに永久磁石ｅｓａ、ｓｂ及び上部コア４の
寸法が影響を与えることになり、すなわち空隙Ｃの寸法
精度をねらい通りに確保する為には永久磁石５ａ。
ット９単体では精度良く製作することができるが、実際
にロボットやＸＹテーブルの駆動手段として搭載する場
合、ムーバ−としての締結面が上部コア４の上面となる
為ベアリング手段を併なった移動ベースと固定ベースに
それぞれムーバ−３とステータ２を組込んだ時に前記空
隙Ｃの大きさに永久磁石ｅｓａ、ｓｂ及び上部コア４の
寸法が影響を与えることになり、すなわち空隙Ｃの寸法
精度をねらい通りに確保する為には永久磁石５ａ。
６ｂ及び上部コア４の厚さ精度、上下面の平行度を精度
良く仕上る必要があり調整が困難でコスト高になるとい
う欠点を有していた。
良く仕上る必要があり調整が困難でコスト高になるとい
う欠点を有していた。
ここで更にリニアモータを搭載した移動テーブルについ
てベアリング手段を具体的にして従来例の構成とその問
題点を説明する。なお第１〜３図と同機能部品には同一
番号を付して説明する。又。
てベアリング手段を具体的にして従来例の構成とその問
題点を説明する。なお第１〜３図と同機能部品には同一
番号を付して説明する。又。
第４図以下に図示するりニアモータ部は第１〜３図に図
示したりニアモータに比ベステータ磁極歯列を２列とし
てモータ幅をせばめている為、これに併ないムーバ−３
の方向とムーバ−磁極歯の方向を９０°変えているが駆
動原理及び主要構成は従来例と同じである０第４図はラ
ジアル形転がり９ページ ベアリング以下ベアリングと言う１２ａ、１２ｂ。
示したりニアモータに比ベステータ磁極歯列を２列とし
てモータ幅をせばめている為、これに併ないムーバ−３
の方向とムーバ−磁極歯の方向を９０°変えているが駆
動原理及び主要構成は従来例と同じである０第４図はラ
ジアル形転がり９ページ ベアリング以下ベアリングと言う１２ａ、１２ｂ。
１ｓａ、１ｓｂによりムーバ−３がステータ２の磁極歯
列１上を適切な空隙を保って走行可能に構成したもので
あるが、ムーバ−磁極歯Ｂを下面に形成した下部コアａ
ａ、ｅｂは永久磁石５ａ。
列１上を適切な空隙を保って走行可能に構成したもので
あるが、ムーバ−磁極歯Ｂを下面に形成した下部コアａ
ａ、ｅｂは永久磁石５ａ。
６ｂ及び上部コア４を介してベアリング１２ａ。
１２ｂ、１３ａ、１３ｂを支持するケーシング１１に取
シ付けられる為、ムーバ−磁極歯８とステータ磁極歯列
１の空隙を精度良く組立ることは非常に困難であシ、設
計上でねらった通りの性能を引き出す為の精度（±１０
μｍ程度の管理が必要）を確保する上で一度組立た後、
空隙を測定し、誤差分だけ上部コア４を削ったり、スペ
ーサーをはさみ込んだりしなければならず多くの調整時
間を要し、コスト高になる等の欠点を有していた。
シ付けられる為、ムーバ−磁極歯８とステータ磁極歯列
１の空隙を精度良く組立ることは非常に困難であシ、設
計上でねらった通りの性能を引き出す為の精度（±１０
μｍ程度の管理が必要）を確保する上で一度組立た後、
空隙を測定し、誤差分だけ上部コア４を削ったり、スペ
ーサーをはさみ込んだりしなければならず多くの調整時
間を要し、コスト高になる等の欠点を有していた。
又第６図は一ベアリング手段として無限直線運動をする
スライドベアリング（本例ではトラックレールとスライ
ドメンバーによる無限直線運動ベアリングの例を示す）
を２個平行に配置してムーバ−３がステータ２の磁極歯
列１上を適切な空隙１０、、−ジ を保って走行可能に構成したものであるが一ムーバー磁
極歯８を下面に形成した下部コアｓａ、ｅｂは永久磁石
ｓａ、ｓｂ及び上部コア４を介して移動ベース１７に取
付けられる為、第４図と同様にムーバ−磁極歯８とステ
ータ磁極歯列１の空隙を精度良く組立る為には上部コア
４及び永久磁石ｓａ、ｓｂを厚さ、平行度共に精度良く
加工しなければならず−ｎ度確保が困難であった。父、
移動限−ス１７と固定ベース１６の間にステータ２゜下
部コアｅａ、ｅｂ、永久磁石６ａ、ｓｂ及び上部コア４
が組込まれる為、移動テーブル全体が厚く重いものにな
り、直交ロボット及びＸＹテーブルとして利用する場合
、Ｙ軸テーブルがＸ軸テーブル上に積み重ねられるので
Ｘ軸ゲープルのりニアモータに対する負荷重量が大きく
なり加減速性能が著しく悪くなる等の欠点を有していた
。
スライドベアリング（本例ではトラックレールとスライ
ドメンバーによる無限直線運動ベアリングの例を示す）
を２個平行に配置してムーバ−３がステータ２の磁極歯
列１上を適切な空隙１０、、−ジ を保って走行可能に構成したものであるが一ムーバー磁
極歯８を下面に形成した下部コアｓａ、ｅｂは永久磁石
ｓａ、ｓｂ及び上部コア４を介して移動ベース１７に取
付けられる為、第４図と同様にムーバ−磁極歯８とステ
ータ磁極歯列１の空隙を精度良く組立る為には上部コア
４及び永久磁石ｓａ、ｓｂを厚さ、平行度共に精度良く
加工しなければならず−ｎ度確保が困難であった。父、
移動限−ス１７と固定ベース１６の間にステータ２゜下
部コアｅａ、ｅｂ、永久磁石６ａ、ｓｂ及び上部コア４
が組込まれる為、移動テーブル全体が厚く重いものにな
り、直交ロボット及びＸＹテーブルとして利用する場合
、Ｙ軸テーブルがＸ軸テーブル上に積み重ねられるので
Ｘ軸ゲープルのりニアモータに対する負荷重量が大きく
なり加減速性能が著しく悪くなる等の欠点を有していた
。
発明の目的 □
本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、リニアモータ
の組込み調整を容易にし、低コストでか゛つコンパクト
なリニアモータ式移動テーブルを提゛１１ページ 供するものである。
の組込み調整を容易にし、低コストでか゛つコンパクト
なリニアモータ式移動テーブルを提゛１１ページ 供するものである。
発明の構成
本発明は長手方向に等ピッチのステータ磁極歯列を有す
るステータと、ベアリング手段によって前記ステータ磁
極歯列上を適切な空隙を維持しつつ前記ステータの長手
方向へ走行可能に設けられたムーバ−よりなシ、前記ム
ーバ−は、永久磁石と一上部コアと一前記ステータ磁極
歯列対向面に前記ステータ磁極歯六回−ピッチのムーバ
−磁極歯を有する少なくとも１対の下部コアと、前記下
部コアにはさまれる非磁性部材と、駆動コイルと。
るステータと、ベアリング手段によって前記ステータ磁
極歯列上を適切な空隙を維持しつつ前記ステータの長手
方向へ走行可能に設けられたムーバ−よりなシ、前記ム
ーバ−は、永久磁石と一上部コアと一前記ステータ磁極
歯列対向面に前記ステータ磁極歯六回−ピッチのムーバ
−磁極歯を有する少なくとも１対の下部コアと、前記下
部コアにはさまれる非磁性部材と、駆動コイルと。
前部下部コアの外周部に配置した締結部材とで構成され
、前記下部コアと非磁性部材および締結部材を一体とし
て下部コアユニ、）とした後に、前記ムーバ−磁極歯と
前記締結部材の前、記入−バーー極歯と反対側の締結面
を加工するので、前記、ムーバ−磁極歯と前記、締−面
の関係精度が精度良く加工でき２組立調整を容易にし、
安価なリニアモータ式移動テ下プルを提供できるという
特有の効果を有する。 、 実施例の説明 以下本発明の第１の実施例について第６図〜第８図を参
照しながら説明する。なお第１〜６図と同機能部品には
同一番号を付して以下説明する。
、前記下部コアと非磁性部材および締結部材を一体とし
て下部コアユニ、）とした後に、前記ムーバ−磁極歯と
前記締結部材の前、記入−バーー極歯と反対側の締結面
を加工するので、前記、ムーバ−磁極歯と前記、締−面
の関係精度が精度良く加工でき２組立調整を容易にし、
安価なリニアモータ式移動テ下プルを提供できるという
特有の効果を有する。 、 実施例の説明 以下本発明の第１の実施例について第６図〜第８図を参
照しながら説明する。なお第１〜６図と同機能部品には
同一番号を付して以下説明する。
第６図は本発明の第１の実施例におけるリニアモータ部
、第７図はりニアモータ式移動テーブルで走行方向と直
角に断面したもの、第８図はリニアモータ式移動テーブ
ルの分解図である。図において、°ムーバー３は上部コ
ア４．永久８石５ａ、ｓｂ。
、第７図はりニアモータ式移動テーブルで走行方向と直
角に断面したもの、第８図はリニアモータ式移動テーブ
ルの分解図である。図において、°ムーバー３は上部コ
ア４．永久８石５ａ、ｓｂ。
駆動コイル７Ｘ、７Ｙ、７Ｚ、下部コアユニット９よ多
構成される。下部コアユニット９は例えば２つの下部コ
ア素材（下部コアｅａ、ｅｂより加工シロだけ大きめの
素材）間に非磁性体よりなる部材１０をはさみ込みさら
にその外側に締結部材１８ａ、１８ｂを配して、溶接、
ピンの絞め等により一体的に構成した後下部コアユニッ
ト９の永久磁石ｓａ 、ｔｓｂ側の面及びムーバ−締結
部材１８ａ、１８ｂの締結面１１８ａ、１１８ｂ及びム
ーバ−磁極歯ｓｘ、ａｙ、ａｚ部を研削−ワイヤカット
等により加工したものである。・２はステ１３４−ジ ータ−１ａ、１ｂはステータ、、磁極歯列−１２＆。
構成される。下部コアユニット９は例えば２つの下部コ
ア素材（下部コアｅａ、ｅｂより加工シロだけ大きめの
素材）間に非磁性体よりなる部材１０をはさみ込みさら
にその外側に締結部材１８ａ、１８ｂを配して、溶接、
ピンの絞め等により一体的に構成した後下部コアユニッ
ト９の永久磁石ｓａ 、ｔｓｂ側の面及びムーバ−締結
部材１８ａ、１８ｂの締結面１１８ａ、１１８ｂ及びム
ーバ−磁極歯ｓｘ、ａｙ、ａｚ部を研削−ワイヤカット
等により加工したものである。・２はステ１３４−ジ ータ−１ａ、１ｂはステータ、、磁極歯列−１２＆。
１２ｂ 、１．３１Ｌ、、１３ｂはムーバ−３をステー
タ２の長手方向に沿って案内Ｊる転がりベアリング−１
１稈転がりベアリング１２ｉＬ、１２ｂ、１３ａ。
タ２の長手方向に沿って案内Ｊる転がりベアリング−１
１稈転がりベアリング１２ｉＬ、１２ｂ、１３ａ。
１３ｂとムーバ−３を支持するケーシングである。
以上のように構成亭些た゛１＝アゝ−一式移動テーブル
について、その動作原理は従来例と全く回りであるので
μ略するが１．、本、実蝉例によれば、下部コアユニッ
、ト９を！接、ピンの絞め等により一体的円構成した後
−下部コアユニット９の永久磁石ｓａ 、６ｂ側の面及
び締、結部材１８２Ｌ、１８ｂの締結面１．１８＆ 、
１１ ｓ、ｂ、及び↑−バー磁極歯８Ｘ、ＢＹ、ＢＺ
部を研削、ワイヤー力ｙ）等により加工するので下部コ
ア６ａに対する下部コア６粉のムーバ−＄極歯８Ｘ、８
Ｙ、８Ｚの関係は非常に精度良く確、保すること、がで
き、ムーバ−磁極歯８に、８Ｙ、８Ｚ、！：締結面１１
８ａ、１１８ｂの位置関係精度も確保できるので、移動
テーブルとして組立てる時、ムーバ−、磁極歯８Ｘ、８
Ｙ。
について、その動作原理は従来例と全く回りであるので
μ略するが１．、本、実蝉例によれば、下部コアユニッ
、ト９を！接、ピンの絞め等により一体的円構成した後
−下部コアユニット９の永久磁石ｓａ 、６ｂ側の面及
び締、結部材１８２Ｌ、１８ｂの締結面１．１８＆ 、
１１ ｓ、ｂ、及び↑−バー磁極歯８Ｘ、ＢＹ、ＢＺ
部を研削、ワイヤー力ｙ）等により加工するので下部コ
ア６ａに対する下部コア６粉のムーバ−＄極歯８Ｘ、８
Ｙ、８Ｚの関係は非常に精度良く確、保すること、がで
き、ムーバ−磁極歯８に、８Ｙ、８Ｚ、！：締結面１１
８ａ、１１８ｂの位置関係精度も確保できるので、移動
テーブルとして組立てる時、ムーバ−、磁極歯８Ｘ、８
Ｙ。
８ｚとステータ磁極歯１ａ、１石間の空隙を容易１４ペ
ージ に作ることができ、なおかつ−上部コア４の上面より上
部コア４と永久磁石ｓａ、ｅｓｂの厚み分だけステータ
２に近づけた位置でケーシング１１と締結できるのでコ
ンパクトなりニアモータ式移動テーブルを提供すること
ができる。
ージ に作ることができ、なおかつ−上部コア４の上面より上
部コア４と永久磁石ｓａ、ｅｓｂの厚み分だけステータ
２に近づけた位置でケーシング１１と締結できるのでコ
ンパクトなりニアモータ式移動テーブルを提供すること
ができる。
以下本発明の第２の実施例について第９図、第１０図を
参照しながら説明する。なお第１〜第８図と同機、能部
品については同一番号を付して以下説明する。第９図は
本発明の第２の実施例のリニアモータ式移動テーブルの
走行方向と直角な断面図を示し、第１１図はその斜視図
を示したものである。なおリニアモータ部（ムーバ−３
及びステータ２）は第１の実施例と同一であるのでムー
バ−及びステータの構成の説明は省略する。図において
、１４及び１６は無限直線運動をするスライドベアリン
グで１４？Ｌ、１６＆はそのスライドメ、ンバ−−１４
ｂ、１６ｂはそのトラックレールである。１６はトラッ
クレール１４ｂ、１６ｂを平行に固定し、同じくトラッ
クレールに平行にステータ２を固定した固定ベース−１
７は、スライドメ１６２．−ラ。
参照しながら説明する。なお第１〜第８図と同機、能部
品については同一番号を付して以下説明する。第９図は
本発明の第２の実施例のリニアモータ式移動テーブルの
走行方向と直角な断面図を示し、第１１図はその斜視図
を示したものである。なおリニアモータ部（ムーバ−３
及びステータ２）は第１の実施例と同一であるのでムー
バ−及びステータの構成の説明は省略する。図において
、１４及び１６は無限直線運動をするスライドベアリン
グで１４？Ｌ、１６＆はそのスライドメ、ンバ−−１４
ｂ、１６ｂはそのトラックレールである。１６はトラッ
クレール１４ｂ、１６ｂを平行に固定し、同じくトラッ
クレールに平行にステータ２を固定した固定ベース−１
７は、スライドメ１６２．−ラ。
ンバ−１４ａ、１５＆を固定し一体的に移動可能とした
移動ベースで一ステータ２に向き合う面にムーバ−の締
結部材１ｓａ、１ｓｂの締結面を合せて固定している。
移動ベースで一ステータ２に向き合う面にムーバ−の締
結部材１ｓａ、１ｓｂの締結面を合せて固定している。
移動ベース１７の概略中央部 。
にはムーバ−の永久磁石ｅｓ？Ｌ、ｓｂ及び上部コア４
がは寸り込む空間を形成している。１９は移動テーブル
の原点及び移動端を検出する為のセンサー部で１９＆は
その移動側センサー、１９ｂは固定側センサーである。
がは寸り込む空間を形成している。１９は移動テーブル
の原点及び移動端を検出する為のセンサー部で１９＆は
その移動側センサー、１９ｂは固定側センサーである。
２Ｏはリニアモータ式移動テーブルをサーボ駆動する為
にステータ２の磁極歯を検出する検出・＼ラドである。
にステータ２の磁極歯を検出する検出・＼ラドである。
、以上のように構成されたりニアモー多式移動テーブル
について。
について。
その動作原理は従来例と□同様であるので詳しく述べる
ことはさｉるが、ムー・（−はスライドベアリング１４
．１６によってステータ磁極歯列上でわずかな空ｈｉ維
持してスライドすることができ一又一検出ヘッド２０に
よるステータ磁極歯の検出によって図示しない制御回路
によりサーボ駆動することができる。
ことはさｉるが、ムー・（−はスライドベアリング１４
．１６によってステータ磁極歯列上でわずかな空ｈｉ維
持してスライドすることができ一又一検出ヘッド２０に
よるステータ磁極歯の検出によって図示しない制御回路
によりサーボ駆動することができる。
以上のように本実施例によれば−ムーノ（−３の下部コ
アユニット９を例えば２つの下部コア素材間に非磁性体
よりなる部材１０をはさみ込みさらにその外側に締結部
材１８ａ、１８ｂを配して。
アユニット９を例えば２つの下部コア素材間に非磁性体
よりなる部材１０をはさみ込みさらにその外側に締結部
材１８ａ、１８ｂを配して。
溶接等により一体的に構成した後下部コアユニクト９の
永久磁石６ａ 、ｓｂ側の面及び締結部材１８２Ｌ 、
１ ｓｂの締結面１１８ａ、１１８ｂ及びムーバ−磁極
歯ｓｘ、ｓｙ、ｓｚ部を研削、ワイヤー力ｙ）等により
加工するので下部コア６ａに対する下部コア６ｂのムー
バ−９極歯ｓＸ 、ｓＹ。
永久磁石６ａ 、ｓｂ側の面及び締結部材１８２Ｌ 、
１ ｓｂの締結面１１８ａ、１１８ｂ及びムーバ−磁極
歯ｓｘ、ｓｙ、ｓｚ部を研削、ワイヤー力ｙ）等により
加工するので下部コア６ａに対する下部コア６ｂのムー
バ−９極歯ｓＸ 、ｓＹ。
８Ｚの関係は非常に精度良く確保することができ、ムー
バ−磁極歯８Ｘ＠８Ｙ、８Ｚと締結面１１８ａ。
バ−磁極歯８Ｘ＠８Ｙ、８Ｚと締結面１１８ａ。
１１８ｂの位置関係精度も確保できるので移動テーブル
として組立る時−ムーバ−磁極歯ａｘ、ａｙ。
として組立る時−ムーバ−磁極歯ａｘ、ａｙ。
８ｚとステータ磁極歯１ａ、１ｂ間の空隙を容易に作る
ことができ、なおかつ−上部コア４の上面より上部コア
４と永久磁石ｓａ 、ｓｂの厚み分だけステータ２に近
づけた位置で移動ベース１７と締結し、上部コア４及び
永久磁石ｅｓａ、ｅｓｂを移動ベース１７の厚さの中に
吸収できるのでコンパクトなリニアモータ式移動テーブ
ルを提供するこ１７ページ とができる。なお、第１．第２の実施例において下部コ
アｅａ、ｓｂの永久磁石６ａ、６ｂ側の面とムーバ−締
結部材の締結面１１ｓａ、１１８ｂを同一面として図示
したが一段差が付いた構成であっても良い。
ことができ、なおかつ−上部コア４の上面より上部コア
４と永久磁石ｓａ 、ｓｂの厚み分だけステータ２に近
づけた位置で移動ベース１７と締結し、上部コア４及び
永久磁石ｅｓａ、ｅｓｂを移動ベース１７の厚さの中に
吸収できるのでコンパクトなリニアモータ式移動テーブ
ルを提供するこ１７ページ とができる。なお、第１．第２の実施例において下部コ
アｅａ、ｓｂの永久磁石６ａ、６ｂ側の面とムーバ−締
結部材の締結面１１ｓａ、１１８ｂを同一面として図示
したが一段差が付いた構成であっても良い。
又第１の実施例において転がりベアリングの転勤面をス
テータの磁極歯面及びその側面としたが転勤面の強度を
上げる為にステータを組付ける固定ベースを設け、固定
ベースの面上で転動するように構成しても良い。
テータの磁極歯面及びその側面としたが転勤面の強度を
上げる為にステータを組付ける固定ベースを設け、固定
ベースの面上で転動するように構成しても良い。
父、第２の実施例においてベアリング手段はスライドベ
アリングとトラックレールとして説明したが、丸棒ガイ
ドシャフトを固定ベースに組付けこれと組合されるスラ
イドベアリングラ移動ペースに固定して移動テーブルを
構成しても良い。
アリングとトラックレールとして説明したが、丸棒ガイ
ドシャフトを固定ベースに組付けこれと組合されるスラ
イドベアリングラ移動ペースに固定して移動テーブルを
構成しても良い。
発明の効果
以上のように本発明はムーバ−の下部コアユニットを少
なくとも１対の下部コアと一下部コアにはさまれる非磁
性よりなる部材と、これらの外周部に配置した締結部材
を溶接、ピン絞め等の手段１８、−ジ により一体的に構成した後に−ムーバー磁極歯と締結部
材の締結面を加工するので、下部コア相互の相対位置精
度を確保できると共にムーバ−磁極歯と締結面の位置関
係精度（特に厚さ寸法）が精度良く確保できるので一直
交ロボットやＸＹテーブル用の移動テーブルとして組立
てる時１組立調整が容易になり低コストなりニアモータ
式移動テーブルを提供することができ、その実用的効果
は大なるものがある。
なくとも１対の下部コアと一下部コアにはさまれる非磁
性よりなる部材と、これらの外周部に配置した締結部材
を溶接、ピン絞め等の手段１８、−ジ により一体的に構成した後に−ムーバー磁極歯と締結部
材の締結面を加工するので、下部コア相互の相対位置精
度を確保できると共にムーバ−磁極歯と締結面の位置関
係精度（特に厚さ寸法）が精度良く確保できるので一直
交ロボットやＸＹテーブル用の移動テーブルとして組立
てる時１組立調整が容易になり低コストなりニアモータ
式移動テーブルを提供することができ、その実用的効果
は大なるものがある。
第１図は従来の磁極歯を有するリニアモータ式移動テー
ブルの斜視図、第２図はステータ磁極歯列とムーバ−磁
極歯の相対位置関係を示す説明図。 第３図はリニアモータのムーバ一部の斜視図、第４図、
第６図は従来のリニアモータ式移動テーブルの移動方向
と直角に切断した断面図−第６図は本発明の第１の実施
例におけるリニアモータ部の斜視図−第７図は本発明の
第１の実施例におけるリニアモータ式移動テーブルの移
動方向と直角に切断した断面図、第８図は同分解斜視図
、第９図１９ページ は本発明の第２の実施例におけるリニアモータ式移動テ
ーブルの移動方向と直角に切断した断面図。 第１０図は同斜視図である。 １１Ｌ、１ｂ・・・・・・ステータ畠極歯列、２・・・
・・・ステータ、３・・・・・・ムーバ−１４・・・・
・・土部コア、５＆。 ６ｂ・・・山永久磁石、ｅａ、ｅｂ・・・・・・下部コ
ア。 ７Ｘ 、 ７Ｙ 、 ７ Ｚ−・−−−−駆動コイル−
８！ 、 ８Ｙ 。 ８ｚ・・・・・・ムーバ−磁［歯−９・・・・・・下部
コアユニット、１０・・・・・・非磁性部材、１１・・
・・・・ケーシング。 １２１Ｌ１１２ｂ、１３１Ｌ、１３ｂ・・・・・・ラジ
アル形転がりベアリング＋１４ａ、１＋ｂ、１ｓａ。 １６ｂ・・・・・・スライドベアリング、１６・・・・
・・固定ベース、１７・旧・・移動ベース。 、代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１１１ 卜・−一 範 ｕ 吋 円 綜 城 ２２３−
ブルの斜視図、第２図はステータ磁極歯列とムーバ−磁
極歯の相対位置関係を示す説明図。 第３図はリニアモータのムーバ一部の斜視図、第４図、
第６図は従来のリニアモータ式移動テーブルの移動方向
と直角に切断した断面図−第６図は本発明の第１の実施
例におけるリニアモータ部の斜視図−第７図は本発明の
第１の実施例におけるリニアモータ式移動テーブルの移
動方向と直角に切断した断面図、第８図は同分解斜視図
、第９図１９ページ は本発明の第２の実施例におけるリニアモータ式移動テ
ーブルの移動方向と直角に切断した断面図。 第１０図は同斜視図である。 １１Ｌ、１ｂ・・・・・・ステータ畠極歯列、２・・・
・・・ステータ、３・・・・・・ムーバ−１４・・・・
・・土部コア、５＆。 ６ｂ・・・山永久磁石、ｅａ、ｅｂ・・・・・・下部コ
ア。 ７Ｘ 、 ７Ｙ 、 ７ Ｚ−・−−−−駆動コイル−
８！ 、 ８Ｙ 。 ８ｚ・・・・・・ムーバ−磁［歯−９・・・・・・下部
コアユニット、１０・・・・・・非磁性部材、１１・・
・・・・ケーシング。 １２１Ｌ１１２ｂ、１３１Ｌ、１３ｂ・・・・・・ラジ
アル形転がりベアリング＋１４ａ、１＋ｂ、１ｓａ。 １６ｂ・・・・・・スライドベアリング、１６・・・・
・・固定ベース、１７・旧・・移動ベース。 、代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１１１ 卜・−一 範 ｕ 吋 円 綜 城 ２２３−
Claims (3)
- （１）長手方向に等ピッチのステータ磁極歯列を有、、
するステータと、ベアリング手段によって前記テ、テー
タ、、磁極歯列上を適切な空隙を維持しつつ前記ス、テ
ータの長手方向へ走行可能に設けら、れたムーバ−よシ
なり、前記ムーバ−は、永久磁、石と一上部コアと、前
記ステータ磁極歯列対向、面に前記ステータ磁極歯と同
、−ピッチのムーバ−磁極歯を有する少なくとも１対の
下部コアと。 前、記下部コアにはさまれる非磁性部材と一駆動コイル
と、前記下部、コアの外周部に配置した締結部材と、で
構成声れ１−前記下部°アと非磁性部材及び締結部材を
一体として下部コアユニットとした後に、前記ムーバ−
磁極歯と前記締結部材の前記ムーバ−磁極歯と反対側の
締結面を加工したりニアモータ式移動テーブル。 - （２）ベアリング手段は、ラジアル形転がシのベア２、
、−’ リングとし、前記ステータ磁極歯と前記ムーバ−磁極歯
の適切な空隙を維持するように前記ステータの磁極面側
に少なくとも３個のベアリングを配し−さらに前記ムー
バ−を前記ステータの長手方向に沿って案内するよう前
記ステータの側面に少なくとも３個のベアリングを配し
。 これらのベアリングと前記、ムーバ−を一体的に組立て
る為、のクーシンクを用い一前記ケーシングのステータ
磁極面側の取付面に前記締結部材の締結面を合せて固定
した特許請求の範囲第１項記載のリニアモータ式移動テ
ーブル。 - （３）ベアリング、手段は、無限直線運動をするスライ
ドベてリングを少なくとも２個平行に配置し、前記ステ
ータと前記スライドベアリングと組合されるスライドレ
ールを平行支持する内定ベースと、前記スライドベアリ
ングと前記ムーバ−を一体的に組、立てる移動ベースと
で構成し、前記移゛動ベースと前記固定ベースの間でか
っ、前記２個のスライドベアリングの間に前記ムーバ−
”’ｔｍ込む空間を形成し、前記移動ベースの前−ペー
ジ 記空間側の面に前記ムーバ−の締結部材の締結面を合せ
て固定し、前記永久磁石と上部コアを前記移動ベースの
概略中央部に設けた四部にはまり込むようにした特許請
求の範囲第１項記載のりニアモータ式移動テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24023283A JPS60132829A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | リニアモ−タ式移動テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24023283A JPS60132829A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | リニアモ−タ式移動テ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60132829A true JPS60132829A (ja) | 1985-07-15 |
Family
ID=17056412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24023283A Pending JPS60132829A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | リニアモ−タ式移動テ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60132829A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000068125A1 (de) * | 1999-05-06 | 2000-11-16 | Cooper Power Tools Gmbh & Co. | Transportsystem |
| EP3027540A4 (en) * | 2013-07-29 | 2017-12-20 | ATS Automation Tooling Systems Inc. | Conveyor bearing system |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP24023283A patent/JPS60132829A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000068125A1 (de) * | 1999-05-06 | 2000-11-16 | Cooper Power Tools Gmbh & Co. | Transportsystem |
| EP3027540A4 (en) * | 2013-07-29 | 2017-12-20 | ATS Automation Tooling Systems Inc. | Conveyor bearing system |
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