JPS60112380U - 表面処理剤塗布装置 - Google Patents
表面処理剤塗布装置Info
- Publication number
- JPS60112380U JPS60112380U JP20269283U JP20269283U JPS60112380U JP S60112380 U JPS60112380 U JP S60112380U JP 20269283 U JP20269283 U JP 20269283U JP 20269283 U JP20269283 U JP 20269283U JP S60112380 U JPS60112380 U JP S60112380U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface treatment
- treatment agent
- volatile
- coating equipment
- agent coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はリフトオフ法によるフォトレジストの処理工程
を示す図である。第２図は本考案実施例の構成を示す図
である。 ５・・・・・・圧縮ガス供給管、６・・・・・・四方弁
、７・・曲タンク内圧のコントロール用配管、８・・曲
表面処理剤、９・・・・・・表面処理剤貯蔵タンク、１
ｏ・・・・・・導管、１１・・・・・・開閉弁、１２・
・・・・・気密容器、１３・・・・・・排液管、１４・
・・・・・ガスフィルタ、１５・・・・・・基板保持容
器の内圧コントロール用配管。
を示す図である。第２図は本考案実施例の構成を示す図
である。 ５・・・・・・圧縮ガス供給管、６・・・・・・四方弁
、７・・曲タンク内圧のコントロール用配管、８・・曲
表面処理剤、９・・・・・・表面処理剤貯蔵タンク、１
ｏ・・・・・・導管、１１・・・・・・開閉弁、１２・
・・・・・気密容器、１３・・・・・・排液管、１４・
・・・・・ガスフィルタ、１５・・・・・・基板保持容
器の内圧コントロール用配管。
Claims (1)
- 揮発性の表面処理剤を基板面に塗布するための装置であ
って、表面処理剤を塗布するために基板を収納・保持す
る密閉型の基板保持容器と、表面処理剤を貯蔵するタン
クと、上記表面処理剤の揮発ガスを捕獲するガスフィル
タと、当該装置の系内で上記表面処理剤を移送するため
の圧縮ガスを供給する圧縮ガス供給手段とが、配管系を
介して上記表面処理剤の揮発ガスに対する閉鎖系を形成
して成り、上記揮発ガスが当該装置の系外に排出されな
いよう構成されたことを特徴とする、表面処理剤塗布装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20269283U JPS60112380U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 表面処理剤塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20269283U JPS60112380U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 表面処理剤塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60112380U true JPS60112380U (ja) | 1985-07-30 |
| JPH0137725Y2 JPH0137725Y2 (ja) | 1989-11-14 |
Family
ID=30765130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20269283U Granted JPS60112380U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | 表面処理剤塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60112380U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03154668A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | 有機薄膜の形成方法および形成装置 |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP20269283U patent/JPS60112380U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03154668A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Mitsubishi Electric Corp | 有機薄膜の形成方法および形成装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0137725Y2 (ja) | 1989-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60112380U (ja) | 表面処理剤塗布装置 | |
| JPS59180760U (ja) | 塗料供給装置 | |
| JPS605487U (ja) | 分離機内部点検窓の内面洗浄装置 | |
| JPS58180630U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS6023135U (ja) | 粉体の空気輸送装置 | |
| JPS58172468U (ja) | メカニカルマスキング式メッキ装置 | |
| JPS6063463U (ja) | 多槽式液剤供給装置 | |
| JPS5930998U (ja) | ドレン排出装置 | |
| JPS6049060U (ja) | 車両用ウオツシヤ−液散布装置 | |
| JPS5979225U (ja) | 廃棄物焼却排ガス処理装置 | |
| JPS5982919U (ja) | 押出機への給液装置 | |
| JPS6075459U (ja) | スパツタガンの水抜き装置 | |
| JPS59152454U (ja) | 連続脱ガス処理装置 | |
| JPS594543U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS5848321U (ja) | ガス浄化装置 | |
| JPS58190410U (ja) | フイルタ−プレスの汚泥供給装置 | |
| JPS59122498U (ja) | 管体内の液体抜き取り装置 | |
| JPS58165000U (ja) | 油輸送船におけるイナ−トガストツプアツプ用余剰蒸気処理装置 | |
| JPS609224U (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPS5899656U (ja) | 磁粉液散布装置 | |
| JPS6034611U (ja) | 液体窒素滴下装置の内圧制御装置 | |
| JPS59119335U (ja) | ガス供給装置 | |
| JPS58132192U (ja) | レシプロ圧縮機の吐出配管温度制御装置 | |
| JPS58181001U (ja) | エアブレ−キ用圧縮空気システム | |
| JPS58184254U (ja) | 自動補給式シヨツトブラスト装置 |