JPS60109326U - 半導体疑似試験装置 - Google Patents
半導体疑似試験装置Info
- Publication number
- JPS60109326U JPS60109326U JP19908683U JP19908683U JPS60109326U JP S60109326 U JPS60109326 U JP S60109326U JP 19908683 U JP19908683 U JP 19908683U JP 19908683 U JP19908683 U JP 19908683U JP S60109326 U JPS60109326 U JP S60109326U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test equipment
- semiconductor
- pseudo test
- semiconductor pseudo
- probe card
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のプローブカードの平面図、第2図は同じ
くそのプローブカードをウェハに接触させた状態の断面
図、第3図は本考案半導体疑似試験装置の一実施例を示
す概略構成図、第4図は同じくそのプローブカードの断
面図、第5図は同じくその一部拡大断面図、第6図は本
考案試験装置の他の実施例を示すプローブカードの平面
図、第7図に同じ(その一部拡大断面図、第8図は同じ
くその概略図である。 1・・・プローブカード、2・・・測定付加回路、3・
・・端子部、7・・・ICソケット、9・・・標準IC
,lQ・・・コネクタ、11・・・ケーブル、12・・
・半導体試験袋 ′置、13・・・端子部、1
4・・・スルーホール孔、15・・・コネクタ、16・
・・端子部、17・・・コネクタ、18・・・ケーブル
。
くそのプローブカードをウェハに接触させた状態の断面
図、第3図は本考案半導体疑似試験装置の一実施例を示
す概略構成図、第4図は同じくそのプローブカードの断
面図、第5図は同じくその一部拡大断面図、第6図は本
考案試験装置の他の実施例を示すプローブカードの平面
図、第7図に同じ(その一部拡大断面図、第8図は同じ
くその概略図である。 1・・・プローブカード、2・・・測定付加回路、3・
・・端子部、7・・・ICソケット、9・・・標準IC
,lQ・・・コネクタ、11・・・ケーブル、12・・
・半導体試験袋 ′置、13・・・端子部、1
4・・・スルーホール孔、15・・・コネクタ、16・
・・端子部、17・・・コネクタ、18・・・ケーブル
。
Claims (1)
- 半導体装置の試験に用いる、プローブカードに完成品I
Cを装着するソケットをもうけ、ソケット端子部とプロ
ーブ針固定部のスルーホール孔を、電気的に結ぶことに
より構成される半導体疑似試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19908683U JPS60109326U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 半導体疑似試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19908683U JPS60109326U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 半導体疑似試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60109326U true JPS60109326U (ja) | 1985-07-25 |
Family
ID=30758685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19908683U Pending JPS60109326U (ja) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | 半導体疑似試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60109326U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677296A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-03-18 | Eejingu Tesuta Kaihatsu Kyodo Kumiai | 集積回路素子ウエハー用測定電極 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP19908683U patent/JPS60109326U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0677296A (ja) * | 1992-05-29 | 1994-03-18 | Eejingu Tesuta Kaihatsu Kyodo Kumiai | 集積回路素子ウエハー用測定電極 |
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