JPS60101852A - 荷電粒子エネルギ−分析装置 - Google Patents
荷電粒子エネルギ−分析装置Info
- Publication number
- JPS60101852A JPS60101852A JP58209706A JP20970683A JPS60101852A JP S60101852 A JPS60101852 A JP S60101852A JP 58209706 A JP58209706 A JP 58209706A JP 20970683 A JP20970683 A JP 20970683A JP S60101852 A JPS60101852 A JP S60101852A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrons
- low
- pass filter
- potential
- pass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
- H01J49/488—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter with retarding grids
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明はローパスフィルタとバイパスフィルタとを組合
せた非分散形の荷電粒子エネルギー分析装置に関する。
せた非分散形の荷電粒子エネルギー分析装置に関する。
(ロ)従来技術
一般にES、CAlAES、SIMSなどにおいて、励
起された電子、イオンなどの荷電粒子の運動エネルギー
を測定するために荷電粒子エネルギー分析装置が広く採
用されている。この荷電粒子エネルギー分析装置には静
電半球形やCMA形などの分散形のものとバイパスフィ
ルタとローパスフィルタとを組合せた非分散形のものと
がある。特に後者は前者に比べて高感度、小形であるな
どの特長を有している。ところで、従来の荷電粒子エネ
ルギー分析装置は、上記分散形、非分散形のいずれもシ
ングルチャンネル形であり、荷電粒子の複数のエネルギ
ーを同時に分析することはできない。複数のエネルギー
を分析するには印加電圧を広いエネルギー領域にわたっ
て走査せねばならない。従って、短時間に多元素を高精
度に分析するには極めて難かしい。
起された電子、イオンなどの荷電粒子の運動エネルギー
を測定するために荷電粒子エネルギー分析装置が広く採
用されている。この荷電粒子エネルギー分析装置には静
電半球形やCMA形などの分散形のものとバイパスフィ
ルタとローパスフィルタとを組合せた非分散形のものと
がある。特に後者は前者に比べて高感度、小形であるな
どの特長を有している。ところで、従来の荷電粒子エネ
ルギー分析装置は、上記分散形、非分散形のいずれもシ
ングルチャンネル形であり、荷電粒子の複数のエネルギ
ーを同時に分析することはできない。複数のエネルギー
を分析するには印加電圧を広いエネルギー領域にわたっ
て走査せねばならない。従って、短時間に多元素を高精
度に分析するには極めて難かしい。
(ハ) 目 的
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであって、
同時に複数のエネルギーの分析ができるようにして、従
来の問題点を解消することを目的とする。
同時に複数のエネルギーの分析ができるようにして、従
来の問題点を解消することを目的とする。
(ニ)構 成
本発明はこのような目的を達成するため回転楕内体の1
つの焦点から発した荷電粒子はもう1つの焦点に三次元
的に収束するという事実に着目して、多チャンネルの非
分散形荷電粒子エネルギー分析装置を構成したものであ
る。すなわち、回転隋円面上の片方側にローバスフィル
りを片方側にバイパスフィルタをこの両フィルタを互い
に対向させてそれぞれ複数配置し、ローパスフィルタと
バイパスフィルタとの間には両者を分離するシールド壁
ヲ、また、各ローパスフィルタとノ1イパスフィルタの
共通する中史にはスリットをそれぞれ設けている。
つの焦点から発した荷電粒子はもう1つの焦点に三次元
的に収束するという事実に着目して、多チャンネルの非
分散形荷電粒子エネルギー分析装置を構成したものであ
る。すなわち、回転隋円面上の片方側にローバスフィル
りを片方側にバイパスフィルタをこの両フィルタを互い
に対向させてそれぞれ複数配置し、ローパスフィルタと
バイパスフィルタとの間には両者を分離するシールド壁
ヲ、また、各ローパスフィルタとノ1イパスフィルタの
共通する中史にはスリットをそれぞれ設けている。
(ホ)実施例
以下、本発明を実施例について、図面に基づいて説明す
る。なお、この実施例ではESCAに適用した場合につ
いて説明する。
る。なお、この実施例ではESCAに適用した場合につ
いて説明する。
第1図はこの実施例の石型粒子エネルギー分析装置の平
面図、第2図は同装置の縦断面図である。
面図、第2図は同装置の縦断面図である。
1は荷電粒子エネルギー分析装置で、この荷電粒子エネ
ルギー分析装置1は、回転隋円面上の片方側(第1図、
第2図の左側)にローパスフィルタ(3) FI、が、他方側(第1図、第2図の右側)にノ1イパ
スフィルタFI(がこの両フィルタFL、 FHを互い
に対向させてそれぞれ複数(本例では5対)配置されて
いる。すなわち、各ローパスフィルタFLは第2グリツ
ドG2と反射鏡Mとで、また、各バイパスフィルタFH
は第4グリツドG4と第5グリツドG5とでそれぞれ構
成されており、一つの回転隋円面S1上に第2グリツド
G2と第4グリツドG4とが、またこの回転路円面S1
から所定距離を離れた回転隋円面S2上に反射鏡Mと第
5グリツドG5とが互いに対向して配置されている。G
1は各ローパスフィルタFLの前方に設けられた第1グ
リツド、G3は各ノ1イパスフィルタFHの前方に設け
られた第3グリツドである。ローパスフィルタFLとバ
イパスフィルタF)(との間には両者を分離するシール
ド壁2が設けらし、マタ、各ローパスフィルタFLとバ
イパスフィルタFHの共通する中央点F2にはスリット
4が配置されている。このスリット4は第3図に示すよ
うに、有底円筒形状をなし、その周壁部には、ローパス
フィルタFLトバイパスフィルタFHとの数に対(4) 応した透孔6,6・・・が形成されている。8は試料で
、この試料8の分析点F+と上記スリット4の中央点F
2とは、反射鏡Mが位置する回転路円面S2よりさらに
所定距離を離れた仮想回転隋円面S3の焦点位置となる
ように予じめ設定される。なお、10は各バイパスフィ
ルタFHに対して個別的に設けられた検知器、12は試
料を励起するためのX・線源、14は外壁で、この外壁
14の内面には散乱電子を少なくするためにカーボンコ
ーティングが施されている。
ルギー分析装置1は、回転隋円面上の片方側(第1図、
第2図の左側)にローパスフィルタ(3) FI、が、他方側(第1図、第2図の右側)にノ1イパ
スフィルタFI(がこの両フィルタFL、 FHを互い
に対向させてそれぞれ複数(本例では5対)配置されて
いる。すなわち、各ローパスフィルタFLは第2グリツ
ドG2と反射鏡Mとで、また、各バイパスフィルタFH
は第4グリツドG4と第5グリツドG5とでそれぞれ構
成されており、一つの回転隋円面S1上に第2グリツド
G2と第4グリツドG4とが、またこの回転路円面S1
から所定距離を離れた回転隋円面S2上に反射鏡Mと第
5グリツドG5とが互いに対向して配置されている。G
1は各ローパスフィルタFLの前方に設けられた第1グ
リツド、G3は各ノ1イパスフィルタFHの前方に設け
られた第3グリツドである。ローパスフィルタFLとバ
イパスフィルタF)(との間には両者を分離するシール
ド壁2が設けらし、マタ、各ローパスフィルタFLとバ
イパスフィルタFHの共通する中央点F2にはスリット
4が配置されている。このスリット4は第3図に示すよ
うに、有底円筒形状をなし、その周壁部には、ローパス
フィルタFLトバイパスフィルタFHとの数に対(4) 応した透孔6,6・・・が形成されている。8は試料で
、この試料8の分析点F+と上記スリット4の中央点F
2とは、反射鏡Mが位置する回転路円面S2よりさらに
所定距離を離れた仮想回転隋円面S3の焦点位置となる
ように予じめ設定される。なお、10は各バイパスフィ
ルタFHに対して個別的に設けられた検知器、12は試
料を励起するためのX・線源、14は外壁で、この外壁
14の内面には散乱電子を少なくするためにカーボンコ
ーティングが施されている。
この荷電粒子エネルギー分析装置1によりエネルギー分
析を行なう場合について、第4図を参照して説明する。
析を行なう場合について、第4図を参照して説明する。
まずX線源12により試料8を励起すると、試料8から
は電子が全方位に向かって放出される。この放出した電
子の一部は試料8と同電位(通常アース電位)に設定さ
れた第1グリツドG1を通過し、ローパスフィルタFL
に向う。ローパスフィルタFLの第2グリツドG2は所
定の電位−Vlに設定されているので、これに□打ち勝
つ運動エネルギーをもった電子のみが第2グリツドG2
を通過する(第4図のフィルタ曲線Gl/G2の右側部
分のエネルギーをもつ電子が通過する)。第2グリツド
G2を通過した電子はさらに反射鏡Mに向うが、反射鏡
Mには第2グリツドG2よりもさらに低い電位(−(V
I十EO+T ) )が設定されており、この電位((
V++Eo+¥))に打ち勝つ運動エネルギをもつ電子
は反射鏡Mに衝突して吸収される。一方、それよりも低
い運動エネルギーをもつ電子は反射鏡Mで反射される(
フィルタ曲線G2/Mの左側部分のエネルギーをもつ電
子が反射される)。反射鏡Mで反射された電子は再び第
1グリツドG1を通過してスリット6内の中央点F2で
焦点を結んだ後、第1グリツドG+と同電位(アース電
位)に設置された第3グリツドG3を経てバイパスフィ
ルタFHに向う。なお、スリット6とシールド壁4とに
より、散乱電子の通過は阻止される。バイパスフィルタ
FHの第4グリツドG4は第2グリツドG2と同電位に
設定され、また、第5グリツドG5も所定の電位(−(
vl+Eo−T))に設定されているので、この電位(
(V r + Eo−2) )に打ち勝つ運動エネルギ
ーをもつ電子が第5グリツドG5を通過するQフィルタ
曲線G4/G5の右側部分のエネルギーをもつ電子が通
過する)。従って、検出器10には第4図のフィルタ曲
線G2/MとG4/G5とで囲まれた半値幅(△E)内
のエネルギーを有する電子のみが検出される。このよう
に、対をなすローパスフィルタFtとバイパスフィルタ
Fl(との各電位を分析対象エネルギーに対応したもの
に予じめ設定しておけば、印加電圧を走査することなく
同時に複数のエネルギーが分析されることになる。
は電子が全方位に向かって放出される。この放出した電
子の一部は試料8と同電位(通常アース電位)に設定さ
れた第1グリツドG1を通過し、ローパスフィルタFL
に向う。ローパスフィルタFLの第2グリツドG2は所
定の電位−Vlに設定されているので、これに□打ち勝
つ運動エネルギーをもった電子のみが第2グリツドG2
を通過する(第4図のフィルタ曲線Gl/G2の右側部
分のエネルギーをもつ電子が通過する)。第2グリツド
G2を通過した電子はさらに反射鏡Mに向うが、反射鏡
Mには第2グリツドG2よりもさらに低い電位(−(V
I十EO+T ) )が設定されており、この電位((
V++Eo+¥))に打ち勝つ運動エネルギをもつ電子
は反射鏡Mに衝突して吸収される。一方、それよりも低
い運動エネルギーをもつ電子は反射鏡Mで反射される(
フィルタ曲線G2/Mの左側部分のエネルギーをもつ電
子が反射される)。反射鏡Mで反射された電子は再び第
1グリツドG1を通過してスリット6内の中央点F2で
焦点を結んだ後、第1グリツドG+と同電位(アース電
位)に設置された第3グリツドG3を経てバイパスフィ
ルタFHに向う。なお、スリット6とシールド壁4とに
より、散乱電子の通過は阻止される。バイパスフィルタ
FHの第4グリツドG4は第2グリツドG2と同電位に
設定され、また、第5グリツドG5も所定の電位(−(
vl+Eo−T))に設定されているので、この電位(
(V r + Eo−2) )に打ち勝つ運動エネルギ
ーをもつ電子が第5グリツドG5を通過するQフィルタ
曲線G4/G5の右側部分のエネルギーをもつ電子が通
過する)。従って、検出器10には第4図のフィルタ曲
線G2/MとG4/G5とで囲まれた半値幅(△E)内
のエネルギーを有する電子のみが検出される。このよう
に、対をなすローパスフィルタFtとバイパスフィルタ
Fl(との各電位を分析対象エネルギーに対応したもの
に予じめ設定しておけば、印加電圧を走査することなく
同時に複数のエネルギーが分析されることになる。
なお、この実施例では荷電粒子エネルギー分析装置1を
ESCAの場合について説明したが、その他AES、S
IMS等においても適用できるのは勿論である。
ESCAの場合について説明したが、その他AES、S
IMS等においても適用できるのは勿論である。
(へ)効 果
以上のように本発明によれば、同時に複数のエネルギー
分析が可能ないわゆる多チヤンネル形のものとなるので
、短時間に高精度で多元素分析ができる。従って時間変
化の起りやすい表面現象の時間分解測定や、工程管理や
品質管理などのライン分析機器などに活用できるように
なるという優(7) れた効果が発揮される。
分析が可能ないわゆる多チヤンネル形のものとなるので
、短時間に高精度で多元素分析ができる。従って時間変
化の起りやすい表面現象の時間分解測定や、工程管理や
品質管理などのライン分析機器などに活用できるように
なるという優(7) れた効果が発揮される。
図面は本発明の実施例を示し、第1図は荷電粒子エネル
ギー分析装置の平面図、第2図は同装置の縦断面図、第
3図はスリットの斜視図、第4図はローパスフィルタと
バイパスフィルタの特性図である。 1・・・・・・荷電粒子エネルギー分析装置、2・・・
・・・シールド壁、4・・・・・・スリット、FL・川
・・ローパスフィルタ、FH・川・・バイパスフィルタ
。 出願人株式会社島津製作所 代理人弁理士岡 田和秀 (8) 特開昭GO−101852(4)
ギー分析装置の平面図、第2図は同装置の縦断面図、第
3図はスリットの斜視図、第4図はローパスフィルタと
バイパスフィルタの特性図である。 1・・・・・・荷電粒子エネルギー分析装置、2・・・
・・・シールド壁、4・・・・・・スリット、FL・川
・・ローパスフィルタ、FH・川・・バイパスフィルタ
。 出願人株式会社島津製作所 代理人弁理士岡 田和秀 (8) 特開昭GO−101852(4)
Claims (1)
- (1)回転隋円面上の片方側にローパスフィルタが他方
側にバイパスフィルタがこの両フィルタを互いに対向さ
せてそれぞれ複数配置され、ロー、s。 スフィルタとバイパスフィルタとの間には両者を分離す
るシールド壁がまた、各ローパスフィルタとバイパスフ
ィルタとの共通する焦点位置にはスリットがそれぞれ設
けられていることを特徴とする荷電粒子エネルギー分析
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58209706A JPS60101852A (ja) | 1983-11-07 | 1983-11-07 | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58209706A JPS60101852A (ja) | 1983-11-07 | 1983-11-07 | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60101852A true JPS60101852A (ja) | 1985-06-05 |
JPH0479103B2 JPH0479103B2 (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=16577287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58209706A Granted JPS60101852A (ja) | 1983-11-07 | 1983-11-07 | 荷電粒子エネルギ−分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60101852A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7141800B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-11-28 | Charles E. Bryson, III | Non-dispersive charged particle energy analyzer |
-
1983
- 1983-11-07 JP JP58209706A patent/JPS60101852A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7141800B2 (en) * | 2003-07-11 | 2006-11-28 | Charles E. Bryson, III | Non-dispersive charged particle energy analyzer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0479103B2 (ja) | 1992-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA1263766A (en) | Electron spectrometer | |
JP2674987B2 (ja) | オメガ形電子エネルギフイルタ | |
US3445650A (en) | Double focussing mass spectrometer including a wedge-shaped magnetic sector field | |
US6104029A (en) | Spectrometer and method of spectroscopy | |
US11609193B2 (en) | Spectroscopy and imaging system | |
US6984821B1 (en) | Mass spectrometer and methods of increasing dispersion between ion beams | |
JP4620221B2 (ja) | エネルギ分解及び角度分解電子分光用の結像装置、その方法及び分光器 | |
CN102714127A (zh) | 质谱仪和离子分离和检测的方法 | |
DE2213719A1 (de) | Vorrichtung zur Spektroskopie mit geladenen Teilchen | |
US6198095B1 (en) | Apparatus and method for imaging a particle beam | |
DE2705430C3 (de) | Elektrostatischer Analysator für geladene Teilchen | |
Seah et al. | Quantitative AES and XPS: Determination of the electron spectrometer transmission function and the detector sensitivity energy dependencies for the production of true electron emission spectra in AES and XPS | |
JP5341900B2 (ja) | 荷電粒子エネルギー分析計 | |
JPS60101852A (ja) | 荷電粒子エネルギ−分析装置 | |
JPH02201857A (ja) | 球面型荷電粒子アナライザ | |
US5466933A (en) | Dual electron analyzer | |
JPH0114666B2 (ja) | ||
JPS63276861A (ja) | エネルギ選別機能を有する電子線の案内方法と電子分光計 | |
US4942298A (en) | Electron spectrometer | |
SU1718300A1 (ru) | Энергоанализатор пучков зар женных частиц | |
JPH0351054B2 (ja) | ||
JP3452867B2 (ja) | 荷電粒子分光器 | |
US4128763A (en) | Energy analyzer for charged particles | |
JPH0210646A (ja) | 荷電粒子エネルギー分析器 | |
JP3221066B2 (ja) | 荷電粒子エネルギーアナライザ |