JPS5999437U - 複数個のランプを使用する露光光源装置 - Google Patents
複数個のランプを使用する露光光源装置Info
- Publication number
- JPS5999437U JPS5999437U JP19508082U JP19508082U JPS5999437U JP S5999437 U JPS5999437 U JP S5999437U JP 19508082 U JP19508082 U JP 19508082U JP 19508082 U JP19508082 U JP 19508082U JP S5999437 U JPS5999437 U JP S5999437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- source device
- exposure light
- uses multiple
- multiple lamps
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の露光光源を示す説明図、第２図は従来の
露光光源を並べて露光する状態を示す説明図、第３図は
本考案の一実施例を示す構成図である。 １・・・水銀ランプ、３・・・蝿の目レンズ、９・・・
反射ミラー、４・・・マスク、５・・・基板。
露光光源を並べて露光する状態を示す説明図、第３図は
本考案の一実施例を示す構成図である。 １・・・水銀ランプ、３・・・蝿の目レンズ、９・・・
反射ミラー、４・・・マスク、５・・・基板。
Claims (1)
- 、 複数個の水銀ランプと、各ランプよりの光
束を各々集光する複数個の曲面鏡と、各集光照射面に□
配置する複数個の光束を散乱させるための光
学手段とそれらを光学的に近接して配置するためのミラ
ーもしくはプリズムによる手段とからなり、上記複数個
の光束を散乱させるた−めの光学手段が、露光される物
体上の１点に対してなす角度が０．１ラジアン以下であ
ることを特徴とする複数個めランプを使用する露光光源
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19508082U JPS5999437U (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 複数個のランプを使用する露光光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19508082U JPS5999437U (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 複数個のランプを使用する露光光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5999437U true JPS5999437U (ja) | 1984-07-05 |
Family
ID=30419105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19508082U Pending JPS5999437U (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 複数個のランプを使用する露光光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5999437U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01101628A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-19 | Nec Corp | 縮小投影露光装置 |
-
1982
- 1982-12-24 JP JP19508082U patent/JPS5999437U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01101628A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-19 | Nec Corp | 縮小投影露光装置 |
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