JPS599500U - 荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置 - Google Patents

荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置

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JPS599500U
JPS599500U JP10456782U JP10456782U JPS599500U JP S599500 U JPS599500 U JP S599500U JP 10456782 U JP10456782 U JP 10456782U JP 10456782 U JP10456782 U JP 10456782U JP S599500 U JPS599500 U JP S599500U
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JP
Japan
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ion source
source gas
gas supply
charged particle
supply device
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Pending
Application number
JP10456782U
Other languages
English (en)
Inventor
山田　輝雄
公彦 秋山
Original Assignee
株式会社日本製鋼所
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Publication date
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Publication of JPS599500U publication Critical patent/JPS599500U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案装置の一実施例の構成を示す説明図である
。 １ａ、　　１ｂ・・・・・・調圧器付きイオン源ガス供
給源、２ａ、２ｂ・・・・・・調圧器、−，３ａ、　　
３ｂ・・・・・・電磁弁、４゜４ａ・・・・・・パイプ
、５・・・・・・マス・フロー・コントロ−ラ、５ａ曲
”マス゛・フローメータ、５ｂ川・・・コントローラ、
６・・・・・・イオン源、７ａ、　　７ｂ−−−−−−
開閉器、８・・・・・・流量設定器、９・・・・・・流
量表示器、１０・・・・・・操作盤。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 異なった種類のイオン源ガスを封入した複数個の調圧付
    きイオン源ガス供給源に、それぞれ電磁弁を介してイオ
    ン源ガスの流量設定、流路調整及び流量表示を行う共通
    のマス・フロー・コントローラをパイプで連結し、この
    マス・フロー〇コントローラをパイプでイオン源に連結
    すると共に、前記各電磁弁の開閉器とマス・フロー・コ
    ントローラの流量設定器及び流量表示器を操作盤に設け
    てなる荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置。
JP10456782U 1982-07-09 1982-07-09 荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置 Pending JPS599500U (ja)

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