JPS599500U - 荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置 - Google Patents
荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置Info
- Publication number
- JPS599500U JPS599500U JP10456782U JP10456782U JPS599500U JP S599500 U JPS599500 U JP S599500U JP 10456782 U JP10456782 U JP 10456782U JP 10456782 U JP10456782 U JP 10456782U JP S599500 U JPS599500 U JP S599500U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- source gas
- gas supply
- charged particle
- supply device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案装置の一実施例の構成を示す説明図である
。 1a、 1b・・・・・・調圧器付きイオン源ガス供
給源、2a、2b・・・・・・調圧器、−,3a、
3b・・・・・・電磁弁、4゜4a・・・・・・パイプ
、5・・・・・・マス・フロー・コントロ−ラ、5a曲
”マス゛・フローメータ、5b川・・・コントローラ、
6・・・・・・イオン源、7a、 7b−−−−−−
開閉器、8・・・・・・流量設定器、9・・・・・・流
量表示器、10・・・・・・操作盤。
。 1a、 1b・・・・・・調圧器付きイオン源ガス供
給源、2a、2b・・・・・・調圧器、−,3a、
3b・・・・・・電磁弁、4゜4a・・・・・・パイプ
、5・・・・・・マス・フロー・コントロ−ラ、5a曲
”マス゛・フローメータ、5b川・・・コントローラ、
6・・・・・・イオン源、7a、 7b−−−−−−
開閉器、8・・・・・・流量設定器、9・・・・・・流
量表示器、10・・・・・・操作盤。
Claims (1)
- 異なった種類のイオン源ガスを封入した複数個の調圧付
きイオン源ガス供給源に、それぞれ電磁弁を介してイオ
ン源ガスの流量設定、流路調整及び流量表示を行う共通
のマス・フロー・コントローラをパイプで連結し、この
マス・フロー〇コントローラをパイプでイオン源に連結
すると共に、前記各電磁弁の開閉器とマス・フロー・コ
ントローラの流量設定器及び流量表示器を操作盤に設け
てなる荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10456782U JPS599500U (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10456782U JPS599500U (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS599500U true JPS599500U (ja) | 1984-01-21 |
Family
ID=30245475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10456782U Pending JPS599500U (ja) | 1982-07-09 | 1982-07-09 | 荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS599500U (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6284291U (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-29 | ||
JPS63114586U (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-23 | ||
JP2008270039A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | イオン源、イオンビーム加工・観察装置、及び試料断面観察方法 |
JP2012164674A (ja) * | 2012-04-16 | 2012-08-30 | Hitachi High-Technologies Corp | イオンビーム加工・観察装置 |
US8481980B2 (en) | 2007-04-23 | 2013-07-09 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ion source, ion beam processing/observation apparatus, charged particle beam apparatus, and method for observing cross section of sample |
EP2242339A3 (de) * | 2009-04-16 | 2014-04-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Gasinjektionssystem und Verfahren zum Betrieb eines Gasinjektionssystems, insbesondere für eine Partikeltherapieanlage |
JP2015167141A (ja) * | 2015-05-07 | 2015-09-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム加工・観察装置およびそれを用いたイオンビーム加工・観察方法 |
US9376187B2 (en) | 2010-10-26 | 2016-06-28 | Eco Marine Power Co. Ltd. | Power module for use in marine vessel, and wind-propelled vessel provided with said power module |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5585915A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-28 | Toshiba Corp | Distribution control method for flow amount of sewage |
JPS5746904B2 (ja) * | 1975-12-16 | 1982-10-06 |
-
1982
- 1982-07-09 JP JP10456782U patent/JPS599500U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5746904B2 (ja) * | 1975-12-16 | 1982-10-06 | ||
JPS5585915A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-28 | Toshiba Corp | Distribution control method for flow amount of sewage |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6284291U (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-29 | ||
JPS63114586U (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-23 | ||
JP2008270039A (ja) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | イオン源、イオンビーム加工・観察装置、及び試料断面観察方法 |
US8481980B2 (en) | 2007-04-23 | 2013-07-09 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ion source, ion beam processing/observation apparatus, charged particle beam apparatus, and method for observing cross section of sample |
US8779400B2 (en) | 2007-04-23 | 2014-07-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ion source, ion beam processing/observation apparatus, charged particle beam apparatus, and method for observing cross section of sample |
EP2242339A3 (de) * | 2009-04-16 | 2014-04-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Gasinjektionssystem und Verfahren zum Betrieb eines Gasinjektionssystems, insbesondere für eine Partikeltherapieanlage |
US9376187B2 (en) | 2010-10-26 | 2016-06-28 | Eco Marine Power Co. Ltd. | Power module for use in marine vessel, and wind-propelled vessel provided with said power module |
JP2012164674A (ja) * | 2012-04-16 | 2012-08-30 | Hitachi High-Technologies Corp | イオンビーム加工・観察装置 |
JP2015167141A (ja) * | 2015-05-07 | 2015-09-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム加工・観察装置およびそれを用いたイオンビーム加工・観察方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS599500U (ja) | 荷電粒子加速器のイオン源ガス供給装置 | |
JPS5844607U (ja) | 圧力制御装置 | |
JPS6077899U (ja) | 自力式圧力制御弁 | |
JPS5913768U (ja) | 圧力制御装置 | |
JPS59135467U (ja) | 液体クロマトグラフ質量分析装置 | |
JPS5858053U (ja) | 麻酔装置 | |
JPS59146078U (ja) | 塗布量制御装置 | |
JPS6087011U (ja) | 流量調定装置 | |
JPS60176338U (ja) | ガス流量調整装置 | |
JPH02110807U (ja) | ||
JPS6072963U (ja) | 気体燃料供給装置 | |
JPS5870570U (ja) | ガス圧調整器付電磁弁装置 | |
JPS60126794U (ja) | 大径管用オリフイス装置 | |
JPS5930527U (ja) | 排出ガス制御用負圧制御バルブ | |
JPS5971170U (ja) | ガスクロマトグラフ用fid流量調節装置 | |
JPS5992098U (ja) | 流体圧制御装置 | |
JPS58102271U (ja) | Tig溶接機のシ−ルドガス供給装置 | |
JPS58170199U (ja) | ダイクツシヨン用エア圧調節弁装置 | |
JPS58102105U (ja) | カセツト式簡易ガスコンロ | |
JPS6031590U (ja) | ポンプのダンパ−装置 | |
JPS60139152U (ja) | 燃料ガスの燃焼速度測定装置 | |
JPS5925767U (ja) | 比例制御弁装置 | |
JPS60190963U (ja) | 気体燃料供給装置 | |
JPS6073863U (ja) | 気体燃料供給装置 | |
JPS58101652U (ja) | 麻酔装置 |