JPS5994350A - 電磁式対物レンズ - Google Patents
電磁式対物レンズInfo
- Publication number
- JPS5994350A JPS5994350A JP20389982A JP20389982A JPS5994350A JP S5994350 A JPS5994350 A JP S5994350A JP 20389982 A JP20389982 A JP 20389982A JP 20389982 A JP20389982 A JP 20389982A JP S5994350 A JPS5994350 A JP S5994350A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- auxiliary
- main
- magnetic field
- pole piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走査型電子顕微鏡や電子線露光装置あるいは
Ｘ線マイクロアナライザ等に用いられる電磁式対物レン
ズに関する０ 従来の走査型電子顕微鏡等の電磁式対物レンズとしては
、第１図に示すようなものがあり、電子線通過孔５，６
を有する上部磁極片１および下部磁極片２が設けられて
おり、これらの磁極片１，２は、励磁コイル３を内蔵す
るヨーク４ＦＩ：よって連結されている。
Ｘ線マイクロアナライザ等に用いられる電磁式対物レン
ズに関する０ 従来の走査型電子顕微鏡等の電磁式対物レンズとしては
、第１図に示すようなものがあり、電子線通過孔５，６
を有する上部磁極片１および下部磁極片２が設けられて
おり、これらの磁極片１，２は、励磁コイル３を内蔵す
るヨーク４ＦＩ：よって連結されている。
なお、第１図中の符号７は傾動可能な試料を示しており
、ａは軸上磁場分布を示している。
、ａは軸上磁場分布を示している。
しかしながら、このような従来の電磁式対物レンズでｔ
６、ＩＣ！ウェファのごとき大きな試料７を傾けて観察
する場合、分解能をあげるためにワーキングディスタン
スＷ、Ｄを短くしようとすると、試料７がレンズ下部に
当たるので、試料７をレンズ下面から離すことにより、
ワーキングディスタンスＷ、Ｄを長くして使用しなけれ
ばならず、これにより高分解能の走査像を得ることがで
きないという問題点がある。
６、ＩＣ！ウェファのごとき大きな試料７を傾けて観察
する場合、分解能をあげるためにワーキングディスタン
スＷ、Ｄを短くしようとすると、試料７がレンズ下部に
当たるので、試料７をレンズ下面から離すことにより、
ワーキングディスタンスＷ、Ｄを長くして使用しなけれ
ばならず、これにより高分解能の走査像を得ることがで
きないという問題点がある。
また、第２図に示すごとく、上部磁極片１′を下方へ延
ばすことによって、軸上磁場分布をｂのように下部磁極
片２の下方にまで拡げ、試料７′を軸上磁場分布すの中
に置き、対物レンズ上方に位置する検出器りにて二次電
子を検出するようにした対物レンズの場合でも、第２図
に鎖線で示すように、大きな試料７を傾斜位置で観察す
る場合は、前述の第１図に示す対物レンズと同様の問題
点が生じる。
ばすことによって、軸上磁場分布をｂのように下部磁極
片２の下方にまで拡げ、試料７′を軸上磁場分布すの中
に置き、対物レンズ上方に位置する検出器りにて二次電
子を検出するようにした対物レンズの場合でも、第２図
に鎖線で示すように、大きな試料７を傾斜位置で観察す
る場合は、前述の第１図に示す対物レンズと同様の問題
点が生じる。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
、補助レンズを使用することにより、大きな試料を傾斜
位置で観察する場合でも、高い分解能の試料像が得られ
るようにした、電磁式対物レンズを提供することを目的
とする。
、補助レンズを使用することにより、大きな試料を傾斜
位置で観察する場合でも、高い分解能の試料像が得られ
るようにした、電磁式対物レンズを提供することを目的
とする。
このため、本発明の電磁式対物レンズは、荷電粒子線通
過孔を有する上部磁極片および下部磁極片をそなえた主
レンズが設けられて、同主レンズで形成される主磁場と
同じ極性を有する補助磁場を形成しうる補助レンズが、
上記下部磁極片の近傍において、光軸と同軸的に設けら
れたことを特徴としている。
過孔を有する上部磁極片および下部磁極片をそなえた主
レンズが設けられて、同主レンズで形成される主磁場と
同じ極性を有する補助磁場を形成しうる補助レンズが、
上記下部磁極片の近傍において、光軸と同軸的に設けら
れたことを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としての走査型電子
顕微鏡用電磁式対物レンズについて説明すると、第６図
はその縦断面図、第４図はその軸上磁場分布図であり、
第６，４図中、第１．２図と同じ符号はほぼ同様の部分
を示している。
顕微鏡用電磁式対物レンズについて説明すると、第６図
はその縦断面図、第４図はその軸上磁場分布図であり、
第６，４図中、第１．２図と同じ符号はほぼ同様の部分
を示している。
第６図に示すごとく、この対物レンズは主レンズＭＬを
そなえており、この主レンズＭＬには、上部磁極片１と
下部磁極片２とが設けられており、これらの磁極片１，
２は、電子線通過孔（荷電粒子線通過孔）５，６を有し
、且つ、相互間にレンズ形成用隙間を有している。
そなえており、この主レンズＭＬには、上部磁極片１と
下部磁極片２とが設けられており、これらの磁極片１，
２は、電子線通過孔（荷電粒子線通過孔）５，６を有し
、且つ、相互間にレンズ形成用隙間を有している。
また、下部磁極片２の下面には、補助レンズＡＬが光軸
０と同軸的に設けられている。なお、この補助レンズＡ
Ｌは主レンズＭＬにおける符号Ａで示す面に対し着脱可
能に取付けられている０さらに、この補助レンズＡＬは
、軟鉄製ヨーク８内に環状の励磁コイル９をそなえてお
り、このヨーク８の下部に、電子線通過孔（荷電粒子線
通過孔）１０付きの下部磁極片１１が形成されている。
０と同軸的に設けられている。なお、この補助レンズＡ
Ｌは主レンズＭＬにおける符号Ａで示す面に対し着脱可
能に取付けられている０さらに、この補助レンズＡＬは
、軟鉄製ヨーク８内に環状の励磁コイル９をそなえてお
り、このヨーク８の下部に、電子線通過孔（荷電粒子線
通過孔）１０付きの下部磁極片１１が形成されている。
なお、主レンズＭＬの下部磁極片２は補助レンズＡＬの
上部磁極片を兼ねている。
上部磁極片を兼ねている。
したがって、補助レンズＡＬにも、第６図に示すごとく
、主レンズＭＬで形成される軸上磁場（主磁場）の分布
Ｃとは別に、単独の軸上磁場（補助磁場）の分布ｄを得
ることができる。
、主レンズＭＬで形成される軸上磁場（主磁場）の分布
Ｃとは別に、単独の軸上磁場（補助磁場）の分布ｄを得
ることができる。
そして、補助レンズＡＬで形成される補助磁場が、主レ
ンズＭＬで形成される主磁場と同じ極性を有するように
、各レンズＭＬ、 ＡＬの励磁の向きは同じ方向に設定
されている。
ンズＭＬで形成される主磁場と同じ極性を有するように
、各レンズＭＬ、 ＡＬの励磁の向きは同じ方向に設定
されている。
なお、各レンズＭＬ、 ＡＬの励磁の強さは適宜調整で
きるようになっているので、励磁の比率は自由に変えら
れる。
きるようになっているので、励磁の比率は自由に変えら
れる。
ところで、補助レンズＡＬのヨーク８の側壁は、大きな
試料７が傾斜してもこれと干渉を起こさないように、傾
斜した側壁面阻を有しており、この側壁面阻は補助レン
ズ装着時に主レンズＭＬにおけるヨーク下部の傾斜側壁
面らと面一となるように、その傾斜角が設定されている
。
試料７が傾斜してもこれと干渉を起こさないように、傾
斜した側壁面阻を有しており、この側壁面阻は補助レン
ズ装着時に主レンズＭＬにおけるヨーク下部の傾斜側壁
面らと面一となるように、その傾斜角が設定されている
。
なお、第６図中の符号ｚＯは主レンズＭＬのレンズ主面
と試料７との距離、ｚＯ′は補助レンズＡＬのレンズ主
面と試料７との距離を示している。
と試料７との距離、ｚＯ′は補助レンズＡＬのレンズ主
面と試料７との距離を示している。
上述の構成により、大きな試料７をθだけ傾けた傾斜位
置で＠祭する場合は、補助レンズＡＬを主レンズＭＬに
取付ければよい。これによりレンズ主面が試料７により
近い補助レンズＡＬＩＣよって、低加速電圧下で、主レ
ンズＭＬより小烙な球面収差係数０８を得ることができ
、その結果高い分解能の走査像が得られる。
置で＠祭する場合は、補助レンズＡＬを主レンズＭＬに
取付ければよい。これによりレンズ主面が試料７により
近い補助レンズＡＬＩＣよって、低加速電圧下で、主レ
ンズＭＬより小烙な球面収差係数０８を得ることができ
、その結果高い分解能の走査像が得られる。
ところで、第４図に示すごとく、主レンズＭＬの励磁を
弱くして軸上磁場分布をＣ′とし、合成磁場分布ｅを形
成すれば、補助レンズＡＬの磁場分布ｄだけの場合に比
べ、磁場分布の半値幅を広くすることができ、これによ
りさらに収差係数の小をいレンズを実現できる。
弱くして軸上磁場分布をＣ′とし、合成磁場分布ｅを形
成すれば、補助レンズＡＬの磁場分布ｄだけの場合に比
べ、磁場分布の半値幅を広くすることができ、これによ
りさらに収差係数の小をいレンズを実現できる。
また、加速電圧を変えた場合は、主レンズＭＬと補助レ
ンズＡＬとの励磁の比率を変えることにより、焦点が合
うように調整される。
ンズＡＬとの励磁の比率を変えることにより、焦点が合
うように調整される。
第５，６図は本発明の他の実施例としての走査型電子顕
微鏡用電磁式対物レンズを示すもので、第５図はその縦
断面図、第６図はその軸上磁場分布図であって、第５，
６図中、第１〜４図と同じ符号はほぼ同様の部分を示し
ている。
微鏡用電磁式対物レンズを示すもので、第５図はその縦
断面図、第６図はその軸上磁場分布図であって、第５，
６図中、第１〜４図と同じ符号はほぼ同様の部分を示し
ている。
この実施例は、第２図に示した従来の対物レンズについ
ての問題点を解決するためのもので、主レンズＭＬに、
レンズ形成用隙間を２つ光軸Ｏに沿い縦列的に有する補
助レンズＡＬ’を、光軸０と同軸的に取付けたものであ
る。なお、この補助レンズＡＬ’も主レンズＭＬに対し
Ａ面で着脱自在に取付けられている。
ての問題点を解決するためのもので、主レンズＭＬに、
レンズ形成用隙間を２つ光軸Ｏに沿い縦列的に有する補
助レンズＡＬ’を、光軸０と同軸的に取付けたものであ
る。なお、この補助レンズＡＬ’も主レンズＭＬに対し
Ａ面で着脱自在に取付けられている。
すなわち、この補助レンズＡＬ’は、軟鉄製ヨーク８′
内に二段重ねに励磁コイル９′、９“をそなえており、
ヨーク８′の上部、中間部および下部に、それぞれ上部
磁極片１２．中間磁極片１３および下部磁極片１４が形
成されている。
内に二段重ねに励磁コイル９′、９“をそなえており、
ヨーク８′の上部、中間部および下部に、それぞれ上部
磁極片１２．中間磁極片１３および下部磁極片１４が形
成されている。
なお、各磁極片１２〜１４には、電子線通過孔（荷電粒
子線通過孔）１５〜１７が形成されている。
子線通過孔）１５〜１７が形成されている。
また、補助レンズＡＬ’のヨーク側壁は、大きな試料が
傾斜してもこれと干渉を起こさないように、傾斜した側
壁面Ｂ ／ａを有している。
傾斜してもこれと干渉を起こさないように、傾斜した側
壁面Ｂ ／ａを有している。
したがって、との場合も補助レンズＡＬ′を主レンズＭ
Ｌに取付けることによって、傾斜した大きな試料７でも
高い分解能で観察することができる。
Ｌに取付けることによって、傾斜した大きな試料７でも
高い分解能で観察することができる。
もちろんこの場合も主レンズＭＬで形成される軸上磁場
（主磁場）の分布りと、補助レンズＡＬ’の各レンズ形
成用隙間で形成される軸上磁場（補助磁場）の分布ｆ、
ｇとは同じ極性となるように、各励磁コイル４．９／、
９／／が励磁されている。
（主磁場）の分布りと、補助レンズＡＬ’の各レンズ形
成用隙間で形成される軸上磁場（補助磁場）の分布ｆ、
ｇとは同じ極性となるように、各励磁コイル４．９／、
９／／が励磁されている。
さらに、各コイル４．９’、 ９“の励磁の強さを変え
て（具体的にはコイル４の励磁の強さを最も弱くシ、つ
ぎにコイル９′の励磁を弱くして ）、再６図に示すよ
うな軸上磁場分布ｆ′２ｇ′、ｈ′（ここで、分布ｈ′
は主磁場による分布、分布ｆ’、 ｇ竹補助磁場による
分布である。）とすれば、合成された軸上磁場分布は工
のようになり、このようにすれば磁場゛分布ｆ、 ｇ、
ｈ単独の場合よりも半値幅を拡げることができるので
、収差係数ＣＢを小きくでき、高い分解能の走査像を得
ることができる。
て（具体的にはコイル４の励磁の強さを最も弱くシ、つ
ぎにコイル９′の励磁を弱くして ）、再６図に示すよ
うな軸上磁場分布ｆ′２ｇ′、ｈ′（ここで、分布ｈ′
は主磁場による分布、分布ｆ’、 ｇ竹補助磁場による
分布である。）とすれば、合成された軸上磁場分布は工
のようになり、このようにすれば磁場゛分布ｆ、 ｇ、
ｈ単独の場合よりも半値幅を拡げることができるので
、収差係数ＣＢを小きくでき、高い分解能の走査像を得
ることができる。
なお、加速電圧を変えた場合は、各コイル４゜９′、９
”の励磁比率を変えることにより、焦点合わせを行なう
。
”の励磁比率を変えることにより、焦点合わせを行なう
。
また、それぞれ独立した単独の軸上磁場分布を形成しう
るレンズ形成用隙間を６つ以上光軸０に沿い縦列的に有
する補助レンズを、主レンズＭＬに着脱自在に取付ける
こともできる。
るレンズ形成用隙間を６つ以上光軸０に沿い縦列的に有
する補助レンズを、主レンズＭＬに着脱自在に取付ける
こともできる。
さらに、補助レンズＡＬ、ＡＬ’を下部磁極片２に取付
ける代わりに、下部磁極片の近傍にこれとは離隔して設
けてもよい。
ける代わりに、下部磁極片の近傍にこれとは離隔して設
けてもよい。
なお、本対物レンズは、走査型電子顕微鏡に限らず、こ
れに類似の装置にも適用できることはいうまでもない。
れに類似の装置にも適用できることはいうまでもない。
以上詳述したように、本発明の電磁式対物レンズによれ
ば、荷電粒子線通過孔を有する上部磁極片および下部磁
極片をそなえた主レンズが設けられて、同主レンズで形
成される主磁場と同じ極性を有する補助磁場を形成しう
る補助レンズが、上記下部磁極片の近傍において、光軸
と同軸的に設けられるという簡素な構成で、大きな試料
を傾斜位置で観察する場合でも、球面収差係数や色収差
係数を改善することができ、これにより高い分解能で試
料像を観察できる利点がある。
ば、荷電粒子線通過孔を有する上部磁極片および下部磁
極片をそなえた主レンズが設けられて、同主レンズで形
成される主磁場と同じ極性を有する補助磁場を形成しう
る補助レンズが、上記下部磁極片の近傍において、光軸
と同軸的に設けられるという簡素な構成で、大きな試料
を傾斜位置で観察する場合でも、球面収差係数や色収差
係数を改善することができ、これにより高い分解能で試
料像を観察できる利点がある。
第１，２図はそれぞれ従来の電磁式対物レンズを示す縦
断面図であり、第６，４図は本発明の一実施例としての
電磁式対物レンズを示すもので、第６図はその縦断面図
、第４図はその軸上磁場分布図であり、第５，６図は本
発明の他の実施例としての走査型電子顕微鏡用電磁式対
物レンズを示すもので、第５図はその縦断面図、第６図
はその軸上磁場分布図である。 １・・主レンズの上部磁極片、２・・主レンズの下部ｆ
ａ４片、６・・主レンズの励磁コイル、４・・主レンズ
のヨーク、４ａ・・ヨークの傾斜側壁面、５．６・・荷
電粒子線通過孔としての電子線通過孔、７・・試料、８
．８’・・補助レンズのヨーク、８ａ、８’ａ ・・
ヨークの傾斜した側壁面、９．９’、 ９“・・補助レ
ンズの励磁コイル、１ｏ・・荷電粒子線通過孔としての
電子線通過孔、１１〜１４・・補助レンズの磁極片、１
５〜１７・・荷電粒子線通過孔としての電子線通過孔、
０・・光軸、ＡＬ、 ＡＬ’・・補助レンズ、ＭＬ・・
主レンズ。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 手続補正書 昭和５７年１２月２２日 ・特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １ 事件の表示 昭和５７年特許願 第２０３８９９号 ２ 発明の名称 電磁式対物レンズ ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 １００ 住所 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号名
称 株式会社 明石製作所 ４代理人 郵便番号 １６０ 住所 東京都新宿区南元町５番地３号５ 補正
命令の日付 （自発補正） ６ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 ７ 補正の内容 （１）明細書第５頁下から３行目に記載された「励磁の
比率は」の前に、「加速電圧やワーキングディスタンス
の違いにより」を加入する。 （２）明細書第７頁第２行および第９頁第７行にそれぞ
れ記載された「加速電圧」の次に、いずれも［やワーキ
ングディスタンス」を加入する。 （３）明細書第９頁第７〜８行に記載された「各コイル
４．９’ 、９″′」を「各コイル３゜０″ ９″」に
補正する。 手続補正書 昭和５７年１２月２３日 特許庁長官若杉和夫殿 １ 事件の表示 昭和５７年特 許願 第２０３８９９号２ 発明の名称 電磁式対物レンズ ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 １００ 住所 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号名
称 株式会社 明石製作所 ４代理人 郵便番号 １６０ 住所 東京都新宿区南元町５番地３号５ 補正
命令の日付 明細書の特許請求の範囲の欄。 ７ 補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正する
。 ８ 添付書類の目録 （１）特許請求の範囲を記載した書面 １通（別紙） ２、特許請求の範囲 （１）荷電粒子線通過孔を有する上部磁極片および下部
磁極片をそなえた主レンズが設けられて、同主レンズで
形ｔされる主磁場と同じ極性を有する補助磁場を形成し
うる補助レンズが、上記下部磁極片の近傍において、光
軸と同軸的に設けられたことを特徴とする、電磁式対物
レンズ。 （２）上記補助レンズが複数のレンズ形成用隙間を上記
光軸に沿い縦列的にそなえたレンズとして構成された特
許請求の範囲第１項に記載の電磁式対物レンズ。 （３）試料を傾斜させても同試料と干渉を起こさないよ
うに、上記補助レンズに傾斜した側壁面が形成されてい
る特許請求の範囲第１項または第２項に記載の電磁式対
物レンズ。 （４）上記補助レンズが上記下部磁極片の下面に着脱自
在に設けられている特許請求の範囲第１項ないし第３項
のいずれかに記載の電磁式対物レンズ。
断面図であり、第６，４図は本発明の一実施例としての
電磁式対物レンズを示すもので、第６図はその縦断面図
、第４図はその軸上磁場分布図であり、第５，６図は本
発明の他の実施例としての走査型電子顕微鏡用電磁式対
物レンズを示すもので、第５図はその縦断面図、第６図
はその軸上磁場分布図である。 １・・主レンズの上部磁極片、２・・主レンズの下部ｆ
ａ４片、６・・主レンズの励磁コイル、４・・主レンズ
のヨーク、４ａ・・ヨークの傾斜側壁面、５．６・・荷
電粒子線通過孔としての電子線通過孔、７・・試料、８
．８’・・補助レンズのヨーク、８ａ、８’ａ ・・
ヨークの傾斜した側壁面、９．９’、 ９“・・補助レ
ンズの励磁コイル、１ｏ・・荷電粒子線通過孔としての
電子線通過孔、１１〜１４・・補助レンズの磁極片、１
５〜１７・・荷電粒子線通過孔としての電子線通過孔、
０・・光軸、ＡＬ、 ＡＬ’・・補助レンズ、ＭＬ・・
主レンズ。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 手続補正書 昭和５７年１２月２２日 ・特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １ 事件の表示 昭和５７年特許願 第２０３８９９号 ２ 発明の名称 電磁式対物レンズ ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 １００ 住所 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号名
称 株式会社 明石製作所 ４代理人 郵便番号 １６０ 住所 東京都新宿区南元町５番地３号５ 補正
命令の日付 （自発補正） ６ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 ７ 補正の内容 （１）明細書第５頁下から３行目に記載された「励磁の
比率は」の前に、「加速電圧やワーキングディスタンス
の違いにより」を加入する。 （２）明細書第７頁第２行および第９頁第７行にそれぞ
れ記載された「加速電圧」の次に、いずれも［やワーキ
ングディスタンス」を加入する。 （３）明細書第９頁第７〜８行に記載された「各コイル
４．９’ 、９″′」を「各コイル３゜０″ ９″」に
補正する。 手続補正書 昭和５７年１２月２３日 特許庁長官若杉和夫殿 １ 事件の表示 昭和５７年特 許願 第２０３８９９号２ 発明の名称 電磁式対物レンズ ３ 補正をする者 事件との関係 出願人 郵便番号 １００ 住所 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号名
称 株式会社 明石製作所 ４代理人 郵便番号 １６０ 住所 東京都新宿区南元町５番地３号５ 補正
命令の日付 明細書の特許請求の範囲の欄。 ７ 補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正する
。 ８ 添付書類の目録 （１）特許請求の範囲を記載した書面 １通（別紙） ２、特許請求の範囲 （１）荷電粒子線通過孔を有する上部磁極片および下部
磁極片をそなえた主レンズが設けられて、同主レンズで
形ｔされる主磁場と同じ極性を有する補助磁場を形成し
うる補助レンズが、上記下部磁極片の近傍において、光
軸と同軸的に設けられたことを特徴とする、電磁式対物
レンズ。 （２）上記補助レンズが複数のレンズ形成用隙間を上記
光軸に沿い縦列的にそなえたレンズとして構成された特
許請求の範囲第１項に記載の電磁式対物レンズ。 （３）試料を傾斜させても同試料と干渉を起こさないよ
うに、上記補助レンズに傾斜した側壁面が形成されてい
る特許請求の範囲第１項または第２項に記載の電磁式対
物レンズ。 （４）上記補助レンズが上記下部磁極片の下面に着脱自
在に設けられている特許請求の範囲第１項ないし第３項
のいずれかに記載の電磁式対物レンズ。
Claims (4)
- （１）耐電粒子線通過孔を有する上部磁極片および下部
磁極片をそなえた主レンズが設けられて、同主レンズで
形成される主磁場と同じ極性を有する補助磁場を形成し
うる補助レンズが、上記下部磁極片の近傍において、光
軸と同軸的に設けられたことを特徴とする、電磁式対物
レンズ。 - （２） 上記補助レンズが複数のレンズ形成用隙間を
上記光＠に沿い縦列的にそなえたレンズとして構成され
た特許請求の範囲第１項に記載の電磁式対物レンズ。 - （３）試料を傾斜させても同試料と干渉を起こさないよ
うに、上記補助レンズに傾斜した側壁面が形成されてい
る特許請求の範囲第１項または第２項に記載の電磁式対
物レンズ。 - （４） 上記補助レンズが上記下部磁極片の下面に着
脱自在に設けられている特許請求の範囲第１項ないし第
６項のいずれかに記載の電磁式対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20389982A JPS5994350A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 電磁式対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20389982A JPS5994350A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 電磁式対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994350A true JPS5994350A (ja) | 1984-05-31 |
Family
ID=16481553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20389982A Pending JPS5994350A (ja) | 1982-11-19 | 1982-11-19 | 電磁式対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994350A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60236677A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-25 | 株式会社 オ−ゼン | 水に接触すると発音する玩具 |
| JPS613660U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-10 | 株式会社明石製作所 | 走査型電子顕微鏡の対物レンズ |
| FR2644930A1 (fr) * | 1989-03-21 | 1990-09-28 | Cameca | Lentille electromagnetique composite a focale variable |
| JPH03159046A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-09 | Jeol Ltd | 電子レンズ |
| JP2006344533A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｘ線用光電変換型イメージング管 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54122970A (en) * | 1978-03-16 | 1979-09-22 | Jeol Ltd | Objective lens for scanning electronic microscope or the like |
| JPS57118356A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-23 | Jeol Ltd | Objective lens for scan type electron microscope |
-
1982
- 1982-11-19 JP JP20389982A patent/JPS5994350A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54122970A (en) * | 1978-03-16 | 1979-09-22 | Jeol Ltd | Objective lens for scanning electronic microscope or the like |
| JPS57118356A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-23 | Jeol Ltd | Objective lens for scan type electron microscope |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60236677A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-25 | 株式会社 オ−ゼン | 水に接触すると発音する玩具 |
| JPS613660U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-10 | 株式会社明石製作所 | 走査型電子顕微鏡の対物レンズ |
| FR2644930A1 (fr) * | 1989-03-21 | 1990-09-28 | Cameca | Lentille electromagnetique composite a focale variable |
| JPH03159046A (ja) * | 1989-11-16 | 1991-07-09 | Jeol Ltd | 電子レンズ |
| JP2006344533A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｘ線用光電変換型イメージング管 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002516026A (ja) | 粒子−光学装置におけるレンズ欠陥補正用の補正デバイス | |
| US7605378B2 (en) | Charged-particle beam system | |
| EP0331859B1 (en) | Telecentric sub-field deflection with a variable axis immersion lens | |
| JP2012507839A (ja) | 多光軸磁気レンズ | |
| JP2001185066A (ja) | 電子線装置 | |
| EP1489641A1 (en) | Charged particle deflecting system | |
| JPS5994350A (ja) | 電磁式対物レンズ | |
| TW556245B (en) | Particle-optical lens arrangement and method employing such a lens arrangement | |
| US6627890B2 (en) | Particle beam apparatus for tilted observation of a specimen | |
| JP2003520408A (ja) | 荷電粒子ビーム装置のためのカラム | |
| EP3309814B1 (en) | Objective lens and transmission electron microscope | |
| US5241176A (en) | Scanning electron beam microscope with high resolution at low accelerating voltage | |
| US20080035853A1 (en) | Illumination Condenser for a Particle Optical Projection System | |
| US6720558B2 (en) | Transmission electron microscope equipped with energy filter | |
| JPH031432A (ja) | 電子線装置 | |
| EP3690921A1 (en) | Deflector and charged particle beam system | |
| JP2003502802A (ja) | 粒子レンズの色収差を除去する静電修正器 | |
| US6420713B1 (en) | Image position and lens field control in electron beam systems | |
| JP2005032588A (ja) | 電子顕微鏡用磁界型対物レンズ | |
| JP3351647B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2000149842A (ja) | 荷電粒子ビ―ムフォ―カシング用磁気レンズ | |
| GB1596462A (en) | Electro-magnetic lens assemblies for corpuscular-beam appaatus | |
| JPH0234418B2 (ja) | ||
| JPS63228551A (ja) | 陰極線管の磁界集束レンズ | |
| US6586737B2 (en) | Transmission electron microscope equipped with energy filter |