JPS5983953A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS5983953A JPS5983953A JP19405982A JP19405982A JPS5983953A JP S5983953 A JPS5983953 A JP S5983953A JP 19405982 A JP19405982 A JP 19405982A JP 19405982 A JP19405982 A JP 19405982A JP S5983953 A JPS5983953 A JP S5983953A
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- Japan
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- core
- gas
- burner
- optical fiber
- cladding
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/54—Multiple burner arrangements combined with means for heating the deposit, e.g. non-deposition burner
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光ファイバへ紡糸加工される材料である光フ
ァイバ母料の製造方法に関するものである０ 元ファイバ母材の製造方法の一つとして気相軸付法（Ｖ
ＡＤ ）が知られているが、このＶＡＤは、酸水素バー
ナ等の酸素及び水素を含む可燃性ガス燃焼用バーナに、
５ｉＣ１４、ＧｅＣｌ４、ＰＯＣｌ３及びＢＢｒｓ
等の揮発性ガラス形成原料を供給し、火炎中でこれらの
ガラス形成原料を加水分解反応させることによってガラ
ス形成微粒子（以下に於いては単にスートと呼ぶ）を生
成し、出発基利の先端からその軸方向に前記スートを付
着成長させることによって略円柱状の光フアイバ母材を
得る方法である。なおこの光フアイバ母材は通常は多孔
質プリフォームのま＼の未完成品であるのでこれを加熱
透明化することによって光フアイバ母材の完成品とすれ
ばよい。
ァイバ母料の製造方法に関するものである０ 元ファイバ母材の製造方法の一つとして気相軸付法（Ｖ
ＡＤ ）が知られているが、このＶＡＤは、酸水素バー
ナ等の酸素及び水素を含む可燃性ガス燃焼用バーナに、
５ｉＣ１４、ＧｅＣｌ４、ＰＯＣｌ３及びＢＢｒｓ
等の揮発性ガラス形成原料を供給し、火炎中でこれらの
ガラス形成原料を加水分解反応させることによってガラ
ス形成微粒子（以下に於いては単にスートと呼ぶ）を生
成し、出発基利の先端からその軸方向に前記スートを付
着成長させることによって略円柱状の光フアイバ母材を
得る方法である。なおこの光フアイバ母材は通常は多孔
質プリフォームのま＼の未完成品であるのでこれを加熱
透明化することによって光フアイバ母材の完成品とすれ
ばよい。
このＶＡＤを更に進展させた方法として、光フアイバ母
材のコア部を構成するガラス形成微粒子を合成する為の
コア用バーナを多孔質プリフォームの成長端付近に配置
すると共に、クラッド部を構成するガラス形成微粒子を
合成する為のクラッド用バーナを前記コア用バーナの上
方に配置し、コア用多孔（Ｎプリフォームの周面にクラ
ッド用スートを付着成長させることによって、コア部及
びクラッド部を一体に合成する方法が特開昭５４−１３
４１３６号き（７て提案されている。
材のコア部を構成するガラス形成微粒子を合成する為の
コア用バーナを多孔質プリフォームの成長端付近に配置
すると共に、クラッド部を構成するガラス形成微粒子を
合成する為のクラッド用バーナを前記コア用バーナの上
方に配置し、コア用多孔（Ｎプリフォームの周面にクラ
ッド用スートを付着成長させることによって、コア部及
びクラッド部を一体に合成する方法が特開昭５４−１３
４１３６号き（７て提案されている。
しかしながら上述の様なコア・クラッド一体合成法には
、 （１）、コア用スー トとクラッド用スートとが空間中
で混合し、コア部とクラッド部との境界付近に於ける油
折率分布が所望の形とは異ってしまうので、所望の伝送
性１１ヒを借ることができない。
、 （１）、コア用スー トとクラッド用スートとが空間中
で混合し、コア部とクラッド部との境界付近に於ける油
折率分布が所望の形とは異ってしまうので、所望の伝送
性１１ヒを借ることができない。
（２）、コア部の形成に引続いて直°らにクラッド部が
形成され、その途中でコア部が収縮されないので、単一
モードファイバの製造等に於ける様にクラツド径に対す
るコア径の比を小さくする場合は、製造後の多孔質プリ
フォームの径が大きくなり過ぎる。この為に降温或いは
加熱時をこ於いて、多孔質プリフォームの軸心付近と周
面付近とで温度差が大きくなり、収縮差或いは膨張差に
よって多孔質ブリフ、オー１１が割れたシする危険性が
高くなると共に、反応容器や透明化用ヒータ等も全体に
大きくする必要がある。
形成され、その途中でコア部が収縮されないので、単一
モードファイバの製造等に於ける様にクラツド径に対す
るコア径の比を小さくする場合は、製造後の多孔質プリ
フォームの径が大きくなり過ぎる。この為に降温或いは
加熱時をこ於いて、多孔質プリフォームの軸心付近と周
面付近とで温度差が大きくなり、収縮差或いは膨張差に
よって多孔質ブリフ、オー１１が割れたシする危険性が
高くなると共に、反応容器や透明化用ヒータ等も全体に
大きくする必要がある。
（３）、スート同士の混合を防ぐ為にコア用バーナとク
ラッド用バーナとを互いに離間させると、それらの間で
多孔質プリフォームが冷却してコ差が生じる。従ってク
ラッド用スート付着後のＭ’ 溝、 ｌ「！Ｉに於ける
収縮差や透明化の為の加熱時に於ける膨張差等によって
多孔質プリフォームが′〆川れ易い。
ラッド用バーナとを互いに離間させると、それらの間で
多孔質プリフォームが冷却してコ差が生じる。従ってク
ラッド用スート付着後のＭ’ 溝、 ｌ「！Ｉに於ける
収縮差や透明化の為の加熱時に於ける膨張差等によって
多孔質プリフォームが′〆川れ易い。
という問題点等がある。
これらの問題点を解決する為に、コア用とクラッド用と
の排気管を夫々別個に設けることによってスートの混合
を防止すると共ζこ、コア用とクラッド用とのバーナを
互いに近付けることによって両バーナ間に位置する多孔
質プリフォームの温度勾配を小さくする方法が特開昭５
５−２５０７４号として提案されている。
の排気管を夫々別個に設けることによってスートの混合
を防止すると共ζこ、コア用とクラッド用とのバーナを
互いに近付けることによって両バーナ間に位置する多孔
質プリフォームの温度勾配を小さくする方法が特開昭５
５−２５０７４号として提案されている。
しかしこの方法でも、コア用とクラッド用との近
バーナを互いに付ける為にコア用及びクラッド用スート
の混合防止がまだ不充分であり、更にまた多孔質プリフ
ォームの径が大きくなシ過ぎる為にクラッド部をあまり
厚く付着できないという問題点が依然として残されてい
る。
の混合防止がまだ不充分であり、更にまた多孔質プリフ
ォームの径が大きくなシ過ぎる為にクラッド部をあまり
厚く付着できないという問題点が依然として残されてい
る。
これに対し′Ｃ１コア用バーナとクラッド用バーナとの
間に電気炉等を配置して、ガラス形成微粒子を付着成長
させた円柱状のコア用多孔質プリフォームを・この電気
炉等で加熱し、互いに融着しているスートを若干融解し
てスート同士の接着面積を大きくしスート間の空＠を小
さくすることによって前記コア用多孔質プリフォームの
径を縮小し、その後、クラッド用バーナでその外周面に
クラッド用スートを堆積させ、次いで加熱することによ
って透明ガラス化する方法が特開昭５５−１５４５５６
号として提案されている。
間に電気炉等を配置して、ガラス形成微粒子を付着成長
させた円柱状のコア用多孔質プリフォームを・この電気
炉等で加熱し、互いに融着しているスートを若干融解し
てスート同士の接着面積を大きくしスート間の空＠を小
さくすることによって前記コア用多孔質プリフォームの
径を縮小し、その後、クラッド用バーナでその外周面に
クラッド用スートを堆積させ、次いで加熱することによ
って透明ガラス化する方法が特開昭５５−１５４５５６
号として提案されている。
この方法によれば、一旦コア用多孔質プリフォームを収
縮させた後にクラッド部を利着させるので、最終的に得
られる多孔質プリフォームの径が犬きくなシすぎるとい
う問題点はない。
縮させた後にクラッド部を利着させるので、最終的に得
られる多孔質プリフォームの径が犬きくなシすぎるとい
う問題点はない。
しかしながらこの方法に於いても、コア用及びクラッド
用スートの混合防止対策がなされていない為にコア部と
クラッド部との境界が未だ不鮮明であること、また電気
炉が一般に複雑かつ大型である為に製造装置全体も接離
かつ大型になり実用的でないこと、更にまたこの様に大
型の電気炉の炉材があると加水分解反応で生成された霧
状のＨＣｌによってこの炉材が浸食されその生成物が異
物として多孔質プリフォームに混入するおそれが多くこ
の為に光ファイバの伝送性能が低下すること等の問題点
がある。
用スートの混合防止対策がなされていない為にコア部と
クラッド部との境界が未だ不鮮明であること、また電気
炉が一般に複雑かつ大型である為に製造装置全体も接離
かつ大型になり実用的でないこと、更にまたこの様に大
型の電気炉の炉材があると加水分解反応で生成された霧
状のＨＣｌによってこの炉材が浸食されその生成物が異
物として多孔質プリフォームに混入するおそれが多くこ
の為に光ファイバの伝送性能が低下すること等の問題点
がある。
本発明は、上述の問題点に鑑み、比較的小型で且つ簡単
な構成であるにも拘らず、コア用スートとクラッド用ス
ートとの混合を防止してコアとクラッドとの境界付近に
於ける屈折率分布を所望の形にできるので所望の伝送性
能を得ることが可能であシ、また製造時に於ける光フア
イバ母材の温度勾配を小さくしてその割れを防止でき、
また得られる光フアイバ母材の径をあマシ大きくするこ
となくクラツド径に対するコア径の比を小さくできるの
で単一モードファイバの製造等にも適すると共にガラス
形成微粒子を付着成長させて光フアイバ母材を得る為の
反応容器や透明化用ヒータ等も全体に大きくする必要が
なく、更にまた光コアを目的としている。
な構成であるにも拘らず、コア用スートとクラッド用ス
ートとの混合を防止してコアとクラッドとの境界付近に
於ける屈折率分布を所望の形にできるので所望の伝送性
能を得ることが可能であシ、また製造時に於ける光フア
イバ母材の温度勾配を小さくしてその割れを防止でき、
また得られる光フアイバ母材の径をあマシ大きくするこ
となくクラツド径に対するコア径の比を小さくできるの
で単一モードファイバの製造等にも適すると共にガラス
形成微粒子を付着成長させて光フアイバ母材を得る為の
反応容器や透明化用ヒータ等も全体に大きくする必要が
なく、更にまた光コアを目的としている。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
第１図は本発明を実施する為の光フアイバ母材の製造装
置の一例を示している。この第１図に示す様に、反応容
器（１）は上底面及び下底面が閉塞された略円筒状をな
しておシ且り略垂直に配置されている。そしてこの反応
容器（１）の上底面の略中心には回転しながら上下動可
能な保持具（図示せず）によって略円柱状の基材（２）
が保持されている。また下底面の中心付近には夫々径が
異なる４つの円筒が同心状に配され多重円筒状をなすコ
ア用バーナ（３）が設けられている。即ちこのコア用バ
ーナ（３）は、中心ノズルと、この中心ノズルを取囲む
第２層ノズルと、この第２層ノズルを取囲む第６層ノズ
ルと、この第６層ノズルを取囲む最外層ノズルとを有し
ている。
置の一例を示している。この第１図に示す様に、反応容
器（１）は上底面及び下底面が閉塞された略円筒状をな
しておシ且り略垂直に配置されている。そしてこの反応
容器（１）の上底面の略中心には回転しながら上下動可
能な保持具（図示せず）によって略円柱状の基材（２）
が保持されている。また下底面の中心付近には夫々径が
異なる４つの円筒が同心状に配され多重円筒状をなすコ
ア用バーナ（３）が設けられている。即ちこのコア用バ
ーナ（３）は、中心ノズルと、この中心ノズルを取囲む
第２層ノズルと、この第２層ノズルを取囲む第６層ノズ
ルと、この第６層ノズルを取囲む最外層ノズルとを有し
ている。
また反応容器（１）の局面でコア用バーナ（３）の近く
には、円筒状をなす２本の高温ガス吹出し用ノズル（４
） （５）及びコア用バーナ（３）と同様の構造を有す
るクラッド用バーナ（６）が、反応容器（１１の軸心方
向に所定の間隔で順次配設されている。
には、円筒状をなす２本の高温ガス吹出し用ノズル（４
） （５）及びコア用バーナ（３）と同様の構造を有す
るクラッド用バーナ（６）が、反応容器（１１の軸心方
向に所定の間隔で順次配設されている。
更に反応容器（１）の周面で高温ガス吹出し用ノズル（
４）及びクラッド用バーナ（６）に夫々略対向する位置
には、円筒状をなす２本の排気用フード（力（８）が設
けられている。
４）及びクラッド用バーナ（６）に夫々略対向する位置
には、円筒状をなす２本の排気用フード（力（８）が設
けられている。
上述の様な製造装置で光フアイバ母材の多孔質プリフォ
ームを製造するには、まず最初に基材（２）を反応容器
（１）の下底面近くまで降下させる。次いでコア用バー
ナ（３）に可燃性ガスと５ＩＣ１４、ＧｅＣ１４等のコ
ア用のガラス形成原料ガスとを夫々供給し、この可燃性
ガスが燃焼することによって生ずる火炎中で前記ガラス
形成原料ガスを加水分解反応させ、これによってヰ成さ
れたコア用スート（１υを基材（２）の下端に付着成長
させてコア用多孔質プリフォーム（１７Ｊを得る。
ームを製造するには、まず最初に基材（２）を反応容器
（１）の下底面近くまで降下させる。次いでコア用バー
ナ（３）に可燃性ガスと５ＩＣ１４、ＧｅＣ１４等のコ
ア用のガラス形成原料ガスとを夫々供給し、この可燃性
ガスが燃焼することによって生ずる火炎中で前記ガラス
形成原料ガスを加水分解反応させ、これによってヰ成さ
れたコア用スート（１υを基材（２）の下端に付着成長
させてコア用多孔質プリフォーム（１７Ｊを得る。
なおコア用バーナ（３）は上述の様に多重円筒状をなし
ているが、これは中心ノズルからガラス形成原料ガスを
、第２層ノズルからに等の不活性ガスを、第６層ノズル
からＨ２を、更に最外層ノズルから０２を夫々噴出させ
る為である。従って不活性ガスが障壁となってガラス形
成原料ガスとＨ２及び０２とがコア用バーナ（３）の出
口付近で直ちに反応してこのコア用バーナ（３）に目詰
まシを生ずるのを防止することができる。
ているが、これは中心ノズルからガラス形成原料ガスを
、第２層ノズルからに等の不活性ガスを、第６層ノズル
からＨ２を、更に最外層ノズルから０２を夫々噴出させ
る為である。従って不活性ガスが障壁となってガラス形
成原料ガスとＨ２及び０２とがコア用バーナ（３）の出
口付近で直ちに反応してこのコア用バーナ（３）に目詰
まシを生ずるのを防止することができる。
その後、コア用多孔質プリフォーム（ｌりを図外の保持
具によって回転させながら引き上げ、高温ガス吹出し用
ノズル（４） （５）からの噴出ガス（１３１によって
加熱収縮させ、径が小さくなったコア用多孔質プリフォ
ーム（１荀を得る。
具によって回転させながら引き上げ、高温ガス吹出し用
ノズル（４） （５）からの噴出ガス（１３１によって
加熱収縮させ、径が小さくなったコア用多孔質プリフォ
ーム（１荀を得る。
なおこの時、高温ガス吹出し用ノズル（４） （５）に
Ｃ１２，５ＯＣ１２等のハロゲンガス或いはハロゲン化
合物ガスを供給することによって、コア用スート旧）の
付着時にコア用多孔質ブリフメーム（１つの低温部に付
着した結晶化ＧｅＯ２佃ｅＣ１４として揮発除去してい
る。
Ｃ１２，５ＯＣ１２等のハロゲンガス或いはハロゲン化
合物ガスを供給することによって、コア用スート旧）の
付着時にコア用多孔質ブリフメーム（１つの低温部に付
着した結晶化ＧｅＯ２佃ｅＣ１４として揮発除去してい
る。
即ち、コア用スー）ｔｌυの付着成長面の温度は、コア
用バーナ（３）の中心軸と交わる而つまシ付着成長面の
中心で最も高く、周辺になるにつれて低い。
用バーナ（３）の中心軸と交わる而つまシ付着成長面の
中心で最も高く、周辺になるにつれて低い。
そしてガラス形成原料ガスの１つであるＧｅＣｌ４が加
水分解反応して生成されたＧｅＯ２は、高温部では非晶
質となり ８１０．、 との固溶体として付着し、低
温部では結晶化ＧｅＯ２として単独で付着することが知
られている。つまシ付着成長面周辺の低温部には、この
結晶化ＧｅＯ２が多量に付着している。
水分解反応して生成されたＧｅＯ２は、高温部では非晶
質となり ８１０．、 との固溶体として付着し、低
温部では結晶化ＧｅＯ２として単独で付着することが知
られている。つまシ付着成長面周辺の低温部には、この
結晶化ＧｅＯ２が多量に付着している。
この結晶化Ｇｅ０２は多孔質プリフォームを加熱透明化
しても不透明のままで残シ、また紡糸の為の加熱時に発
泡したシして、光ファイバの伝送性能を著しく低下させ
る。
しても不透明のままで残シ、また紡糸の為の加熱時に発
泡したシして、光ファイバの伝送性能を著しく低下させ
る。
結晶化ＧｅＯ２はＳｉＯ□との固溶体として付着した非
晶質ＧｅＯ２より蒸気圧が高いので、通常は透明化の為
の加熱時に揮発除去されてしまう。しかしコア用多孔質
プリフォームの周面をこクラッド用スートを付着成長さ
せる所謂コア・クラッド一体成長しまうことが困難であ
る。従って、本実施例に於ける様にクラッド部形成前に
結晶化Ｇ６０２を揮発除去する必要がある。
晶質ＧｅＯ２より蒸気圧が高いので、通常は透明化の為
の加熱時に揮発除去されてしまう。しかしコア用多孔質
プリフォームの周面をこクラッド用スートを付着成長さ
せる所謂コア・クラッド一体成長しまうことが困難であ
る。従って、本実施例に於ける様にクラッド部形成前に
結晶化Ｇ６０２を揮発除去する必要がある。
この様にして結晶化ＧｅＯ２が揮発除去され且つ径が小
さくなったコア用多孔質プリフォーム側を図外の保持具
によって更に回転させながら引き上げる。そしてクラッ
ド用バーナ（６）に可燃性ガスと５ＩＣ１４を主体とす
るクラッド用のガラス形成原料ガスとを夫々供給し、こ
の可燃性ガスが燃焼することによって生ずる火炎中で前
記ガラス形成原料ガスを加水分解反応させ、これによっ
て生成されたクラッド用スート（１９をコア用多孔質プ
リフォーム（１３）の周面に付着させてクラッド部とし
、多孔質プリフォーム＋１６）を得る。
さくなったコア用多孔質プリフォーム側を図外の保持具
によって更に回転させながら引き上げる。そしてクラッ
ド用バーナ（６）に可燃性ガスと５ＩＣ１４を主体とす
るクラッド用のガラス形成原料ガスとを夫々供給し、こ
の可燃性ガスが燃焼することによって生ずる火炎中で前
記ガラス形成原料ガスを加水分解反応させ、これによっ
て生成されたクラッド用スート（１９をコア用多孔質プ
リフォーム（１３）の周面に付着させてクラッド部とし
、多孔質プリフォーム＋１６）を得る。
クラッド用バーナ（６）がコア用バーナ（３）と同様に
多重円筒状をなしているのは、コア用バーナ（３）と同
様の理由によるものである。
多重円筒状をなしているのは、コア用バーナ（３）と同
様の理由によるものである。
以上の様ｉこして暴利（２）を回転させながら次第に引
き上げると、コア部の外周にクラッド部が形成された多
孔質プリフォーム叫が基材（２）の下端から次第に形成
されてゆく。
き上げると、コア部の外周にクラッド部が形成された多
孔質プリフォーム叫が基材（２）の下端から次第に形成
されてゆく。
このようにして得られた多孔質プリフォーム（Ｉｌｉを
別の加熱工程に於いて加熱すると透明な光フアイバ母材
となシ、梃にこの透明な光フアイバ母材を紡糸すると最
終的な光ファイバとなる。
別の加熱工程に於いて加熱すると透明な光フアイバ母材
となシ、梃にこの透明な光フアイバ母材を紡糸すると最
終的な光ファイバとなる。
なお上記多孔質プリフォーム（１，６）を得る為の上述
の工程に於いて、基材（２）或いは多孔質プリフォーム
ｆｔ、 ＋１３１１こ付宥しなかったコア用スート（１
υ及びクラッド用スー） ｔ１５）は、夫々排気用フー
ド（力（８）によって直ちに排気される。
の工程に於いて、基材（２）或いは多孔質プリフォーム
ｆｔ、 ＋１３１１こ付宥しなかったコア用スート（１
υ及びクラッド用スー） ｔ１５）は、夫々排気用フー
ド（力（８）によって直ちに排気される。
以下に第１図に示す光フアイバ母材の１ｑ造装置と略同
様の装置を用いて行った本発明の比較例及実施例 比較例１ 〔コア用バーナ〕 中心ノズル ５ｔｃ１４＝ １４０ ｃｃ ７分、Ｇ
ｅＣｌ４ ＝ ４０ ｃｃ ７分、ＰＯＣ１５＝２ｃｃ
／分、Ａｒ＝３６０ｃｃ／分 第２層ノズ／Ｉ／ Ａｒ＝４００ｃｃ／分第６層ノズ
、７１／ Ｈ２＝３０００ｃｃ／分最外層ノズ＃
０２＝６０００ｃｃ／分〔クラッド用バーナ〕 中心ノズル ５ｉｃ１４＝１５０ ｃｃ ７分、ＰＯ
ＣＩ３＝ ２ ｃｃ ７分、Ａｒ ＝２００ ｃｃ ７
分 第２層ノズ／ｌ／ Ａｒ＝５００ｃｃ／分第６層ノズ
Ａ／ Ｈ２＝３０００ｃｃ／分最外層ノズル ０２＝
５０ ［ｌＯｃｃ ／分位置 １＝８０朋 〔高温ガス吹出し用ノズル〕 使用せず 〔結果〕 多孔質プリフォーム（１（９に割れが発生した。
様の装置を用いて行った本発明の比較例及実施例 比較例１ 〔コア用バーナ〕 中心ノズル ５ｔｃ１４＝ １４０ ｃｃ ７分、Ｇ
ｅＣｌ４ ＝ ４０ ｃｃ ７分、ＰＯＣ１５＝２ｃｃ
／分、Ａｒ＝３６０ｃｃ／分 第２層ノズ／Ｉ／ Ａｒ＝４００ｃｃ／分第６層ノズ
、７１／ Ｈ２＝３０００ｃｃ／分最外層ノズ＃
０２＝６０００ｃｃ／分〔クラッド用バーナ〕 中心ノズル ５ｉｃ１４＝１５０ ｃｃ ７分、ＰＯ
ＣＩ３＝ ２ ｃｃ ７分、Ａｒ ＝２００ ｃｃ ７
分 第２層ノズ／ｌ／ Ａｒ＝５００ｃｃ／分第６層ノズ
Ａ／ Ｈ２＝３０００ｃｃ／分最外層ノズル ０２＝
５０ ［ｌＯｃｃ ／分位置 １＝８０朋 〔高温ガス吹出し用ノズル〕 使用せず 〔結果〕 多孔質プリフォーム（１（９に割れが発生した。
但し ｌ＝４０朋
〔結果〕
直径−９０ｒｈｎ、嵩密度−０，１６’ｉ／ｃｍ’の多
孔質フリフオーム（１０を得た。これを約１，５５０°
Ｃの実施例１ 〔高温ガス吹出し用ノズル〕 １本使用 Ａｒ＝８０００ｃｃ／分 ノズル吹出し直後の温度＝１０００°Ｃ〔結果〕 直径″＝＝、８０ ａｍ、嵩密度Ｌ＝、０．１８Ｐ／ｚ
の多孔質プリフォーム（１６）を得た。比較例２と同様
に屈折実施例 〔高温ガス吹出し用ノズル〕 ２本使用 Ａｒ＝４０００ｃｃ／分、 Ｎ２＝２０００ｃｃ／分、
Ｃｌ２＝ ２００ｃｃ ７分 ノズル吹出し直後の温度−１１００°Ｃ〔結果〕 直径−７６曲、嵩密度−０，１９Ｐ／ｃｍ’の多孔質プ
リフォーム１則を得た。比較例２と同様に屈折率分布を
測定したところ、第２図Ｃに示す結果を得た。
孔質フリフオーム（１０を得た。これを約１，５５０°
Ｃの実施例１ 〔高温ガス吹出し用ノズル〕 １本使用 Ａｒ＝８０００ｃｃ／分 ノズル吹出し直後の温度＝１０００°Ｃ〔結果〕 直径″＝＝、８０ ａｍ、嵩密度Ｌ＝、０．１８Ｐ／ｚ
の多孔質プリフォーム（１６）を得た。比較例２と同様
に屈折実施例 〔高温ガス吹出し用ノズル〕 ２本使用 Ａｒ＝４０００ｃｃ／分、 Ｎ２＝２０００ｃｃ／分、
Ｃｌ２＝ ２００ｃｃ ７分 ノズル吹出し直後の温度−１１００°Ｃ〔結果〕 直径−７６曲、嵩密度−０，１９Ｐ／ｃｍ’の多孔質プ
リフォーム１則を得た。比較例２と同様に屈折率分布を
測定したところ、第２図Ｃに示す結果を得た。
以」二の様に、本発明の実施例１及び２によれば、コア
用多孔質プリフォーム（１２１を加熱収縮する為の手段
が高温ガス吹出し用ノズル（４） （５）であるので、
電気炉等に比べて比較的小型で且つ簡単な構成で済む。
用多孔質プリフォーム（１２１を加熱収縮する為の手段
が高温ガス吹出し用ノズル（４） （５）であるので、
電気炉等に比べて比較的小型で且つ簡単な構成で済む。
またコア用バーナ（３）とクラッド用バーナ（６）との
間に高温ガス吹出し用ノズル（４）（５）を配置するこ
とによって双方のバーナ（３） （６）を離間させ、し
かも高温ガス吹出し用ノズル（４） （５１からの噴出
ガス（１３）が障壁トするので、コア用スート（Ｉｐと
クララｈ”用スート（１ωとの混合が防止される。更に
また排気用フード（７） （８）が基材（２）或いはコ
ア用多孔質プリフォーム（１２１（１４）に付着しなか
ったコア用スート旧）及びクラッド用スート（１５１を
直ちに排気することによってもこれらの混合が防止され
る。従ってコア部とクラッド部との境界付近に於ける屈
折率分布を所望の形にできるので、所望の伝送性能を有
する光ファイバの母材を製造することが可能である。
間に高温ガス吹出し用ノズル（４）（５）を配置するこ
とによって双方のバーナ（３） （６）を離間させ、し
かも高温ガス吹出し用ノズル（４） （５１からの噴出
ガス（１３）が障壁トするので、コア用スート（Ｉｐと
クララｈ”用スート（１ωとの混合が防止される。更に
また排気用フード（７） （８）が基材（２）或いはコ
ア用多孔質プリフォーム（１２１（１４）に付着しなか
ったコア用スート旧）及びクラッド用スート（１５１を
直ちに排気することによってもこれらの混合が防止され
る。従ってコア部とクラッド部との境界付近に於ける屈
折率分布を所望の形にできるので、所望の伝送性能を有
する光ファイバの母材を製造することが可能である。
また上述の様にコア用バーナ（３）とクラッド用バーナ
（６）とを離間させても、それらの間に配置された高温
ガス吹出し用ノズル＋４） （５＋からの噴出ガス（１
〜が高温であるので、双方のバーナ（３） ＋６）間に
於ける温度勾配が小さい。従って製造途中の多孔質プリ
フォーム・が温度勾配の為に割れるのを防止できる。
（６）とを離間させても、それらの間に配置された高温
ガス吹出し用ノズル＋４） （５＋からの噴出ガス（１
〜が高温であるので、双方のバーナ（３） ＋６）間に
於ける温度勾配が小さい。従って製造途中の多孔質プリ
フォーム・が温度勾配の為に割れるのを防止できる。
またコア用多孔質プリフォーム（＋２を高温ガス吹出し
用ノズル（４） （５）からの噴出ガス（１３１によっ
て加熱収縮させ、径の小さいコア用多孔質プリフォーム
（１４）を形成している。従って得られる光フアイバ母
材の径をあまシ大きくすることなくクラツド径に対する
コア径の比を小さくできるので、単一モードファイバの
製造等にも適すると共に、反応容器や透明化用ヒータ等
も全体に大きくする必要がないＯ また電気炉に於ける様に比較的大型の炉材等がないので
、加水分解反応で生成された霧状のＨＣｌによる浸食が
少ない。従って浸食による生成物が異物として多孔質プ
リフォームに混入するおそれが少なく、この為に伝送性
能の優れた光フアイバ母材を製造することができる。
用ノズル（４） （５）からの噴出ガス（１３１によっ
て加熱収縮させ、径の小さいコア用多孔質プリフォーム
（１４）を形成している。従って得られる光フアイバ母
材の径をあまシ大きくすることなくクラツド径に対する
コア径の比を小さくできるので、単一モードファイバの
製造等にも適すると共に、反応容器や透明化用ヒータ等
も全体に大きくする必要がないＯ また電気炉に於ける様に比較的大型の炉材等がないので
、加水分解反応で生成された霧状のＨＣｌによる浸食が
少ない。従って浸食による生成物が異物として多孔質プ
リフォームに混入するおそれが少なく、この為に伝送性
能の優れた光フアイバ母材を製造することができる。
更にまた高温ガス吹出し用ノズル（４）（５）にＣ１２
，５ＯＣ１２等のハロゲンガス或いはハロゲン化合物ガ
スを供給しているので、コア用多孔質プリフォーム（１
３に付着した結晶化Ｇｅ０２をクラッド部形成前にＧｅ
Ｃｅ４としてイ・（１発除去することができる。従って
クラッド部をＩｐ、ｊ （付ｉｌＦさせても結晶化Ｇｅ
Ｏ２が残存することはないので１．伝送性スｉｇの録れ
た光ファイバの母材を製造することができる。
，５ＯＣ１２等のハロゲンガス或いはハロゲン化合物ガ
スを供給しているので、コア用多孔質プリフォーム（１
３に付着した結晶化Ｇｅ０２をクラッド部形成前にＧｅ
Ｃｅ４としてイ・（１発除去することができる。従って
クラッド部をＩｐ、ｊ （付ｉｌＦさせても結晶化Ｇｅ
Ｏ２が残存することはないので１．伝送性スｉｇの録れ
た光ファイバの母材を製造することができる。
以上、本発明を一実〃１１例にシ４いて説明したが、本
発明はこの実施列に限定されるものではなく、各゛ｉ・
１」の変四が可能である。
発明はこの実施列に限定されるものではなく、各゛ｉ・
１」の変四が可能である。
例えば、上述の実施例１こ於いＣは２本の高温ガス吹出
し用ノズルｆ４） ＋５）を便用し−Ｃいるが、これは
６本以上でもよく、また場合によっては１本でもかまわ
ない。
し用ノズルｆ４） ＋５）を便用し−Ｃいるが、これは
６本以上でもよく、また場合によっては１本でもかまわ
ない。
また上述の１４ ＪＡＩｉ例に於いては、第１図に示す
光ファイバ１すす材の′４１メ造装置Ｎとは別個にこの
製造装置によつＣ得られた光ファイバ母料を坊すｊ化す
る為の加熱手段が必要であるが、第１図に示す製造＝１
ム置内に】１玉当な加熱手段を設ければ、この製造装置
ｃえ友けで透明な光フアイバ母材を・１！することがで
きる。
光ファイバ１すす材の′４１メ造装置Ｎとは別個にこの
製造装置によつＣ得られた光ファイバ母料を坊すｊ化す
る為の加熱手段が必要であるが、第１図に示す製造＝１
ム置内に】１玉当な加熱手段を設ければ、この製造装置
ｃえ友けで透明な光フアイバ母材を・１！することがで
きる。
本発明は、上〕ホの如き構成であるので、比小文的小型
で且つ！ｒｊ単な（Ｉｐ成であるにも拘らず、コア用ス
ートとクラッド用スートとの混合を防止しでコアとクラ
ッドとの境界付近に於ける屈折率分布を所望の形にでき
るので所望の伝送性能を得ることが可能であり、また製
造時に於ける光フアイバ母材の温度勾配を小さくしてそ
の割れを防止でき、また得られる光フアイバ母材の径を
あまり大きくすることなくクラツド径に対するコア径の
比を小さくできるので単一モードファイバの製造等７に
も適すると共にガラス形成微粒子を付着成長させて光フ
アイバ母材を得る為の反応容器や透明化用ヒータ等も全
体に大きくする必賛がなく、更をこまだ光フアイバ母材
中に異物が混入するおそれが少ないので伝送性能が優れ
た光フアイバ母材を提供することができる。しかも高温
ガス吹出し用ノズルにハロゲンガスまたはハロゲン化合
物ガスを供給すれば、結晶化してコア用多孔質プリフォ
ームに付層したガラス形成微粒子をクラッド部形成前に
揮発除去させることができるので、クラッド部を厚くし
ても伝送性能が優れた光ファイバの母材を製造すること
ができる。
で且つ！ｒｊ単な（Ｉｐ成であるにも拘らず、コア用ス
ートとクラッド用スートとの混合を防止しでコアとクラ
ッドとの境界付近に於ける屈折率分布を所望の形にでき
るので所望の伝送性能を得ることが可能であり、また製
造時に於ける光フアイバ母材の温度勾配を小さくしてそ
の割れを防止でき、また得られる光フアイバ母材の径を
あまり大きくすることなくクラツド径に対するコア径の
比を小さくできるので単一モードファイバの製造等７に
も適すると共にガラス形成微粒子を付着成長させて光フ
アイバ母材を得る為の反応容器や透明化用ヒータ等も全
体に大きくする必賛がなく、更をこまだ光フアイバ母材
中に異物が混入するおそれが少ないので伝送性能が優れ
た光フアイバ母材を提供することができる。しかも高温
ガス吹出し用ノズルにハロゲンガスまたはハロゲン化合
物ガスを供給すれば、結晶化してコア用多孔質プリフォ
ームに付層したガラス形成微粒子をクラッド部形成前に
揮発除去させることができるので、クラッド部を厚くし
ても伝送性能が優れた光ファイバの母材を製造すること
ができる。
の製造装置の一例を示す概略縦断面図、第２図は本発明
を説明するための比較例及び実施例で得られた光ファイ
バ母料のｈｌ（折率分布を示し、Ａは比較例２、Ｂは実
施例１、ｃは実施例２に対応している。 なお図面に用いられている符号に於いで、（３） ・
・ コア用バーナ （４Ｘり１ 高温ガス吹出し用ノズル（（３）
り２ツド用バーナ（１’ｌｒ・、１４）
コア用多孔質プリフォーム（１６）ノ１↓終的
に得られた多孔質プリフォームである。 代理人 上屋 勝 常 包 芳 男 杉浦俊青
を説明するための比較例及び実施例で得られた光ファイ
バ母料のｈｌ（折率分布を示し、Ａは比較例２、Ｂは実
施例１、ｃは実施例２に対応している。 なお図面に用いられている符号に於いで、（３） ・
・ コア用バーナ （４Ｘり１ 高温ガス吹出し用ノズル（（３）
り２ツド用バーナ（１’ｌｒ・、１４）
コア用多孔質プリフォーム（１６）ノ１↓終的
に得られた多孔質プリフォームである。 代理人 上屋 勝 常 包 芳 男 杉浦俊青
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 光フアイバ母材のコア部を構成するガラス形成微
粒子を合成するためのコア用バーナと、前記光ファイバ
母料のクラッド部を構成するガラス形成微粒子を合成す
るためのクラッド用バーナとにガラス形成原料ガス及び
可燃性ガスを夫々供給し、これらの可燃性ガスを燃焼さ
せた火炎中で前記ガラス形成原料ガスを反応させること
によって、前記ガラス形成微粒子を付着成長させて前記
コア部とこのコア部の周囲に一体的に形成された前記ク
ラッド部とからなる光フアイバ母材を得るようにした光
フアイバ母材の製造方法に於いて、前記コア用バーナと
前記クラッド用バーナとの間に高温ガス吹出し用ノズル
を配置し、この高温ガス吹出し用ノズルによって前記コ
ア部に高温ガスを吹付けるようにしたことを特徴とする
光フアイバ母材の、！Ｉｑ造方法。 ２、前記高温ガス吹出し用ノズルにハロゲンガスまたは
ハロゲン化合物ガスを供給することを特徴とするｌ侍π
「請求の範囲第１項記載の光フアイバ母材の１．！！造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19405982A JPS5983953A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19405982A JPS5983953A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983953A true JPS5983953A (ja) | 1984-05-15 |
| JPH0327493B2 JPH0327493B2 (ja) | 1991-04-16 |
Family
ID=16318260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19405982A Granted JPS5983953A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983953A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0311080A2 (en) * | 1987-10-07 | 1989-04-12 | Sumitomo Electric Industries Limited | Method for producing glass preform for optical fiber |
| JPH01153548A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | シングルモード光フアイバ用母材の製造方法 |
| JPH038737A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法 |
| EP0634372A1 (en) * | 1993-06-18 | 1995-01-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing single-mode optical fiber preform |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5727934A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of base material for optical fiber |
| JPS5792532A (en) * | 1980-11-28 | 1982-06-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Preparation of oxide powder rod for optical fiber |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP19405982A patent/JPS5983953A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5727934A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of base material for optical fiber |
| JPS5792532A (en) * | 1980-11-28 | 1982-06-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Preparation of oxide powder rod for optical fiber |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0311080A2 (en) * | 1987-10-07 | 1989-04-12 | Sumitomo Electric Industries Limited | Method for producing glass preform for optical fiber |
| US5055121A (en) * | 1987-10-07 | 1991-10-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing glass preform for optical fiber |
| JPH01153548A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | シングルモード光フアイバ用母材の製造方法 |
| JPH038737A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法 |
| EP0634372A1 (en) * | 1993-06-18 | 1995-01-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of manufacturing single-mode optical fiber preform |
| US5676725A (en) * | 1993-06-18 | 1997-10-14 | Sumitomo Electric Industries Ltd | Method of manufacturing single-mode optical fiber |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0327493B2 (ja) | 1991-04-16 |
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