JPS5960760A - 浮動ヘツドスライダ - Google Patents
浮動ヘツドスライダInfo
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- JPS5960760A JPS5960760A JP57171728A JP17172882A JPS5960760A JP S5960760 A JPS5960760 A JP S5960760A JP 57171728 A JP57171728 A JP 57171728A JP 17172882 A JP17172882 A JP 17172882A JP S5960760 A JPS5960760 A JP S5960760A
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- slider
- floating
- disk
- air inflow
- head slider
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- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明＆、１：、磁気記憶装置に用いられる浮動ヘラ１
゛スライダの改良に関する。
゛スライダの改良に関する。
第１図は従来の浮動へラドスライダを示すもので１４・
１す、τ・Ｙ動ヘッドスライダ１の下面２の両側にｔ」
相７Ｉ−に平行に延在する２つの滑面３，３が形成へＪ
じＣおり、−また、端面４には、その下端を記録丙生部
６とした磁気ヘッド５が突設されている。
１す、τ・Ｙ動ヘッドスライダ１の下面２の両側にｔ」
相７Ｉ−に平行に延在する２つの滑面３，３が形成へＪ
じＣおり、−また、端面４には、その下端を記録丙生部
６とした磁気ヘッド５が突設されている。
前Ｉｉｔ：のそれぞれの滑面３，３には空気流入側に昇
月−（幾（１°りの１種であるデーＡ？面７，７が形成
されている。
月−（幾（１°りの１種であるデーＡ？面７，７が形成
されている。
との」：・〉な浮動へラドスライダ１は、実際は第２図
に示すように支持され−Ｃいる。この６′シ２図のγ′
ｉ動ヘッドスライダ１は、記録媒体たるディスクン３の
Ｆ面に対向するものであるため、その向きが第１図と逆
になっている。
に示すように支持され−Ｃいる。この６′シ２図のγ′
ｉ動ヘッドスライダ１は、記録媒体たるディスクン３の
Ｆ面に対向するものであるため、その向きが第１図と逆
になっている。
ｉｔ’＞ ２図において、浮動へラドスライダ１は、取
伺ＩｔＶｊ’−ム９に支持されたノンパル１０に支持さ
れて」、・す、かつ、このノンパル１０と一体の板ばね
１１に、１．’ ＃Ｉ ｆ″イスク８圧接する方向に付
勢されている３、＋ｉｉｌ記（”ｌ動ヘット０スライダ
１は、ディスク８の停止１０時ｆ、ｊ、その表面（記録
媒体面）に当接し、ディスク８が回＋１ｊｉ：すると、
Ａ圧機構たるデー・Ｐ面７．７の（ｒ（１；故に、第：
う図（ａ）に示すように、ディスク８から離間すなわち
浮上する。このとき、各滑面３、；１に」、・＆−，す
る圧力分布は第３図（１，）に示すようになる。、イー
とで、この第３図（ｂ）に示す発生圧力の積分子＋ｉ＋
と釣り合う負荷荷重を浮動ヘッドスライダ１の☆、持点
１２に前記板ばね１１にＪ：り加えることにより、 Ｃ
′Ｉ！Ｉ／ＩＪヘッドスライダ１の記録画生部６とディ
スク８の表面８ａとの間隙は一定に維持される。
伺ＩｔＶｊ’−ム９に支持されたノンパル１０に支持さ
れて」、・す、かつ、このノンパル１０と一体の板ばね
１１に、１．’ ＃Ｉ ｆ″イスク８圧接する方向に付
勢されている３、＋ｉｉｌ記（”ｌ動ヘット０スライダ
１は、ディスク８の停止１０時ｆ、ｊ、その表面（記録
媒体面）に当接し、ディスク８が回＋１ｊｉ：すると、
Ａ圧機構たるデー・Ｐ面７．７の（ｒ（１；故に、第：
う図（ａ）に示すように、ディスク８から離間すなわち
浮上する。このとき、各滑面３、；１に」、・＆−，す
る圧力分布は第３図（１，）に示すようになる。、イー
とで、この第３図（ｂ）に示す発生圧力の積分子＋ｉ＋
と釣り合う負荷荷重を浮動ヘッドスライダ１の☆、持点
１２に前記板ばね１１にＪ：り加えることにより、 Ｃ
′Ｉ！Ｉ／ＩＪヘッドスライダ１の記録画生部６とディ
スク８の表面８ａとの間隙は一定に維持される。
ところで、磁気記憶装置の記録・再生を安定的になすに
は、浮動ヘッドスライダ１の記録再生部６とｌ′イスク
８の表面８ａとの間隙が重要な意味をも′）でいる。
は、浮動ヘッドスライダ１の記録再生部６とｌ′イスク
８の表面８ａとの間隙が重要な意味をも′）でいる。
す／１−わち、浮動ヘッドスライダ１のディスク８に＆
、ｌする。ｉｌｉ従性を良好にして記録状態を良くする
／仁めには、前記間隙を狭くした方が良いが、間隙を狭
くするために磁気ヘッドスライダ１に大きな負荷荷重を
加えると、ディスク８の走行開始時および走行停止時の
低速走行状態における磁気ヘッドスライダ１の滑面３、
：３とディスク８の表面８ａとの摩擦が大きくなり、前
記滑面３および表面８ａ″ の摩耗が増大］７、磁気記
憶装置としての寿命を短ホイ１１させでし址う。
、ｌする。ｉｌｉ従性を良好にして記録状態を良くする
／仁めには、前記間隙を狭くした方が良いが、間隙を狭
くするために磁気ヘッドスライダ１に大きな負荷荷重を
加えると、ディスク８の走行開始時および走行停止時の
低速走行状態における磁気ヘッドスライダ１の滑面３、
：３とディスク８の表面８ａとの摩擦が大きくなり、前
記滑面３および表面８ａ″ の摩耗が増大］７、磁気記
憶装置としての寿命を短ホイ１１させでし址う。
このような欠点を除去するためには、ディスク８の低速
走行時には、浮動−・ラドスライダ１に負荷＋ｉｉ丁重
を加えず、ある速度風」二においてだけ負荷イＷｒ重を
加えることがゴ５えらｔ］るが、このような機構を設け
るとコストが高くなる［７、壕だ、走行中、浮動ヘッド
スライダ１をプ″イスク８に近づけるときにスラ・ｆｌ
ｌの滑面３．：３がディスク８の表面８ａに仙ｊ突゛す
るおそれがあり、実用に向かない。
走行時には、浮動−・ラドスライダ１に負荷＋ｉｉ丁重
を加えず、ある速度風」二においてだけ負荷イＷｒ重を
加えることがゴ５えらｔ］るが、このような機構を設け
るとコストが高くなる［７、壕だ、走行中、浮動ヘッド
スライダ１をプ″イスク８に近づけるときにスラ・ｆｌ
ｌの滑面３．：３がディスク８の表面８ａに仙ｊ突゛す
るおそれがあり、実用に向かない。
そこで、第４図に示ず」：うに、浮動ヘッドスライダＩ
Ａの下面中火に傾斜状のイン・ぐ−ステーｄ’部１３を
設けたり、第５図に示すように、スライダＩＢの下向中
央の空気流出側にインノ々−Ｘステップ部１４を設け、
走行時に負圧を発せＬ７め、負荷荷重の減少をはかり、
走行１５ｉ１始時および停止時における浮動ヘラ１゛ス
ライグＩＡ、１１３の滑面３．３どディスク８の表面８
ａとの摩耗を軽減するという方法がある。
Ａの下面中火に傾斜状のイン・ぐ−ステーｄ’部１３を
設けたり、第５図に示すように、スライダＩＢの下向中
央の空気流出側にインノ々−Ｘステップ部１４を設け、
走行時に負圧を発せＬ７め、負荷荷重の減少をはかり、
走行１５ｉ１始時および停止時における浮動ヘラ１゛ス
ライグＩＡ、１１３の滑面３．３どディスク８の表面８
ａとの摩耗を軽減するという方法がある。
しかしながら、この」、うにインノぐ−スデーノ９部１
３あるいｔ士インバースソ、デフ１部１４を設けると加
工工程が増え、７スドｆツゾになる。
３あるいｔ士インバースソ、デフ１部１４を設けると加
工工程が増え、７スドｆツゾになる。
本発明（′ｔ、このような点に鑑み、Ｍ耗が小さく１．
２かも記録媒体面との微小間隙を安定的に維持でき、安
価に製造できる１而気記憶装置に使用される浮ｆ１）へ
ラドスライダを１（＋１供することを目的とする。
２かも記録媒体面との微小間隙を安定的に維持でき、安
価に製造できる１而気記憶装置に使用される浮ｆ１）へ
ラドスライダを１（＋１供することを目的とする。
〔発明の１１！°ロ゛タ］
前：Ｉ／’Ｑｌ、た目的は、本発明（て係る浮動へラド
スライダにＪ、′れば、磁・×−・ツｌ’をＩＩ：！Ｉ
えるとともに、記録媒体面と対向する面にｆｌｌ・面の
形成されてしする浮動へラドスライダにおいて、 ｌ’
ｌｉｌ ｉｌｌ、！ １Ｍｔ而の空気流入側ｔ・よび空
気流出１閂に（−ｌ＋ −Ｐｌ＋、 ｙｌ圧（・内構を
形成することに支り達成され、これらの空り（流入側・
７〕昇圧（幾＋１４と空気流出側のｌｆ＋、ＩＩ・機構
と１７）間の滑面に減圧機構を＋１ｓ成することにより
さらに良好に達成される。
スライダにＪ、′れば、磁・×−・ツｌ’をＩＩ：！Ｉ
えるとともに、記録媒体面と対向する面にｆｌｌ・面の
形成されてしする浮動へラドスライダにおいて、 ｌ’
ｌｉｌ ｉｌｌ、！ １Ｍｔ而の空気流入側ｔ・よび空
気流出１閂に（−ｌ＋ −Ｐｌ＋、 ｙｌ圧（・内構を
形成することに支り達成され、これらの空り（流入側・
７〕昇圧（幾＋１４と空気流出側のｌｆ＋、ＩＩ・機構
と１７）間の滑面に減圧機構を＋１ｓ成することにより
さらに良好に達成される。
以ｌ；、杢：発明を図面に示す実施例により説明する。
４’ｌＴ ６図（ａ）、（ｂ）は本発明の第１実施例を
示すものテアリ、浮動へラドスライダＩＣの両側の滑面
３．３のそｈぞれの空気流入側および空気流出側には。
示すものテアリ、浮動へラドスライダＩＣの両側の滑面
３．３のそｈぞれの空気流入側および空気流出側には。
昇圧機構の一例としてのくの字状の溝１５．１５．１６
．１６が形成されている。これらの溝１５．１６はイオ
ンエツチング法により形成されるが、このイオンエツブ
−ング加工工程を第７図により説明する。
．１６が形成されている。これらの溝１５．１６はイオ
ンエツチング法により形成されるが、このイオンエツブ
−ング加工工程を第７図により説明する。
斗ず、第７図（ａ）に示すように、浮動ヘット９スラ・
１グＩＣの下面２および滑面３上に金属膜１７を蒸イ装
置７．さらに、この金属１１ぐ１７」〕に、第７図（ｂ
）に示ノ１．うに、感光材１８を塗布する。ついで、第
７図−（、りに小す５１：うに、露光して前記溝１５も
しくは１６のバμ ２、何！）６−形成ｊ２、゛さらに
、第７図（ａ）に示すよう（・と、６黛５ｆｉ、、１１
桑１７をエツチング（７て、第７１刈（，３）に示す１
うに、感光材１８を除去する。その後、第７図（ｆ）に
示すように、フェライトエツチングして、第７図Ｑ）に
示すように、金属膜１７を除去すれば溝１５もしくは１
６を形成することができる。
１グＩＣの下面２および滑面３上に金属膜１７を蒸イ装
置７．さらに、この金属１１ぐ１７」〕に、第７図（ｂ
）に示ノ１．うに、感光材１８を塗布する。ついで、第
７図−（、りに小す５１：うに、露光して前記溝１５も
しくは１６のバμ ２、何！）６−形成ｊ２、゛さらに
、第７図（ａ）に示すよう（・と、６黛５ｆｉ、、１１
桑１７をエツチング（７て、第７１刈（，３）に示す１
うに、感光材１８を除去する。その後、第７図（ｆ）に
示すように、フェライトエツチングして、第７図Ｑ）に
示すように、金属膜１７を除去すれば溝１５もしくは１
６を形成することができる。
このようなイオンエツチング法によれば、一般の機械加
工に較べ加工寸法の＋１現性が良いし、−また、・９タ
ーン形状の寸法種度を原図の拡大率により調整できる。
工に較べ加工寸法の＋１現性が良いし、−また、・９タ
ーン形状の寸法種度を原図の拡大率により調整できる。
さらに、溝１５．１６の深さの′４８度はエツチング加
二Ｅの速度が１時間当り１〜２μｍと小さいため、加工
時間の調整により±０．１μｍ以下という高い種度が得
られる。
二Ｅの速度が１時間当り１〜２μｍと小さいため、加工
時間の調整により±０．１μｍ以下という高い種度が得
られる。
第８図（ａ）、 （１））は、第６図（ａ）、 （ｂ）
の実施例の浮動へラドスライダＩＣの浮上時の姿勢とそ
のときの圧力分布を示すものであり、スライダｌｃのデ
ィスク８の表面８ａに対する間隙が、空気流入端と空気
流出端とでほぼ等しいようにしてスライダＩＣは浮上す
るにもかかわらず、圧力分布は、畠８図（’ｂ）に示す
ように１前後２個所の溝１５．１６の部位で極大値を有
する」、うになる、１そして、磁気ヘッド５の記録再生
部６とディスク）（の表面８ａとの間隙が同じであれば
、浮動−＼ラドスライダＩＣとディスク８とが平行に近
いほどスライダ１ｃのディスク８に対する追従特性が良
くなり、記録再生特性が向にするので１本実施例におい
ては、浮動へラドスライダＩＣのクラッシュの発生低下
につなが、２） ＋＋−；＋た。前述［７たように圧力
分布が２個所の極Ｊコ値を有しているので、浮動ヘッド
スライダＩＣのｌ！′ツチング方向の状態も安定する。
の実施例の浮動へラドスライダＩＣの浮上時の姿勢とそ
のときの圧力分布を示すものであり、スライダｌｃのデ
ィスク８の表面８ａに対する間隙が、空気流入端と空気
流出端とでほぼ等しいようにしてスライダＩＣは浮上す
るにもかかわらず、圧力分布は、畠８図（’ｂ）に示す
ように１前後２個所の溝１５．１６の部位で極大値を有
する」、うになる、１そして、磁気ヘッド５の記録再生
部６とディスク）（の表面８ａとの間隙が同じであれば
、浮動−＼ラドスライダＩＣとディスク８とが平行に近
いほどスライダ１ｃのディスク８に対する追従特性が良
くなり、記録再生特性が向にするので１本実施例におい
ては、浮動へラドスライダＩＣのクラッシュの発生低下
につなが、２） ＋＋−；＋た。前述［７たように圧力
分布が２個所の極Ｊコ値を有しているので、浮動ヘッド
スライダＩＣのｌ！′ツチング方向の状態も安定する。
７′ｒ、１’、−１昇Ｆ１：機構と１．ての溝１５．１
Ｇは、第９図（ａ）にｉｉ＜すＬうに曲線状としても、
第９図（ｂ）に示すように、くの字状としても良いし、
壕だ、第９図（ｃ）に示・ｔように、２本の直線溝Ｉ、
２１を組合せても良い１．さらには、第９図（ｄ）に示
すように、第９図（ａ）、（Ｉ））の溝１５．１６を組
合せても良い。
Ｇは、第９図（ａ）にｉｉ＜すＬうに曲線状としても、
第９図（ｂ）に示すように、くの字状としても良いし、
壕だ、第９図（ｃ）に示・ｔように、２本の直線溝Ｉ、
２１を組合せても良い１．さらには、第９図（ｄ）に示
すように、第９図（ａ）、（Ｉ））の溝１５．１６を組
合せても良い。
前記脣圧磯構は、前述した溝１５．１６のみに限られイ
）ものではなく、テーパ、ステップを用いても良い。す
なわち、第１０図（ａ） （ｒＣ示すように、空気流入
側にデーｚＪ？２２を設け、空気流出側の溝１６と組合
せ−（−も醍いし、また、第１０図（ｂ）に示すように
、ステラ７″２３ 、’−ｌｉか１６とを組合せても良
い。
）ものではなく、テーパ、ステップを用いても良い。す
なわち、第１０図（ａ） （ｒＣ示すように、空気流入
側にデーｚＪ？２２を設け、空気流出側の溝１６と組合
せ−（−も醍いし、また、第１０図（ｂ）に示すように
、ステラ７″２３ 、’−ｌｉか１６とを組合せても良
い。
第１１図（ａ）、 （ｂ）は本発明の浮動ヘッドスライ
ダＩＤの他の実施例を示すものであり、前述した第６図
０）、（１））の各滑面３，３における溝１５．１６の
間に減圧機構としてのくの字状のり４２２をエツチング
加工により形成したものである。
ダＩＤの他の実施例を示すものであり、前述した第６図
０）、（１））の各滑面３，３における溝１５．１６の
間に減圧機構としてのくの字状のり４２２をエツチング
加工により形成したものである。
この」：うな構成によれば、浮動へラドスライダＩＤの
浮上時の姿勢およびその時の圧力分布は第１２図←）、
（ｂ）に示すようになる。
浮上時の姿勢およびその時の圧力分布は第１２図←）、
（ｂ）に示すようになる。
１−なわち、浮動ヘッドスライダＩＤは、その滑面３，
３の空気流入側および空気流出側の各７ｈ１５．１６に
おいて正圧の極大値をとり、また、両溝１５゜１６の中
間の溝２２において負圧の極大値をとる。そして、負荷
荷重は、全発生圧力を積分したものであるから１本実施
例のように減圧機構のｒＮ／ ２２がある場合、この溝
２２がないものと較べて約弓程度となるため、浮動ヘッ
ドスライダｌ ’ｆｉ＋の滑面３とディスク８の１１ピ
録媒体面ｉ３ ｎ （１）摩耗を大きく軽減することが
できる。また、ｌ！′１．ｍｌ＋へラドスライダ１１）
のピッチング方向の安定性も、Ｐｉ７面：ｌ、３の両端
部に正側の極大値があるため、減圧機構の溝２２がない
ものとほぼ変らない。
３の空気流入側および空気流出側の各７ｈ１５．１６に
おいて正圧の極大値をとり、また、両溝１５゜１６の中
間の溝２２において負圧の極大値をとる。そして、負荷
荷重は、全発生圧力を積分したものであるから１本実施
例のように減圧機構のｒＮ／ ２２がある場合、この溝
２２がないものと較べて約弓程度となるため、浮動ヘッ
ドスライダｌ ’ｆｉ＋の滑面３とディスク８の１１ピ
録媒体面ｉ３ ｎ （１）摩耗を大きく軽減することが
できる。また、ｌ！′１．ｍｌ＋へラドスライダ１１）
のピッチング方向の安定性も、Ｐｉ７面：ｌ、３の両端
部に正側の極大値があるため、減圧機構の溝２２がない
ものとほぼ変らない。
なお、この減圧機構の溝２２の形状は、第９図（ａ）〜
（ｄ、）により説明した昇圧機構の溝と同様、各種のも
のが考えられる。また、減圧機構の溝２２は、第１３図
に示すように、浮動ヘッドスライダＩＥの幅方向の中央
部に設けるようにしても良い１〔発明の効果〕 以ト説明したように、本発明に係る浮動へラドスライダ
は、磁気ヘッドを備えるとともに、記録媒体面と対向す
る面に滑面の形成されている浮動・＼ラドスライダにお
いて、前記滑面の空気流入側１？よび空気流出側にそれ
ぞれ昇圧機構を形成したので、ピッチング方向の安定性
を維持した上で。
（ｄ、）により説明した昇圧機構の溝と同様、各種のも
のが考えられる。また、減圧機構の溝２２は、第１３図
に示すように、浮動ヘッドスライダＩＥの幅方向の中央
部に設けるようにしても良い１〔発明の効果〕 以ト説明したように、本発明に係る浮動へラドスライダ
は、磁気ヘッドを備えるとともに、記録媒体面と対向す
る面に滑面の形成されている浮動・＼ラドスライダにお
いて、前記滑面の空気流入側１？よび空気流出側にそれ
ぞれ昇圧機構を形成したので、ピッチング方向の安定性
を維持した上で。
ｍ面を記録媒体面とほぼ平行でしかも微小間隙をも一゛
）で対向せしめることができ、摩耗をｉ減でき記録も鮮
明なものが得られる。
）で対向せしめることができ、摩耗をｉ減でき記録も鮮
明なものが得られる。
、）だ、前述した構成に加え、空気流入側の昇圧（幾構
と空気流出側の昇圧機構との間の滑面に減圧機構を形成
することにより、負荷荷重がさらに軽減され、摩耗もこ
れに応じてさらに減少する。
と空気流出側の昇圧機構との間の滑面に減圧機構を形成
することにより、負荷荷重がさらに軽減され、摩耗もこ
れに応じてさらに減少する。
第１図は従来の浮動ヘッドスライダの斜視図、第２図は
第１図の浮動へラドスライダを組込んだ磁気記憶装置の
斜視図、第３図（ＬＬ）は第１図の浮動ヘント゛スライ
ダの浮上状態を示す側面図、第３図（ｂ）は第３図６ミ
）の圧力分布図、第４図および第５図はそれぞれ従来の
他の浮動ヘット９スライダの斜視図、第６図（ｔ）は本
発明に係るＦ％動へラドスライダの実施例を示す斜視図
、第６図（ｂ）は第６図（ａ）の要部の拡大図、第７図
（ａ）、（１））、 （ｃ）、（ｄ）、 （、）、（ｆ
゛）、（ｇ）は第６図の浮動へラドスライダのｔＮＩの
エツチング加工の＝［根回、第８図（ａ）は第６図の浮
動ヘッドスライダの１ＬＪ−状態を示す側面図、第８図
＜ｂ）は第８図（ａ）の圧力分布図、第９図（−）、（
ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）はそれぞれ溝の形状の他側を示す
説明図、第１０図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ第６図の実
施例の変形例を示す側面図、第１１図（ａ） Ｖｌ：本
発明の他の実施例を示す斜視図、第１１図（ｂ）は第１
１図（ａ）の要部の拡大図、第１２図（ａ）は第１１図
の浮動−＼ツト゛スフイダの浮」二状魅を示す側面図、
第１２図（１））は第１２図（ａ）のＩＥ万力分布図第
１３図は第１１１凶の実ｂｉＩｉ例の変形例を示す斜視
図である。 １５１Δ、ＩＢ、１０．１１’）、ＩＩＵ・・・浮動ヘ
ット０ペライダ、３・・・滑面２５・・・磁気ヘラ１ζ
６・・記録内生部、り３・・・ディスク、１０・・・
ジンバル、１５．１６．２２・・・ｔ（１０ 出願人代理人 猪 股 清 第４図 第６図 （ａ） 第７図 第９図 第１０図 第１１図 丙 １／ 第１２図 （ａ） 第１３図 ／
第１図の浮動へラドスライダを組込んだ磁気記憶装置の
斜視図、第３図（ＬＬ）は第１図の浮動ヘント゛スライ
ダの浮上状態を示す側面図、第３図（ｂ）は第３図６ミ
）の圧力分布図、第４図および第５図はそれぞれ従来の
他の浮動ヘット９スライダの斜視図、第６図（ｔ）は本
発明に係るＦ％動へラドスライダの実施例を示す斜視図
、第６図（ｂ）は第６図（ａ）の要部の拡大図、第７図
（ａ）、（１））、 （ｃ）、（ｄ）、 （、）、（ｆ
゛）、（ｇ）は第６図の浮動へラドスライダのｔＮＩの
エツチング加工の＝［根回、第８図（ａ）は第６図の浮
動ヘッドスライダの１ＬＪ−状態を示す側面図、第８図
＜ｂ）は第８図（ａ）の圧力分布図、第９図（−）、（
ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）はそれぞれ溝の形状の他側を示す
説明図、第１０図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ第６図の実
施例の変形例を示す側面図、第１１図（ａ） Ｖｌ：本
発明の他の実施例を示す斜視図、第１１図（ｂ）は第１
１図（ａ）の要部の拡大図、第１２図（ａ）は第１１図
の浮動−＼ツト゛スフイダの浮」二状魅を示す側面図、
第１２図（１））は第１２図（ａ）のＩＥ万力分布図第
１３図は第１１１凶の実ｂｉＩｉ例の変形例を示す斜視
図である。 １５１Δ、ＩＢ、１０．１１’）、ＩＩＵ・・・浮動ヘ
ット０ペライダ、３・・・滑面２５・・・磁気ヘラ１ζ
６・・記録内生部、り３・・・ディスク、１０・・・
ジンバル、１５．１６．２２・・・ｔ（１０ 出願人代理人 猪 股 清 第４図 第６図 （ａ） 第７図 第９図 第１０図 第１１図 丙 １／ 第１２図 （ａ） 第１３図 ／
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■）磁気ヘッドを備えるとともに、記録媒体面と対向す
る面に滑面の形成さＪｌでいる浮動ヘラ；・。 スライダにおいて、前記１１７面の空気流入側および空
気流出側にそれぞ７１列圧機＋／７／を形成したことを
特徴とする浮動ヘラ１°スラ・（ｊｆ。 ２）磁気ヘッドを備えるとノーもに、記録媒体面と対向
する面に滑面の形成されＣいる浮動ヘッドスライダにお
いて、前記滑面の空気流入側および空気流出側にそれぞ
れ昇ＩＥ機＋１４を形成し、これらの空気流入側の昇圧
機構と空気流出側の昇圧機４Ａとの間の滑面に減圧機構
を形成したことを特徴とする浮動へッドスン・イタ゛。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57171728A JPS5960760A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 浮動ヘツドスライダ |
| US06/532,101 US4646180A (en) | 1982-09-30 | 1983-09-14 | Floating head slider |
| EP83305955A EP0107411B1 (en) | 1982-09-30 | 1983-09-30 | Floating head slider |
| DE8383305955T DE3368791D1 (en) | 1982-09-30 | 1983-09-30 | Floating head slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57171728A JPS5960760A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 浮動ヘツドスライダ |
Publications (2)
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| JPH0440795B2 JPH0440795B2 (ja) | 1992-07-06 |
Family
ID=15928570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57171728A Granted JPS5960760A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 浮動ヘツドスライダ |
Country Status (4)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPS5960760A (ja) |
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