JPS5955417A - 全固体型エレクトロクロミツク素子 - Google Patents
全固体型エレクトロクロミツク素子Info
- Publication number
- JPS5955417A JPS5955417A JP57166088A JP16608882A JPS5955417A JP S5955417 A JPS5955417 A JP S5955417A JP 57166088 A JP57166088 A JP 57166088A JP 16608882 A JP16608882 A JP 16608882A JP S5955417 A JPS5955417 A JP S5955417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electrochromic
- electrode
- coloring
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
- G02F1/153—Constructional details
- G02F1/1533—Constructional details structural features not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電気化学的発消色現象すなわちエレクトロクロ
ミック現象を利用したエレクトロクロミック素子に関す
るものである。
ミック現象を利用したエレクトロクロミック素子に関す
るものである。
エレクトロクロミック現象とは、電圧を加えた時に酸化
還元反応により物質に色が付く現象を指す。このような
エレクトロクロミック世象を利用する電気化学的発消色
素子すなわちエレクトロクロミック素子は、例えば、敬
字表示素子、X−Yマトリクスディスプレイ、光学シャ
ッタ、絞り機措等に応用できるもので、その材料で分類
すると液体型と固体型に分けられるが、本発明は特に全
円+−のエレクトロクロミック素子に閂するものである
。
還元反応により物質に色が付く現象を指す。このような
エレクトロクロミック世象を利用する電気化学的発消色
素子すなわちエレクトロクロミック素子は、例えば、敬
字表示素子、X−Yマトリクスディスプレイ、光学シャ
ッタ、絞り機措等に応用できるもので、その材料で分類
すると液体型と固体型に分けられるが、本発明は特に全
円+−のエレクトロクロミック素子に閂するものである
。
エレクトロクロミック現象を利用した全固体型エレクト
ロクロミック素子の2つの従来例を第1図および第2図
に示す。
ロクロミック素子の2つの従来例を第1図および第2図
に示す。
第1図に示すエレクトロクロミック素子よ、透明な基板
1の土に、透明導電体膜よりなる第1電上2、陰極側発
色層であるエレクトロクロミック層3、誘電体膜からな
る絶縁層4、導電体験より成る第2電極5を順次積層し
てなるものである。
1の土に、透明導電体膜よりなる第1電上2、陰極側発
色層であるエレクトロクロミック層3、誘電体膜からな
る絶縁層4、導電体験より成る第2電極5を順次積層し
てなるものである。
脣た、第2図に示すエレクトロクロミック素子は、第1
図に示す構造における絶縁層4と第2電極5との間に、
さらに、陽極側発色層である第2の工レフトロクロミッ
ク層6を積層したものである。
図に示す構造における絶縁層4と第2電極5との間に、
さらに、陽極側発色層である第2の工レフトロクロミッ
ク層6を積層したものである。
上記の+迄においで、基板1に一般的にガラス板=よっ
て形成されるが、これはがラス仮に限らず、プラスブッ
ク板またはアクリル反等の透明な板ならばよく、また、
その位置に関しても、第1電極2の下ではなく、第2電
極5の上二あってもよいし、目的に応して(例えば、保
護カバーとするなどの目的で)両則に設けてもよい。た
とし、これらの場合に応じて、第2山俸5を透明導電膜
にしこり、両側の電極とも透明導電膜にする必要がある
。
て形成されるが、これはがラス仮に限らず、プラスブッ
ク板またはアクリル反等の透明な板ならばよく、また、
その位置に関しても、第1電極2の下ではなく、第2電
極5の上二あってもよいし、目的に応して(例えば、保
護カバーとするなどの目的で)両則に設けてもよい。た
とし、これらの場合に応じて、第2山俸5を透明導電膜
にしこり、両側の電極とも透明導電膜にする必要がある
。
ぴて上記の全固体型エレクトロクロミツク素子に−般的
に用いられている腔の材料の代表例を列挙する。第1電
極2を構成する透明導電膜は、ITO膜(In2O3中
に5%のSn02を含むもの)やネリ膜でまる。陰極側
発色層であるエレクトロクロミック!3に、二酸化タン
グスデン(WO2)、三酸化タングステン(WO3)、
二酸化モリブチン(+o02)、三酸化モリブデン(R
oOs)、五物化パヲノウム(V2O5)@を用いて形
成する。誘電体腔である絶縁層4は、二酸化プルコン(
Zr02)、酸化ケイ素(SiO)、二酸化ゲイ素(5
i02)、五酸化タンタル(Ta205)等に代表され
る!化勿、あるい−フッ化リチウム(LiF)、フッ化
マグネシウム(MgF2)等に代衣されるフッ化物より
戊る。
に用いられている腔の材料の代表例を列挙する。第1電
極2を構成する透明導電膜は、ITO膜(In2O3中
に5%のSn02を含むもの)やネリ膜でまる。陰極側
発色層であるエレクトロクロミック!3に、二酸化タン
グスデン(WO2)、三酸化タングステン(WO3)、
二酸化モリブチン(+o02)、三酸化モリブデン(R
oOs)、五物化パヲノウム(V2O5)@を用いて形
成する。誘電体腔である絶縁層4は、二酸化プルコン(
Zr02)、酸化ケイ素(SiO)、二酸化ゲイ素(5
i02)、五酸化タンタル(Ta205)等に代表され
る!化勿、あるい−フッ化リチウム(LiF)、フッ化
マグネシウム(MgF2)等に代衣されるフッ化物より
戊る。
第2電極5には、例えばΔuの半透明導電膜が使用され
る。弓だ、第2図に示すものにおいて、陽極則発色層で
ある第2のエレクトロクロミック層6は、酸化クロノ(
Cr2O3)、水酸化イリジウム(Ir(On)2)、
水酸化ニツクル(N1(OT)2)等を用いて形成する
。
る。弓だ、第2図に示すものにおいて、陽極則発色層で
ある第2のエレクトロクロミック層6は、酸化クロノ(
Cr2O3)、水酸化イリジウム(Ir(On)2)、
水酸化ニツクル(N1(OT)2)等を用いて形成する
。
この電な構造をもつ全国本型工しクトロクロミック素子
は、第1電極2と第2電極5の間に電圧を印加すること
にまり電気化学的反応が起き、発色、消色をする。この
発色構造は、例えば、第1のエレクトロクロミック層3
へのカチオンと電子のダブルインジェクションによるブ
ロンズ形成にあると一般的に言われている。例えば、エ
レクトロクロミック物質として、Wo3を用いる場合に
は、次の(1)式で表わされる酸化還元反応が起き発色
する。
は、第1電極2と第2電極5の間に電圧を印加すること
にまり電気化学的反応が起き、発色、消色をする。この
発色構造は、例えば、第1のエレクトロクロミック層3
へのカチオンと電子のダブルインジェクションによるブ
ロンズ形成にあると一般的に言われている。例えば、エ
レクトロクロミック物質として、Wo3を用いる場合に
は、次の(1)式で表わされる酸化還元反応が起き発色
する。
WO3+xH++xe−■HxWO3(1)(1)式に
Kって、タングステンブロンズHxW03が形成され発
色するが、ここで印加電圧を逆転すれば消色状態どなる
。しかし、この様な構造の全固体型エレクトロクロミッ
ク素子は、発色時に所望の応答速度や着色濃度が得られ
ないなどの欠点を持っている。
Kって、タングステンブロンズHxW03が形成され発
色するが、ここで印加電圧を逆転すれば消色状態どなる
。しかし、この様な構造の全固体型エレクトロクロミッ
ク素子は、発色時に所望の応答速度や着色濃度が得られ
ないなどの欠点を持っている。
本発明の目的は、上記のような従来のエレクトロクロミ
ック素子における欠点を改善し、所望の応答速度および
着色濃度の発色が得られる全固体型エレクトロクロミッ
ク素子を得ることにある。
ック素子における欠点を改善し、所望の応答速度および
着色濃度の発色が得られる全固体型エレクトロクロミッ
ク素子を得ることにある。
本発明による全固体型エレクトロクロミック暑子の特徴
とするところは、第1図に示すように導電体膜より成る
第1電極と、陰極側発色層であるエレクトロクロミック
層と、誘電体膜からなる絶縁層と、導電体膜よりなる第
2電極を順次積層した全固体型エレクトロクロミック素
子、あるいは、第2図に示すように、上記の絶縁層と第
2電極の間にさらに陽極側発色層である第2のエレクト
ロクロミック層を積層してなる全固体型エレクトロクロ
ミツク累イにおいて、上記の2つのエレクトロクロミッ
ク層の一方または両刀を、肪厚のすい司重のエレクトロ
クロミック勿質の層とそれらの間に配置された絶縁層の
積層体によっで構成したCとにある。
とするところは、第1図に示すように導電体膜より成る
第1電極と、陰極側発色層であるエレクトロクロミック
層と、誘電体膜からなる絶縁層と、導電体膜よりなる第
2電極を順次積層した全固体型エレクトロクロミック素
子、あるいは、第2図に示すように、上記の絶縁層と第
2電極の間にさらに陽極側発色層である第2のエレクト
ロクロミック層を積層してなる全固体型エレクトロクロ
ミツク累イにおいて、上記の2つのエレクトロクロミッ
ク層の一方または両刀を、肪厚のすい司重のエレクトロ
クロミック勿質の層とそれらの間に配置された絶縁層の
積層体によっで構成したCとにある。
第1図および第2図に示す従来の全固体+エレクトロク
ロミツク素イにおりる着色反応は絶+層との界面て生ず
るものである。従って、エレクトロクロミック物質と絶
縁勿質を交互に稈層すれば、着色濃度の向上オよひ応老
全艮の白土を図ることができる。しかし、この際に問題
になるのは絶縁層が■極間に余り多く入ると、分権がう
まくいかず、発消色不勇能となる。ゴだ、逆に余り辻く
すると、電子を辺蔽することができず、発消色不可甫と
なる。こりらの欠点をう寸くカバーし、エレクトロクロ
ミック物質の性−の向−を図ったのが本発明で、すなわ
ち、小1図および第2図に示すエレクトロクロミック素
子における囲枠側発光層であるエレクトロクロミック層
寸たは陽極側発光層であるエレクトロクロミック層また
はその両者を、同付のエレクトロクロミック物門の層の
間に甫子遮+層(絶縁層)として非常に薄い膜厚の絶縁
勿力を積層することによって形成されだ通常のエレクト
ロクロミック層と回じかほぼ同程度の膜斤の復合構造の
ものとしたのである。
ロミツク素イにおりる着色反応は絶+層との界面て生ず
るものである。従って、エレクトロクロミック物質と絶
縁勿質を交互に稈層すれば、着色濃度の向上オよひ応老
全艮の白土を図ることができる。しかし、この際に問題
になるのは絶縁層が■極間に余り多く入ると、分権がう
まくいかず、発消色不勇能となる。ゴだ、逆に余り辻く
すると、電子を辺蔽することができず、発消色不可甫と
なる。こりらの欠点をう寸くカバーし、エレクトロクロ
ミック物質の性−の向−を図ったのが本発明で、すなわ
ち、小1図および第2図に示すエレクトロクロミック素
子における囲枠側発光層であるエレクトロクロミック層
寸たは陽極側発光層であるエレクトロクロミック層また
はその両者を、同付のエレクトロクロミック物門の層の
間に甫子遮+層(絶縁層)として非常に薄い膜厚の絶縁
勿力を積層することによって形成されだ通常のエレクト
ロクロミック層と回じかほぼ同程度の膜斤の復合構造の
ものとしたのである。
以下、本発明の実施態様につへて出明する。第3図は、
本発明を上己の第1図に示す構造のエレクトロクロミッ
クズ素子に滴几した木発明の第1の実施態様を示す。こ
のエレクトロクロミック層素子は、第1図に示すものと
同様に、透明な基板1の十に、乏明導電体膜よりなる第
1電極2,陰極側発色層であるエレクトロクロミック層
3、誘電体願からなる絶##4、An等の漕電体膜より
なろ第2電極5を順次に積層してなるものであるが、エ
レクトロクロミック層3は、膜厚の湧い同種のニレクト
ロクロミック物+の層3nおよび3cとそれらの間に配
置された絶縁層3bの積層体にヨッて構成されている。
本発明を上己の第1図に示す構造のエレクトロクロミッ
クズ素子に滴几した木発明の第1の実施態様を示す。こ
のエレクトロクロミック層素子は、第1図に示すものと
同様に、透明な基板1の十に、乏明導電体膜よりなる第
1電極2,陰極側発色層であるエレクトロクロミック層
3、誘電体願からなる絶##4、An等の漕電体膜より
なろ第2電極5を順次に積層してなるものであるが、エ
レクトロクロミック層3は、膜厚の湧い同種のニレクト
ロクロミック物+の層3nおよび3cとそれらの間に配
置された絶縁層3bの積層体にヨッて構成されている。
Fりえ、第1電極2はITO、層3aはwo3、層3b
はTa2O5、層3cはV05、絶縁層4はTa205
、第2電極5は半透明導電膜であるAu膜より成る。
はTa2O5、層3cはV05、絶縁層4はTa205
、第2電極5は半透明導電膜であるAu膜より成る。
第4図は本発明を上記の第2図に示す構造のエレクトロ
クロミック素子こ適用シた木発明の第2の実施態様を示
す。このエレクトロクロミックオ子は第3図に示すエレ
クトロクロミック素子によける絶縁層4と第2電極5と
の間に、さらに陽極側発色層である第2のエレクトロク
ロミック層6を積層したものであるか、第4図の実施例
において幻、エレクトロクロミック層3および第2のエ
レクトロクロミック層6のいずシも、それぞれ、膜厚の
薄い同稗のエレクトロクロミック物質の層とそれらの間
に画面された絶#層の積層体によって構成芒れていて、
エレクトロクロミック層3はエレクトロクロミック勿質
の+3a、3cとその間の絶縁層3bより成り、エレク
トロクロミック層6はエレクトロクロミック吻質の層6
a、6cとその間の絶縁層6bより成る。この構造にお
いて、例えば、第1電極はITO、層3aはWOg、層
3bはTa205、層3CはWO3、絶縁層4はTa2
05、層6aはIr(OH)2、層6bはTR205、
層6cはIr(0H)2より成り、第2電極は半透明A
u膜より成る。
クロミック素子こ適用シた木発明の第2の実施態様を示
す。このエレクトロクロミックオ子は第3図に示すエレ
クトロクロミック素子によける絶縁層4と第2電極5と
の間に、さらに陽極側発色層である第2のエレクトロク
ロミック層6を積層したものであるか、第4図の実施例
において幻、エレクトロクロミック層3および第2のエ
レクトロクロミック層6のいずシも、それぞれ、膜厚の
薄い同稗のエレクトロクロミック物質の層とそれらの間
に画面された絶#層の積層体によって構成芒れていて、
エレクトロクロミック層3はエレクトロクロミック勿質
の+3a、3cとその間の絶縁層3bより成り、エレク
トロクロミック層6はエレクトロクロミック吻質の層6
a、6cとその間の絶縁層6bより成る。この構造にお
いて、例えば、第1電極はITO、層3aはWOg、層
3bはTa205、層3CはWO3、絶縁層4はTa2
05、層6aはIr(OH)2、層6bはTR205、
層6cはIr(0H)2より成り、第2電極は半透明A
u膜より成る。
第5シは木発明の第3の実楕什様を示す。この!施例は
、第3図に示すものと同様に、透明な井板1の上に、透
明導電本膜より彦る第1電極2と、陰極側発色層である
エレクトロクロミック層3と、誘電体腔よりなる絶縁層
4と、勇重体クリよりなる第2電極5とを順次に積層し
たものであるが、エレクトロクコミック層3ば、膜厚の
蔑い同租のエレクトロクロミック物質の層3a、3c、
3eと絶縁層3b、3dを交互に積層することによって
構成されでいる。例えげ、第1電極2、絶縁層4、第2
電極5は第3図に示すものと同村のものによって構成さ
れるが、エレクトロクロミック層3けWO3の層3a、
Ta205の層3b、WO3の層3c、ZrO2の層3
d、WO3の層3eを積層しこものによって構成される
。
、第3図に示すものと同様に、透明な井板1の上に、透
明導電本膜より彦る第1電極2と、陰極側発色層である
エレクトロクロミック層3と、誘電体腔よりなる絶縁層
4と、勇重体クリよりなる第2電極5とを順次に積層し
たものであるが、エレクトロクコミック層3ば、膜厚の
蔑い同租のエレクトロクロミック物質の層3a、3c、
3eと絶縁層3b、3dを交互に積層することによって
構成されでいる。例えげ、第1電極2、絶縁層4、第2
電極5は第3図に示すものと同村のものによって構成さ
れるが、エレクトロクロミック層3けWO3の層3a、
Ta205の層3b、WO3の層3c、ZrO2の層3
d、WO3の層3eを積層しこものによって構成される
。
次に本発明に上る全固体型エレクトロクコミック素子の
実!+について説明する。
実!+について説明する。
実施例1
千3図に示ず繁造の全固体型エレクトロクロミック素子
に赴いて、厚さ0.7mmの硼珪酸ガラスの基板1上に
、適当ん引出し電極部およびリード部を備えたITO嘆
よりなる第1電極2を形成し、その上に、真空蒸着法に
よって、WO5の層3a、Ta205の層3b、WO5
の層3c、Ta205の層4を積/し、エレクトロクロ
ミック吻質と絶縁吻門の層が交互に配代ざれた積層体を
構成シ、その一にAuの半透明導電膜より成る第2電極
5を形人した。
に赴いて、厚さ0.7mmの硼珪酸ガラスの基板1上に
、適当ん引出し電極部およびリード部を備えたITO嘆
よりなる第1電極2を形成し、その上に、真空蒸着法に
よって、WO5の層3a、Ta205の層3b、WO5
の層3c、Ta205の層4を積/し、エレクトロクロ
ミック吻質と絶縁吻門の層が交互に配代ざれた積層体を
構成シ、その一にAuの半透明導電膜より成る第2電極
5を形人した。
これらの膜厚は、層3aカ2000A、層3bカ500
A、層3cカ800A、層4カ3000Aで、第2電極
5が3ooAであった。蒸着灸件よ、真空度2.0X1
.0−5Torrで、蒸着速度は10A/secてあっ
た。
A、層3cカ800A、層4カ3000Aで、第2電極
5が3ooAであった。蒸着灸件よ、真空度2.0X1
.0−5Torrで、蒸着速度は10A/secてあっ
た。
この−にして得られた、全円本型エレクトロクロミック
素子を第1、第2電極の間に22Vを印加して駆動じた
ところ、着色渡度がΔODで0.4、応答速度が700
msec!得ることかできた。
素子を第1、第2電極の間に22Vを印加して駆動じた
ところ、着色渡度がΔODで0.4、応答速度が700
msec!得ることかできた。
ちなみに、第1図に示すエレクトロクロミック素了は、
ΔOD0.3のを色濃度を得ルのに900msecかか
る。
ΔOD0.3のを色濃度を得ルのに900msecかか
る。
実施例2
第3図に示す構造の全固体型エ+クトロクロミック素子
において.厚さ0.7mmの硼硅酸ガラスの+板1土に
、適当な引き出し電極部及びソード部を備えたITO膜
よりなる第1電極2を形成し、その+に真?蒸着法によ
ってv205の層3n、ZrO2の+3h、V2O5の
層3C、Ta205の層4を積層し、エレクトロクロミ
ック吻質と絶縁物質の層カ交互に配置された積層体を構
成し、その上にAuの半透明導電膜より成る第2電極5
肴形成した。
において.厚さ0.7mmの硼硅酸ガラスの+板1土に
、適当な引き出し電極部及びソード部を備えたITO膜
よりなる第1電極2を形成し、その+に真?蒸着法によ
ってv205の層3n、ZrO2の+3h、V2O5の
層3C、Ta205の層4を積層し、エレクトロクロミ
ック吻質と絶縁物質の層カ交互に配置された積層体を構
成し、その上にAuの半透明導電膜より成る第2電極5
肴形成した。
これらの膜厚に、層3nが2000A、層3bが300
A、−3cが1000λ、層4が3000入で第2山不
5が300Aであった。然着条件は、−空度2.0X1
0−5Torrで、が着連度は10λ/secてCった
。
A、−3cが1000λ、層4が3000入で第2山不
5が300Aであった。然着条件は、−空度2.0X1
0−5Torrで、が着連度は10λ/secてCった
。
この様にしでNられた、全同陣型エレクトロクロミンク
素子全第1、第2電版間に2.2Vを印加して駆動した
ところ、着色象度がΔODで、0.36、旧名速度が8
00msecを得ることがてきこ。
素子全第1、第2電版間に2.2Vを印加して駆動した
ところ、着色象度がΔODで、0.36、旧名速度が8
00msecを得ることがてきこ。
実施例3
第4図に示す構造の全固体型エレクトロクロミソダ素子
において、厚さ0.7mmの硼珪酸ガラスの基板1上に
、適当な引き出し電極部及びリード部を備えた、ITO
膜よりなる第1電極2を形青し、その二に、真空蒸着法
によってWO5の層3a、Ta205の層3b、wo5
の層3C、Ta2O5の層4、Ir(ON)2の層6n
、Ta205の層6b、Ir(OM)2の層Gcを和層
L、エレク−+クロミック勿+と絶緑物質の層が交互に
配防された積層体を構成し、ぞの土にAuの半透明+電
膜より成る第2電極5を月成した。これらの膜厚は、層
3aが1500A層3bが300人、/3cが800A
、層4が2500X、層6aが800X、層6bが30
0X、層6cが1500人であった。
において、厚さ0.7mmの硼珪酸ガラスの基板1上に
、適当な引き出し電極部及びリード部を備えた、ITO
膜よりなる第1電極2を形青し、その二に、真空蒸着法
によってWO5の層3a、Ta205の層3b、wo5
の層3C、Ta2O5の層4、Ir(ON)2の層6n
、Ta205の層6b、Ir(OM)2の層Gcを和層
L、エレク−+クロミック勿+と絶緑物質の層が交互に
配防された積層体を構成し、ぞの土にAuの半透明+電
膜より成る第2電極5を月成した。これらの膜厚は、層
3aが1500A層3bが300人、/3cが800A
、層4が2500X、層6aが800X、層6bが30
0X、層6cが1500人であった。
蒸着条件は真空度2.OX10−5Torrで蒸着速度
10X/secであった。−だし、1r(OH)2は反
応性スパッタで行なった。
10X/secであった。−だし、1r(OH)2は反
応性スパッタで行なった。
この様にして待られだ、−固体型エレクトロクロミック
不予を第1電極曲に2.2Vを印加シてお<顛したとこ
ろ着色濃度がΔ0Dで0.5、応ネ速度が400mse
cを?ることができた。
不予を第1電極曲に2.2Vを印加シてお<顛したとこ
ろ着色濃度がΔ0Dで0.5、応ネ速度が400mse
cを?ることができた。
−見例4
第5図に示す構造の全固体型エレク−−クロミンク素子
において、厚さ0.7mmの硼珪酸ガラスの基板1土に
、適当な引き−L電極部及びリード部を+備えたITO
膜上りなる第1電極2を形成し、卜の++真空蒸着法に
よってWO2の層3a、Ta2O5の層3n、WO5の
八3c、ZrO2σ/3d、WO3の層3e、Ts20
5の層1を桔層し、エレクトロクロツクツ物質と絶縁物
質の層が交互に配置された積層体を構成し、七の二にA
uの半透明導電模より戊る+2電極5を形成した。こし
らの膜圧は、層1aが2000X、層3bが300A、
層3cが1000A、層3dが300λ、/3eが10
00λ、層4が3000Aであった。蒸着条件は、真空
度2.0X10−5Torrで蒸着速度は10A/se
cであった。
において、厚さ0.7mmの硼珪酸ガラスの基板1土に
、適当な引き−L電極部及びリード部を+備えたITO
膜上りなる第1電極2を形成し、卜の++真空蒸着法に
よってWO2の層3a、Ta2O5の層3n、WO5の
八3c、ZrO2σ/3d、WO3の層3e、Ts20
5の層1を桔層し、エレクトロクロツクツ物質と絶縁物
質の層が交互に配置された積層体を構成し、七の二にA
uの半透明導電模より戊る+2電極5を形成した。こし
らの膜圧は、層1aが2000X、層3bが300A、
層3cが1000A、層3dが300λ、/3eが10
00λ、層4が3000Aであった。蒸着条件は、真空
度2.0X10−5Torrで蒸着速度は10A/se
cであった。
この−にして告られた、全固体〜エレクトロクロミソク
素子を?1電極間に2.2Vを印力して駆動シたところ
、小色濃度がΔODで0.44、応答速ルが700+s
ecを得ることができた。
素子を?1電極間に2.2Vを印力して駆動シたところ
、小色濃度がΔODで0.44、応答速ルが700+s
ecを得ることができた。
以上説明したように、木発明によれば着色濃度および応
答速度の優オた、全円本型エレクトロクロミック素子が
得られる。
答速度の優オた、全円本型エレクトロクロミック素子が
得られる。
4 図而の叡単奈疫明
第1図および第2図は従来の全固体型エレクトロクロミ
ック素子の2例を示す構造断面図、第3図、第4図およ
び第5図は、それぞれ、本発明による全固体型エレクト
ロクロミック!子の実施態様を示す構造断面図である。
ック素子の2例を示す構造断面図、第3図、第4図およ
び第5図は、それぞれ、本発明による全固体型エレクト
ロクロミック!子の実施態様を示す構造断面図である。
1・・・基板、 2・・・第1+枠、3・
・・エレクトロクロミックM、
・・エレクトロクロミックM、
Claims (1)
- 2、導電体膜上り成る第1電極と、陰極側発色層である
エレクトロクロミック層と、秀電本からなる!縁層と、
導電体膜よりなる第2市極を順次積層し、或いは上記の
絶縁層と第2電極の間にさらに陽極側発色層である第2
のエレクトロクロミック層を積層してなる全固体型エレ
クトロクロミック素子において、上記の2つのエレクト
ロクロミック層の一方または両方を、膜厚の薄い同極の
エレクトロクロミック物質の層とそれらの間に配置され
た絶縁層の積層体によって構成したことを特徴とする全
敗体型エレクトロクロミック素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57166088A JPS5955417A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 全固体型エレクトロクロミツク素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57166088A JPS5955417A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 全固体型エレクトロクロミツク素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5955417A true JPS5955417A (ja) | 1984-03-30 |
Family
ID=15824764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57166088A Pending JPS5955417A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 全固体型エレクトロクロミツク素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5955417A (ja) |
-
1982
- 1982-09-24 JP JP57166088A patent/JPS5955417A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4824221A (en) | Electrochromic device | |
US4940315A (en) | Patterning of insulator on electrochromic material as determinant for area of coloration | |
JPS6252845B2 (ja) | ||
JPS5979225A (ja) | 全固体型エレクトロクロミツク素子 | |
CN214896137U (zh) | 电致变色器件及盖板 | |
JPS5827484B2 (ja) | 表示セル | |
JPS5955417A (ja) | 全固体型エレクトロクロミツク素子 | |
US4632516A (en) | Electrochromic element | |
JPS6186733A (ja) | エレクトロクロミツク素子 | |
JPS6186734A (ja) | エレクトロクロミツク素子 | |
JPS5961820A (ja) | 全固体型エレクトロクロミツク素子 | |
JPS6098481A (ja) | 全固体型エレクトロクロミツク表示素子 | |
JPS5891431A (ja) | エレクトロクロミツク表示素子 | |
JPH0522918Y2 (ja) | ||
JPS5961821A (ja) | 全固体型エレクトロクロミツク素子 | |
JPH0255342A (ja) | エレクトロクロミック素子 | |
JPS59102216A (ja) | 全固体型エレクトロクロミツク素子の製造方法 | |
JPS5880623A (ja) | エレクトロクロミツク表示素子 | |
JPS6335004B2 (ja) | ||
JPS62178931A (ja) | エレクトロクロミツク素子の作製法 | |
JPS61103982A (ja) | エレクトロクロミツク素子 | |
JPS61103981A (ja) | エレクトロクロミツク素子 | |
JPH0219444B2 (ja) | ||
CN115729007A (zh) | 显示面板及显示装置 | |
JPH11242246A (ja) | エレクトロクロミック素子及びその製造方法 |