JPS5952887A - レ−ザ発生装置 - Google Patents
レ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS5952887A JPS5952887A JP16237482A JP16237482A JPS5952887A JP S5952887 A JPS5952887 A JP S5952887A JP 16237482 A JP16237482 A JP 16237482A JP 16237482 A JP16237482 A JP 16237482A JP S5952887 A JPS5952887 A JP S5952887A
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- Japan
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- support frame
- supporting
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- attached
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザ発生装置に係り、光共振器を構成する反
射鏡の支持枠の改良に関する。
射鏡の支持枠の改良に関する。
１砺出力のガスレーザ装置、例えばＣＯ２レーザでは、
内部にＣＯ２＋ Ｎ ２１ Ｈｅ等のガス媒体を充填し
た放電庁に設けた電極でグロー放電を起して、ガス媒体
を励起する。このとき放電管の両端に一対の反射鏡を対
向して配置すると、反射鐘間でレーザ光は往復反射を繰
り返して増幅され、一方の反射鏡の半透明部を介して外
部に取り出され、切断や溶接等、の加工用熱源などに使
用される。
内部にＣＯ２＋ Ｎ ２１ Ｈｅ等のガス媒体を充填し
た放電庁に設けた電極でグロー放電を起して、ガス媒体
を励起する。このとき放電管の両端に一対の反射鏡を対
向して配置すると、反射鐘間でレーザ光は往復反射を繰
り返して増幅され、一方の反射鏡の半透明部を介して外
部に取り出され、切断や溶接等、の加工用熱源などに使
用される。
ところで、一般にレーザ装置付近の大気は、高さ方向に
温度勾配をもっており、レーザ発振時にはグロー放電に
よる熱源が加わるので、レーザ装置を構成する各部材自
体及び各部材間には太きい温度勾配が生じる。したがっ
て、各部材は【黒度差による熱膨張の差だけ変形する。
温度勾配をもっており、レーザ発振時にはグロー放電に
よる熱源が加わるので、レーザ装置を構成する各部材自
体及び各部材間には太きい温度勾配が生じる。したがっ
て、各部材は【黒度差による熱膨張の差だけ変形する。
これを第１図ないし第２Ａ、２Ｂ図に示すガスレーザ発
生装置ＩＡによシ説明する。
生装置ＩＡによシ説明する。
第１保持部２は架台１上に取付けられていると共に、第
１保持部２の上面にＶ字溝２人を形成している。Ｖ字溝
内に収納された摺動部３は第２保持部４に支持され、第
２保持部４は矩形型状の支持枠５に支持されている。支
持枠は放電管本体６を支持している。
１保持部２の上面にＶ字溝２人を形成している。Ｖ字溝
内に収納された摺動部３は第２保持部４に支持され、第
２保持部４は矩形型状の支持枠５に支持されている。支
持枠は放電管本体６を支持している。
両端に反射鏡６Ａおよび出力鏡６Ｂを有する放水
電焦体６は、ガス供給容器７およびガス吐出容器８と連
通し、これらの供給容器７、吐出容器８は架台内に設置
された冷却路に連通し、冷却路内に設けたブロアーで混
合ガスたとえばＣＯ２＋ Ｎ ｅ＋Ｈｅを供給容器７を
介して、放電管本体に送る。
通し、これらの供給容器７、吐出容器８は架台内に設置
された冷却路に連通し、冷却路内に設けたブロアーで混
合ガスたとえばＣＯ２＋ Ｎ ｅ＋Ｈｅを供給容器７を
介して、放電管本体に送る。
供給容器７および吐出容器８と支持枠５との間の放電管
本体内は、可撓性部材たとえばベローズ９を設けている
。放電管本体内に配設した少なくとも一対の咀極たとえ
ば陰極と陽極（図示せず）との間に直流電圧を印加し、
グロー放電を行なえば、混合ガスは励起されて、レーザ
光ＩＣ，（ｉ発生する。
本体内は、可撓性部材たとえばベローズ９を設けている
。放電管本体内に配設した少なくとも一対の咀極たとえ
ば陰極と陽極（図示せず）との間に直流電圧を印加し、
グロー放電を行なえば、混合ガスは励起されて、レーザ
光ＩＣ，（ｉ発生する。
レーザ光ＩＣは反射鏡６Ａと出力鏡６Ｂとの間で共振し
、出力鏡６Ｂより外部に取出される。
、出力鏡６Ｂより外部に取出される。
ところで、放電′Ｕ本体内でグロー放電を行なったり、
或いはレーザ光ＩＣを発生したりするので、放電管本体
内での温度は、架台ｌより高い。したがって、温度上昇
した混合ガスは、放電管本体６→吐出容器８→冷却路→
供給容器７→放ＷＬ管本体６間を循環して、冷却してい
る。この循環系での＠度について検討すると、放電管本
体６および支持枠５での温度は、架台１よシ高い。この
ため、放電管本体１および支持枠５の長手方向への延び
は、架台１のそれよシ大きい。放′Ｉｔ青本体６の延び
は、ベローズ９により吸収する。支持枠５の延びは、摺
動部］がＶ字溝２人内を摺動することにより吸収してい
も。
或いはレーザ光ＩＣを発生したりするので、放電管本体
内での温度は、架台ｌより高い。したがって、温度上昇
した混合ガスは、放電管本体６→吐出容器８→冷却路→
供給容器７→放ＷＬ管本体６間を循環して、冷却してい
る。この循環系での＠度について検討すると、放電管本
体６および支持枠５での温度は、架台１よシ高い。この
ため、放電管本体１および支持枠５の長手方向への延び
は、架台１のそれよシ大きい。放′Ｉｔ青本体６の延び
は、ベローズ９により吸収する。支持枠５の延びは、摺
動部］がＶ字溝２人内を摺動することにより吸収してい
も。
更に、供給容器７および吐出容器８と支持枠５との温度
について検電する。前者は直接レーザ光、混合ガスと接
触するので、前者の温度は後者の温度より温度が高い温
度勾配を生ずる。このため、供給容器７および吐出容器
８の高さ方向の延びは、支持枠５のそれより大きいので
、第２Ｂ図に示す如くベローズ９が供給容器側に持ち上
げられ、光軸１０がずれる。この結果、供給容器７と支
持枠５を連結するベローズ９にせん断方向の力が作用し
、矢印で示すように支持枠５に曲げ力Ｐが働き、支持枠
５が曲がって、光軸１０がずれを眩じることが判明した
。
について検電する。前者は直接レーザ光、混合ガスと接
触するので、前者の温度は後者の温度より温度が高い温
度勾配を生ずる。このため、供給容器７および吐出容器
８の高さ方向の延びは、支持枠５のそれより大きいので
、第２Ｂ図に示す如くベローズ９が供給容器側に持ち上
げられ、光軸１０がずれる。この結果、供給容器７と支
持枠５を連結するベローズ９にせん断方向の力が作用し
、矢印で示すように支持枠５に曲げ力Ｐが働き、支持枠
５が曲がって、光軸１０がずれを眩じることが判明した
。
本発明の目的は、熱変形による光軸のずれを防止してレ
ーザ出力を安定させたレーザ装置を提供することにある
。
ーザ出力を安定させたレーザ装置を提供することにある
。
本発明では放電管本体に設けた第１保持部上に第２保持
部を載置し、第２保持部を支持枠に取付けて構成すれば
、放電管本体の熱的影曽によシ、第１保持部が高さ方向
に伸縮しても、それに追従して第２保持部も伸縮して、
支持枠に曲げ力が動かないので、光軸ずれを生ずること
がない。
部を載置し、第２保持部を支持枠に取付けて構成すれば
、放電管本体の熱的影曽によシ、第１保持部が高さ方向
に伸縮しても、それに追従して第２保持部も伸縮して、
支持枠に曲げ力が動かないので、光軸ずれを生ずること
がない。
以下、本発明の実施例を第３Ａ、３Ｂ図により説明する
。
。
架台１上に設置された供給容器７、吐出容器８とこれら
の容器と対応する支持枠５との間に伸縮吸収手段２０を
設ける。伸縮吸収手段２０の詳細構造は、第３Ｂ図によ
シ説明するが、供給容器側および吐出容゛器側も構造が
同じなので、供給容器側について説明し、吐出容器側の
説明は省略する。
の容器と対応する支持枠５との間に伸縮吸収手段２０を
設ける。伸縮吸収手段２０の詳細構造は、第３Ｂ図によ
シ説明するが、供給容器側および吐出容゛器側も構造が
同じなので、供給容器側について説明し、吐出容器側の
説明は省略する。
支持枠５と対応する供給容器側面に第１保持部２１を取
付け、第１保持部２１の上面側から下面側に向ってＶ字
溝２２を形成する。Ｖ字溝２２と対応する第２保持部２
３は、支持枠５に取付けられ、第２保持部２３に取付け
られた摺動部２４は、７字溝内に収納している。２４は
光軸と一致とする中心線である。したがって、第１およ
び第２保持部２１．２３と摺動部２４の中心部は、中心
線２４と一致している。
付け、第１保持部２１の上面側から下面側に向ってＶ字
溝２２を形成する。Ｖ字溝２２と対応する第２保持部２
３は、支持枠５に取付けられ、第２保持部２３に取付け
られた摺動部２４は、７字溝内に収納している。２４は
光軸と一致とする中心線である。したがって、第１およ
び第２保持部２１．２３と摺動部２４の中心部は、中心
線２４と一致している。
本発明の伸縮吸収手段２０によれば、ガスレーザ発生装
置ＩＡの起動時などのように供給および吐出容器７，８
が急激に温度上昇して、高さ方向に呻びても、支持枠５
もこれに追従するので、ベローズ９にはせん断方向の力
が作用せず、支持枠５の傾きが非常に小さくなる。ま友
、支持枠５と供給および吐出容器７，８との間には摺動
部２４を設けているので、支持枠５は温度変化とともに
長手方向に伸縮するだけで曲げ力が作用せず、支持枠５
は傾かない。この結果、熱平衡に達しなくとも光軸のず
れが極めて小さく、安定なレーザ出力が得られる効果が
ある。
置ＩＡの起動時などのように供給および吐出容器７，８
が急激に温度上昇して、高さ方向に呻びても、支持枠５
もこれに追従するので、ベローズ９にはせん断方向の力
が作用せず、支持枠５の傾きが非常に小さくなる。ま友
、支持枠５と供給および吐出容器７，８との間には摺動
部２４を設けているので、支持枠５は温度変化とともに
長手方向に伸縮するだけで曲げ力が作用せず、支持枠５
は傾かない。この結果、熱平衡に達しなくとも光軸のず
れが極めて小さく、安定なレーザ出力が得られる効果が
ある。
一方、ガスレーザ発生装置１ｆｆｉｌＡの組立て後にガ
ス媒体を封入したときに、圧力差による変形で生じる光
軸ずれを防止できる。即ち、ガス媒体は数１０Ｔｏｒｒ
のガス圧力で封入され、大気との圧力差を生じる。この
ため、容器７．８は［側で冷却路にＪり２続されている
結果、下方に引張られ、架台の上面がたわんで、第１図
のＡ−Ａ断面図で示したのと全く逆方向の変形を生じ、
支持枠５が曲がる。従来は、大気中で組立てて調整した
後で所要のガス圧に真空引き１１、反射鏡を再度調整す
る必要があった。本発明によれば、圧力差による架台上
面のたわみで容器が下方に沈んでも、支持枠５も追従し
、支持枠５には曲げ力が生じることなく反射鏡６Ａおよ
び出力鏡６Ｂの再調整が不要となる。また、圧力差によ
る架台上面のたわみを小さくするために、従来は、非常
に強固な架台が必要であったが、本発明によれば、架台
はそれ程強固にする必要はなく、小形軽°贋化が図れる
効果がある。
ス媒体を封入したときに、圧力差による変形で生じる光
軸ずれを防止できる。即ち、ガス媒体は数１０Ｔｏｒｒ
のガス圧力で封入され、大気との圧力差を生じる。この
ため、容器７．８は［側で冷却路にＪり２続されている
結果、下方に引張られ、架台の上面がたわんで、第１図
のＡ−Ａ断面図で示したのと全く逆方向の変形を生じ、
支持枠５が曲がる。従来は、大気中で組立てて調整した
後で所要のガス圧に真空引き１１、反射鏡を再度調整す
る必要があった。本発明によれば、圧力差による架台上
面のたわみで容器が下方に沈んでも、支持枠５も追従し
、支持枠５には曲げ力が生じることなく反射鏡６Ａおよ
び出力鏡６Ｂの再調整が不要となる。また、圧力差によ
る架台上面のたわみを小さくするために、従来は、非常
に強固な架台が必要であったが、本発明によれば、架台
はそれ程強固にする必要はなく、小形軽°贋化が図れる
効果がある。
上述では、第１保持部を容器に設ける場合について説明
したが、放電管本体の１部に設けてもよい。また、」二
連では放電管本体が１個の場合について述べたが、第４
図に示す如く多重折返し形ガスレーザ発生装置にも適用
できる。この場合、伸縮吸収手段２０は、３ケ所以上あ
ればよく、この内２ケ所以上の保持部を摺動可能にすれ
ば、本目的を達成できる。更に、上述の実施例では、軸
流型ガスレーザ発生装置について述べたが、３軸型ガス
レ一ザ発生装置等の他のレーザ発生装置にも使用できる
ことは、勿論である。
したが、放電管本体の１部に設けてもよい。また、」二
連では放電管本体が１個の場合について述べたが、第４
図に示す如く多重折返し形ガスレーザ発生装置にも適用
できる。この場合、伸縮吸収手段２０は、３ケ所以上あ
ればよく、この内２ケ所以上の保持部を摺動可能にすれ
ば、本目的を達成できる。更に、上述の実施例では、軸
流型ガスレーザ発生装置について述べたが、３軸型ガス
レ一ザ発生装置等の他のレーザ発生装置にも使用できる
ことは、勿論である。
以上のように、本発明では伸縮吸収手段全般けて、熱変
形により支持枠の傾きは卵重に小さくなり、反射鏡、出
力鏡の光軸ずれかなくなったので、極めて安定なレーザ
出力を得ることができるようになった。
形により支持枠の傾きは卵重に小さくなり、反射鏡、出
力鏡の光軸ずれかなくなったので、極めて安定なレーザ
出力を得ることができるようになった。
第１図は従来のガスレーザ発生装置の争１視図、第２Ａ
図および第２Ｂ図は第１図のＡ−Ａ線およびＢＩｌａ断
面図の１部を省略した部分断面図、第３Ａ図および第４
図は本発明の実施例として示した平面図、第３１３図は
第３Ａ図の部分側断面図である。
図および第２Ｂ図は第１図のＡ−Ａ線およびＢＩｌａ断
面図の１部を省略した部分断面図、第３Ａ図および第４
図は本発明の実施例として示した平面図、第３１３図は
第３Ａ図の部分側断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ光を発生し、かつ冷却路と連通している放電
管本体と、放電管本体を支持する支持枠とから成るもの
において、上記放電管本体と支持枠との間に伸縮吸収手
段を設けることを特徴とするレーザ発生装置。 ２、上記伸縮吸収手段は、放電管本体に設けた第１保持
部と、第１保持部の上面側に載置され、かつ支持枠に取
付けられた第２保持部とから構成することを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のレーザ発生４ｆｔ置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16237482A JPS5952887A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | レ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16237482A JPS5952887A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | レ−ザ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952887A true JPS5952887A (ja) | 1984-03-27 |
| JPS6366435B2 JPS6366435B2 (ja) | 1988-12-20 |
Family
ID=15753356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16237482A Granted JPS5952887A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | レ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952887A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228013A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-11 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 高反応性芳香族炭化水素・ホルムアルデヒド樹脂の製造法 |
| JPS6231183A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| WO2004105200A1 (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | レーザ発振器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651885A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-09 | Hitachi Ltd | Laser device |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP16237482A patent/JPS5952887A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651885A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-09 | Hitachi Ltd | Laser device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228013A (ja) * | 1985-04-01 | 1986-10-11 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 高反応性芳香族炭化水素・ホルムアルデヒド樹脂の製造法 |
| JPS6231183A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| WO2004105200A1 (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | レーザ発振器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6366435B2 (ja) | 1988-12-20 |
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