JPS5939937U - 半導体ウエハ支持台 - Google Patents
半導体ウエハ支持台Info
- Publication number
- JPS5939937U JPS5939937U JP13487682U JP13487682U JPS5939937U JP S5939937 U JPS5939937 U JP S5939937U JP 13487682 U JP13487682 U JP 13487682U JP 13487682 U JP13487682 U JP 13487682U JP S5939937 U JPS5939937 U JP S5939937U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer support
- semiconductor wafer
- support stand
- boat
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体ウェハ支持台の斜視図、第２図は
１実施例の半導体ウェハ支持台の斜視図である。 １１・・・ウェハ支持ボート、１２．１２・・・ウェハ
支持ボートの溝、１３・・・ボート支持台。
１実施例の半導体ウェハ支持台の斜視図である。 １１・・・ウェハ支持ボート、１２．１２・・・ウェハ
支持ボートの溝、１３・・・ボート支持台。
Claims (1)
- 軸と垂直にウェハをその周縁を装入させて支持する溝が
設けられた炭化けい素で作られたウェハ支持ボートと、
石英の棒で枠状に結合され上面に前記ウェハ支持ボート
を保持するボート保持台とからなる半導体ウェハ支持台
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13487682U JPS5939937U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 半導体ウエハ支持台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13487682U JPS5939937U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 半導体ウエハ支持台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5939937U true JPS5939937U (ja) | 1984-03-14 |
Family
ID=30303779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13487682U Pending JPS5939937U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 半導体ウエハ支持台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939937U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143511U (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-24 | 釜屋化学工業株式会社 | 塗布液収納容器 |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP13487682U patent/JPS5939937U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143511U (ja) * | 1984-03-05 | 1985-09-24 | 釜屋化学工業株式会社 | 塗布液収納容器 |
| JPS6327608Y2 (ja) * | 1984-03-05 | 1988-07-26 |
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