JPS6142833U - 半導体製造装置用ウエハ保持具 - Google Patents
半導体製造装置用ウエハ保持具Info
- Publication number
- JPS6142833U JPS6142833U JP12659384U JP12659384U JPS6142833U JP S6142833 U JPS6142833 U JP S6142833U JP 12659384 U JP12659384 U JP 12659384U JP 12659384 U JP12659384 U JP 12659384U JP S6142833 U JPS6142833 U JP S6142833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manufacturing equipment
- semiconductor manufacturing
- wafer holder
- support
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例に係るウエハ保持具の斜視図
、第２図は第１図の保持具の正面図、第３図乃至第５図
はそれぞれ従来のウエハ保持具の斜視図である。 ３１・・・保持具本体、３２〜３５・・・支持棒、３６
・・・溝、３７１，３７２〜４１，４１。 ・・・支持脚、Ａ・・・水平面、Ｂ・・・傾斜面。
、第２図は第１図の保持具の正面図、第３図乃至第５図
はそれぞれ従来のウエハ保持具の斜視図である。 ３１・・・保持具本体、３２〜３５・・・支持棒、３６
・・・溝、３７１，３７２〜４１，４１。 ・・・支持脚、Ａ・・・水平面、Ｂ・・・傾斜面。
Claims (1)
- 半導体製造装置の横型反応炉に用いられ、半導体ウエハ
を所定の位置に保持するウエハ保持具に於いて、保持具
本体と、この保持具本体を支える複数の支持脚と、これ
ら支持脚の各底面部に設けられた水平面と、この水平面
部に連続して前記支持脚の各外側側面部に設けられた傾
斜面とを具備したことを特徴とする半導体製造装置用ウ
エハ保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12659384U JPS6142833U (ja) | 1984-08-21 | 1984-08-21 | 半導体製造装置用ウエハ保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12659384U JPS6142833U (ja) | 1984-08-21 | 1984-08-21 | 半導体製造装置用ウエハ保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142833U true JPS6142833U (ja) | 1986-03-19 |
Family
ID=30685268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12659384U Pending JPS6142833U (ja) | 1984-08-21 | 1984-08-21 | 半導体製造装置用ウエハ保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142833U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104630U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-08-20 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213778A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-02 | Toshiba Corp | Plasma-etching method |
| JPS58125617A (ja) * | 1982-12-13 | 1983-07-26 | Fujitsu Ltd | 石英器具の製造方法 |
-
1984
- 1984-08-21 JP JP12659384U patent/JPS6142833U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213778A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-02 | Toshiba Corp | Plasma-etching method |
| JPS58125617A (ja) * | 1982-12-13 | 1983-07-26 | Fujitsu Ltd | 石英器具の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104630U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-08-20 |
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