JPS5939447Y2 - 固液分離装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、工場処理液中の固液分離装置に関し、殊に、
金属の精密加工法の１つであるフ第１・エツチング法に
よって処理された液中の膜固型を連続分離する装置に関
する。

一般に、プリント基板等を製作する工程において、まず
基板へのフ第１・レジスト膜の塗布付着し焼付、現像液
導電性膜をエツチング後、このフォトレジスト膜の剥離
を行う。

このフ第１・レジスト膜の剥離においては剥離液によっ
て膨潤させて剥離するが、この剥離したいわゆる膜固型
と剥離液とを分離する際上記の固液分離装置が用いられ
る。

この種の固液分離装置で、２００☆／ｍｉｎ程度の処理
能力の従来技術は、前記処理能力以下であればタンク内
での沈澱分離法が、能力アップさせる場合は回転式遠心
分離法や、メツシュベルトによるベルＩ・掛は方式分離
法がある。

いずれも人手を要し、使い難いところがあった。

即ち、沈澱分離法ではタンクを必要とし、ごく少量処理
については適しているが、処理量が」−ると沈澱タンク
が大きくなり、場所をとる等不適当であり、遠・じ・分
離法は連続式にすれば、装置が大きく高価になり、小型
では膜固形分を度々人手にて取除く手間がかかる。

また、メツシュベルトによるベルト掛は方式分離法は、
メンシュベルトによる濾過に過ぎず、分離能力に難点が
ある。

一方、大量処理の汚物の混じった水道用水など処理する
場合、回転式筒状のメツシュン濾過筒は従来より使われ
ているが、メツシュに付着した固型分を取除くには、清
浄水を部外より吹き付けて行ない分離水と清浄水とが混
合してもよく且つ構造複雑でもあった。

かがる機構を本考案のような工場処理液の再利用システ
ムの一環にそのまま転用することは、はなはだ高価につ
く。

以上のような事情に鑑み本考案は案出されたもので、フ
ォトエツチング法の如き、精密加工の処理液の固液分離
に適する小型で安価且つ取扱い容易な装置を提供する。

これを図面に示す実施例につき説明すれば、第１図は一
部破断正面図、第２図は一部破１新側面図を示すが、１
は底板２を有する密閉筐体で、該筐体１内に、一方を開
［」３した円筒状のメツシュン濾過筒４を液投入用管５
によって片持ち支持で且つ回転自在に横架している。

詳しく云えば、該液投入用管５は筐体１外壁に固着され
たボス６を貫通してお・す、該ボス６は複数のブラケッ
ト板７′で補強支持されている。

また、該ボス６と前記液栓入管５との間に管軸７を遊嵌
し、該管軸７の一端は前記メツシュ濾過筒４の鏡板８に
固定され、その他端は筐体１の底板２下に内蔵した駆動
モータ９によってチェノを介して１〜１０ｒｐｍ程度で
回転するスプロケット（図示せず）が設けられており、
モータ９によって管軸７を介してメツシュ濾過筒４はゆ
っくり回転される。

液投入用管５の外端は、フランジ１０を設け、所要の処
理現場と連結できるようになっており、また、１１はチ
ェン覆いを示す。

次に、メツシュ濾過筒４はステンレス製の３０メツシユ
金網で構成され、前記のように一方は開に１３し、他方
は鏡板８で壁を作っている。

メツシュ濾過筒４の内周には筒軸方向に沿って、かつ、
径方向に向いた板状のフィン１２を多数内側に植設し、
これによって内周を浅い区割室に形成し、回転するメツ
シュ濾過筒４内に溜った膜固型分をトｈに迄持ち卜げる
ようにしている。

メツシュ濾過筒４の外上方にはエアパイプ１３をメツシ
ュン濾過筒４の軸方向と平行に横架味読エアパイプ１３
に多数の圧縮空気孔１４を約１５ｍｍ間隔で穿設し、空
気を噴出し所謂エアナイフの役目をするようにしでいる
。

該エアパイプ１３はバルブ１５を介してコンプレッサに
連結するようにしている。

、次に、１６はメツシュよりなる引出状受皿で、所定時
間、装置内に装着しているので、該受皿１６内に落下し
た膜固型分中の水分を滴下可能としているもので゛あっ
て、メツシュン濾過筒４内周に付着［７て回転により上
方に迄持ち運ばれた膜固型分を自由落下させると共に、
場合によっては、圧縮空気によって該受皿１６内に吹き
落とすが、前記フィン１２が膜固型群を区割した状態に
なっているので膜固型物が重力によるころがりかその区
割内において出て集合しゃすくうまく受肌にだんご状に
なって落る。

なお、該受皿１６には外端に取手１７を設けており、そ
の支持は、筐体１の壁部ど前記静止液投入用管５の外周
によって支持されている。

１８は液排出管で、底板２上にのぞませており、また、
１９は排気「１で吹き込まれた圧縮空気及び液のガス等
を上方に排出し、処理液の漏出を防いでいる。

上記のように、膜固型・剥離液の混合処理排液を液投入
用管５に流入させると、読管５がメツシュ濾過筒４の中
央部にのぞんでいるので、混合処理排液は、メツシュ濾
過筒の中央部で放出されでメツシュを透過し液排串管１
８に流下されでゆく。

そして、処理液は回収されて再び膜剥離行程へ送られる
。

一方、メツシュ濾過筒４内に残存したｊ膜固型分は、筒
４内に植設されたフィン１２にすくわれ且つメツシュに
張付いた状態で上方に迄持ち一七げられながら重力の影
響でメツシュからはがれ、だんご状にかたまり、上方位
置で受皿１６内に落される。

また時に１．１５じてメツシュに部分的に張付いて残っ
た膜は、エアナイフからのＦＦ、縮空□ｔで吹き落され
る。

このようにして処理液の固液分離は連続的に行われ、時
々受刑１６を人手によって取り出し膜固型を放てきする
。

■ 回転するメツシュ浜過筒４内周にフィン１２を多数
植設したので、これらフィン１２によって濾過すべき泥
上状膜を分割できて、だんご状に形成できるので、該膜
の固形分が回転メツシュ濾過筒４の内壁に付着したまま
降下することなく、上方位置迄持ち１′、ぼられ、そこ
で丁度固体受皿１６上に落下することができ、しかも固
体受１１１Ｌ１６をｎｉ欠的に抜き差しする作業（例え
ば１「１につき１間）に都合よくマツチしていて、固形
分の筒内からの取り出しを受皿の位置が高いことと相俟
って容易に行うことができる。

■ 基板用膜及び剥離液の混合処理液は連続的に供給す
るが、分離された膜は固体受肌にて間欠的に取り出す固
液分離装置であるから、明らかなうに、ドロドロした固
形分の呈の割には液分の多い混合処理液に対し、都合よ
く分離できるばかりではなく、本装置の操作用動力は、
回転メツシュ濾過筒のみですみ、これど液栓入管５をメ
ツシュ濾過筒４四転支持と兼用して部品点数を少なくし
たことと相俟って、且つ、固体受皿１６の支持も液栓入
管５で一端を支持しておることからも構造がきわめて簡
素化でき、半自動固液分離装置として、安価な相応しい
ものとすることができるし、該濾過筒４周辺より特には
み出し部材もなく場所もとらない。

■ 殊に、プリント基板等を製作する工程で、各種膜と
その剥離液の混合液が生じ、該液中の剥離液再利用のた
め、固液分離操作が必要となってくるが、液量に対し、
フォトレジスト等膜の量は少ないので、固体受皿に蓄積
される量は、１目に１回又は数回の取り出し量ですむこ
とから、連続操作の固液分離装置は必要でなく、いわば
半自動的な装置で充分その機能を果している。

したがって、この種の装置には簡素で且つ安価なものが
好ましいニーズが存在し、そのニーズに合致した前記■
■の処理物に特有の効果を奏することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は正面図、第２図は側面図を示す。 ３・・・・・・開ト−１，４・・・・・・メツシュ濾過
筒、５・・・・・・液栓入管、１２・・・・・・フィン
、１６・・・・・・受皿。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回転メツシュ沢過筒４の少くとも一方を開口３し、該メ
   ツシュ沢過筒４内周にフィンを筒軸芯方向に多数植設し
   、該筒４を片持支持する液栓入管５より筒４内に放流し
   た混合液中の泥土状固形分を前上方に持ち１″、げるよ
   うにし、前記開口３にて抜き差し自在で且つ前記液栓入
   管５で一端を支持した固体受■旧６上に落すようにし、
   固形分を間欠的に取り出すようにした基板用膜及びその
   剥離液分離装置。