JPS5937540A - 感光性組成物及びその現像方法 - Google Patents
感光性組成物及びその現像方法Info
- Publication number
- JPS5937540A JPS5937540A JP14861382A JP14861382A JPS5937540A JP S5937540 A JPS5937540 A JP S5937540A JP 14861382 A JP14861382 A JP 14861382A JP 14861382 A JP14861382 A JP 14861382A JP S5937540 A JPS5937540 A JP S5937540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive
- photosensitive composition
- film
- soln
- developing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/008—Azides
- G03F7/012—Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders
- G03F7/0125—Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binder or the macromolecular additives other than the macromolecular azides
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマー
ル又(ケボリ酢酸ビニルと、有機溶剤に用済なアシド化
合物とを含有する感光性組成物、及びその現像方法に関
するものであり、さらに詳細には感光皮膜が強靭で水系
現像液で現像可能な黒丸性組成゛吻及びその現1欧)5
去すご「何するものである。
ル又(ケボリ酢酸ビニルと、有機溶剤に用済なアシド化
合物とを含有する感光性組成物、及びその現像方法に関
するものであり、さらに詳細には感光皮膜が強靭で水系
現像液で現像可能な黒丸性組成゛吻及びその現1欧)5
去すご「何するものである。
従4iu 、!:す、高分子化合物と芳香族アジド化合
物とを含有する感光性組成物が知られており、例えば理
化コムと芳香族アジド化合物の甜合せ、アルカリ可溶性
ホル・す7/議合樹脂と芳香族アンド化合物の組合せな
どがある。これらはツメトレーンスト、フォトレリーフ
などの用、余し・ζ利用されている。
物とを含有する感光性組成物が知られており、例えば理
化コムと芳香族アジド化合物の甜合せ、アルカリ可溶性
ホル・す7/議合樹脂と芳香族アンド化合物の組合せな
どがある。これらはツメトレーンスト、フォトレリーフ
などの用、余し・ζ利用されている。
しか1−なから環化ゴムと−“−°i香族アジド化合物
の組合せでは耐蝕性、密着性にはすぐれているが、有1
幾ld剤によって現像されるため人体′\の毒性、引火
性等、作東環境の面からみて、好ましいとは再えない。
の組合せでは耐蝕性、密着性にはすぐれているが、有1
幾ld剤によって現像されるため人体′\の毒性、引火
性等、作東環境の面からみて、好ましいとは再えない。
又アルカリ可溶性ホルマリン罹合、1さ4’li盲と芳
香族了シト1ヒ合物の組合せでは、アルカリ水Rり〆8
で現像可能であるが、感光皮膜が脆く、きすがつきやす
いなど機械的強度が不充分である。
香族了シト1ヒ合物の組合せでは、アルカリ水Rり〆8
で現像可能であるが、感光皮膜が脆く、きすがつきやす
いなど機械的強度が不充分である。
本発明の目的は、こn、らのr¥1題点會解決し、感尼
用fi’4 ’t、’バ強靭でしかも水系現1家液で現
像可能な感光性組成物及び、その現(累方法を提供する
1ことにちる、 本・ネ明者は、前記の問題点を解決すべく@怠研究を進
めた。債鬼、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマ
ール、又はポリ酢酸ビニルと、有機溶剤に可溶なアンド
化合物とを含有する感光性組成物を使用するときは前記
目的を達成し得ることを発見し、化、本発明はかかる知
見に基づいごなされたものである。
用fi’4 ’t、’バ強靭でしかも水系現1家液で現
像可能な感光性組成物及び、その現(累方法を提供する
1ことにちる、 本・ネ明者は、前記の問題点を解決すべく@怠研究を進
めた。債鬼、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマ
ール、又はポリ酢酸ビニルと、有機溶剤に可溶なアンド
化合物とを含有する感光性組成物を使用するときは前記
目的を達成し得ることを発見し、化、本発明はかかる知
見に基づいごなされたものである。
本発明において使用する高分子化合物は、ポリビニルブ
チラール、ポリビニルホルマール、又ハポリ酢酸ビニル
よりなる群から選ばれた1種以−Lが用いられる。これ
ら高分子化合物は有機n剤に可溶であれば使用可能であ
るが、その分子量が少なすぎると、皮膜強度が低下し、
父、分子量が太きすぎると、感光液が高粘度になり、そ
の調整が困難になるため好ましくない。ブチラール化度
及びホルマール化度については低すぎると耐水1生が怜
くなり、高すき゛ると水系現1象液−←゛の現像性が低
下する、以上の理由により、ポリビニルブチラールにお
いては平均分子t 10000から231.) 000
で、ブチラール化1![が20からgQmo1%、ポリ
ビニルホルマールにおいては、平均分子量9000から
150 il 0 tlでホルマール化度が20から8
0mo1%、ポリ酢酸ビニルにおいては平均分子715
000から27 U OOOである高分子化合物が好ま
しい。
チラール、ポリビニルホルマール、又ハポリ酢酸ビニル
よりなる群から選ばれた1種以−Lが用いられる。これ
ら高分子化合物は有機n剤に可溶であれば使用可能であ
るが、その分子量が少なすぎると、皮膜強度が低下し、
父、分子量が太きすぎると、感光液が高粘度になり、そ
の調整が困難になるため好ましくない。ブチラール化度
及びホルマール化度については低すぎると耐水1生が怜
くなり、高すき゛ると水系現1象液−←゛の現像性が低
下する、以上の理由により、ポリビニルブチラールにお
いては平均分子t 10000から231.) 000
で、ブチラール化1![が20からgQmo1%、ポリ
ビニルホルマールにおいては、平均分子量9000から
150 il 0 tlでホルマール化度が20から8
0mo1%、ポリ酢酸ビニルにおいては平均分子715
000から27 U OOOである高分子化合物が好ま
しい。
又、本発明において使用する有機溶剤に可溶なアジド化
合物としては、4.4′−ジアジドカルコン、2.6−
ジ(4′−アジドペンデル)−シクロヘキサツノ、2′
、6−ジ(4′−アンドベンザル)′−4−メチルーン
クロヘキサノン、4.4′−ジアジドカルコン銀灯、4
′−ジアジドベンゾフェノン、P−フェニレンジアジド
、4.4′−ジアジドフェニルメタン等をあげることが
できる。
合物としては、4.4′−ジアジドカルコン、2.6−
ジ(4′−アジドペンデル)−シクロヘキサツノ、2′
、6−ジ(4′−アンドベンザル)′−4−メチルーン
クロヘキサノン、4.4′−ジアジドカルコン銀灯、4
′−ジアジドベンゾフェノン、P−フェニレンジアジド
、4.4′−ジアジドフェニルメタン等をあげることが
できる。
)
これら、有機溶剤に可溶なアジド化合物の、高分子化合
物に対する添加量は、重連で、通常lから60%、好適
な添加量は4から30%である。
物に対する添加量は、重連で、通常lから60%、好適
な添加量は4から30%である。
さらに、必要に応l;、これらアンド化合物の増感剤、
染料、顔料/等を添加しても差支えない。
染料、顔料/等を添加しても差支えない。
又、使用目的に応じ、現像性、耐蝕性等の改善の必要が
有れば、ポリビニルブチラール、ボリビ、−ルホルマー
ル、又はポリ酢酸ビニルと相溶性のあるフェノール樹脂
、スチレン−マレイン酸共重合樹脂、アルヤツド圏脂、
エポキシ樹脂等をポリビニルブチラール、ポリビニルホ
ルマール、又ハポリ酢酸ビニルに対して等量まで添加し
ても良い。
有れば、ポリビニルブチラール、ボリビ、−ルホルマー
ル、又はポリ酢酸ビニルと相溶性のあるフェノール樹脂
、スチレン−マレイン酸共重合樹脂、アルヤツド圏脂、
エポキシ樹脂等をポリビニルブチラール、ポリビニルホ
ルマール、又ハポリ酢酸ビニルに対して等量まで添加し
ても良い。
本発明の感光性組成物は、一般的には有機溶剤に溶解し
、基材に塗布して使用する。有機溶剤の具体列としては
、アセト/、メチルエチルケト二/、シクロヘキサツノ
、メチルアルコール、エチルアルコール、フロビルアル
コール、トルエン、キシレン、酢酸エチル、酢酸ブチル
、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレング
リコールモノエチルTL−チル、ジメチルホルムアミド
等、又はこれら有機溶剤の混合物をあげることができる
。
、基材に塗布して使用する。有機溶剤の具体列としては
、アセト/、メチルエチルケト二/、シクロヘキサツノ
、メチルアルコール、エチルアルコール、フロビルアル
コール、トルエン、キシレン、酢酸エチル、酢酸ブチル
、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレング
リコールモノエチルTL−チル、ジメチルホルムアミド
等、又はこれら有機溶剤の混合物をあげることができる
。
本発明の感光性組成物の現像液としては、芳香族カル)
メン酸、芳香族スルホン酸、フェノール類、又はアルキ
ル硫酸のアルカリ金属塩化合物の水溶液を使用すること
ができる。これらの化合物の具体例を示せば、芳香族カ
ルボン酸としてはP−クロル安息香酸、サリチル酸、ア
ントラニル酸等、芳香族スルホン酸としては1−ナフト
ルー4−スルホン酸等、フェノール類としてはP−ヒ
ドロキシ安息香酸エチル、ペンタクロルフェノール等、
アル’fル・諏酸としてはシウリル〒鷹酸/等が有り、
これらの仕合物のナトリウム、カリウム等のアルカリ金
属塩化合物をあげることができ/)、、現像液の現像性
、安定性ノ等からみて、最も好ましいものとしては、P
−クロル安息香酸ナトリウム、サリチル酸ナトリウムを
あげることができる。現像液の濃度としては通常4から
40重量係の水溶液として使用することができるが、現
像性を改善すル目的で、メチルアルコール イソプロピルアルコール、ベンジルアルコールを等の有
機溶剤をこれら現像液に対し重量で1から40係添加す
ることもできる。
メン酸、芳香族スルホン酸、フェノール類、又はアルキ
ル硫酸のアルカリ金属塩化合物の水溶液を使用すること
ができる。これらの化合物の具体例を示せば、芳香族カ
ルボン酸としてはP−クロル安息香酸、サリチル酸、ア
ントラニル酸等、芳香族スルホン酸としては1−ナフト
ルー4−スルホン酸等、フェノール類としてはP−ヒ
ドロキシ安息香酸エチル、ペンタクロルフェノール等、
アル’fル・諏酸としてはシウリル〒鷹酸/等が有り、
これらの仕合物のナトリウム、カリウム等のアルカリ金
属塩化合物をあげることができ/)、、現像液の現像性
、安定性ノ等からみて、最も好ましいものとしては、P
−クロル安息香酸ナトリウム、サリチル酸ナトリウムを
あげることができる。現像液の濃度としては通常4から
40重量係の水溶液として使用することができるが、現
像性を改善すル目的で、メチルアルコール イソプロピルアルコール、ベンジルアルコールを等の有
機溶剤をこれら現像液に対し重量で1から40係添加す
ることもできる。
本発明の感光1・IL♀;11成物およびm像方法によ
れば、皮膜が強靭でレリーフがシーヤープな良好な画像
が得られ、又有機溶剤を使用しないので作業性も良い。
れば、皮膜が強靭でレリーフがシーヤープな良好な画像
が得られ、又有機溶剤を使用しないので作業性も良い。
次に本発明を実施例によって更に詳細に説明する。なお
、本発明は以下の実施例によって制限を受けるものでは
ない。
、本発明は以下の実施例によって制限を受けるものでは
ない。
実情例に
10ノー放′tL処理した厚さ100μのポリエチレン
フタレートフィルム上に、下記組成の感光液を乾燥後の
塗膜が3μになるように塗布し、次いで乾4菜した。
フタレートフィルム上に、下記組成の感光液を乾燥後の
塗膜が3μになるように塗布し、次いで乾4菜した。
感光液
このようにして得られた感光性フィルトにネガ原稿を密
着させ2 kWの超高圧水銀灯で1mの距離より1分間
露′Jt.を行った蕾、次に示した現像液で現lI4!
を行い未露光部を除去し鮮明なボン画像を得た。
着させ2 kWの超高圧水銀灯で1mの距離より1分間
露′Jt.を行った蕾、次に示した現像液で現lI4!
を行い未露光部を除去し鮮明なボン画像を得た。
現像液
実施例2
100/Zのポリエチレンフタレートフィルムの片面に
真空M* 6”よ!7 u. sμのアルミニウム膜ヲ
設け、その上に下記組成感光液を乾燥後の塗膜が3μに
なる様に塗布し、乾燥した。
真空M* 6”よ!7 u. sμのアルミニウム膜ヲ
設け、その上に下記組成感光液を乾燥後の塗膜が3μに
なる様に塗布し、乾燥した。
感光液
このフィルムにネガ原稿を摺着させ、2kWの超高圧水
銀灯で1mの距離より2分間露光を行った後、次に示す
曳+’求s’iで、現像ケ行った。次いで5。
銀灯で1mの距離より2分間露光を行った後、次に示す
曳+’求s’iで、現像ケ行った。次いで5。
重it係り/酸水M?&で、アルミニウムのエツチング
を行った、、露光部の感光層は十分にレジストとしての
機能な果たし、画像遮光性の高い鮮明なアルミニウムの
ボン画像が得られた。
を行った、、露光部の感光層は十分にレジストとしての
機能な果たし、画像遮光性の高い鮮明なアルミニウムの
ボン画像が得られた。
現像液
実施レリj
11すlooμのポリエチレンテレフタレートフィルム
上に下記の組成の皮膜形成液を乾燥後の膜厚が10μに
なるように塗布、乾燥し、アルコール可溶性ポリアミド
層を形成した。
上に下記の組成の皮膜形成液を乾燥後の膜厚が10μに
なるように塗布、乾燥し、アルコール可溶性ポリアミド
層を形成した。
皮膜形成液
次に上記ポリアミド層の上に下記11成の感光液を乾燥
後の塗膜が;3μになるように堕布、乾燥して感光性フ
イルノ・を得た。
後の塗膜が;3μになるように堕布、乾燥して感光性フ
イルノ・を得た。
感光液
この感光性フィルムをポジ原稿と密着させ、超高圧水銀
灯2 kWで1mの距離より、40秒訂光を行った後、
実施例2で用いた現像液で処理することにより、感光層
の現像及びポリアミド層のエツチングを2液で行うこと
、ができ、良好なネガフィルム:う;冴らルだ。
灯2 kWで1mの距離より、40秒訂光を行った後、
実施例2で用いた現像液で処理することにより、感光層
の現像及びポリアミド層のエツチングを2液で行うこと
、ができ、良好なネガフィルム:う;冴らルだ。
実施例4
銅張り積層板上に下記組成の感光液を乾燥後の塗膜が4
μになるよう(・こ伍布し、乾・聰しI・−0これをネ
ガ原稿と密着させ2 kWの超高圧水銀灯で1mの距離
より2分間露光を行った。実施例2で用いた現像液で現
像を行った後、40重量係の塩化第二鉄水溶液に浸漬し
、非画線部の銅のエツチングを行ったが、露光部の感光
層は十分にl/シストとしての機能を果たした。その後
レジスト層の除去はジメチルホルムアミドに浸漬するこ
とにより簡単に行うことができた。
μになるよう(・こ伍布し、乾・聰しI・−0これをネ
ガ原稿と密着させ2 kWの超高圧水銀灯で1mの距離
より2分間露光を行った。実施例2で用いた現像液で現
像を行った後、40重量係の塩化第二鉄水溶液に浸漬し
、非画線部の銅のエツチングを行ったが、露光部の感光
層は十分にl/シストとしての機能を果たした。その後
レジスト層の除去はジメチルホルムアミドに浸漬するこ
とにより簡単に行うことができた。
実施例5
実施例1で露光まで行ったフィルムを、次に示した現(
埃液1〜3で現像を行ったが、現隊液1−3のいずれに
よっても実施例1と同様鮮明なポジ画像が得られた。
埃液1〜3で現像を行ったが、現隊液1−3のいずれに
よっても実施例1と同様鮮明なポジ画像が得られた。
現像液1
現像液2
現(象液、3
比較例
実施例3で製造したアルコール可溶性ポリアミド1¥を
有するポリエチレ/デレフタレー トフイルノ、のポリ
アミド層の上に、下記組成の公知の感光J(坂を乾燥後
の塗膜が3μになるように塗布、乾燥して感光性フィル
ムを得た。
有するポリエチレ/デレフタレー トフイルノ、のポリ
アミド層の上に、下記組成の公知の感光J(坂を乾燥後
の塗膜が3μになるように塗布、乾燥して感光性フィル
ムを得た。
感光液
この感光性フィルムをポジ原稿と密着させ超高圧水銀灯
2 kWで1mの距離より1コシト30秒露光を行った
・隣、1重量係水酸化ナトリウム水溶液で感光層の現像
全行った。次いで実施例2で用いた現像液でポリアミド
層のエツチングを行つ/lが、感光層に亀裂が生じ、亀
裂が生じた部分のポリアミド層までエツチングが行:b
れてしまい、実施例3のような良好なネガフィルムが・
謙られなかった。
2 kWで1mの距離より1コシト30秒露光を行った
・隣、1重量係水酸化ナトリウム水溶液で感光層の現像
全行った。次いで実施例2で用いた現像液でポリアミド
層のエツチングを行つ/lが、感光層に亀裂が生じ、亀
裂が生じた部分のポリアミド層までエツチングが行:b
れてしまい、実施例3のような良好なネガフィルムが・
謙られなかった。
代理人 弁理士 守 谷 −建
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 高分子化合物としてポリビニルブチラール、ポリ
ビニルホルマール、又はポリ酢酸ビニルよりなる群から
選ばれた1種以上と、有機溶剤に可!得なアンド化合物
とをA有することを特徴とする感光性組成・物。 2、 ポリビニルブチラールが平均分子量10000か
ら230000で、ブチラール化度が20から80mo
l・%である特許請求の範囲第1項に記載の感光性組成
物。 3、 ポリビニルホルマールが平均分子fi90QOか
ら150001)で、ホルマール化度が20から80m
ol係である特許請求の範囲第1項に記載の感光性組成
物。 4、 ポリ酢酸ビニルが平均分子−115000カラ2
70 (l OOである特許請求の範囲第1項に記載の
感光性組成物。 5、アンド化合物の高分子化合物に対する詑加営が1か
ら60 TL ’瞳係である特許請求の範囲第1項、第
2項、第3項又は第4項いずれかに記載の感光性組成物
。 6、 高分子化合物としてポリビニルプチジ・−ル、ポ
リビニルホルマール、又はポリ酢酸ビニルよりなる群か
ら選ばれた1種以上と、有機溶剤に可t4なアジド化合
物とを含有する感)′を性58、l酸物を露光してた硬
化きせ、次いで水系現四液で現像すること′、I−特徴
とする感光性組成物の現像方法。 7、水系現像液が芳香族カルボン酸、芳香族スルホン酸
、フェノール類、又はアルキ1ル疏酸のアルカリ金属順
化合物の水溶液である特許請求の範囲第6項に記載の現
像方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14861382A JPS5937540A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 感光性組成物及びその現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14861382A JPS5937540A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 感光性組成物及びその現像方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5937540A true JPS5937540A (ja) | 1984-03-01 |
JPH0361938B2 JPH0361938B2 (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=15456694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14861382A Granted JPS5937540A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 感光性組成物及びその現像方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5937540A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02173645A (ja) * | 1988-12-26 | 1990-07-05 | Konica Corp | 画像形成方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4825518A (ja) * | 1971-08-02 | 1973-04-03 | ||
JPS5936245A (ja) * | 1982-08-25 | 1984-02-28 | Hitachi Ltd | 感光性組成物 |
-
1982
- 1982-08-26 JP JP14861382A patent/JPS5937540A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4825518A (ja) * | 1971-08-02 | 1973-04-03 | ||
JPS5936245A (ja) * | 1982-08-25 | 1984-02-28 | Hitachi Ltd | 感光性組成物 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02173645A (ja) * | 1988-12-26 | 1990-07-05 | Konica Corp | 画像形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0361938B2 (ja) | 1991-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4555469A (en) | Process of preparing light-sensitive naphthoquinonediazidesulfonic acid ester | |
US4308368A (en) | Photosensitive compositions with reaction product of novolak co-condensate with o-quinone diazide | |
US4458000A (en) | Light-sensitive mixture and light-sensitive copying material prepared therefrom wherein image produced therein is visible under yellow safety light | |
US4217407A (en) | Light-sensitive O-quinone diazide containing copying material | |
US4266000A (en) | Photosensitive copying composition | |
US3634082A (en) | Light-sensitive naphthoquinone diazide composition containing a polyvinyl ether | |
JP2000321760A (ja) | 顔料着色された放射線感応性層を有する記録材料 | |
CA1085212A (en) | Use of volatile carboxylic acids in improved photoresists containing quinone diazides | |
US4661432A (en) | Light-sensitive, diazonium group-containing polycondensation product, process for its production, and light-sensitive recording material containing this polycondensation product | |
US4457999A (en) | Light-sensitive 1,2 quinone diazide containing mixture and light-sensitive copying material prepared therefrom wherein imaged produced therein is visible under yellow safety light | |
JPS5876837A (ja) | 露光感光性のネガで作用する複写層の現像液 | |
US3417055A (en) | Process for preparation and separation of light sensitive stabilized diazo resins | |
US4628020A (en) | Light-sensitive compound mixture and copying material comprising o-naphthquinonediazide compound | |
US5275908A (en) | Radiation-sensitive mixture and recording material comprising as a binder a copolymer having hydroxybenzyl(meth)acrylate groups or derivatives thereof | |
JPS6244257B2 (ja) | ||
JPS58122533A (ja) | 感光性材料 | |
US4409314A (en) | Light-sensitive compounds, light-sensitive mixture, and light-sensitive copying material prepared therefrom | |
JPS5937540A (ja) | 感光性組成物及びその現像方法 | |
JPH0339301B2 (ja) | ||
US4871644A (en) | Photoresist compositions with a bis-benzotriazole | |
JPS60240715A (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JPH0680462B2 (ja) | 感光性フィルム及びその現像方法 | |
JPS59187340A (ja) | 感光性組成物 | |
US5143815A (en) | Light-sensitive mixture based on 1,2-naphthoquinone-diazides, and reproduction material produced with this mixture | |
WO2013115189A1 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 |