JPS5937540A - 感光性組成物及びその現像方法 - Google Patents

感光性組成物及びその現像方法

Info

Publication number
JPS5937540A
JPS5937540A JP14861382A JP14861382A JPS5937540A JP S5937540 A JPS5937540 A JP S5937540A JP 14861382 A JP14861382 A JP 14861382A JP 14861382 A JP14861382 A JP 14861382A JP S5937540 A JPS5937540 A JP S5937540A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive
photosensitive composition
film
soln
developing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP14861382A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0361938B2 (ja
Inventor
Takeo Moriya
守谷 武雄
Toshio Yamagata
山縣 敏雄
Kentaro Osawa
大沢 健太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kimoto Co Ltd
Original Assignee
Kimoto Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kimoto Co Ltd filed Critical Kimoto Co Ltd
Priority to JP14861382A priority Critical patent/JPS5937540A/ja
Publication of JPS5937540A publication Critical patent/JPS5937540A/ja
Publication of JPH0361938B2 publication Critical patent/JPH0361938B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/008Azides
    • G03F7/012Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders
    • G03F7/0125Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binder or the macromolecular additives other than the macromolecular azides

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマー
ル又(ケボリ酢酸ビニルと、有機溶剤に用済なアシド化
合物とを含有する感光性組成物、及びその現像方法に関
するものであり、さらに詳細には感光皮膜が強靭で水系
現像液で現像可能な黒丸性組成゛吻及びその現1欧)5
去すご「何するものである。
従4iu 、!:す、高分子化合物と芳香族アジド化合
物とを含有する感光性組成物が知られており、例えば理
化コムと芳香族アジド化合物の甜合せ、アルカリ可溶性
ホル・す7/議合樹脂と芳香族アンド化合物の組合せな
どがある。これらはツメトレーンスト、フォトレリーフ
などの用、余し・ζ利用されている。
しか1−なから環化ゴムと−“−°i香族アジド化合物
の組合せでは耐蝕性、密着性にはすぐれているが、有1
幾ld剤によって現像されるため人体′\の毒性、引火
性等、作東環境の面からみて、好ましいとは再えない。
又アルカリ可溶性ホルマリン罹合、1さ4’li盲と芳
香族了シト1ヒ合物の組合せでは、アルカリ水Rり〆8
で現像可能であるが、感光皮膜が脆く、きすがつきやす
いなど機械的強度が不充分である。
本発明の目的は、こn、らのr¥1題点會解決し、感尼
用fi’4 ’t、’バ強靭でしかも水系現1家液で現
像可能な感光性組成物及び、その現(累方法を提供する
1ことにちる、 本・ネ明者は、前記の問題点を解決すべく@怠研究を進
めた。債鬼、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマ
ール、又はポリ酢酸ビニルと、有機溶剤に可溶なアンド
化合物とを含有する感光性組成物を使用するときは前記
目的を達成し得ることを発見し、化、本発明はかかる知
見に基づいごなされたものである。
本発明において使用する高分子化合物は、ポリビニルブ
チラール、ポリビニルホルマール、又ハポリ酢酸ビニル
よりなる群から選ばれた1種以−Lが用いられる。これ
ら高分子化合物は有機n剤に可溶であれば使用可能であ
るが、その分子量が少なすぎると、皮膜強度が低下し、
父、分子量が太きすぎると、感光液が高粘度になり、そ
の調整が困難になるため好ましくない。ブチラール化度
及びホルマール化度については低すぎると耐水1生が怜
くなり、高すき゛ると水系現1象液−←゛の現像性が低
下する、以上の理由により、ポリビニルブチラールにお
いては平均分子t 10000から231.) 000
で、ブチラール化1![が20からgQmo1%、ポリ
ビニルホルマールにおいては、平均分子量9000から
150 il 0 tlでホルマール化度が20から8
0mo1%、ポリ酢酸ビニルにおいては平均分子715
000から27 U OOOである高分子化合物が好ま
しい。
又、本発明において使用する有機溶剤に可溶なアジド化
合物としては、4.4′−ジアジドカルコン、2.6−
ジ(4′−アジドペンデル)−シクロヘキサツノ、2′
、6−ジ(4′−アンドベンザル)′−4−メチルーン
クロヘキサノン、4.4′−ジアジドカルコン銀灯、4
′−ジアジドベンゾフェノン、P−フェニレンジアジド
、4.4′−ジアジドフェニルメタン等をあげることが
できる。
) これら、有機溶剤に可溶なアジド化合物の、高分子化合
物に対する添加量は、重連で、通常lから60%、好適
な添加量は4から30%である。
さらに、必要に応l;、これらアンド化合物の増感剤、
染料、顔料/等を添加しても差支えない。
又、使用目的に応じ、現像性、耐蝕性等の改善の必要が
有れば、ポリビニルブチラール、ボリビ、−ルホルマー
ル、又はポリ酢酸ビニルと相溶性のあるフェノール樹脂
、スチレン−マレイン酸共重合樹脂、アルヤツド圏脂、
エポキシ樹脂等をポリビニルブチラール、ポリビニルホ
ルマール、又ハポリ酢酸ビニルに対して等量まで添加し
ても良い。
本発明の感光性組成物は、一般的には有機溶剤に溶解し
、基材に塗布して使用する。有機溶剤の具体列としては
、アセト/、メチルエチルケト二/、シクロヘキサツノ
、メチルアルコール、エチルアルコール、フロビルアル
コール、トルエン、キシレン、酢酸エチル、酢酸ブチル
、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレング
リコールモノエチルTL−チル、ジメチルホルムアミド
等、又はこれら有機溶剤の混合物をあげることができる
本発明の感光性組成物の現像液としては、芳香族カル)
メン酸、芳香族スルホン酸、フェノール類、又はアルキ
ル硫酸のアルカリ金属塩化合物の水溶液を使用すること
ができる。これらの化合物の具体例を示せば、芳香族カ
ルボン酸としてはP−クロル安息香酸、サリチル酸、ア
ントラニル酸等、芳香族スルホン酸としては1−ナフト
 ルー4−スルホン酸等、フェノール類としてはP−ヒ
ドロキシ安息香酸エチル、ペンタクロルフェノール等、
アル’fル・諏酸としてはシウリル〒鷹酸/等が有り、
これらの仕合物のナトリウム、カリウム等のアルカリ金
属塩化合物をあげることができ/)、、現像液の現像性
、安定性ノ等からみて、最も好ましいものとしては、P
−クロル安息香酸ナトリウム、サリチル酸ナトリウムを
あげることができる。現像液の濃度としては通常4から
40重量係の水溶液として使用することができるが、現
像性を改善すル目的で、メチルアルコール イソプロピルアルコール、ベンジルアルコールを等の有
機溶剤をこれら現像液に対し重量で1から40係添加す
ることもできる。
本発明の感光1・IL♀;11成物およびm像方法によ
れば、皮膜が強靭でレリーフがシーヤープな良好な画像
が得られ、又有機溶剤を使用しないので作業性も良い。
次に本発明を実施例によって更に詳細に説明する。なお
、本発明は以下の実施例によって制限を受けるものでは
ない。
実情例に 10ノー放′tL処理した厚さ100μのポリエチレン
フタレートフィルム上に、下記組成の感光液を乾燥後の
塗膜が3μになるように塗布し、次いで乾4菜した。
感光液 このようにして得られた感光性フィルトにネガ原稿を密
着させ2 kWの超高圧水銀灯で1mの距離より1分間
露′Jt.を行った蕾、次に示した現像液で現lI4!
を行い未露光部を除去し鮮明なボン画像を得た。
現像液 実施例2 100/Zのポリエチレンフタレートフィルムの片面に
真空M* 6”よ!7 u. sμのアルミニウム膜ヲ
設け、その上に下記組成感光液を乾燥後の塗膜が3μに
なる様に塗布し、乾燥した。
感光液 このフィルムにネガ原稿を摺着させ、2kWの超高圧水
銀灯で1mの距離より2分間露光を行った後、次に示す
曳+’求s’iで、現像ケ行った。次いで5。
重it係り/酸水M?&で、アルミニウムのエツチング
を行った、、露光部の感光層は十分にレジストとしての
機能な果たし、画像遮光性の高い鮮明なアルミニウムの
ボン画像が得られた。
現像液 実施レリj 11すlooμのポリエチレンテレフタレートフィルム
上に下記の組成の皮膜形成液を乾燥後の膜厚が10μに
なるように塗布、乾燥し、アルコール可溶性ポリアミド
層を形成した。
皮膜形成液 次に上記ポリアミド層の上に下記11成の感光液を乾燥
後の塗膜が;3μになるように堕布、乾燥して感光性フ
イルノ・を得た。
感光液 この感光性フィルムをポジ原稿と密着させ、超高圧水銀
灯2 kWで1mの距離より、40秒訂光を行った後、
実施例2で用いた現像液で処理することにより、感光層
の現像及びポリアミド層のエツチングを2液で行うこと
、ができ、良好なネガフィルム:う;冴らルだ。
実施例4 銅張り積層板上に下記組成の感光液を乾燥後の塗膜が4
μになるよう(・こ伍布し、乾・聰しI・−0これをネ
ガ原稿と密着させ2 kWの超高圧水銀灯で1mの距離
より2分間露光を行った。実施例2で用いた現像液で現
像を行った後、40重量係の塩化第二鉄水溶液に浸漬し
、非画線部の銅のエツチングを行ったが、露光部の感光
層は十分にl/シストとしての機能を果たした。その後
レジスト層の除去はジメチルホルムアミドに浸漬するこ
とにより簡単に行うことができた。
実施例5 実施例1で露光まで行ったフィルムを、次に示した現(
埃液1〜3で現像を行ったが、現隊液1−3のいずれに
よっても実施例1と同様鮮明なポジ画像が得られた。
現像液1 現像液2 現(象液、3 比較例 実施例3で製造したアルコール可溶性ポリアミド1¥を
有するポリエチレ/デレフタレー トフイルノ、のポリ
アミド層の上に、下記組成の公知の感光J(坂を乾燥後
の塗膜が3μになるように塗布、乾燥して感光性フィル
ムを得た。
感光液 この感光性フィルムをポジ原稿と密着させ超高圧水銀灯
2 kWで1mの距離より1コシト30秒露光を行った
・隣、1重量係水酸化ナトリウム水溶液で感光層の現像
全行った。次いで実施例2で用いた現像液でポリアミド
層のエツチングを行つ/lが、感光層に亀裂が生じ、亀
裂が生じた部分のポリアミド層までエツチングが行:b
れてしまい、実施例3のような良好なネガフィルムが・
謙られなかった。
代理人 弁理士  守 谷 −建

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、 高分子化合物としてポリビニルブチラール、ポリ
    ビニルホルマール、又はポリ酢酸ビニルよりなる群から
    選ばれた1種以上と、有機溶剤に可!得なアンド化合物
    とをA有することを特徴とする感光性組成・物。 2、 ポリビニルブチラールが平均分子量10000か
    ら230000で、ブチラール化度が20から80mo
    l・%である特許請求の範囲第1項に記載の感光性組成
    物。 3、 ポリビニルホルマールが平均分子fi90QOか
    ら150001)で、ホルマール化度が20から80m
    ol係である特許請求の範囲第1項に記載の感光性組成
    物。 4、 ポリ酢酸ビニルが平均分子−115000カラ2
    70 (l OOである特許請求の範囲第1項に記載の
    感光性組成物。 5、アンド化合物の高分子化合物に対する詑加営が1か
    ら60 TL ’瞳係である特許請求の範囲第1項、第
    2項、第3項又は第4項いずれかに記載の感光性組成物
    。 6、 高分子化合物としてポリビニルプチジ・−ル、ポ
    リビニルホルマール、又はポリ酢酸ビニルよりなる群か
    ら選ばれた1種以上と、有機溶剤に可t4なアジド化合
    物とを含有する感)′を性58、l酸物を露光してた硬
    化きせ、次いで水系現四液で現像すること′、I−特徴
    とする感光性組成物の現像方法。 7、水系現像液が芳香族カルボン酸、芳香族スルホン酸
    、フェノール類、又はアルキ1ル疏酸のアルカリ金属順
    化合物の水溶液である特許請求の範囲第6項に記載の現
    像方法。
JP14861382A 1982-08-26 1982-08-26 感光性組成物及びその現像方法 Granted JPS5937540A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14861382A JPS5937540A (ja) 1982-08-26 1982-08-26 感光性組成物及びその現像方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14861382A JPS5937540A (ja) 1982-08-26 1982-08-26 感光性組成物及びその現像方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5937540A true JPS5937540A (ja) 1984-03-01
JPH0361938B2 JPH0361938B2 (ja) 1991-09-24

Family

ID=15456694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14861382A Granted JPS5937540A (ja) 1982-08-26 1982-08-26 感光性組成物及びその現像方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5937540A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02173645A (ja) * 1988-12-26 1990-07-05 Konica Corp 画像形成方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4825518A (ja) * 1971-08-02 1973-04-03
JPS5936245A (ja) * 1982-08-25 1984-02-28 Hitachi Ltd 感光性組成物

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4825518A (ja) * 1971-08-02 1973-04-03
JPS5936245A (ja) * 1982-08-25 1984-02-28 Hitachi Ltd 感光性組成物

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02173645A (ja) * 1988-12-26 1990-07-05 Konica Corp 画像形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0361938B2 (ja) 1991-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4555469A (en) Process of preparing light-sensitive naphthoquinonediazidesulfonic acid ester
US4308368A (en) Photosensitive compositions with reaction product of novolak co-condensate with o-quinone diazide
US4458000A (en) Light-sensitive mixture and light-sensitive copying material prepared therefrom wherein image produced therein is visible under yellow safety light
US4217407A (en) Light-sensitive O-quinone diazide containing copying material
US4266000A (en) Photosensitive copying composition
US3634082A (en) Light-sensitive naphthoquinone diazide composition containing a polyvinyl ether
JP2000321760A (ja) 顔料着色された放射線感応性層を有する記録材料
CA1085212A (en) Use of volatile carboxylic acids in improved photoresists containing quinone diazides
US4661432A (en) Light-sensitive, diazonium group-containing polycondensation product, process for its production, and light-sensitive recording material containing this polycondensation product
US4457999A (en) Light-sensitive 1,2 quinone diazide containing mixture and light-sensitive copying material prepared therefrom wherein imaged produced therein is visible under yellow safety light
JPS5876837A (ja) 露光感光性のネガで作用する複写層の現像液
US3417055A (en) Process for preparation and separation of light sensitive stabilized diazo resins
US4628020A (en) Light-sensitive compound mixture and copying material comprising o-naphthquinonediazide compound
US5275908A (en) Radiation-sensitive mixture and recording material comprising as a binder a copolymer having hydroxybenzyl(meth)acrylate groups or derivatives thereof
JPS6244257B2 (ja)
JPS58122533A (ja) 感光性材料
US4409314A (en) Light-sensitive compounds, light-sensitive mixture, and light-sensitive copying material prepared therefrom
JPS5937540A (ja) 感光性組成物及びその現像方法
JPH0339301B2 (ja)
US4871644A (en) Photoresist compositions with a bis-benzotriazole
JPS60240715A (ja) 感光性樹脂組成物
JPH0680462B2 (ja) 感光性フィルム及びその現像方法
JPS59187340A (ja) 感光性組成物
US5143815A (en) Light-sensitive mixture based on 1,2-naphthoquinone-diazides, and reproduction material produced with this mixture
WO2013115189A1 (ja) 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法