JPS5935675A - 切削工具用表面被覆焼結合金部材 - Google Patents

切削工具用表面被覆焼結合金部材

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JPS5935675A
JPS5935675A JP14589182A JP14589182A JPS5935675A JP S5935675 A JPS5935675 A JP S5935675A JP 14589182 A JP14589182 A JP 14589182A JP 14589182 A JP14589182 A JP 14589182A JP S5935675 A JPS5935675 A JP S5935675A
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JP
Japan
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coating layer
cutting
layer
coated
sintered alloy
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JP14589182A
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JPS6150145B2 (ja
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Noribumi Kikuchi
菊池 則文
Yuzo Osawa
大沢 雄三
Yasuo Suzuki
泰雄 鈴木
Akio Nishiyama
昭雄 西山
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Mitsubishi Metal Corp
Original Assignee
Mitsubishi Metal Corp
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Publication date
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Publication of JPS5935675A publication Critical patent/JPS5935675A/ja
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates

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  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、鋼および鋳鉄の切削、特に高速切削や高送
り切削などの苛酷な条件下での切削に際して、すぐれた
切削性能を発揮する切削工具用表面被覆焼結合金部材に
関するものである。
一般に、炭化タングステン(以下WCで示す)または炭
化チタンC以下TiCで示す)f::主成分とし、結合
相形成成分として、鉄族金属(Fe、Ni。
Co)のうちの1種または2種以上、あるいは鉄族金属
のうちの1種または2種以上と、クロム族金属(Cr、
 Mo、 W )およびAlのうちの1種または2種以
上とを含有し、さらに必要に応じて、硬質分散形成成分
として、元素周期律表の4a、5a。
および6a族金属の炭化物、窒化物、および炭窒化物の
うちの1種または2種以上を含有したWC基超硬焼結合
金またはTiC基焼結サーメットからなる基体の表面に
、、同じく元素周期律表の4a族金属(Ti 、 Zr
、 Hf )の炭化物、窒化物、および酸化物、並びに
これらの2種以上の固溶体からなる群のうちの1種の単
層または2種以上の複層からなる被覆層を化学蒸着法な
どにより形成してなる表面被覆焼結合金部月が切削工具
として用いられていることはよく知られるところである
しかしながら、これらの従来切削工具用表面被覆焼結合
金部材においては、被削月が鋼の場合にはすぐれた切削
寿命を示すが、被削材が鋳鉄になると短かい切削寿命し
か示さないものや、これとは反対に鋳鉄の切削には長い
切削寿命を示すが、鋼の切削でi短かい切削寿命しか示
さないものがほとんどで、鋼および鋳鉄のいずれの切削
においても満足する切削寿命を示すものは存在せず、ま
してや、これら両被削拐の高速切削および高送り切削な
どの苛酷な条件下ての切削に際して満足な切削性能全発
揮するものは皆無であるのが現状である。
そこで、本発明者等は、上述のような観点から鋼および
鋳鉄の両方の切削に用いることができることは勿論のこ
と、これら両被削拐の高速切削および高送り切削も可能
な切削工具を開発すべく研究を行なった結果、基体がw
c基超硬焼結合金またはTiC基焼結ザーメットで構成
され、被覆層が0.5〜20μmの平均層厚を有し、か
つ周期律表の4a族金属の炭化物、窒化物、および酸化
物、並びにこれらの2種以上の固溶体からなる群のうち
の1種の単層または2種以上の複層(以下、これらを総
称して中間被覆層という)で構成された上記従来表面被
覆焼結合金部材の表面に、さらにSiとAg、の複合炭
酸窒化物〔以下、(Si、 AQ ) CON テ示す
〕からなる被覆層(以下、表面被覆層という)を0.5
〜20μmの平均層厚で被覆すると、この結果の表面被
覆層および中間被覆層を有する表面被覆焼結合金部相に
おいては、nrj記中間被覆層が前記基体および前記表
面被覆層と強固に結合すると共に、前記表面被覆層が、
高い常温および高温硬さ、高靭性、並びにすぐれた耐摩
耗性および耐酸化性、さらに高温での化学的安定性をも
つことから、これを鋼および鋳鉄の切削に切削工具とし
て使用した場合に、は、いずれの被削拐の切削において
もすぐれた切削寿命を示し、特にこれら両波削材の高速
切削および高送り切削においてもきわめてすぐれた切削
性能を発揮するという知見を得たのである。
この発明は、上記知見にもとづいてなされたものである
が、中間被覆層および表面被覆層の平均層厚をそれぞれ
0.5〜20μmと限定したのは。
中間被覆層については、その平均層厚が0.5μm未満
では所望の強固な接合強度を確保することができず、ま
た表面被覆層については、その平均層厚が0.5μm未
満では、所望のすぐれた切削性能を長期に亘って確保す
ることができず、一方中間被覆層および表面被覆層のい
ずれにおいても、その平均層厚が20μmを越えると、
被覆処理時間が長いことに原因して、結晶粒が粗大化し
、この結果靭性が低下するばかりでなく1表面が荒れて
凹凸が激しくなるという理由からである。
つぎに、この発明の表面被覆焼結合金部拐を実施例によ
り具体的に説明する。
実施例 l l5O規格p20グレード(重量%f、TiC:10%
 、 TaC: 4 % 、 Co : 11%、 w
c :残りの組成を有するWC基超硬焼結合金)の切削
チップを、耐熱合金製反応容器内に装入し、まず、Ti
Ct4:2 %、 CH4: 2 %、 H2:96 
%からなる組成を有する反応混合ガスf ’ l Q 
t/mlnの流速で流しながら。
50 torrの減圧下で温度:1050℃に2時間保
持の条件で化学蒸着処理を行なって、前記切削チップ表
面に炭化チタン(以下TiCで示す)の中間被覆層を形
成し、ついでH2ガスf 101/m1n(D 流速で
3分間流して前記反応容器内の残留ガスを完全に除去し
、引続イテ、CH3・5iC7a : 1.5 % 、
 A2Cl3:2.0係、NH3:3.0係、CO2:
2.O係、H2:91.5%からなる組成C以上容量係
、以下係の表示はすべて容量係を示す)を有する反応混
合ガスを、同じ(l Q t/ymnの流速で流しなが
ら、70 torrの減圧下で温度: 1000℃Vt
C1時間保持の条件で化学蒸着処理を行なって、iQ記
中間被覆層の上に表面被覆層を形成することによって本
発明表面被覆焼結合金切削チップ(以下本発明被覆切削
チップという)■を製造した。
この結果得られた本発明被覆切削チップ1は、中間被覆
層平均層厚=5μm、表面被覆層平均層厚=2μmを有
し、かつこれら両層の中間には05〜2μmの層厚で相
互拡散層が形成されてお9&さらに前記表面被覆層は1
組成式: S i O,30Aeo2゜C0,1000
,15N0.25を有する非結晶状固体相からなるもの
であった。
実施例 2 中間被覆層1Tic層と炭酸化チタイ(以下TiC0で
示す)層で構成し、この場合のTiC層形成のための化
学蒸着処理条件を、反応混合ガス組成;TiCl4: 
2aII、 CH4: 2%、 H2:96 %、反応
混合ガスの流速:10t/+++rn、反応温度: 1
000℃。
真空度: 60 torr 、反応時間:1時間とし、
またTiC0層形成のための化学蒸着処理条件を、反応
混合ガス組成: TiCl4 : 2%、 co: 1
チ、 co2:0.5係、 H2: 96.5係1反応
混合ガスの流速:i o t/=n 、反応温度:90
0℃、真空度H5Qtorr。
反応時間:4時間とする以外は、上記実施例1V−。
おけると同一の条件にて本発明被覆切削チップ2を製造
した。
この結束得られた本発明被包切削チップ2は、それぞれ
の平均層厚が、TiCの中間被覆層:2μm。
組成式: Ticm、60o4を有する中間被覆層二8
μm。
および同じく組成式: Si o3oAAo、zoCo
toOo、+sNo、zs ’fr:有する表面被覆層
= 2μmを有するものであった。
実施例 3 表面被覆層形成のための化学蒸着処理条件を、反応混合
ガス組成1cH3・5iCA4: 10係、 AitC
t3:3%、NH3:3%、CO2:2%、 H2:9
1%、反応混合ガスの流速: l Ot/mtn 、反
応温度:950℃。
真空度: 70 torr、反応時間:1時間とする以
外は、実施例1におけると同一の条件にて本発明被覆切
削チップ3を製造した。
この結果の本発明被覆切削チップ3は、TiCの中間被
覆層平均層厚: 5μm9表面被覆層平均層厚=1.5
μmを有し、かつ表面被覆層は、組成式: s’0.1
sA”0.35cO,10oO,15NO,25k有す
る非結晶状固体相からなるものであった。
実施例 4 表面被覆層形成のための化学蒸着処理条件を、反応混合
ガス組成;CH3・5IC13: 0.3係。
MC13: 2係、NH3:3係、CO2:1係、 H
2: 93.7係。
反応混合ガスの流速: 8 t/−rrn、反応温度:
 1000℃。
真空度: 70 torr、反応時間:1時間とする以
外は、実施例1におけると同一の条件にて本発明ヤ覆切
削チップ4を製造した。
この結果得られた本発明被覆切削チップ4は、TiCの
中間被覆層平均層厚=5μm15μm1表面被覆厚:1
5μmを有し、かつ表面被覆層は、組成式: Si o
、oeAAo4s C0,1500,05N0.29 
’(i:有する非結晶状固体相からなるものであった。
実施例 5 中間被覆層を窒化チタンC以下TiNで示す)で構成し
、かつこの中間被覆層形成のための化学蒸着処理条件を
、反応混合ガス組成; TiCl4: 2%。
N2:20係、H2ニア8係9反応混合ガスの流速:1
07/min、反応温度:950℃、真空度ニアQto
rr。
反応時間:1時間とし、また表面被覆層形成のための化
学蒸着処理条件を、反応混合ガス組成:CH3・SiC
/!4 : 1.4 % 、 AuCl3:0.6 %
、 NH3:3.0係、CO2:1.0係、 H2: 
94.0係9反応混合ガスの流速: 9 t/−7n 
、反応温度: 1000℃、真空度: 70 torr
、反応時間=45分とする以外は、実施例1におけると
同一の条件にて本発明被覆切削チップ5を製造した。
この結果得られた本発明被覆切削チップ5は、TiNの
中間被覆層平均層厚= 2μm1表面被覆層平均層厚:
1.5μmを有し、かつ表面被覆層は、組成式’Sio
、ssAε0.07CO,1100,06N0.21を
有する非結晶状固体相からなるものであった。
実施例 6 中間被覆層を炭窒化チタン(以下T1CNで示す)で構
成し、かつT1CNの中間被覆層形成のだめの化学蒸着
処理条件を、反応混合ガス組成;TlC14:2 %、
 N2 :20係、CH3:2%、H2ニア6係1反応
混合ガスの流速:10t/−+#、反応温度:950℃
真空度: 70 torr 、反応時間:1時間とし、
また表面被覆層形成のだめの化学蒸着処理条件を、反応
混合ガス組成:CH3・5ICt3:2係、 A1.C
13: 2%。
NH3:1%、Co2:2係、H2:93係9反応混合
ガスの流速:lQt/min、反応温度: 1000℃
、真空度: 70 torr 、反応時間:1時間とす
る以外は、実施例1におけると同一の条件にて本発明被
覆切削チップ6を製造した。
この結果得られた本発明被覆切削チップ6は。
中間被覆層平均層厚:5μm1表面被覆層平均層厚:2
μmを有し、かつ中間被覆層は組成式:T i CO,
3No、7を有し、また表面被覆層は組成式:Si o
4Atio、t CO300,INo、1 k:有する
非結晶状固体相からなるものであった。
実施例 7 中間被覆層を炭化ジルコニウム(以下ZrCて示す)で
構成し、かつZrCの中間被覆層形成のための化学蒸着
処理条件を、反応混合ガス組成t Z rCl 4:2
係、、CH4:2係、H2:96%9反応混合ガスの流
速:lOt/min、反応温度: 1000℃、真空度
: 7 Q torr、反応時間:2時間とし、また表
面被覆層形成のための化学蒸着処理条件は実施例3にお
けると同一の条件とする以外は、実施例1におけると同
一の条件[’l::て本発明被覆切削チップ7全製造し
た。
この結果の本発明被覆切削チップ7は、ZrCの中間被
覆層の平均層厚が5μmであり、一方表面被覆層は実施
例3におけると同じ組成式:%式%: 中間被覆層を窒化ハフニウム(以下HfNで示す)で構
成し、かつHfNの中間層形成のための化学蒸着処理条
件凱反応混合ガス組成t HfC74: 3%。
N2 : 20%、 H2: 77%9反応混合カ、z
、o流速:1゜t/開開度反応温度 1000℃、  
真空度: 7 Q torr。
反応時間:2時間とし、一方、表面i覆層形成のための
化学蒸着処理条件は実施例5におけると同一の条件とす
る以外は、実施例1におけると同一の条件にて本発明被
覆切削チップ8を製造した。
この結果の本発明被覆切削チップ8i−j、HfNの中
間被覆層の平均層厚が5μmであり、かつ表面被覆層は
実施例5におけると同一の組成式:%式%:2 切削チップの材質を、重量係で、Ni:17%。
Mo:8%、Ticおよび不可避不純物:残りからなる
組成を有するTiC基焼結サーメットとする以外は、実
施例1におけると同一の条件で、本発明被覆切削チップ
9を製造した。
この結果の本発明被覆切削チップ9は1本発明被覆切削
チップ1と同様に、TiCの中間被覆層の平均層厚が5
μmであり1表面被覆層が組成式゛:51030V0.
20cO,l0oO,14NO,25k有する平均層厚
:2ノ1 mのものてあった。
また、比較の目的で、実施例1および9におけるWC基
超硬焼結合金およびWc基焼結サーメットの切削チップ
の表面を、実施例1におけると同一の条件でTiCを6
μmの平均層厚で被覆したもの(以下、従来被覆切削チ
ップ1,2という)を用意した。
ついで、この結果得られた本発明被覆チップ1〜9およ
び従来被覆切削チップ1.2について、被削拐: SN
CM−8(硬さ: HB270)、切削速度: 180
m/mtn 、送り: 0.25 mm/ revl、
切込み=1.5闇の条件での鋼高速切削試験、被削材:
SNCM−8(硬さHB270)、切削速度’ 120
 m/mf=。
送り: 0.5 mm / rev、 、切込み:1.
5mmの条件での鋼高送り切削試験、被削U’ : F
C−25(硬さ:HB 200 ) 、切削速度: 1
60 m/−7−、送り: 0.25 mm/ rev
、 。
切込み:1.5mmの条件での鋳鉄高速切削試験、およ
び被削拐: FC−25(硬さ:HB200)、切削速
度: 120 mlam 、送り:o5叫/ revl
、切込み:1、5 mmの条件での鋳鉄高速切削試験を
それぞれ行ない、30分間の連続切削後の逃げ面摩耗深
さを測定した。これらの結果を第1表に示した。
第1表に示される結果から、本発明被覆切削チップ1〜
9・は、いずれも鋼および鋳鉄の高速および高送り切削
において、従来被覆切削チップ1゜2に比して一段とす
ぐれた切削寿命を示すことが明らかである。
上述のように、この発明の表面被覆焼結合金部材は、そ
の表面被覆層が、高い常温および高温硬さ並びに高靭性
を有し、さらに耐摩耗性1面J酸化性および高温での化
学的安定性にすぐれた( Si 。
hi)CONで構成され、かつ前記表面被覆層は前記第
1表 中間被覆層によって焼結合金基体の表面に強固に密着結
合しているので、これを鋼および鋳鉄の切削に用いた場
合、いずれの場合においても長い切削寿命を示し、さら
にこれら両被削イ2の高床切削および商送り切削に際し
てもすぐれた切削性能を発揮するなど切削工具として有
用な特注を有するのである。
出願人 三菱金属株式会社

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 炭化タングステン基超硬焼結合金基体または炭化チタン
    基焼結サーメット基体の表面に、周期律表の4a族金属
    の炭化物、窒化物、および酸化物。 並びにこれらの2種以上の固溶体からなる群のうちの1
    種の単層または2種以上の複層からなる平均層厚:0,
    5〜20μmの中間被覆層を介して、SiとAAの複合
    炭酸窒化物からなる平均層厚:0.5〜20μmの表面
    被覆層を形成してなる切削工具用表面被覆焼結合金部材
JP14589182A 1982-08-23 1982-08-23 切削工具用表面被覆焼結合金部材 Granted JPS5935675A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14589182A JPS5935675A (ja) 1982-08-23 1982-08-23 切削工具用表面被覆焼結合金部材

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JP14589182A JPS5935675A (ja) 1982-08-23 1982-08-23 切削工具用表面被覆焼結合金部材

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JPS5935675A true JPS5935675A (ja) 1984-02-27
JPS6150145B2 JPS6150145B2 (ja) 1986-11-01

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ID=15395435

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JP14589182A Granted JPS5935675A (ja) 1982-08-23 1982-08-23 切削工具用表面被覆焼結合金部材

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998023786A1 (de) * 1996-11-29 1998-06-04 W. Blösch AG Verfahren zur erzeugung von pvd- und/oder pecvd-hartstoffschichten

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998023786A1 (de) * 1996-11-29 1998-06-04 W. Blösch AG Verfahren zur erzeugung von pvd- und/oder pecvd-hartstoffschichten

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JPS6150145B2 (ja) 1986-11-01

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