JPS5932803A - 測定変換器 - Google Patents
測定変換器Info
- Publication number
- JPS5932803A JPS5932803A JP58118394A JP11839483A JPS5932803A JP S5932803 A JPS5932803 A JP S5932803A JP 58118394 A JP58118394 A JP 58118394A JP 11839483 A JP11839483 A JP 11839483A JP S5932803 A JPS5932803 A JP S5932803A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- measuring device
- holding member
- measuring
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/147—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S73/00—Measuring and testing
- Y10S73/03—Hall effect
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Recording Measured Values (AREA)
- Surgical Instruments (AREA)
- Primary Cells (AREA)
- Push-Button Switches (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
- Signal Processing For Digital Recording And Reproducing (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
」i究明は、第1の測定基準器のだめの保持部材として
の測定フレームと、第2の谷用足基準器のだめの、フレ
ームに対して運動ljJ′mlな部材と、城誠・′[I
N気弐の変換系とを備えたlllIll定装置であって
、変換系の第1の手段がフレームに取イ]けら;it
、かつ第2の手段がフレームに対して運動可能な保持部
材に取イ」けられており、保持部材が第20測に基準器
のだめの部材に結合されている形式のものに関する。
の測定フレームと、第2の谷用足基準器のだめの、フレ
ームに対して運動ljJ′mlな部材と、城誠・′[I
N気弐の変換系とを備えたlllIll定装置であって
、変換系の第1の手段がフレームに取イ]けら;it
、かつ第2の手段がフレームに対して運動可能な保持部
材に取イ」けられており、保持部材が第20測に基準器
のだめの部材に結合されている形式のものに関する。
接石剤バ′!′jのスラストによる変形を測定するだめ
に現定された公知の測定装置(西ドイツ国特、プj;
ftX、l卯公開第2435068号明軸書〕において
は互いに相対運動ffi丁能な部分間に誘導式の距離測
定装置が配置されている。このような誘導式の甲離測定
装櫛は高価な増幅装↑6.のft1.i Illを必要
とする。さらにこのような距離測定装置6においては誘
導コイルによって組込み容積が比!1咬的大きくなる。
に現定された公知の測定装置(西ドイツ国特、プj;
ftX、l卯公開第2435068号明軸書〕において
は互いに相対運動ffi丁能な部分間に誘導式の距離測
定装置が配置されている。このような誘導式の甲離測定
装櫛は高価な増幅装↑6.のft1.i Illを必要
とする。さらにこのような距離測定装置6においては誘
導コイルによって組込み容積が比!1咬的大きくなる。
さらに磁気抵抗効果式測定装置も公知である( Sie
mens−Bautcil−Information
6(1968J5.172 〜177 ペー )
、 S it:mens 1(aut+、11
3、Lteporl 、 17 (1979) 2
)。イ1d気抵抗効果素子は半嗜体素子で89、これの
抵抗e」、磁y、!。
mens−Bautcil−Information
6(1968J5.172 〜177 ペー )
、 S it:mens 1(aut+、11
3、Lteporl 、 17 (1979) 2
)。イ1d気抵抗効果素子は半嗜体素子で89、これの
抵抗e」、磁y、!。
内で傾く増大する。小さな1市1雑変化を測定するため
に、この場会磁気抵抗効果朱子を程度の差こそあ扛均質
石しくは不拘1↓の磁界内に進入、3せること、若しく
はiM気11(抗効−采素子、、f:j勾′L1の磁界
内に不動に配置して、磁界を町「助手によって変化させ
ることは公11Jである3、この揚台、磁気抵抗効果素
子全可動子に結汗することも公知である。さらに無接触
式のスイッチとして直列回路若しくは並列回i¥T内に
用いられるダブル磁気抵抗効果素子も公知である。
に、この場会磁気抵抗効果朱子を程度の差こそあ扛均質
石しくは不拘1↓の磁界内に進入、3せること、若しく
はiM気11(抗効−采素子、、f:j勾′L1の磁界
内に不動に配置して、磁界を町「助手によって変化させ
ることは公11Jである3、この揚台、磁気抵抗効果素
子全可動子に結汗することも公知である。さらに無接触
式のスイッチとして直列回路若しくは並列回i¥T内に
用いられるダブル磁気抵抗効果素子も公知である。
不発(jJ、]の[1的は、冒頭に述べ、気形式の測定
装置6B−を改善して、μ−範囲の距離変化を温度の影
響&Lに高い分:g□l能力でかつ製作技術的に容易に
(I用足できるようにすることである。
装置6B−を改善して、μ−範囲の距離変化を温度の影
響&Lに高い分:g□l能力でかつ製作技術的に容易に
(I用足できるようにすることである。
この[1的を達成するために本発明の構成では、少・t
くとも1つの空隙を有しかつ保持部材の運動方向に対し
て横方向に向いた磁界を発生させる磁界゛Jへ生部4オ
が設けられており、空隙内に保持部14″が磁界に対し
て横方向に運動可能に配置さ、ILでおり、かつ空隙内
に、保持部拐の運動方向で11i1隔をおいて配置斤さ
れたそれぞれ2つの磁気抵抗効果素子を備える2つの磁
気セ(抗効果素子、1.lI力棉己置、されており、+
m気抵抗効果素−子の抵抗幼果素子、!夕がぞれぞt逆
に向けら〕しており1護持部(格の連動に際し、磁気抵
抗効果克子組金l〃過するfin界ケ変える手段が設け
られており、磁気L1(抗効果素子の出力側がブリッジ
に接続さ才Iており、ブリッジの一方の対角線分岐に測
定fli、i、 :l’!(i小器が1度へ・左されて
おり、他方の対角線分岐に直流市川源が接続されている
ようにした。
くとも1つの空隙を有しかつ保持部材の運動方向に対し
て横方向に向いた磁界を発生させる磁界゛Jへ生部4オ
が設けられており、空隙内に保持部14″が磁界に対し
て横方向に運動可能に配置さ、ILでおり、かつ空隙内
に、保持部拐の運動方向で11i1隔をおいて配置斤さ
れたそれぞれ2つの磁気抵抗効果素子を備える2つの磁
気セ(抗効果素子、1.lI力棉己置、されており、+
m気抵抗効果素−子の抵抗幼果素子、!夕がぞれぞt逆
に向けら〕しており1護持部(格の連動に際し、磁気抵
抗効果克子組金l〃過するfin界ケ変える手段が設け
られており、磁気L1(抗効果素子の出力側がブリッジ
に接続さ才Iており、ブリッジの一方の対角線分岐に測
定fli、i、 :l’!(i小器が1度へ・左されて
おり、他方の対角線分岐に直流市川源が接続されている
ようにした。
本発明の有利な実施態様が特許請求の範囲2x1゜21
頁以下に記載しである。
頁以下に記載しである。
次に図面を用いて本発明の実施例を具体的に説明する。
第1図に概略的に示した測定装置かはここではC字状に
構成されたフレーム2を有している。
構成されたフレーム2を有している。
フレームの脚部4,6の端?51Sの互いに向き合った
而には永久磁石8,10が固定されており、これらの永
久磁石は互い(fζ逆の砥イタをイ1し2かつ互いに平
行VC位置している。永久磁石8 、 ]、 (,1の
自由面には横に並んだそれぞ扛2つの磁気抵抗効果素子
素子が、ぞ打も磁気抵抗効果素子12゜1・1が永久磁
石8Vこかつ磁気抵抗効果素子16.18が永久磁石1
0に取伺けられている6、両方の磁気抵抗効果素子組間
の自由な空間には・2?l磁性拐別から成るoJ動子2
0が配置さfU、 、・亡7’1も運動ft4能な支持
部材22に支承されて、L・・す、支持部刊は互いに間
隔金おいて位置する2′二)の板ばね24.26を介し
て2重矢印方向に(2′・1111可能である。板ばね
はフレーム内に緊定さi−かつ支持部材22に堅く結合
されている。それぞノ12つの電気晟続(i[j (図
示せず〕ケ有する4つの磁気抵抗効果末子は第1図に示
しであるように、ブリッジに接続され、ブリッジ給電の
ための電1イー源28を備えている。磁気抵抗効果素子
の抵抗変動が81′器30によって示され、記録計に記
録され若しくはA I)−変換器に送られ、処理される
。ブリッジ回!烙により同時に温度補償が行わり、る。
而には永久磁石8,10が固定されており、これらの永
久磁石は互い(fζ逆の砥イタをイ1し2かつ互いに平
行VC位置している。永久磁石8 、 ]、 (,1の
自由面には横に並んだそれぞ扛2つの磁気抵抗効果素子
素子が、ぞ打も磁気抵抗効果素子12゜1・1が永久磁
石8Vこかつ磁気抵抗効果素子16.18が永久磁石1
0に取伺けられている6、両方の磁気抵抗効果素子組間
の自由な空間には・2?l磁性拐別から成るoJ動子2
0が配置さfU、 、・亡7’1も運動ft4能な支持
部材22に支承されて、L・・す、支持部刊は互いに間
隔金おいて位置する2′二)の板ばね24.26を介し
て2重矢印方向に(2′・1111可能である。板ばね
はフレーム内に緊定さi−かつ支持部材22に堅く結合
されている。それぞノ12つの電気晟続(i[j (図
示せず〕ケ有する4つの磁気抵抗効果末子は第1図に示
しであるように、ブリッジに接続され、ブリッジ給電の
ための電1イー源28を備えている。磁気抵抗効果素子
の抵抗変動が81′器30によって示され、記録計に記
録され若しくはA I)−変換器に送られ、処理される
。ブリッジ回!烙により同時に温度補償が行わり、る。
]111J力の磁気抵抗効果素子組N2,14;16.
18)Ui市販の差!III磁気低抗効宋素子センザセ
ンて構成されている。大きな測定範囲を1尋るために、
イ!社気抵抗効果素子セセン金市販の差!ll′II磁
′:A抵抗効果素子センザにおセンよりも大きな相互i
Mj Wで配(バ、すると有利である。
18)Ui市販の差!III磁気低抗効宋素子センザセ
ンて構成されている。大きな測定範囲を1尋るために、
イ!社気抵抗効果素子セセン金市販の差!ll′II磁
′:A抵抗効果素子センザにおセンよりも大きな相互i
Mj Wで配(バ、すると有利である。
可動−,1″−20により、互いに向き合う国力の41
強・l? IN、lの柴隙内の磁束が果申せしめら扛る
。磁束の小中は可動子の厚さに関連している。可動子2
0の移動に際して磁束の流れが両刀のイ1戒気)」(す
る。これによってブリッジが相応し7てnl(調させら
れかつ計器:30内に相応する信弓が牛Vしめられる。
強・l? IN、lの柴隙内の磁束が果申せしめら扛る
。磁束の小中は可動子の厚さに関連している。可動子2
0の移動に際して磁束の流れが両刀のイ1戒気)」(す
る。これによってブリッジが相応し7てnl(調させら
れかつ計器:30内に相応する信弓が牛Vしめられる。
実際に、簡単なブリッジ回路及び目的に合わせて安定さ
れた5 V l) ljの供にi’、 Tt−1−を用
いてi+ill定装置の0.2rnmの測定範囲で測定
・1・lλ囲内の高い分前能力が・j尋られることがわ
がつ/こ3、後で述べる第4図及び第5図の実施例の6
(1j定装置におしては、シーメンス社(ミコンヘン)
の磁気抵抗籾果累子−差動センサU: I) Ill
I・100を用いた場@次のような値が1+4られる:
測定範囲は上帆2 am ブリッジのだめのび(給五圧は安定さ扛だ5〜71)(
づ 内部抵抗d、225Ω 供給電流25 +nA ++4り定範囲±0.2nunのブリッジ対角、施分岐
内の電圧ν」−±3001TIVである。
れた5 V l) ljの供にi’、 Tt−1−を用
いてi+ill定装置の0.2rnmの測定範囲で測定
・1・lλ囲内の高い分前能力が・j尋られることがわ
がつ/こ3、後で述べる第4図及び第5図の実施例の6
(1j定装置におしては、シーメンス社(ミコンヘン)
の磁気抵抗籾果累子−差動センサU: I) Ill
I・100を用いた場@次のような値が1+4られる:
測定範囲は上帆2 am ブリッジのだめのび(給五圧は安定さ扛だ5〜71)(
づ 内部抵抗d、225Ω 供給電流25 +nA ++4り定範囲±0.2nunのブリッジ対角、施分岐
内の電圧ν」−±3001TIVである。
従って簡単な整合前1誰増幅器を介して抑1定値信号発
生器を直接に制jf41糸に)固りさせることかできる
。さらに本発明の測定装置の利点は測定装置が著しく小
さな(」法で製作可能でのることにある3゜ 第2図の実施例(lこおいては、ここでもC字状に形成
さt上だフレーム32が電磁石のコー1′として4j/
・成さ7V、ておンハ電磁石の巻線34はフレーム、3
2のつ」−ブ36に配置されている。フレームの脚部3
8.40の自由端i化のN極イイしくはSう11区をイ
ーfする互いに向き付ったS11行な端面(′こ、第1
図の実施例と同じように2つの磁気I」(抗効(4ム÷
二子組42 、 =14が配置されている。この場汁(
・こもイ厳気抵抗効宋素子組−4の自由ンj紫間ではn
」・−’IJ 1’ 46が保持部拐゛・18に取付け
られ2重矢印の方向に移動可能である。保j、′〔11
已7)〕・18は同じように板ばねを用いて!1ill
I面方向に案内さiシでいる。、両刀の磁気抵抗効果
素子組42,1・lの磁気+t−を抗幼果素子は同じく
ブリ゛ソジ5(L&こ成わ”[;さ)−している。この
場合、′電圧源52は同゛存しこ′「d(直行3・1の
l″こめの電圧源としても役−仏つ。4i蝕’a峨抗効
宋素千)ζif 42 、41のブ1ノ・ツノlr、!
I i烙しこよって第1(ンIの実施例と同じように温
度補償が1−J′われる。この場合、電磁石のだめのN
’L” C−抵抗若しくはP T C−抵抗を11m
えたコーイル電流制穐14ム置54が設けられ、磁気ト
1(抗効宋」5了の感j(の温j度に]回連した変化が
補償さ一7’ Lる3、第31ン]G′こけ本発明によ
る測定装置の別の実施例が示しである。ここではフレー
ム60か弘いに向き舎わされた2つの磁1本用突起t3
2 、 (34を・11シており、これらの磁・1.メ
用突起の回りにそれぞれ励磁コイル66.68が配置1
テ1”され°C1■、・す、これらの励磁コイルはII
列に電圧源70 +/(舅と廐、さ′Iしている。rt
=磁コイルG 6 、68イj: 、f13’lる′市
θ11′。
生器を直接に制jf41糸に)固りさせることかできる
。さらに本発明の測定装置の利点は測定装置が著しく小
さな(」法で製作可能でのることにある3゜ 第2図の実施例(lこおいては、ここでもC字状に形成
さt上だフレーム32が電磁石のコー1′として4j/
・成さ7V、ておンハ電磁石の巻線34はフレーム、3
2のつ」−ブ36に配置されている。フレームの脚部3
8.40の自由端i化のN極イイしくはSう11区をイ
ーfする互いに向き付ったS11行な端面(′こ、第1
図の実施例と同じように2つの磁気I」(抗効(4ム÷
二子組42 、 =14が配置されている。この場汁(
・こもイ厳気抵抗効宋素子組−4の自由ンj紫間ではn
」・−’IJ 1’ 46が保持部拐゛・18に取付け
られ2重矢印の方向に移動可能である。保j、′〔11
已7)〕・18は同じように板ばねを用いて!1ill
I面方向に案内さiシでいる。、両刀の磁気抵抗効果
素子組42,1・lの磁気+t−を抗幼果素子は同じく
ブリ゛ソジ5(L&こ成わ”[;さ)−している。この
場合、′電圧源52は同゛存しこ′「d(直行3・1の
l″こめの電圧源としても役−仏つ。4i蝕’a峨抗効
宋素千)ζif 42 、41のブ1ノ・ツノlr、!
I i烙しこよって第1(ンIの実施例と同じように温
度補償が1−J′われる。この場合、電磁石のだめのN
’L” C−抵抗若しくはP T C−抵抗を11m
えたコーイル電流制穐14ム置54が設けられ、磁気ト
1(抗効宋」5了の感j(の温j度に]回連した変化が
補償さ一7’ Lる3、第31ン]G′こけ本発明によ
る測定装置の別の実施例が示しである。ここではフレー
ム60か弘いに向き舎わされた2つの磁1本用突起t3
2 、 (34を・11シており、これらの磁・1.メ
用突起の回りにそれぞれ励磁コイル66.68が配置1
テ1”され°C1■、・す、これらの励磁コイルはII
列に電圧源70 +/(舅と廐、さ′Iしている。rt
=磁コイルG 6 、68イj: 、f13’lる′市
θ11′。
は両方の磁極用突起が伝いに逆の極イ牛忙イ1才るよう
になつ−Cいる。このように、、、4成さ〕L 7’(
磁/iシ間では移動可能な保持部1.)’ 72か2:
j+)E、矢印の方向にイ多」彷i扛1止である。、j
A′、:1寺部i72にt(J、イ磁気j代抗効宋素子
組74.76が間隔;C」、・いて配置されている。磁
気抵抗効果素子、■は不動の磁界に対して相・ス・j的
に移動可能であ4.、轍気俄1)1.効果素子間の、F
」」隔は保持部材72の最も小さい連動でずら(・、′
・(気抵抗効果素子による磁束流を変化さ」k、ひいて
はt[(杭を変化させるように大きくしておきたい。
になつ−Cいる。このように、、、4成さ〕L 7’(
磁/iシ間では移動可能な保持部1.)’ 72か2:
j+)E、矢印の方向にイ多」彷i扛1止である。、j
A′、:1寺部i72にt(J、イ磁気j代抗効宋素子
組74.76が間隔;C」、・いて配置されている。磁
気抵抗効果素子、■は不動の磁界に対して相・ス・j的
に移動可能であ4.、轍気俄1)1.効果素子間の、F
」」隔は保持部材72の最も小さい連動でずら(・、′
・(気抵抗効果素子による磁束流を変化さ」k、ひいて
はt[(杭を変化させるように大きくしておきたい。
この用台、保持部拐72はlこ測の端部で同じく板ばね
78を介して案内さ柱ているのに対して、右側の端部で
グイー■フラムばね80に堅く結合さjlている6、ダ
イヤフラムばね80はここで(・」:室82の1つの壁
を形成しており、前記室C,J、ダイヤフラムばねと逆
の1f(jlを不動のノ゛レー)・84に」二って閉じ
られており、ンル−トに(は接、扁−盾・片8Gが[1
[1置されている。このような配置6Vこよってガス若
しくは流動体の圧力が16い精度で測定される。保持部
材72は、51図及び第21ツ1の実施例のように両側
で板ばねケ介して案内さ)Uていてよい。
78を介して案内さ柱ているのに対して、右側の端部で
グイー■フラムばね80に堅く結合さjlている6、ダ
イヤフラムばね80はここで(・」:室82の1つの壁
を形成しており、前記室C,J、ダイヤフラムばねと逆
の1f(jlを不動のノ゛レー)・84に」二って閉じ
られており、ンル−トに(は接、扁−盾・片8Gが[1
[1置されている。このような配置6Vこよってガス若
しくは流動体の圧力が16い精度で測定される。保持部
材72は、51図及び第21ツ1の実施例のように両側
で板ばねケ介して案内さ)Uていてよい。
4へ3図の実施例の磁気抵抗効果素子41174及び7
6は第1図及び第2図の実施例と同じようにブリッジに
接)ltさ扛ている。さらに第2図の実施例に4・・け
るように、温度補償が行わtしる。
6は第1図及び第2図の実施例と同じようにブリッジに
接)ltさ扛ている。さらに第2図の実施例に4・・け
るように、温度補償が行わtしる。
イ4伺ろ:実IIi!!1+11が第・1図及び第5図
に示しである。フレーノ・90はここでは閉じらノ′し
た1・Li rfJY;のフレームとして構成されてお
り、このフレームはさらに9111方をプ■ノー1・9
2によって被わJlており、第4図にはもっばら後方の
プレー1・が示しであるのに対して、j)11方のプレ
ー 1・ば−7’9i示して・つるにすぎない。フレー
ム90の脚部[乃・1円には窓96が形成さj主でおり
、窓内には保1青部(498が運動oj化(・こ配置さ
tlている。保]、5部材I:J、2つの4反ばね10
0を用いて案内さItて」、・す、これらの板ばねは保
持部(A2Bと逆の端部で以って後方のフレーム脚部1
02内に締へみによって保持されている。
に示しである。フレーノ・90はここでは閉じらノ′し
た1・Li rfJY;のフレームとして構成されてお
り、このフレームはさらに9111方をプ■ノー1・9
2によって被わJlており、第4図にはもっばら後方の
プレー1・が示しであるのに対して、j)11方のプレ
ー 1・ば−7’9i示して・つるにすぎない。フレー
ム90の脚部[乃・1円には窓96が形成さj主でおり
、窓内には保1青部(498が運動oj化(・こ配置さ
tlている。保]、5部材I:J、2つの4反ばね10
0を用いて案内さItて」、・す、これらの板ばねは保
持部(A2Bと逆の端部で以って後方のフレーム脚部1
02内に締へみによって保持されている。
保持部材98にはフレーム90の内R15’\夕JLび
る保持アーム104が堅く結合さ扛て尤・す、この1米
1寺アームのイ麦方瑞191〜(lこは導磁性44本I
から成り保持部材98の運動方向に対1〜でjl’A方
向(2重矢印]に延びるIJJ動子106がJl!j、
)l−Jけらノ′1−てい86、プレート92の内側
に(弓、それぞれ永久磁石108が配置されており、χ
・↑向する6、41らの永久磁石の互いに向き角ったE
iIiが互いに逆の極+4を伯している。永久磁石10
8には互いに間隔を・71・・いて位置する磁気抵抗効
果素子組109゜111がそ才りぞれ1己i4されてお
り、これらの磁気抵抗、2JJ果素子、■の長手方向は
可動子106の長−丁力向に10・いては1呆ト1部A
A98の凍助力向に利し、て横方向に向いている。
る保持アーム104が堅く結合さ扛て尤・す、この1米
1寺アームのイ麦方瑞191〜(lこは導磁性44本I
から成り保持部材98の運動方向に対1〜でjl’A方
向(2重矢印]に延びるIJJ動子106がJl!j、
)l−Jけらノ′1−てい86、プレート92の内側
に(弓、それぞれ永久磁石108が配置されており、χ
・↑向する6、41らの永久磁石の互いに向き角ったE
iIiが互いに逆の極+4を伯している。永久磁石10
8には互いに間隔を・71・・いて位置する磁気抵抗効
果素子組109゜111がそ才りぞれ1己i4されてお
り、これらの磁気抵抗、2JJ果素子、■の長手方向は
可動子106の長−丁力向に10・いては1呆ト1部A
A98の凍助力向に利し、て横方向に向いている。
フレーl・の11々1部9・1の外1ifll及び保持
部材98σ)11−面には(則定プロット若しくは則足
アダプタのだめの固定裟陥が配置されていZ)。このだ
めに11 :41Jにはねじ孔がよけらd、ており、こ
れらのねし孔内に測定プロットがねじ込ま扛若しくはi
’:ill ′)’lニーアダプタを介して取付けられ
得る。第・1図の’ノドMi例においてはル−ムの脚部
9・1の外側(′(二2つのイ111]定ン゛′ロット
1 ]、 0が並べてh己(位さ!してい/)のに対し
どC1こIしらの7則ボゾロノI−からhqI!!fi
[をb・い−Cイ呆持i<b拐98のIt、而に[つ(
つ1lill定ツ″T−1〕l−1,1,2が取ト]け
られている。こItらの11111 ’、、[ニブロッ
トは図11■」では見えない端部にねじをf+iijぐ
一尾いで、このねにを介してねじ孔内にねし込;t、r
、−Cいる。
部材98σ)11−面には(則定プロット若しくは則足
アダプタのだめの固定裟陥が配置されていZ)。このだ
めに11 :41Jにはねじ孔がよけらd、ており、こ
れらのねし孔内に測定プロットがねじ込ま扛若しくはi
’:ill ′)’lニーアダプタを介して取付けられ
得る。第・1図の’ノドMi例においてはル−ムの脚部
9・1の外側(′(二2つのイ111]定ン゛′ロット
1 ]、 0が並べてh己(位さ!してい/)のに対し
どC1こIしらの7則ボゾロノI−からhqI!!fi
[をb・い−Cイ呆持i<b拐98のIt、而に[つ(
つ1lill定ツ″T−1〕l−1,1,2が取ト]け
られている。こItらの11111 ’、、[ニブロッ
トは図11■」では見えない端部にねじをf+iijぐ
一尾いで、このねにを介してねじ孔内にねし込;t、r
、−Cいる。
測定センサは、第4図及び第5図(・て示さ71でいる
ように著しくわずかな寸法で製作され、ケーシング幅が
1.1 amである場合には例えばケーシング長さが2
0濁であり、ケーシング深さが16mmであって、全容
オ?iが3−5cAて、重1j1がほぼ207である。
ように著しくわずかな寸法で製作され、ケーシング幅が
1.1 amである場合には例えばケーシング長さが2
0濁であり、ケーシング深さが16mmであって、全容
オ?iが3−5cAて、重1j1がほぼ207である。
第6図の実施1タリ(第4図及び第5図と同じ部拐′に
は同じ4−)−弓が付けらノL“−ζいる)においては
、不動の1i(11定プロツト110はクレームの窓9
6の片側VC配置されているのに対←2て、 i+Il
l定ゾ17ツl−11,2はIA冒スf部材98の中央
に配置4さ、t′1ている。従って、比叔的狭幅の(l
llI定ベースがi4)られ、このような測定ベース1
1こよつ−Cは例えばp7−いにm INされた二E作
物11:3と115との間のスラストによる変形が01
0定され得る4、この場汗、両方の測定プロット110
が1−作物】】#5に係合しているのに対して、測定プ
゛ロツl−112が工作物113に係合している。
は同じ4−)−弓が付けらノL“−ζいる)においては
、不動の1i(11定プロツト110はクレームの窓9
6の片側VC配置されているのに対←2て、 i+Il
l定ゾ17ツl−11,2はIA冒スf部材98の中央
に配置4さ、t′1ている。従って、比叔的狭幅の(l
llI定ベースがi4)られ、このような測定ベース1
1こよつ−Cは例えばp7−いにm INされた二E作
物11:3と115との間のスラストによる変形が01
0定され得る4、この場汗、両方の測定プロット110
が1−作物】】#5に係合しているのに対して、測定プ
゛ロツl−112が工作物113に係合している。
第7図e(二は裂断間「1測定を行う)こめの測定アダ
プタτ備えだ測定装置6゛:が/j・シである3、ここ
では保持部#98にU字状の爪1 ]、 4が結合され
てJ、・す、爪の間隙d:保持部材98の運’td+方
向にイ装置している。フレーム9(NCはアングル状の
1<1り佃116がそれも一方の脚部118で以ってね
じによって取付けられている3、−万の脚部から泊角に
延びる他方の脚部120は爪114の脚部と整骨してい
る。爪の脚部にばそ)1それねじ122が1)己1浜さ
れており、これらの::JiUO1内11、i!Iにプ
ロットを備えている。運動可5ヒな爪114の脚部に1
妃置されたねじ122は工作物124の裂1所開141
26の一方の側に堅く結付され、アングル状の不動の部
材116の脚部120に配置1う1され/こねじ122
は裂1?i?開口126の他方の11111に1堅く九
吉行さノする。
プタτ備えだ測定装置6゛:が/j・シである3、ここ
では保持部#98にU字状の爪1 ]、 4が結合され
てJ、・す、爪の間隙d:保持部材98の運’td+方
向にイ装置している。フレーム9(NCはアングル状の
1<1り佃116がそれも一方の脚部118で以ってね
じによって取付けられている3、−万の脚部から泊角に
延びる他方の脚部120は爪114の脚部と整骨してい
る。爪の脚部にばそ)1それねじ122が1)己1浜さ
れており、これらの::JiUO1内11、i!Iにプ
ロットを備えている。運動可5ヒな爪114の脚部に1
妃置されたねじ122は工作物124の裂1所開141
26の一方の側に堅く結付され、アングル状の不動の部
材116の脚部120に配置1う1され/こねじ122
は裂1?i?開口126の他方の11111に1堅く九
吉行さノする。
第8図に/J〈シた本J自明による測定装置は、試験片
の厚さ変化を測定可能な測定アダプタを1IiiYえで
いる。この場会、保持部’IJ’ 98にアングル状の
アダプタ128が1堅り結旨さ71.でいるのに貴重し
て、フ1/−ム90には脚1本130が・堅く結汗さy
+でおり、この脚体は脚部132で以ってる。脚体1;
30の脚部132 (Q jijAii:tBに(d
31持ビン134が6:i置され、アダプタ128の脚
部の端部には支持ビン1:36が配置さ、+1ている。
の厚さ変化を測定可能な測定アダプタを1IiiYえで
いる。この場会、保持部’IJ’ 98にアングル状の
アダプタ128が1堅り結旨さ71.でいるのに貴重し
て、フ1/−ム90には脚1本130が・堅く結汗さy
+でおり、この脚体は脚部132で以ってる。脚体1;
30の脚部132 (Q jijAii:tBに(d
31持ビン134が6:i置され、アダプタ128の脚
部の端部には支持ビン1:36が配置さ、+1ている。
、測定を行う/こめには支持ビンが11/1]え−ば装
置1され/こフランジ拮しくは類似のものによってぞ1
1ぞ7にL作物1:38の払いに逆の側に支持1,7/
ζ、状態−C保持される。
置1され/こフランジ拮しくは類似のものによってぞ1
1ぞ7にL作物1:38の払いに逆の側に支持1,7/
ζ、状態−C保持される。
伸々′J4なる実ノ血例で述べた1tlll ″jJi
jJii缶月1いて距市変化による変形(で・i、(っ
く非電気的な測′1Jllll′I。
jJii缶月1いて距市変化による変形(で・i、(っ
く非電気的な測′1Jllll′I。
が庫めてiF−確にかつ測定増幅器の〕こめの著り、い
費月jなしに、4用可4条置自イ本の質【11.を名し
くわずかにして測定さ社る。磁気抵抗効果−ム子の・l
JI別”l MV ig K ヨッテ、I’J動(D
g(L 5’j カIIE riot K 4(’:
l’Jさ7Lでいない揚台でも測定結果に影響が及ぼさ
λしず第9図の実施例にお・いては、閉じられ/仁ル−
ム140が設けられており、このフレーノ・はji1方
ケフケプレートって閉じられており、第9図には前方の
プレート142は部分的にしか示してない。図面で見て
下■111に位置するフレーム脚部14・1は開口14
6を1liiえており、この開口を責すて運動+iJ’
能な保持部棉148が突出していて、外1則に位置する
端部に測定プロット1750をjJiiえでいる。
費月jなしに、4用可4条置自イ本の質【11.を名し
くわずかにして測定さ社る。磁気抵抗効果−ム子の・l
JI別”l MV ig K ヨッテ、I’J動(D
g(L 5’j カIIE riot K 4(’:
l’Jさ7Lでいない揚台でも測定結果に影響が及ぼさ
λしず第9図の実施例にお・いては、閉じられ/仁ル−
ム140が設けられており、このフレーノ・はji1方
ケフケプレートって閉じられており、第9図には前方の
プレート142は部分的にしか示してない。図面で見て
下■111に位置するフレーム脚部14・1は開口14
6を1liiえており、この開口を責すて運動+iJ’
能な保持部棉148が突出していて、外1則に位置する
端部に測定プロット1750をjJiiえでいる。
保持部4′A’ 148は他方の端部154で以って−
に囮のフレーム脚部156.ζ・喝〈<緊定されている
。保持部イζ4118の×冗[栢所の下側に、旋回ビン
・)152が設けられ、保持部材148が旋回させられ
i?:Aるようになっている。保持部材1・18にぐよ
上1・“に1[)]隔をおいて鳴動子]、 62 、1
64のだめの2つの保持体158,160が配置さ7し
てち・す、こiLらの保持体は僅力向に位1^゛、する
Iil動イI fi 2 、 l 6−1で以って差動
磁気抵Iノ);幼宋素イー>Ill 66 、168と
1イb1動するようになってb・す、こノ1.らの差動
磁気抵抗効果ぷJ’ Jt:Lは第1図及び;B; 5
図の実施例の磁気抵抗効果素子組]、 09 、111
と同じ形式でプレートに取付けら」)ている。図面には
、後方(・ご位置するプレート170に取11]けられ
だ追動磁気[よ(抗効宋<< −f−が示しである。
に囮のフレーム脚部156.ζ・喝〈<緊定されている
。保持部イζ4118の×冗[栢所の下側に、旋回ビン
・)152が設けられ、保持部材148が旋回させられ
i?:Aるようになっている。保持部材1・18にぐよ
上1・“に1[)]隔をおいて鳴動子]、 62 、1
64のだめの2つの保持体158,160が配置さ7し
てち・す、こiLらの保持体は僅力向に位1^゛、する
Iil動イI fi 2 、 l 6−1で以って差動
磁気抵Iノ);幼宋素イー>Ill 66 、168と
1イb1動するようになってb・す、こノ1.らの差動
磁気抵抗効果ぷJ’ Jt:Lは第1図及び;B; 5
図の実施例の磁気抵抗効果素子組]、 09 、111
と同じ形式でプレートに取付けら」)ている。図面には
、後方(・ご位置するプレート170に取11]けられ
だ追動磁気[よ(抗効宋<< −f−が示しである。
保持部43’ 148が、Iに!:回連動を「−fうの
−C1i+J動子162,164を旋回ヒンジ]52い
二対して半径方向に配置し7かつ差動蜂気抵抗幼宋−に
1゛−を対応させて配置することがイイ利であり、磁気
抵抗効果素子が可動子に対して平行に位置する。
−C1i+J動子162,164を旋回ヒンジ]52い
二対して半径方向に配置し7かつ差動蜂気抵抗幼宋−に
1゛−を対応させて配置することがイイ利であり、磁気
抵抗効果素子が可動子に対して平行に位置する。
従って、円弧」二の用゛動子イXす4;i反の運動に活
−′つ<非しl−i、画性が十分にイ1)(償さ、fL
る。このネfli償(+1.さらに1n11 ′;Jl
装:1″へ1が一般に通常1ミリノー夕、1.すI−’
の名しく小さな測定・如囲に合わせて設置11さ〕じC
いることによってネト易になる。
−′つ<非しl−i、画性が十分にイ1)(償さ、fL
る。このネfli償(+1.さらに1n11 ′;Jl
装:1″へ1が一般に通常1ミリノー夕、1.すI−’
の名しく小さな測定・如囲に合わせて設置11さ〕じC
いることによってネト易になる。
所属の磁気抵(’j’シ効果素子、t+11を南する2
ニー)(ど月1」・助j−の配置によって、測定装置奮
そtLも回じ1出隔の差動磁気抵抗効果素子を用いて7
! /、L: 7′、)側カニ範囲に1jlj Fi’
iすることが【iI’ (ilUである3、もちろんt
:J!+9図の実施例も唯一・のi]動子で以って()
′4成J\t’L、この鳴動子(7j、保持筒;打14
8の長さくl(′、わたる任意の箇所に配置され得る。
ニー)(ど月1」・助j−の配置によって、測定装置奮
そtLも回じ1出隔の差動磁気抵抗効果素子を用いて7
! /、L: 7′、)側カニ範囲に1jlj Fi’
iすることが【iI’ (ilUである3、もちろんt
:J!+9図の実施例も唯一・のi]動子で以って()
′4成J\t’L、この鳴動子(7j、保持筒;打14
8の長さくl(′、わたる任意の箇所に配置され得る。
第9図の実施例((おいては+f+j巣なI1g式〜“
121気抵J’+’i:効果克子をよごれから保護する
ことができる。、(−の7こめに、フレーム140の内
室に弾性的ろ°仕切り壁172が設けられており、この
仕切り壁を可動手のだめの保持体が貫通している。
121気抵J’+’i:効果克子をよごれから保護する
ことができる。、(−の7こめに、フレーム140の内
室に弾性的ろ°仕切り壁172が設けられており、この
仕切り壁を可動手のだめの保持体が貫通している。
r’J”+ 9 +ツjの測定装置は!侍に小さな)1
/−ム寸法で(7/11成式れイ4fるので、1111
1定ベースの/(めの十分な長さを得たいという間:但
が牛、しる。このだめしく−1−側のフレーム脚部に、
図面で示すようにゾV−1・17・1が取f−jけら)
′t 、 このプレートの端)−1九がノ1/−ムに
灯して不動の2則力しノ′ロット176を・1呆長し、
でいる。プレート174は同時(LCA川定用足を測定
しようとする対象物上に固定するように41111−成
さi′1ていてよい。もちろんフレー ムに対して不動
な測定)−」ソト176を直1)iフレームに配置する
ことも原理的にrj]能である。フレーム脚ンイft
144が1目接フレーA I −10を1.jyえて延
J(されていてよい。
/−ム寸法で(7/11成式れイ4fるので、1111
1定ベースの/(めの十分な長さを得たいという間:但
が牛、しる。このだめしく−1−側のフレーム脚部に、
図面で示すようにゾV−1・17・1が取f−jけら)
′t 、 このプレートの端)−1九がノ1/−ムに
灯して不動の2則力しノ′ロット176を・1呆長し、
でいる。プレート174は同時(LCA川定用足を測定
しようとする対象物上に固定するように41111−成
さi′1ていてよい。もちろんフレー ムに対して不動
な測定)−」ソト176を直1)iフレームに配置する
ことも原理的にrj]能である。フレーム脚ンイft
144が1目接フレーA I −10を1.jyえて延
J(されていてよい。
代
導磁性旧料から成る可動イの他すに磁界全土ぜしめる永
久(1芸石が保持部(」に配置され、永久磁石によって
生ぜしめられる磁界が保持部材の移動に際し磁気抵抗効
果素子素子の[[(抗を変えるようになっていて)こと
によってz1川廿−: % ii’iの・」′l′人が
さらに小さくされ15ンる6、この川f−1(丁t(−
J、 e字状のフレームが1丑東局路を成す部(Aをハ
゛均」kする。イメrつて、第1図の実+1jl1例の
(−)字状のル−ツ、の脚部に配置されたt)%久(直
利8 、1.0か1・心安になる。この場汁、永久1改
石がイ、j利に(−1、両方のへ便を1!1助方向に対
して横力向((二りさび状に114成されていイ〕。こ
tしにより、(磁極に1.・りる(l&東の必要な集束
性を・f+i# 、ネた心間な磁石貿;1;が1:Iら
Jする。
久(1芸石が保持部(」に配置され、永久磁石によって
生ぜしめられる磁界が保持部材の移動に際し磁気抵抗効
果素子素子の[[(抗を変えるようになっていて)こと
によってz1川廿−: % ii’iの・」′l′人が
さらに小さくされ15ンる6、この川f−1(丁t(−
J、 e字状のフレームが1丑東局路を成す部(Aをハ
゛均」kする。イメrつて、第1図の実+1jl1例の
(−)字状のル−ツ、の脚部に配置されたt)%久(直
利8 、1.0か1・心安になる。この場汁、永久1改
石がイ、j利に(−1、両方のへ便を1!1助方向に対
して横力向((二りさび状に114成されていイ〕。こ
tしにより、(磁極に1.・りる(l&東の必要な集束
性を・f+i# 、ネた心間な磁石貿;1;が1:Iら
Jする。
このようにミK rAji L−た場合、第・1図ツク
(Zl’ U’、 51ツjの実施191]にし・いて
は永久1轍石108が小必四に74:る。’i/′Lっ
て、磁気抵抗効果素イ徂109 、111が11′:1
接にプ゛レート92に取イ」けらtLl これl/(
ニアにってフレーノ・900幅が第5図の一4′祭から
明「。
(Zl’ U’、 51ツjの実施191]にし・いて
は永久1轍石108が小必四に74:る。’i/′Lっ
て、磁気抵抗効果素イ徂109 、111が11′:1
接にプ゛レート92に取イ」けらtLl これl/(
ニアにってフレーノ・900幅が第5図の一4′祭から
明「。
かなように減少せ1−7められイ4!る。3永久磁石を
)足動[IJ’ WEな保持バ15イ]に設はノこit
!ll ’yi装置、の有利な別の夫ff1ti例が第
10 LXI及び第11図に示しである。この′友施例
の場合、測定装置180は導磁性43月から成り磁束’
J?7)路を成すリング状の磁束帰路部材182を有し
ており、このイ直束帰路部拐は内側に互いに向き合った
2つの磁極184.186を備えており、これらの磁4
1文は互いに平行な扁・ヒな磁極mf188 、190
全そf’L ’e ;itイ1”しており、各41&極
而にはそれぞれ磁気抵抗効果素子絹192,194が配
置され−こおり、これらの各磁気抵抗効果素子、111
の磁気抵抗効’i ;t=子は磁束帰路部材182の1
咄所力向で互いに間隔をおいて位i[べ−している。こ
の実ノイへ例の場合、磁束帰路部材182は円が)形の
外周面196 ”;(: 111itえかつりを周面の
区分(・CI而面、縁方向に向けられ/こリング状の突
起198,200をイ」L7ている。磁束帰路部材18
2は231協トから成る外1+111クーシング202
内に位置しており、この外側ケ−シングはイI庇東1?
11p6部4・4の突起198゜200を;キむ外周面
区分のく」−法にA’II応した円筒形のり欠き全備え
ている6、この実施例(・こおいては、両方のケーシン
グ部分20・I 、 206が一半径方向で突起198
、200の内側に壁208゜210を・Diiiえて
いイ)。ケーシング部分はねじ205によって互い(・
こた、+i汗11丁能でありかつづ厩東帰路部材に緊定
i−,1能である。
)足動[IJ’ WEな保持バ15イ]に設はノこit
!ll ’yi装置、の有利な別の夫ff1ti例が第
10 LXI及び第11図に示しである。この′友施例
の場合、測定装置180は導磁性43月から成り磁束’
J?7)路を成すリング状の磁束帰路部材182を有し
ており、このイ直束帰路部拐は内側に互いに向き合った
2つの磁極184.186を備えており、これらの磁4
1文は互いに平行な扁・ヒな磁極mf188 、190
全そf’L ’e ;itイ1”しており、各41&極
而にはそれぞれ磁気抵抗効果素子絹192,194が配
置され−こおり、これらの各磁気抵抗効果素子、111
の磁気抵抗効’i ;t=子は磁束帰路部材182の1
咄所力向で互いに間隔をおいて位i[べ−している。こ
の実ノイへ例の場合、磁束帰路部材182は円が)形の
外周面196 ”;(: 111itえかつりを周面の
区分(・CI而面、縁方向に向けられ/こリング状の突
起198,200をイ」L7ている。磁束帰路部材18
2は231協トから成る外1+111クーシング202
内に位置しており、この外側ケ−シングはイI庇東1?
11p6部4・4の突起198゜200を;キむ外周面
区分のく」−法にA’II応した円筒形のり欠き全備え
ている6、この実施例(・こおいては、両方のケーシン
グ部分20・I 、 206が一半径方向で突起198
、200の内側に壁208゜210を・Diiiえて
いイ)。ケーシング部分はねじ205によって互い(・
こた、+i汗11丁能でありかつづ厩東帰路部材に緊定
i−,1能である。
突起198.200と各ターシンク櫓1[へ分204.
206との間(こは夕゛イヤノラノ・状のはね21.2
.214が、)、1″6色−まれでいる。このダ・イヤ
ンラノ、状のばねの中央にロッド状の1ζ署# iJ
、+g’ 21.6が保持さノ1.ており、この場会左
11t1.l−rばね21・1と保持部イ第21Gとの
間の1結合部218がねじ」、′。
206との間(こは夕゛イヤノラノ・状のはね21.2
.214が、)、1″6色−まれでいる。このダ・イヤ
ンラノ、状のばねの中央にロッド状の1ζ署# iJ
、+g’ 21.6が保持さノ1.ており、この場会左
11t1.l−rばね21・1と保持部イ第21Gとの
間の1結合部218がねじ」、′。
骨部若しくはフランジ結合部とじて小してあり、右側で
ばね212とIA′、持1fif(4:Aとの間の1結
汁部220がろう)」け結合ンGISイ’i’ l−、
<は溶」〆)ミ111f−ン)′11♂、(二し。
ばね212とIA′、持1fif(4:Aとの間の1結
汁部220がろう)」け結合ンGISイ’i’ l−、
<は溶」〆)ミ111f−ン)′11♂、(二し。
て小しである。
保1.¥部材216には永久磁石222が配置されてお
り、こり永久磁石のN 他イ1L <はS +vpが磁
気抵抗効果7.1″−、pHI 92若しくは194に
向かって位置している3、永久磁石222vま磁・隊の
区分どくさび状にir/j成されており、その結果、磁
極1ajが比IH1)的狭くなっている。従って、磁束
が永久磁石の9薮匪においてそのつどI9「jy:!の
磁界幅に磁束さ、tシる。
り、こり永久磁石のN 他イ1L <はS +vpが磁
気抵抗効果7.1″−、pHI 92若しくは194に
向かって位置している3、永久磁石222vま磁・隊の
区分どくさび状にir/j成されており、その結果、磁
極1ajが比IH1)的狭くなっている。従って、磁束
が永久磁石の9薮匪においてそのつどI9「jy:!の
磁界幅に磁束さ、tシる。
[呆持部材216は右側で外側ケーシングの壁208に
形成された孔224を通して外側へ案内さ41.ている
。同じように壁210が孔を循えており、この孔を姐し
て保持部材214が外側へ案内されてもよい。測定装置
108の外側ケーシング202は第1の測定基*器を形
成しており、場合によっては外側ケーシングに測定ゾロ
ノド若(〜くは類似のものが配置されていてよい。第2
の測定基準器は直接若しくは間接的に保持部材に作用す
る。従って1−1iJ述の実施例と同じように永久磁石
ひいては保持部材の磁気抵抗/−カ果素J″−:fif
lに対して横方向の運動が側足される。
形成された孔224を通して外側へ案内さ41.ている
。同じように壁210が孔を循えており、この孔を姐し
て保持部材214が外側へ案内されてもよい。測定装置
108の外側ケーシング202は第1の測定基*器を形
成しており、場合によっては外側ケーシングに測定ゾロ
ノド若(〜くは類似のものが配置されていてよい。第2
の測定基準器は直接若しくは間接的に保持部材に作用す
る。従って1−1iJ述の実施例と同じように永久磁石
ひいては保持部材の磁気抵抗/−カ果素J″−:fif
lに対して横方向の運動が側足される。
第10図から明らかなように、左側のケーシング部分2
0Gの壁210は接紹;管片226をj+iiiえてお
り、この接続管片ケ介して流体が=、、i、:1)10
とばね214との間のd閉された室内(で縛大可能であ
る。従ってこの測定毘16を用いてjE力1lilJ定
がそハも正圧並びに負圧範1用で行わ扛る。
0Gの壁210は接紹;管片226をj+iiiえてお
り、この接続管片ケ介して流体が=、、i、:1)10
とばね214との間のd閉された室内(で縛大可能であ
る。従ってこの測定毘16を用いてjE力1lilJ定
がそハも正圧並びに負圧範1用で行わ扛る。
この場合、保持部材216が壁208を通して案内され
る心安はない。しか(−ながらこの壁ると有利である6
、紙力測定装置としての−7に施例においては保持部4
J’215は片側でのみタ゛イヤフラム状の=−力のば
ね214に取「tけられで」、・ればよく、他方のばね
212は省略さJトる。
る心安はない。しか(−ながらこの壁ると有利である6
、紙力測定装置としての−7に施例においては保持部4
J’215は片側でのみタ゛イヤフラム状の=−力のば
ね214に取「tけられで」、・ればよく、他方のばね
212は省略さJトる。
第10図及び第11図の実施例のリング状の・臓東帰路
i′813材を・fl”する測定装置VC↓、・いては
、iり動子が憬導磁性材別から成っていてもよく、cの
」易fヤには第1図の実施例と同じように磁極面に永久
磁石が設けられる。
i′813材を・fl”する測定装置VC↓、・いては
、iり動子が憬導磁性材別から成っていてもよく、cの
」易fヤには第1図の実施例と同じように磁極面に永久
磁石が設けられる。
第12図−第15図の実施例(佳原哩的に第4図及び第
5図の実施例に相応するものである。
5図の実施例に相応するものである。
測定装置2 :30はここでは方形のフレーノ・232
をイ〕しており、このフレー ムは両側をゾl、’−1
・234.236によって被われている。シレー1−2
:34 、236には磁気抵抗幼果素子組2:38.
240が配置されている。これらのイ嘱気]1(抗効果
素子組間に永久磁石242が位hitしており、この永
久<a石はここでも磁極区分をくさO・状に傾斜するよ
うに構成されている。
をイ〕しており、このフレー ムは両側をゾl、’−1
・234.236によって被われている。シレー1−2
:34 、236には磁気抵抗幼果素子組2:38.
240が配置されている。これらのイ嘱気]1(抗効果
素子組間に永久磁石242が位hitしており、この永
久<a石はここでも磁極区分をくさO・状に傾斜するよ
うに構成されている。
フレーノ、4づ、その1つの脚部に窓244を備えてお
り、この窓内では保持部材2・16が図示の2!1【矢
印(第14図ンの方向に運動可能である。
り、この窓内では保持部材2・16が図示の2!1【矢
印(第14図ンの方向に運動可能である。
保持i’41X材246ば、第4図及び第5図の実施例
と同じように2つの板ばね248を介して案内さilて
おり、これらの板ばねはフレームの窓2.14とは朕の
側の脚部に固定されている。第12図〜第15図の実施
例においては、第4図及び第5図の実施例と異なって第
15図から明らかなように梢1状に外側の2つの舌片2
50と中火の1つの舌片252忙備えて構成さ4した4
反はね248が設けられている。、これらの板ばね24
8はそ扛ぞれ外側の舌片250の端部で以って、〕l/
−ノ・の窓2・14の形成された側の脚部内に緊定され
ている。3つの舌片を結合するウコユブは、ここでtよ
ゾレート状に構成された保持体25・lに結合されてお
り、この1呆持体は中火に永久磁石2・12ケ抹持17
ている。中央の舌片252はじ一] ’j’I yit
、i部で以って保持部材246 Vc結合されていイ)
4、板はねの前述のような構成によ妙イ1−効なばね長
さが2倍になる3、こノしにより、!に久磁石242の
浮動]!巨離が仮ばねの舌片の有効I(さの1イリ舎で
、すなわち1.2の割合で減少さJ[る。
と同じように2つの板ばね248を介して案内さilて
おり、これらの板ばねはフレームの窓2.14とは朕の
側の脚部に固定されている。第12図〜第15図の実施
例においては、第4図及び第5図の実施例と異なって第
15図から明らかなように梢1状に外側の2つの舌片2
50と中火の1つの舌片252忙備えて構成さ4した4
反はね248が設けられている。、これらの板ばね24
8はそ扛ぞれ外側の舌片250の端部で以って、〕l/
−ノ・の窓2・14の形成された側の脚部内に緊定され
ている。3つの舌片を結合するウコユブは、ここでtよ
ゾレート状に構成された保持体25・lに結合されてお
り、この1呆持体は中火に永久磁石2・12ケ抹持17
ている。中央の舌片252はじ一] ’j’I yit
、i部で以って保持部材246 Vc結合されていイ)
4、板はねの前述のような構成によ妙イ1−効なばね長
さが2倍になる3、こノしにより、!に久磁石242の
浮動]!巨離が仮ばねの舌片の有効I(さの1イリ舎で
、すなわち1.2の割合で減少さJ[る。
従って測定範囲が相応に拡大される。
特に永久磁石を有する実が9例のヒスブリシス損を減少
さぜるためシ′ζ、有利には磁気JJ(抗々〕果素子の
下に軟線+!!1.+*科から成る薄い層が配置さil
る。この層はほぼ0.2〜0.5+lll11の厚さで
1−づlである。
さぜるためシ′ζ、有利には磁気JJ(抗々〕果素子の
下に軟線+!!1.+*科から成る薄い層が配置さil
る。この層はほぼ0.2〜0.5+lll11の厚さで
1−づlである。
図面は、4:発明の実施(&11を小ずものであ≦〕て
、第1図は永久磁石をイ1する実施例のUill ′)
Jl装置の概!格的な断面図及び回路図、第2図は電気
(直イjを有する実施例の概略図、第3図は”If気4
’ri’iイlケ有する別の実施例の概略図、第・1図
d:測ガ゛1も置の測定センサの配置形式k /Jくず
図、第5図は第4図のv−v線に沿った断面図、第6図
は測5.Lセンサの別の配[6−1し式を示す図、第7
図及び第8図は測定アタ゛シタの配置形式を示す図、第
9図は測定装;^′、の別の実施例の断面図、第10図
ばさらに別の実施例の第11図のX−X線に沿つ/・−
断面図、第11図は第10図のXI−XI線に沿−)だ
断面図、第121iはさらに別の実姉例を示す図、第1
3図は第12図のXlll−X1ll線に沿った断面図
、第14図は第12図のx■−xtv線しτ沿った断面
図、第15図は第12図の実施例の板ばねの平面図であ
る。
、第1図は永久磁石をイ1する実施例のUill ′)
Jl装置の概!格的な断面図及び回路図、第2図は電気
(直イjを有する実施例の概略図、第3図は”If気4
’ri’iイlケ有する別の実施例の概略図、第・1図
d:測ガ゛1も置の測定センサの配置形式k /Jくず
図、第5図は第4図のv−v線に沿った断面図、第6図
は測5.Lセンサの別の配[6−1し式を示す図、第7
図及び第8図は測定アタ゛シタの配置形式を示す図、第
9図は測定装;^′、の別の実施例の断面図、第10図
ばさらに別の実施例の第11図のX−X線に沿つ/・−
断面図、第11図は第10図のXI−XI線に沿−)だ
断面図、第121iはさらに別の実姉例を示す図、第1
3図は第12図のXlll−X1ll線に沿った断面図
、第14図は第12図のx■−xtv線しτ沿った断面
図、第15図は第12図の実施例の板ばねの平面図であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 111111定装置であって、第1の測定基準器のだめ
の保持部材としてのフレームと、第2の測定基準器のだ
めの、フレームに対して運動可1止な部材と、機械・電
気式の変換系とを備えて」?す、変換系の第1の手段が
フレームに取付けられかつ第2の手段がフレームに対し
て運動lT、1′化な保持部材に取付けられており、保
J−X1部材が第2の測定基準器のだめの部材に結合δ
れている形式のものにおいて、少なくとも1つの空隙を
備えかつ保持部材の運動方向に対して横方向に向いた磁
界を発生させる両界発生部材が設けられており、空隙内
に保持部材がM界に対して横方向に運動可能に配置さり
、ており、かつ空隙内に、保持部材の運動方向で間隔を
おいて配置されたそれぞれ2つの磁気抵抗効果素子を備
える2つの低気抵抗効果素子組が配置されており、磁気
抵抗効果素子の’zp;抗効果素子極がそれぞれ逆に向
けられており、保持部材の運動に際し、磁気抵抗効果素
子fiiliを透過する磁界を変える手:没が設けられ
ており、磁気抵抗効果素子の出力側がブリッジに接続さ
れており、ブリッジの一力の対角線分岐に測定値指示器
が接続さ7してよ3・す、他方の対角庫分岐に直流電圧
源がm i1’fされていることを特徴とする測定装置
。 2、 フレーム内に、互いに平行な極面を備え互いに;
間隔をおいて向き合う極が設けられでおり、1帆間に空
隙か形成されており、この空隙内で保持部(2が運動可
能である特、i′F請求の範囲第1項記載の測定装置。 3、 極が磁極として・1選成されている時計請求の範
囲第2項記載の測定装置。 4、 極Vこ永久磁石が配置されている′持NT I’
+O求の範囲第3項記載の測定装置3. 5、磁気抵抗効果素子徂が保持部材の逆向きの側に、そ
れぞれ磁、童に向かって位置するように配置されている
特許請求の範囲第3項記載の1lill定装置。 6 磁気抵抗効果素子組が磁極の極m■に配置されてお
り、保持部材に導磁性相別から成る可動子が配置されて
いるl博打1、−求の範囲第3項d己・(戊の tIl
l 定装置。 7、 磁極が永久磁石してよって形成されている特許請
求の範囲第3項記載の測定装置。 8 保持部材に保持部材の運動方向に対して横方向に位
置する永久磁石力律己l寛さ了しており、磁気抵抗効果
素子組が永久磁石の・■に対して、フレームの一部分若
しくはフレームに結合された部分に配置されており、フ
レームの一部分若しくはフレームに納会された部分がフ
レームと一緒に磁束帰路を形成している特許、i+’r
求のA4囲第1項記載の測1岨装置。 9 保持部材が互いに間隔をおいて配置された平r′テ
な2つの板ばねを介して案内されている・時I[請求の
範囲第1項記載の測定装置。 10 保持部イ4が少なくとも1つのダイヤプラムば
ねを用いて案内されている特許請求の範囲第1項記載の
測定装置。 11、ダイヤプラムばねが流体によってvj、荷可能な
室の運動可能な壁として構成されている特許請求の範囲
第10項記載の4111定装置。 12 保持部材が一方の端7゛〜bで以ってダイヤプラ
ムばねに結合されかつこのダイヤプラムばねに保持さI
している特許請求の範囲第1o1.J′l記載の測定装
置。 1;3 運動可能な保持部材が片側で旋回ijJ能に
懸架されていて、自由端部に第2の測定基(q、型針保
持している′特許請求の範囲第1項記載の測定装置。 14 連動可能な保持部材に旋回ヒンジから異なるj
’il隔をおいて複数の可動子が配置−,!iており、
これらの+11動子がそ71.それ所属の磁気抵抗効果
素子組と協働するようになっている特π「56求の範囲
第13項記載の測定装(6”、。 15 運動可)化な保持部拐に、旋回ヒンジから異な
る1iJ5隔をおいて複数の永久磁石が配置されており
、これらの永久磁石がそれぞれ所属の磁気1よ(抗効果
素子組と協働するようになっている特許請求の範囲第1
3項記載の測定装置。 16 フレームがリング状に構成されており、極がフ
レームの内周面から突出して゛・、・す、保持部材がフ
レームの軸虜方向に移動可能に支承さ)1.ている特許
請求の範囲第2項記戦の測定装置。 17 フレームがガ形に構成されており、フレームの
1ii1[:] I則がプレートによって被われており
、プレートの内側にそれぞれ互いに向き付って磁気抵抗
効果素子組力i装置さイ′しており、フレームの脚部に
窓が配置さη、ており、窓内で保持部材が平行な2つの
板ばねを介してフレームの脚部に対して平行に案内され
ており、保持部材のフンーム内部に向いたfullに保
持部イオの運動に際し、磁気抵抗効果素子組を透過する
磁界を変化させる手段が設けられている特)n’ 1i
jv求の範囲第2項記載の測定装置。 18 フレーム及び保持部材が測定センザ若しくは測
定アダシタを取付けるだめのねじ孔を備えている羽’
ij″l栢求の範囲第1項記載の測定装置。 19、測定センサとしてねじ孔内にねじ込みI11′能
な測定プロットが設けられて眺るノ1.11.汗晶求の
範囲第18項、記載の測定装置。 20 測定アゲシタとして保持部口の運動方向に対し
て横方向にそハも保持部材の運動方向で相前後して延び
る枚数の測定センサ1呆持体が設けられて:、−リ、こ
れらの?+lll定七ンザ保持体に測定センサがそ7′
Lぞれ配置さノ1.でいる旬モ”11′1請求の範理第
18:LJl記載の測定裟jl。 21 保持14i(拐及びフレームに、保持t’rl
S材の運動方向に延びる受容スリットを1IIIiえ/
こ)A−り状の測定センサ保持体が双伺けられており、
測定センサ保持体の1外部に、保持部Uの運動方向に対
して横方向に延びるねじがそ扛ぞれ配置されており、こ
れらのねじが恢在しようとする工作物に・融合するよう
jfこなっている特許請求の範囲第18項記載の測定装
置61゜22 係舎部材と17で測定センサ保持体の
脚部内に、工作物に係合するプロットを備えだねじが配
置されている′特許請求の範囲第21項記・火の測定装
置。 2:3 磁気抵抗効′、4!、素子の下側に軟磁性材
料から成る層が配置されている特Y(、請求の範囲第1
項記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3224757.5 | 1982-07-02 | ||
DE3224757 | 1982-07-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5932803A true JPS5932803A (ja) | 1984-02-22 |
JPH0310046B2 JPH0310046B2 (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=6167446
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58118394A Granted JPS5932803A (ja) | 1982-07-02 | 1983-07-01 | 測定変換器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4532810A (ja) |
EP (1) | EP0100429B1 (ja) |
JP (1) | JPS5932803A (ja) |
AT (1) | ATE45807T1 (ja) |
DE (1) | DE3380447D1 (ja) |
DK (1) | DK165857C (ja) |
ES (1) | ES523793A0 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0665180U (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-13 | 登志男 楠 | 一輪車の補助輪取付具 |
JP2011522221A (ja) * | 2008-04-23 | 2011-07-28 | ボルグワーナー ベル システムズ ゲーエムベーハー | 燃焼室圧力の決定装置及び方法 |
JP2016133406A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | メレキシス テクノロジーズ エヌ ヴィ | 変位検出装置 |
KR20190109385A (ko) | 2018-03-16 | 2019-09-25 | 가부시키가이샤 코어덴탈 랩 요코하마 | 시적구, 및 의치의 제조 방법 |
KR20190120813A (ko) | 2017-03-30 | 2019-10-24 | 가부시키가이샤 지씨 | 시적 의치, 컴퓨터 프로그램 및 의치 제작 방법 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4607531A (en) * | 1984-06-08 | 1986-08-26 | Mts Systems Corporation | Torsional-axial extensometer with additional restraint to limit unnecessary movements |
US5074368A (en) * | 1986-06-13 | 1991-12-24 | K-Tron Technologies, Inc. | Self-calibrating apparatus for article input and removal monitoring system |
US4939445A (en) * | 1986-08-06 | 1990-07-03 | Mts Systems Corporation | Pivoted arm capacitive extensometer |
US4831738A (en) * | 1986-08-06 | 1989-05-23 | Mts Systems Corporation | Capacitive extensometer |
US4738325A (en) * | 1986-12-23 | 1988-04-19 | K-Tron International, Inc. | Hall effect weight transducer |
US5000274A (en) * | 1989-01-19 | 1991-03-19 | K-Tron International, Inc. | Weight sensor |
US5789915A (en) * | 1989-02-17 | 1998-08-04 | Nartron Corporation | Magnetic field energy responsive position sensing apparatus and method |
DE19581268B4 (de) * | 1994-09-22 | 2005-08-25 | Mts Systems Corp., Eden Prairie | Dehnungsmesser |
US5670876A (en) * | 1995-11-14 | 1997-09-23 | Fisher Controls International, Inc. | Magnetic displacement sensor including first and second flux paths wherein the first path has a fixed reluctance and a sensor disposed therein |
US6060881A (en) * | 1997-08-06 | 2000-05-09 | Fisher Controls International, Inc. | Flux shaping pole pieces for a magnetic displacement sensor |
US6515474B1 (en) | 1997-08-06 | 2003-02-04 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Linearized magnetic displacement sensor |
US6536469B2 (en) | 1999-06-29 | 2003-03-25 | Fisher Controls International, Inc. | Self-centering magnet assembly for use in a linear travel measurement device |
DE10009168A1 (de) * | 2000-02-26 | 2001-09-13 | Bosch Gmbh Robert | Messvorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Kraft |
US6909281B2 (en) | 2002-07-03 | 2005-06-21 | Fisher Controls International Llc | Position sensor using a compound magnetic flux source |
FR2851538B1 (fr) * | 2003-02-21 | 2006-04-28 | Bosch Gmbh Robert | Maitre-cylindre de vehicule automobile avec dispositif de detection d'actionnement d'un systeme de freinage |
CA2513831C (en) * | 2003-02-21 | 2010-12-07 | Fisher Controls International Llc | Magnetic position sensor with integrated hall effect switch |
DE102004011591A1 (de) * | 2004-03-10 | 2005-09-29 | Robert Bosch Gmbh | Verbindungselement |
NO20162030A1 (en) * | 2016-12-21 | 2018-06-22 | 4Subsea As | Strain sensor |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS576962U (ja) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2907897A (en) * | 1956-07-09 | 1959-10-06 | Howard H Sander | Pressure transducer |
US3025461A (en) * | 1958-04-02 | 1962-03-13 | Arnold O Fredrickson | Electrical measuring and control apparatus |
US2987669A (en) * | 1959-01-19 | 1961-06-06 | Gulton Ind Inc | Hall effect electromechanical sensing device |
US3187254A (en) * | 1961-04-06 | 1965-06-01 | Honeywell Inc | Control apparatus with magnetoresistive pickoff means |
US3162804A (en) * | 1961-09-15 | 1964-12-22 | Gen Precision Inc | Translating instrument employing hall-effect device |
US3575054A (en) * | 1969-03-12 | 1971-04-13 | United Aircraft Corp | Pressure sensing device |
US3818326A (en) * | 1971-06-23 | 1974-06-18 | Denki Onkyo Co Ltd | Rotary sensor using magnets resistance devices for detecting the rotation of a mechanical system |
DE2238525A1 (de) * | 1972-08-04 | 1974-02-14 | Siemens Ag | Anordnung zur erzeugung von elektrischen signalen mittels magnetfeldabhaengigen halbleiterbauelementen |
DE2940315C2 (de) * | 1978-10-10 | 1982-11-04 | Nippondenso Co., Ltd., Kariya, Aichi | Einrichtung zum Ermitteln des Drehwinkels eines Drehkörpers |
-
1983
- 1983-06-25 DE DE8383106225T patent/DE3380447D1/de not_active Expired
- 1983-06-25 EP EP83106225A patent/EP0100429B1/de not_active Expired
- 1983-06-25 AT AT83106225T patent/ATE45807T1/de not_active IP Right Cessation
- 1983-07-01 US US06/510,360 patent/US4532810A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-07-01 JP JP58118394A patent/JPS5932803A/ja active Granted
- 1983-07-01 DK DK303383A patent/DK165857C/da not_active IP Right Cessation
- 1983-07-01 ES ES523793A patent/ES523793A0/es active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS576962U (ja) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0665180U (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-13 | 登志男 楠 | 一輪車の補助輪取付具 |
JP2011522221A (ja) * | 2008-04-23 | 2011-07-28 | ボルグワーナー ベル システムズ ゲーエムベーハー | 燃焼室圧力の決定装置及び方法 |
JP2016133406A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | メレキシス テクノロジーズ エヌ ヴィ | 変位検出装置 |
WO2016117497A1 (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | メレキシス テクノロジーズ エヌ ヴィ | 変位検出装置 |
KR20190120813A (ko) | 2017-03-30 | 2019-10-24 | 가부시키가이샤 지씨 | 시적 의치, 컴퓨터 프로그램 및 의치 제작 방법 |
KR20190109385A (ko) | 2018-03-16 | 2019-09-25 | 가부시키가이샤 코어덴탈 랩 요코하마 | 시적구, 및 의치의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0100429A2 (de) | 1984-02-15 |
JPH0310046B2 (ja) | 1991-02-12 |
ES8404052A1 (es) | 1984-04-01 |
ES523793A0 (es) | 1984-04-01 |
EP0100429A3 (en) | 1987-02-04 |
DK165857B (da) | 1993-01-25 |
DK165857C (da) | 1993-06-21 |
US4532810A (en) | 1985-08-06 |
DK303383D0 (da) | 1983-07-01 |
DE3380447D1 (en) | 1989-09-28 |
ATE45807T1 (de) | 1989-09-15 |
EP0100429B1 (de) | 1989-08-23 |
DK303383A (da) | 1984-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5932803A (ja) | 測定変換器 | |
ATE257248T1 (de) | Vorrichtung zur hochauflösenden messung von magnetischen feldern | |
DE3473921D1 (en) | Measuring device for the "contactless" measurement of large thicknesses, for metal materials above the curie temperature | |
JPH09508204A (ja) | 磁気センサー | |
JPS6442402U (ja) | ||
NO870257L (no) | Fremgangsmaate og apparat for avstandsmaaling. | |
US3133214A (en) | Linear motion sensing generator | |
GB1416940A (en) | Magnetic field-sensing apparatus | |
ES2199811T3 (es) | Sensor de corriente. | |
GB378983A (en) | Apparatus for measuring magnetically the thickness of iron plates and the like | |
Seavey Jr | Galvanomagnetic effects in ferromagnetic resonance | |
ES536907A0 (es) | Dispositivo para lectura y cancelacion de tarjetas de credito, tarjetas de identidad o similares | |
Moll | On a Coil-Galvanometer of Rapid Indication | |
SU769331A1 (ru) | Дифференциально-транспортный датчик | |
Zatsepin et al. | Theory of a superposed linear transducer | |
Burt et al. | The lack of evidence for ELF magnetic-field effects on bilayer membranes and reconstituted membrane channels | |
JPS55144505A (en) | Magnetic scale device | |
SU1138671A2 (ru) | Преобразователь магнитной анизотропии | |
Valjus | Physiological effects of extremely low frequency electric and magnetic fields | |
Toepler | On the experimental determination of diamagnetism by its electrical inductive action | |
SU1636806A1 (ru) | Датчик дл измерени поверхностной плотности зар да | |
JPS55155265A (en) | Device for measuring magnetic permeability | |
JPS57199953A (en) | Eddy current test equipment | |
JPS58147602A (ja) | 変位変換器 | |
SU568917A1 (ru) | Трехкомпонентный датчик магнитной индукции |