JPS5930059A - 空気−燃料比センサ - Google Patents
空気−燃料比センサInfo
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- JPS5930059A JPS5930059A JP57139880A JP13988082A JPS5930059A JP S5930059 A JPS5930059 A JP S5930059A JP 57139880 A JP57139880 A JP 57139880A JP 13988082 A JP13988082 A JP 13988082A JP S5930059 A JPS5930059 A JP S5930059A
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- Japan
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- electrode
- bonding pad
- fuel ratio
- air
- solid electrolyte
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/417—Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
- G01N27/419—Measuring voltages or currents with a combination of oxygen pumping cells and oxygen concentration cells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N9/00—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/4067—Means for heating or controlling the temperature of the solid electrolyte
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不発ｑ ｒ、ｘ 、エンジンへ供給された空気−燃料の
混合比全検出するセンサに係シ、時に排ガス中の酸素分
子の状態に応答して出力を出す空気−燃料比センサ 関
する。
混合比全検出するセンサに係シ、時に排ガス中の酸素分
子の状態に応答して出力を出す空気−燃料比センサ 関
する。
公知ば 、気−燃料比セ／すは、酸素イオンを伝導する
固体を解質の両面に対向する電極を設け、該電極の一方
を大気に接触させ、上記排ガス中の酸素濃度の比に応じ
た電圧を上記電極間に生じさせるものである。
固体を解質の両面に対向する電極を設け、該電極の一方
を大気に接触させ、上記排ガス中の酸素濃度の比に応じ
た電圧を上記電極間に生じさせるものである。
しかしながら、このような空気−燃料比センサでは大気
中の酸素濃度を基準として排ガスの状態が検出されてし
まうものでるり、排ガスの検出基準を変えることはでき
ないものであった。したがって理論空燃比の条件でステ
ップ状に変化する出力が得られるのみで、この条件を変
えることはできなかった。
中の酸素濃度を基準として排ガスの状態が検出されてし
まうものでるり、排ガスの検出基準を変えることはでき
ないものであった。したがって理論空燃比の条件でステ
ップ状に変化する出力が得られるのみで、この条件を変
えることはできなかった。
本発明者は、先に、基準電極側の酸素濃度全適切な値に
設定可能な空気−燃料比センサを発明しく％公昭５６−
３４０５８号公報）、本願は上記発明に基づき、排ガス
の検出基準を変えることのできることはもちろんのこと
、量産が極めて容易でエンジンの低温始動直後から作動
させることのできる空気−燃料比センサを提供すること
にめる。
設定可能な空気−燃料比センサを発明しく％公昭５６−
３４０５８号公報）、本願は上記発明に基づき、排ガス
の検出基準を変えることのできることはもちろんのこと
、量産が極めて容易でエンジンの低温始動直後から作動
させることのできる空気−燃料比センサを提供すること
にめる。
このような目的を達成するために、本発明は、排ガスと
接するように設けられた第１の電極と、酸素會キむガス
に接触するように設けられた第２の電極と、これら各′
ａｔ極と対向して設けられた第３の電極と、前記第１と
第３、第２と第３の電極との間に設けられた酸素イオン
伝導性を有する固体電解質体とを有し、第２と第３の電
極間に酸素イオンの移動が生ずるようにしたものにおい
て、前記第３の電極に電流を流して前記固体電解質体を
加熱できるようにしたものでおる。
接するように設けられた第１の電極と、酸素會キむガス
に接触するように設けられた第２の電極と、これら各′
ａｔ極と対向して設けられた第３の電極と、前記第１と
第３、第２と第３の電極との間に設けられた酸素イオン
伝導性を有する固体電解質体とを有し、第２と第３の電
極間に酸素イオンの移動が生ずるようにしたものにおい
て、前記第３の電極に電流を流して前記固体電解質体を
加熱できるようにしたものでおる。
以下、実施例を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）は本発明による空気
−燃料比センサの実施例を示す断面図でおる。まず、第
１図（ａ）に示すように、固体［ｊ９＝Ｆ質体ｌおよび
２がめシ、この固体４解、Ｋ体１．２はいずれも板状と
なっている。この固体電解質体１．２の材料はたとえは
安定化ジルコニア等からなるもので、グリーンシート工
法等によ多形成される。安定化剤にはイツトリア、カル
シア等、焼結助剤としてアルミナ、シリカ等力祐己合さ
れるものである。固体電解質体１．２金板状とすること
により、半導体プロセスと同様の設備によりウェーハ板
からチップ板を切り出し量産ラインに乗せることができ
る。固体電解質体１，２０両面に形成される電極間距離
をばらつきなく設定することができる。さらに、固体電
解質体を予め板状に成型、焼成することによυ、必要な
寸法に研摩して電極間距離の精度と面粗さを向上させる
ことができる等の効果を有するものとなる。そして、固
体電解質体１の両面にはそれぞれ第１電極Ｐ’ｌ 、第
３電極Ｐ３が形成され、また固体電解質体２の両面には
それぞれ第３電極ＰＩ％第２電極Ｐ２が形成されてお９
、各固体電極１および２は、前記各第３電極Ｐ３が当接
する状態で配置されている。また、第１図（ｂ）に示す
構成においては、一枚の固体電解質体３の一面において
それぞれ電気的に分離された第１′藏極Ｐ１および第２
電極Ｐ２が形成され、他面において、前記第１電極Ｐ１
、第２電極Ｐ２と対向する形態にてＭ３電極Ｐ３が形成
されている。さらに、薗１図（Ｃ）に示す構成において
は、前述した第１図（ａ）に示す構成と類似する形態を
採シ、固体電解質体１および２との間にスペーサ４が介
在され、各固体電解質体１，２の第３電極Ｐ３が離間さ
れた配置となっている。
−燃料比センサの実施例を示す断面図でおる。まず、第
１図（ａ）に示すように、固体［ｊ９＝Ｆ質体ｌおよび
２がめシ、この固体４解、Ｋ体１．２はいずれも板状と
なっている。この固体電解質体１．２の材料はたとえは
安定化ジルコニア等からなるもので、グリーンシート工
法等によ多形成される。安定化剤にはイツトリア、カル
シア等、焼結助剤としてアルミナ、シリカ等力祐己合さ
れるものである。固体電解質体１．２金板状とすること
により、半導体プロセスと同様の設備によりウェーハ板
からチップ板を切り出し量産ラインに乗せることができ
る。固体電解質体１，２０両面に形成される電極間距離
をばらつきなく設定することができる。さらに、固体電
解質体を予め板状に成型、焼成することによυ、必要な
寸法に研摩して電極間距離の精度と面粗さを向上させる
ことができる等の効果を有するものとなる。そして、固
体電解質体１の両面にはそれぞれ第１電極Ｐ’ｌ 、第
３電極Ｐ３が形成され、また固体電解質体２の両面には
それぞれ第３電極ＰＩ％第２電極Ｐ２が形成されてお９
、各固体電極１および２は、前記各第３電極Ｐ３が当接
する状態で配置されている。また、第１図（ｂ）に示す
構成においては、一枚の固体電解質体３の一面において
それぞれ電気的に分離された第１′藏極Ｐ１および第２
電極Ｐ２が形成され、他面において、前記第１電極Ｐ１
、第２電極Ｐ２と対向する形態にてＭ３電極Ｐ３が形成
されている。さらに、薗１図（Ｃ）に示す構成において
は、前述した第１図（ａ）に示す構成と類似する形態を
採シ、固体電解質体１および２との間にスペーサ４が介
在され、各固体電解質体１，２の第３電極Ｐ３が離間さ
れた配置となっている。
以下、−例とし前記第１図（ｂ）に示した構成からなる
空気−燃料比センサの具体列を第２図（ａ） 、 （ｂ
） 。
空気−燃料比センサの具体列を第２図（ａ） 、 （ｂ
） 。
＜ｃ＞を用いて説明する。第２図（ａ）は平面図、第２
図（ｂＪは断面図、第２図（Ｃ）は底面図全示している
。固体電解質体３の主表面にはたとえば触媒性能を有す
る白金族材を多孔膜状に形成するため、厚ノｍ貴金属導
体ペーストヲ全面に印刷、焼成する方法で導体ノーヲ形
成した後、蛇行状の溝５を形成することによシ、それぞ
れ電気的に絶縁された第１電極Ｐｌ、および第２成極Ｐ
２が形成されて釣る。このような第１（極Ｐ１、第２電
極Ｐ２が形成された固体電解質体３の一端辺近傍には、
前記第１電極Ｐｌ上にポンディングパッドＢ１、第２電
極Ｐｚ上にポンディングパッドＢ２が形成されている。
図（ｂＪは断面図、第２図（Ｃ）は底面図全示している
。固体電解質体３の主表面にはたとえば触媒性能を有す
る白金族材を多孔膜状に形成するため、厚ノｍ貴金属導
体ペーストヲ全面に印刷、焼成する方法で導体ノーヲ形
成した後、蛇行状の溝５を形成することによシ、それぞ
れ電気的に絶縁された第１電極Ｐｌ、および第２成極Ｐ
２が形成されて釣る。このような第１（極Ｐ１、第２電
極Ｐ２が形成された固体電解質体３の一端辺近傍には、
前記第１電極Ｐｌ上にポンディングパッドＢ１、第２電
極Ｐｚ上にポンディングパッドＢ２が形成されている。
このようなポンディングパッドとしてはたとえば白金導
体ベースｌ印刷、焼成して形成されるものである。さら
に、固体を解質体３の主表面には前記第１電極Ｐ１％第
２電極Ｐ２金被って多孔質セラミック層６が被覆されて
いる。この多孔質セラミック層６は、第１を極Ｐ１％第
２電極Ｐ２がＩｆｔ接排ガスに触れるのを防止するため
の層でｓｂ、前記排ガスに対する透過性、触媒性能を有
するほか、前記固体電解質体３とほぼ同じ熱膨張係数を
有する材料からなっている。
体ベースｌ印刷、焼成して形成されるものである。さら
に、固体を解質体３の主表面には前記第１電極Ｐ１％第
２電極Ｐ２金被って多孔質セラミック層６が被覆されて
いる。この多孔質セラミック層６は、第１を極Ｐ１％第
２電極Ｐ２がＩｆｔ接排ガスに触れるのを防止するため
の層でｓｂ、前記排ガスに対する透過性、触媒性能を有
するほか、前記固体電解質体３とほぼ同じ熱膨張係数を
有する材料からなっている。
さらに、固体電解質体３の裏面には、第２図（Ｃ）に示
すように、たとえば金等の弱触媒性または非Ｍｉ媒性の
耐熱性を有する厚膜貴金属導体ペーストを全面に印刷、
焼成する方法で導体層を形成した後、くシ型の溝を形成
することによシ一端から他端にかけて細線状の蛇行配置
がなされる導体層が形成されている。そして、この導体
層の各端上にはそれぞれポンディングパッドｌ３ａｌｔ
ＢＳ２が形成されている。また、固体電解質３のＪＡ
面には前記第３岨極Ｐ３を被って気密質セラミック層７
が被覆されている。この気密質セラミック層７の材質は
化学的に安定で電気絶縁性の良好なガラスを基体とする
セラミック添加材とし、その組織は独立気孔あるいは無
気孔質からなるものである。このような材質を選択する
ことによシ、排ガスは第３電極Ｐ３に触れるのを防止で
き、また、第２電極Ｐ２、第３邂匝Ｐ３間に酸素イオン
の移動を行なわせた際に、第３ Ｆｌ極Ｐ３と固体’１
ｌｉｌ質体３との界面での酸素イオン濃度が排ガス中に
拡散して変化してしまうのを防止できるものである。
すように、たとえば金等の弱触媒性または非Ｍｉ媒性の
耐熱性を有する厚膜貴金属導体ペーストを全面に印刷、
焼成する方法で導体層を形成した後、くシ型の溝を形成
することによシ一端から他端にかけて細線状の蛇行配置
がなされる導体層が形成されている。そして、この導体
層の各端上にはそれぞれポンディングパッドｌ３ａｌｔ
ＢＳ２が形成されている。また、固体電解質３のＪＡ
面には前記第３岨極Ｐ３を被って気密質セラミック層７
が被覆されている。この気密質セラミック層７の材質は
化学的に安定で電気絶縁性の良好なガラスを基体とする
セラミック添加材とし、その組織は独立気孔あるいは無
気孔質からなるものである。このような材質を選択する
ことによシ、排ガスは第３電極Ｐ３に触れるのを防止で
き、また、第２電極Ｐ２、第３邂匝Ｐ３間に酸素イオン
の移動を行なわせた際に、第３ Ｆｌ極Ｐ３と固体’１
ｌｉｌ質体３との界面での酸素イオン濃度が排ガス中に
拡散して変化してしまうのを防止できるものである。
このように構成した空気−燃料比センサは、第１電極Ｐ
１、第３シ極Ｐ３間にて、両極の固体電解質体３との界
面における酸素濃度比に比例した出力電圧が発生するよ
うになる。第２電極Ｐ２、第３′醒極Ｐ３との間に酸素
イオンの移動がある場合、第２電極Ｐ２界而では酸素イ
オンと酸素ガスとの置換が行なわれ、さらに酸素ガスは
多孔質セラミック層６を介して排ガス中に拡散するよう
になる。
１、第３シ極Ｐ３間にて、両極の固体電解質体３との界
面における酸素濃度比に比例した出力電圧が発生するよ
うになる。第２電極Ｐ２、第３′醒極Ｐ３との間に酸素
イオンの移動がある場合、第２電極Ｐ２界而では酸素イ
オンと酸素ガスとの置換が行なわれ、さらに酸素ガスは
多孔質セラミック層６を介して排ガス中に拡散するよう
になる。
なお、一般に第３醒極Ｐ３は第１１１１極Ｐ１、第２屯
極Ｐ２と比べて触媒性能比が大きい場合に、出力重圧感
度がより以上に高まることが判っている。さらに、第３
醒極Ｐ３は排ガスからは隔離され、その界面の酸素分圧
は全て酸素イオンの移送によるものとするとき検出すべ
き空燃比積度が向上することが判っている。このため、
第３電極Ｐ３と固体電解質体３との界面で可及的表面積
を大きくと如、互いに機械的、電気化学的に密着してい
ることが好ましい。
極Ｐ２と比べて触媒性能比が大きい場合に、出力重圧感
度がより以上に高まることが判っている。さらに、第３
醒極Ｐ３は排ガスからは隔離され、その界面の酸素分圧
は全て酸素イオンの移送によるものとするとき検出すべ
き空燃比積度が向上することが判っている。このため、
第３電極Ｐ３と固体電解質体３との界面で可及的表面積
を大きくと如、互いに機械的、電気化学的に密着してい
ることが好ましい。
前記空気−燃料比センサの製造方法の一実施例を以下示
すと、ウエーノ・板を用意し、この一枚のウェーハ板は
６０×６０１Ｗ０ｍ！、チップ板寸法は５×１（ｈｗ”
の７２ケ取シとする。ウェーノー板の厚さは０．２５ｍ
とし、レーザによるスクライビング電力を軽減するとと
もに、固体電解質体を排ガス中で３００Ｃに定温度制御
するのに要する加熱電力を４Ｗ以下に低減する。ウエー
ノ・板は第１．第２電極として白金、第３電極として金
をそれぞれ両面にスパッタリングすることによって膜厚
１．５μｍに形成し、熱処理後保護膜として白金側に安
定化ジルコニアを、金側にシリカと安定化ジルコニアを
同を比混合したものをそれぞれ高周波スノくツタリング
によ＃）０．５〜１．０μｍの膜として形成し熱処理し
て強化する。この際、保護膜はポンディングパッドの部
分においてはマスキングによシｙＭ ｔｉ Ｌ ｆｚ
イ。その後、レーザによりチップ板に切り出す。ポンプ
イングツ（ラドにステンレス鋼のリードをワイヤボンデ
ィングし、これ全栓体に取付けた後、安定化ジルコニア
を両面にプラズマ溶射する。
すと、ウエーノ・板を用意し、この一枚のウェーハ板は
６０×６０１Ｗ０ｍ！、チップ板寸法は５×１（ｈｗ”
の７２ケ取シとする。ウェーノー板の厚さは０．２５ｍ
とし、レーザによるスクライビング電力を軽減するとと
もに、固体電解質体を排ガス中で３００Ｃに定温度制御
するのに要する加熱電力を４Ｗ以下に低減する。ウエー
ノ・板は第１．第２電極として白金、第３電極として金
をそれぞれ両面にスパッタリングすることによって膜厚
１．５μｍに形成し、熱処理後保護膜として白金側に安
定化ジルコニアを、金側にシリカと安定化ジルコニアを
同を比混合したものをそれぞれ高周波スノくツタリング
によ＃）０．５〜１．０μｍの膜として形成し熱処理し
て強化する。この際、保護膜はポンディングパッドの部
分においてはマスキングによシｙＭ ｔｉ Ｌ ｆｚ
イ。その後、レーザによりチップ板に切り出す。ポンプ
イングツ（ラドにステンレス鋼のリードをワイヤボンデ
ィングし、これ全栓体に取付けた後、安定化ジルコニア
を両面にプラズマ溶射する。
次に、このように構成した空気−燃料比センサの駆動方
法の一実施例について第３図を用いて説明する。固体電
解質体の裏面のボンディング／（ラドＢＨ＃ Ｂ”間に
定温度制御加熱電源８が接続され１両電極間抵抗が一定
となるように、ポンディングパッドＢ３２をベース電位
として負帰還制御されるようになっている。ポンプイン
グツくラドＢＩ、ポンディングパッド８８２間に定電流
電源９が接続され、第２電極Ｐ２と第３戒極Ｐ３との間
の固体室Ｓ置体３内を所定の酸素イオンが流れるように
ポンディングパッドＢｓａ金ベースとして負帰還制御さ
れるようになっている。さらに、第１電極Ｐ！のポンデ
ィングパッドＢｌおよび第３電極ｐｓのポンディングパ
ッドＢ３２との間に空燃比信号を所要のレベルに増幅す
るための検出増幅器１０が接続されている。そして、前
記定温度制御加熱電源８、定電流電源９、および検出増
幅器１０はシーク／す１１によって定められた手順にし
たがって作動するようになっている。
法の一実施例について第３図を用いて説明する。固体電
解質体の裏面のボンディング／（ラドＢＨ＃ Ｂ”間に
定温度制御加熱電源８が接続され１両電極間抵抗が一定
となるように、ポンディングパッドＢ３２をベース電位
として負帰還制御されるようになっている。ポンプイン
グツくラドＢＩ、ポンディングパッド８８２間に定電流
電源９が接続され、第２電極Ｐ２と第３戒極Ｐ３との間
の固体室Ｓ置体３内を所定の酸素イオンが流れるように
ポンディングパッドＢｓａ金ベースとして負帰還制御さ
れるようになっている。さらに、第１電極Ｐ！のポンデ
ィングパッドＢｌおよび第３電極ｐｓのポンディングパ
ッドＢ３２との間に空燃比信号を所要のレベルに増幅す
るための検出増幅器１０が接続されている。そして、前
記定温度制御加熱電源８、定電流電源９、および検出増
幅器１０はシーク／す１１によって定められた手順にし
たがって作動するようになっている。
次に、前記シーケンサの作動について説明する。
第４図に示すように、固体電解質体３内に第２電極Ｐ！
から酸素イオンを流している時間と、第１醒極Ｐ１で酸
素濃度を計測してりる時間とは適宜な比率でタイムシア
リングするとともに、必要に応じて酸素濃度計測時には
、槙３醒極Ｐ３からの加熱電流は遮断するようになって
いる。
から酸素イオンを流している時間と、第１醒極Ｐ１で酸
素濃度を計測してりる時間とは適宜な比率でタイムシア
リングするとともに、必要に応じて酸素濃度計測時には
、槙３醒極Ｐ３からの加熱電流は遮断するようになって
いる。
また、第５図に示すように、第１電極Ｐ１と第２を極Ｐ
２とに時間的に交互に、第３電極Ｐ３との間に酸素イオ
ンを流すとともに、酸素濃度の計測は前記の酸素イオン
を流さな９時間帯内に、第１電極ＰＩと第２電極Ｐ２と
を交互に行なうようになっている。
２とに時間的に交互に、第３電極Ｐ３との間に酸素イオ
ンを流すとともに、酸素濃度の計測は前記の酸素イオン
を流さな９時間帯内に、第１電極ＰＩと第２電極Ｐ２と
を交互に行なうようになっている。
このようにすれば、ヒータを第３電極Ｐ３と兼用するこ
とによシセンサを直接加熱でき、エンジンの低温始動直
後から作動させることができる。
とによシセンサを直接加熱でき、エンジンの低温始動直
後から作動させることができる。
したがって、従来のように排ガスで加熱する場合に比較
すると、アイドリンクはもちろんのこと低温始動直後が
ら空燃比のフィードバック制御が可能となる。また、固
体電解質体３に密着した第３電極Ｐ３によって加熱でき
るために加熱速度を著しく高めることができる。さらに
、固体電解質体３は薄く小形のチップ板としていること
から、その熱容赦を極めて小さくでき、作動温度に維持
するだめの電力を僅少とすることができる。固体電解質
体３が小形であるため、温度分布を均一にでき、その耐
熱衝撃性を考慮する必要性が軽減される。したがって、
より比抵抗の小さな組織に焼成すればよいこととなり、
結果的には、センサの内部抵抗が低減され、検出増幅器
の入力抵抗条件を容易にすることができる。
すると、アイドリンクはもちろんのこと低温始動直後が
ら空燃比のフィードバック制御が可能となる。また、固
体電解質体３に密着した第３電極Ｐ３によって加熱でき
るために加熱速度を著しく高めることができる。さらに
、固体電解質体３は薄く小形のチップ板としていること
から、その熱容赦を極めて小さくでき、作動温度に維持
するだめの電力を僅少とすることができる。固体電解質
体３が小形であるため、温度分布を均一にでき、その耐
熱衝撃性を考慮する必要性が軽減される。したがって、
より比抵抗の小さな組織に焼成すればよいこととなり、
結果的には、センサの内部抵抗が低減され、検出増幅器
の入力抵抗条件を容易にすることができる。
ざらに、本実施例によるセンサの製造においては、グリ
ーンシート法、厚膜印刷、焼成、薄膜スパッタリング、
レーザトリミング、レーザスクライビング、ワイヤボン
ディング等を使用できるものであり、これらの工法は半
導体装置の製造設備をそのまま利用してできるものであ
ることから、大量生産ラインに容易にのせることができ
るものである。
ーンシート法、厚膜印刷、焼成、薄膜スパッタリング、
レーザトリミング、レーザスクライビング、ワイヤボン
ディング等を使用できるものであり、これらの工法は半
導体装置の製造設備をそのまま利用してできるものであ
ることから、大量生産ラインに容易にのせることができ
るものである。
以上述べたことから明らかなように、本発明による空気
−燃料比センサによれば、量産が極めて容易でエンジン
の低温始動直後から作動させることのできるものを得る
ことができる。
−燃料比センサによれば、量産が極めて容易でエンジン
の低温始動直後から作動させることのできるものを得る
ことができる。
第１図（ａ）ないしくＣ）は本発明による空気−燃料比
センサの実施例を示す断面図、第２図（ａ）ないしくＣ
）は本発明による空気−燃料比センサの一実施例を示す
平面図、断面図、底面図、第３図は本発明による空気−
燃料比センナの駆動方法の一実施例を示す回路図、第４
図および第５図は前記駆動方法のシーケンスの実施例を
示すタイムチャートである。 １．２．３・・・固体電解質体、６・・・多孔質保護膜
、７・・・気密性保護膜、８・・・定温度制御加熱電源
、９・・・定成流電源、１０・・・検出増幅器、１１・
・・シーケンサ。 茅 １ 目 （久） ｒ、？ １１．２ 目 犀 ３ 図 １＃４ 目 茅５ 凶 茅３電藉 力Ｕ 熱
センサの実施例を示す断面図、第２図（ａ）ないしくＣ
）は本発明による空気−燃料比センサの一実施例を示す
平面図、断面図、底面図、第３図は本発明による空気−
燃料比センナの駆動方法の一実施例を示す回路図、第４
図および第５図は前記駆動方法のシーケンスの実施例を
示すタイムチャートである。 １．２．３・・・固体電解質体、６・・・多孔質保護膜
、７・・・気密性保護膜、８・・・定温度制御加熱電源
、９・・・定成流電源、１０・・・検出増幅器、１１・
・・シーケンサ。 茅 １ 目 （久） ｒ、？ １１．２ 目 犀 ３ 図 １＃４ 目 茅５ 凶 茅３電藉 力Ｕ 熱
Claims (1)
- １、排ガスと接するように設けられた第１の電極と、酸
素を含むガスに接触するように設けられた第２の電極と
、これら各′電極と対向して設けられた第３の電極と、
前記第１と第３、第２と第３の電極との間に設けられた
酸素イオン伝導性を有する固体電解質体とを有し、第２
と第３の電極間に酸素イオンの移動が生ずるようにした
ものにおいて、前記第３の電極に電流を流して前記固体
電解質体を加熱できるようにしたことを特徴とする空気
−燃料比センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139880A JPS5930059A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 空気−燃料比センサ |
| KR1019830003737A KR900005609B1 (ko) | 1982-08-13 | 1983-08-10 | 공기-연료비 센서 |
| EP83107893A EP0103169A3 (en) | 1982-08-13 | 1983-08-10 | Air fuel ratio sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139880A JPS5930059A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 空気−燃料比センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5930059A true JPS5930059A (ja) | 1984-02-17 |
Family
ID=15255717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139880A Pending JPS5930059A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 空気−燃料比センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0103169A3 (ja) |
| JP (1) | JPS5930059A (ja) |
| KR (1) | KR900005609B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62163662A (ja) * | 1986-01-11 | 1987-07-20 | Nippon Nousan Kogyo Kk | 犬猫用ペツトフ−ド |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006014266A1 (de) * | 2005-12-23 | 2007-06-28 | Robert Bosch Gmbh | Breitband-Lambdasonde |
Citations (3)
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| JPS55154450A (en) * | 1979-05-19 | 1980-12-02 | Nissan Motor Co Ltd | Air-fuel-ratio detector |
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Family Cites Families (7)
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|---|---|---|---|---|
| DE2913866A1 (de) * | 1979-04-06 | 1980-10-23 | Bosch Gmbh Robert | Messfuehler fuer die bestimmung von bestandteilen in stroemenden gasen |
| JPS55155859A (en) * | 1979-05-25 | 1980-12-04 | Towa Kogyo Kk | Method of waterproofing |
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| US4332225A (en) * | 1980-10-02 | 1982-06-01 | General Motors Corporation | Internal combustion engine with oxygen sensor heater control |
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| DE3127472A1 (de) * | 1981-07-11 | 1983-01-20 | Brown, Boveri & Cie Ag, 6800 Mannheim | "elektrochemische messzelle" |
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1982
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-
1983
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- 1983-08-10 EP EP83107893A patent/EP0103169A3/en not_active Ceased
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS62163662A (ja) * | 1986-01-11 | 1987-07-20 | Nippon Nousan Kogyo Kk | 犬猫用ペツトフ−ド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR840006074A (ko) | 1984-11-21 |
| EP0103169A2 (en) | 1984-03-21 |
| KR900005609B1 (ko) | 1990-07-31 |
| EP0103169A3 (en) | 1984-07-25 |
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