JPH02185314A - 放電加工方法 - Google Patents
放電加工方法Info
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- JPH02185314A JPH02185314A JP48589A JP48589A JPH02185314A JP H02185314 A JPH02185314 A JP H02185314A JP 48589 A JP48589 A JP 48589A JP 48589 A JP48589 A JP 48589A JP H02185314 A JPH02185314 A JP H02185314A
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- resistance
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- discharge
- discharge machining
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Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 claims description 10
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
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- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、被加工物と主電極との間に放電を発生させて
加工を行なう放電加工方法に関する。
加工を行なう放電加工方法に関する。
(従来の技術)
第4図はワイヤ放電加工を示す図であって、被加工物1
に対してワイヤ電極2が配置されている。そして、これ
ら被加工物1とワイヤ電極2との間に被加工物1を正極
(+)として直流電源3が接続されている。これにより
、被加工物1に対してワイヤ電極2が所定距離になると
被加工物1とワイヤ電極2との間に放電が発生して被加
工物1が加工される。
に対してワイヤ電極2が配置されている。そして、これ
ら被加工物1とワイヤ電極2との間に被加工物1を正極
(+)として直流電源3が接続されている。これにより
、被加工物1に対してワイヤ電極2が所定距離になると
被加工物1とワイヤ電極2との間に放電が発生して被加
工物1が加工される。
ところで、かかる放電加工では被加工物1として金属の
加工が行われている。そして、この金属はその抵抗値が
10−5〜10−4Ω(至)オーダのものとなっている
。一方、放電加工での放電回路つまり直流電源3から見
た等両回路は、放電ギャップ抵抗や放電ギャップ容量等
によりインダクタンス、抵抗及びコンデンサの直列回路
となっている。そして、この放電回路は、上記の抵抗値
を持った金属の被加工物1が最も良い効率で加工が行え
るように振動回路に形成されている。しかるに、その放
電電流は第5図に示すように時間経過とともに振動する
。なお、実際の放電加工では第5図に示す放電電流のう
ち第2半波以降はカットされている。
加工が行われている。そして、この金属はその抵抗値が
10−5〜10−4Ω(至)オーダのものとなっている
。一方、放電加工での放電回路つまり直流電源3から見
た等両回路は、放電ギャップ抵抗や放電ギャップ容量等
によりインダクタンス、抵抗及びコンデンサの直列回路
となっている。そして、この放電回路は、上記の抵抗値
を持った金属の被加工物1が最も良い効率で加工が行え
るように振動回路に形成されている。しかるに、その放
電電流は第5図に示すように時間経過とともに振動する
。なお、実際の放電加工では第5図に示す放電電流のう
ち第2半波以降はカットされている。
ところが、上記構成の放電回路を用いて高抵抗値10−
’−100Ω■オーダの被加工物1例えばセラミックを
加工すると、放電回路における抵抗分が大きくなって放
電回路は振動回路から減衰回路に変わってしまう。従っ
て、放電電流は第6図に示すようにそのピーク値が非常
に低下してしまう。
’−100Ω■オーダの被加工物1例えばセラミックを
加工すると、放電回路における抵抗分が大きくなって放
電回路は振動回路から減衰回路に変わってしまう。従っ
て、放電電流は第6図に示すようにそのピーク値が非常
に低下してしまう。
このため、異常放電が発生したり、又ショートが起こっ
て放電加工が不可能となっていた。
て放電加工が不可能となっていた。
(発明が解決しようとする課WJ)
以上のように高抵抗の被加工物を放電加工しようとする
と、異常放電などが発生して放電加工の効率が低下する
ばかりでなく放電加工が不可能となっていた。
と、異常放電などが発生して放電加工の効率が低下する
ばかりでなく放電加工が不可能となっていた。
そこで本発明は、高抵抗の被加工物でも効率良く放電加
工ができる放電加工方法を提供することを目的とする。
工ができる放電加工方法を提供することを目的とする。
[発明の構成]
(課題を解決するための手段と作用)
本発明は、主電極と被加工物との間に直流電源から電圧
を印加して主電極と被加工物との間に放電を発生させて
被加工物を加工する放電加工方法において、被加工物が
高抵抗の場合に直流電源から被加工物及び主放電電極を
経て直流電源に戻る電気回路を減衰回路に設定するよう
にした放電加工方法である。
を印加して主電極と被加工物との間に放電を発生させて
被加工物を加工する放電加工方法において、被加工物が
高抵抗の場合に直流電源から被加工物及び主放電電極を
経て直流電源に戻る電気回路を減衰回路に設定するよう
にした放電加工方法である。
(実施例)
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第1図は本発明方法を適用したワイヤ放電加工装置の構
成図である。同図において10は高抵抗10−3Ω■以
上の被加工物であって、例えばセラミックとなっている
。この被加工物10の加工部分にはワイヤ電極11が配
置されている。そして、これら被加工物10とワイヤ電
極11との間には直流電源12が被加工物10を正極(
+)としてリード線13を介して接続されている。とこ
ろで、かかる装置の等価回路は第2図に示す通りである
。
成図である。同図において10は高抵抗10−3Ω■以
上の被加工物であって、例えばセラミックとなっている
。この被加工物10の加工部分にはワイヤ電極11が配
置されている。そして、これら被加工物10とワイヤ電
極11との間には直流電源12が被加工物10を正極(
+)としてリード線13を介して接続されている。とこ
ろで、かかる装置の等価回路は第2図に示す通りである
。
ここで、直流電源12は実際にはコンデンサCaに直流
電圧を印加してその充電電圧Vを用いているので、第2
図では直流電源12をコンデンサCaとして示しである
。そこで、放電回路の等価回路は、リード線13のリー
ド線抵抗R1間り一ド線13のインダクタンスL1リー
ド線13とワイヤ電極11との接触抵抗rl、被加工物
10とワイヤ電極11との間のギャップにおける抵抗「
2、同ギャップにおける放電ギャップ容量Cg及び彼加
]−物10の抵抗Raが直列接続されたものとなってい
る。さて、以上のような放電回路では容量成分、例えば
コンデンサCaの容量が小さく設定されるとともにこの
コンデンサCaに印加される直流電圧が高く設定されて
いる。
電圧を印加してその充電電圧Vを用いているので、第2
図では直流電源12をコンデンサCaとして示しである
。そこで、放電回路の等価回路は、リード線13のリー
ド線抵抗R1間り一ド線13のインダクタンスL1リー
ド線13とワイヤ電極11との接触抵抗rl、被加工物
10とワイヤ電極11との間のギャップにおける抵抗「
2、同ギャップにおける放電ギャップ容量Cg及び彼加
]−物10の抵抗Raが直列接続されたものとなってい
る。さて、以上のような放電回路では容量成分、例えば
コンデンサCaの容量が小さく設定されるとともにこの
コンデンサCaに印加される直流電圧が高く設定されて
いる。
ここで、上記等価回路に流れる放電電流lを求める。そ
こで、等価回路における合成インダクタンスをL01合
成抵抗をR,%合成容量をC,とすると次式が成立つ。
こで、等価回路における合成インダクタンスをL01合
成抵抗をR,%合成容量をC,とすると次式が成立つ。
そして、この式から放電電流iを求めると、i =p、
Atε#1’+psAtεp、tここで、 であり、又A I + A 2は積分定数で、初期条件
によって決定される。
Atε#1’+psAtεp、tここで、 であり、又A I + A 2は積分定数で、初期条件
によって決定される。
上記1)++i)2の根号の中の正負によって、p1+
p2は実数か複素数かになり、又根号の中が「0」
になればul+92は相等しい実数になる。これら3つ
の場合に応じて放電電流iは異なることになる。しかる
に、上記述べたように金属の被加工物を放電加工する場
合には放電回路は振動回路となワているので、 Ru<2F[77で丁 の回路定数に設定されている。ところが、被加工物10
を高抵抗に変えると放電回路は減衰回路となるが、本回
路では容量成分coを小さくすることによって L□/
Coを大きくしている。
p2は実数か複素数かになり、又根号の中が「0」
になればul+92は相等しい実数になる。これら3つ
の場合に応じて放電電流iは異なることになる。しかる
に、上記述べたように金属の被加工物を放電加工する場
合には放電回路は振動回路となワているので、 Ru<2F[77で丁 の回路定数に設定されている。ところが、被加工物10
を高抵抗に変えると放電回路は減衰回路となるが、本回
路では容量成分coを小さくすることによって L□/
Coを大きくしている。
すなわち、高抵抗の被加工物10を放14加工ずる場合
は、以上のように容量成分coを小さくするとともにコ
ンデンサCaに印加する直流電圧Vを高く設定する。こ
れにより、放電電流iは第3図に示すようにピーク値が
高くなるとともにそのパルス幅が短くなる。具体的には
放電電流iは第6図に示す放ff1ffi流と比較して
ピーク値が約10倍となるとともにパルス幅が約15分
の1となる。しかるに、このような放電電流iであれば
、被加工物10とワイヤ電極11との間に放電が発生し
て、被加工物10は加工される。つまり、放電電流iは
高抵抗の被加工物10を放電加工するのに十分となる。
は、以上のように容量成分coを小さくするとともにコ
ンデンサCaに印加する直流電圧Vを高く設定する。こ
れにより、放電電流iは第3図に示すようにピーク値が
高くなるとともにそのパルス幅が短くなる。具体的には
放電電流iは第6図に示す放ff1ffi流と比較して
ピーク値が約10倍となるとともにパルス幅が約15分
の1となる。しかるに、このような放電電流iであれば
、被加工物10とワイヤ電極11との間に放電が発生し
て、被加工物10は加工される。つまり、放電電流iは
高抵抗の被加工物10を放電加工するのに十分となる。
このように上記一実施例においては、被加工物10が高
抵抗の場合に容量成分C,を小さくするとともに被加工
物10とワイヤ電極11との間に印加する直流電圧Vを
高くしたので、ピーク値が高くかつパルス幅の短い放電
電流iを得ることができ、これにより被加工物10が1
0−1〜100Ω(至)オーダの高抵抗であっても放電
を発生させて加工を行なうことができる。
抵抗の場合に容量成分C,を小さくするとともに被加工
物10とワイヤ電極11との間に印加する直流電圧Vを
高くしたので、ピーク値が高くかつパルス幅の短い放電
電流iを得ることができ、これにより被加工物10が1
0−1〜100Ω(至)オーダの高抵抗であっても放電
を発生させて加工を行なうことができる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、上
記一実施例ではワイヤ放電加工に適用した場合について
説明したが、ワイヤ放電加工に限らず電解放電加工や平
板電極を用いた放電加工にも適用できる。
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、上
記一実施例ではワイヤ放電加工に適用した場合について
説明したが、ワイヤ放電加工に限らず電解放電加工や平
板電極を用いた放電加工にも適用できる。
[発明の効果〕
以上詳記したように本発明によれば、高抵抗の被加工物
でも効率良く放電加工ができる放電加工方法を提供でき
る。
でも効率良く放電加工ができる放電加工方法を提供でき
る。
第1図乃至第3図は本発明に係わる放電加工方法を説明
するための図であって、第1図は同方法を適用したワイ
ヤ放電加工装置の構成図、第2図は同装置の等価回路図
、第3図は同装置での放電電流を示す図、第4図乃至第
6図は従来技術を説明するための図である。 10・・・被加工物、11・・・ワイヤ電極、12・・
・直流電源、13・・・リード線、Ca・・・コンデン
サ、R・・・リード線抵抗、L・・・リード線インダク
タンス、「1・・・電極の接触抵抗、「2・・・放電ギ
ャップ抵抗、Cg・・・放電ギャップ容量、Ra・・・
被加工物抵抗。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第 1 図 第 第 図 図 狩間()Is) 第 図
するための図であって、第1図は同方法を適用したワイ
ヤ放電加工装置の構成図、第2図は同装置の等価回路図
、第3図は同装置での放電電流を示す図、第4図乃至第
6図は従来技術を説明するための図である。 10・・・被加工物、11・・・ワイヤ電極、12・・
・直流電源、13・・・リード線、Ca・・・コンデン
サ、R・・・リード線抵抗、L・・・リード線インダク
タンス、「1・・・電極の接触抵抗、「2・・・放電ギ
ャップ抵抗、Cg・・・放電ギャップ容量、Ra・・・
被加工物抵抗。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第 1 図 第 第 図 図 狩間()Is) 第 図
Claims (1)
- 主電極と被加工物との間に直流電源から電圧を印加して
前記主電極と前記被加工物との間に放電を発生させて前
記被加工物を加工する放電加工方法において、前記被加
工物が高抵抗の場合に前記直流電源から前記被加工物及
び前記主放電電極を経て前記直流電源に戻る電気回路を
減衰回路に設定することを特徴とする放電加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP48589A JPH02185314A (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 放電加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP48589A JPH02185314A (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 放電加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02185314A true JPH02185314A (ja) | 1990-07-19 |
Family
ID=11475071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP48589A Pending JPH02185314A (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 放電加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02185314A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007057948A1 (ja) * | 2005-11-16 | 2007-05-24 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | ワイヤ放電加工方法、半導体ウエハ製造方法及び太陽電池用セル製造方法 |
-
1989
- 1989-01-06 JP JP48589A patent/JPH02185314A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007057948A1 (ja) * | 2005-11-16 | 2007-05-24 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | ワイヤ放電加工方法、半導体ウエハ製造方法及び太陽電池用セル製造方法 |
JPWO2007057948A1 (ja) * | 2005-11-16 | 2009-04-30 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工方法、半導体ウエハ製造方法及び太陽電池用セル製造方法 |
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