JPS59230151A - Co sensor - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a CO sensor having high sensitivity especially to gaseous CO and a long life by using a sensitive body obtained by adding one or both of Cu and Cd to an alpha type ferric oxide in the specified range of ratios. CONSTITUTION:A gas sensitive body 1, contg. 0.1-50mol% total amt. of additives consisting of >=1 kind of Cu and Cd which are expressed in terms of CuO and CdO in alpha-Fe2O3, is manufactured by compression molding a mixture of alpha- Fe2O3 and >=1 kind of powdered CuO and CdO, and then sintering, or by printing a paste on a board, and calcining to form a sintered film. The sensitivity to CO of the sensitive body 1 can be improved by adding further 0.1-10wt% Au to the powder. When the sintering method is used, Pt wires for electrodes 3 and 4 are buried in the raw paste. A heater 2 is provided to the rear surface of the sensitive body 1, and the electrodes 3 and 4 are connected to pins 9 and 10 fixed to a header 13 and the lead wire of the heater 2 to pins 11 and 12. Finally a stainless steel net 14 is provided.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は可燃性ガスの検知に使用する複合金属酸化物半
導体を用いたＣｏセンナに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a Co senna using a composite metal oxide semiconductor for use in detecting combustible gases.

従来例の構成とその問題点 近年、可燃性ガスの検知素子材料について種々の研究開
発が活発化してきている。これは、一般家庭を中心に各
種工場などで可燃性ガスによる爆発事故や中毒事故が多
発し、大きな社会問題となっていることに強く起因して
いる。Conventional Structures and Their Problems In recent years, various research and developments have become active regarding materials for sensing elements for flammable gases. This is strongly attributable to the fact that explosions and poisoning accidents caused by flammable gases occur frequently, mainly in households and in various factories, and have become a major social problem.

特にこれらの中でも、プロパンガス、あるいは都市ガス
を検知するものについては、感度、信勅件のいずれにお
いてもかなシ高いレベルのものが開発され実用化される
に至っている。これらは。Among these, in particular, those that detect propane gas or city gas have been developed and put into practical use with extremely high levels of both sensitivity and reliability. these are.

例えば各種のガス漏れ警報器などに広く応用されている
。For example, it is widely applied to various gas leak alarms.

一方、い１ひとつのガス防災の社会ニーズとして、ＣＯ
の検知が話題になってきている。これは種々のガス機器
の普及と住宅構造の気密化が大きな背景となっている。On the other hand, as a social need for gas disaster prevention, CO
detection has become a hot topic. This is largely due to the spread of various gas appliances and the airtightness of housing structures.

すなわち、ガス器具の不完全燃焼あるいは火災の初期に
新建材などから発生するＧＯによる中毒の問題である。In other words, there is the problem of incomplete combustion of gas appliances or poisoning due to GO generated from new building materials in the early stages of a fire.

特に後者においては、火災による死因の大部分がこれに
属するため、極めて重要な社会問題となっている。とこ
ろが現在の時点においては−ＣＯを的確に検知出来る安
価で簡便なガスセンサがないのが実状であり、前述の社
会ニーズに十分応えていない状況にある。In particular, the latter is an extremely important social problem because it accounts for the majority of deaths caused by fire. However, at present, there is no inexpensive and simple gas sensor that can accurately detect -CO, and the above-mentioned social needs are not fully met.

その理由は、一般的な可燃性ガスを対象としたセンサの
場合には検知されるべき可燃性ガスの濃度が爆発下限界
の数分の１以上という程度であるのに対して−ＣＯ用セ
ンサの場合には極めて微量のＣＯを検知せねばならない
ことによる。すなわち−他の可燃性ガス用センザの場合
にはガス爆発を防ぐのが目的であるのに対して、ＣＯ用
センサの場合には、ＣＯ中毒の予防が主目的であり、そ
の量は爆発下限界に比べると極めて微量な値の検知を対
象としなければならないことによる。The reason for this is that in the case of a sensor for general combustible gases, the concentration of combustible gas to be detected is more than a fraction of the lower explosive limit; This is because in this case, extremely small amounts of CO must be detected. In other words, in the case of sensors for other combustible gases, the purpose is to prevent gas explosions, whereas in the case of CO sensors, the main purpose is to prevent CO poisoning, and the amount of CO is This is because the detection target must be an extremely small amount compared to the limit.

低価格で高い信頼性をもつ可燃性ガスセンサにおいては
高温に保持された酸化物半導体がしばしば用いられ、そ
の抵抗値変化を検知する様にしている。この酸化物半導
体にはＣＯに高感度で、あるいは選択的に感応する物質
も幾種類か見出されているが、残念ながら信頼性の面で
未だ十分なセンサが得られていないのが現状である。In low-cost, highly reliable combustible gas sensors, oxide semiconductors that are maintained at high temperatures are often used to detect changes in their resistance. Several types of oxide semiconductors have been found that are highly sensitive or selectively sensitive to CO, but unfortunately, sensors with sufficient reliability have not yet been obtained. be.

発明の目的 本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、ＧＯ
に高感度でかつ信頼性の高いＣＯセンサを実現するもの
である。Purpose of the Invention The present invention has been made in view of this situation, and is
The objective is to realize a highly sensitive and reliable CO sensor.

発明の構成 本発明はアルファ型酸化第２鉄（α−Ｆ＋９２０３　）
をガス感応体として用いたガス検知素子において、これ
に対する添加物の効果について検討している中で見出さ
れたものである。Structure of the Invention The present invention relates to alpha-type ferric oxide (α-F+9203).
This discovery was made while studying the effects of additives on gas sensing elements that use gas as a gas sensitive material.

すなわち１本発明のＣＯセンサは、ＣＵおよびＣｄのう
ち少なくともひとつが、それぞれＣＵＯ。That is, in the CO sensor of the present invention, at least one of CU and Cd is CUO.

ＣｄＯに換算して総量で０．１〜６０モル％含むα−Ｆ
ｅ　２０３をガス感応体として用いたものであり、また
さらにＡｕ　を０．１〜１Ｑ重量％添加することによっ
て−ガス感応特性とその信頼性が飛躍的に向上し、しか
も先述の微少量のＣＯに対しても実用上十分大きな感度
を実現し得ることを見出したことによってなされたもの
である。α-F containing 0.1 to 60 mol% in total in terms of CdO
By using e203 as a gas sensitive material and further adding 0.1 to 1Q wt% of Au, the gas sensitive characteristics and its reliability are dramatically improved. This was achieved by discovering that it was possible to achieve a sensitivity high enough for practical use.

実施例の説明 以下に本発明の詳細な説明する。Description of examples The present invention will be explained in detail below.

まず実施例１においては、α−Ｆ８２０３　　へのＣｕ
ＯとＣｄＯの添加量効果について述べる。First, in Example 1, Cu to α-F8203
The effects of the amounts of O and CdO added will be described.

〔実施例１〕 市販の塩化第２鉄（Ｆｅｅｌｓ　−６Ｈ２０）　３０９
と硫酸第１鉄（ＦｅＥ３０ａ　・７Ｈ２０）　ｅ　ｏ　
ｊｉを１１の水に溶かし、６０℃に保ちながら攪拌した
。この溶液の温度を５０　’（：　Ｋ保ちつつ、８規定
の水酸化アンモニウム（ＮＨ４０Ｈ）溶液をｅ　ｏ　ｃ
ｃ／ｍｉｎの割合で溶液の水素イオン濃度が７になるま
で滴下した。[Example 1] Commercially available ferric chloride (Feels-6H20) 309
and ferrous sulfate (FeE30a ・7H20) e o
ji was dissolved in 11 water and stirred while maintaining the temperature at 60°C. While maintaining the temperature of this solution at 50' (K), an 8N ammonium hydroxide (NH40H) solution was added to the e o c
The solution was added dropwise at a rate of c/min until the hydrogen ion concentration of the solution reached 7.

このようにして得られた粉体を空気中で１１０℃で乾燥
した。この乾燥物を空気中において４００℃で１時間の
熱処理を行なった。この熱処理粉体に、第１表に示した
組成になるように市販の酸化銅（ＣｕＯ）と酸化カドミ
ウムを加えた。そしてそれぞれの粉体をらいかい機で３
時間乾式混合した。The powder thus obtained was dried in air at 110°C. This dried product was heat-treated at 400° C. for 1 hour in air. Commercially available copper oxide (CuO) and cadmium oxide were added to this heat-treated powder so as to have the composition shown in Table 1. Then, each powder is 3
Dry mixed for an hour.

この粉体に２本の白金線を埋め込んで、直径２ｍｍ高さ
３ｍｍの円柱状に加圧成型し一空気中において６００℃
で時間の焼成を行なった。得られた多孔質の焼結体を検
知素子用ヘッダーにとりつけ、焼結体のまわシにコイル
状のヒータを配置し、防爆図・において、１は焼結体で
、２本の白金線からなる電極３．４が埋め込まれている
。２は焼結体１を加熱するためのヒータで、ヒータ用ピ
ン１１゜１２からヒータ用フレーム７．８を通じてヒー
タに電力が供給される。焼結体１の抵抗は電極３゜４か
らフレーム６．６を通してピン９，１ｏの間で測定され
るよう構成されている。ヒータ用ピン１１．１２および
ピン９，１ｏはヘッダー１３に固定され、ステンレス鋼
製金網１４はヘッダーにとりつけられている。Two platinum wires were embedded in this powder, which was then pressure-molded into a cylinder shape with a diameter of 2 mm and a height of 3 mm, and heated to 600°C in air.
Firing was performed for several hours. The obtained porous sintered body was attached to a sensing element header, and a coil-shaped heater was placed around the sintered body. An electrode 3.4 is embedded therein. Reference numeral 2 denotes a heater for heating the sintered body 1, and power is supplied to the heater from heater pins 11 and 12 through heater frames 7 and 8. The resistance of the sintered body 1 is arranged to be measured from the electrode 3.4 through the frame 6.6 between the pins 9, 1o. The heater pins 11, 12 and pins 9, 1o are fixed to the header 13, and the stainless steel wire mesh 14 is attached to the header.

以上のようにして得られたＣｏセセンについて一ガス感
応特性１通常使用温度（４００’Ｃ）での課電寿命を調
べた。Regarding the Co sesene obtained as described above, gas sensitivity characteristics 1. The lifespan under application of electricity at a normal operating temperature (400'C) was investigated.

ガス感応特性の測定方法は−あらかじめ検知素子のヒー
タ部に電流を流し、感応体の温度が４００℃になるよう
に調整しておき、それを容積の知られている測定箱内に
挿入した後、注射器でテスト用ガス（ＣＯガス（ｃｏ６
．０％とＮ２９５，０％との混合ガス）、およびＮ２ガ
ス（９９％以上））を測定箱内に注入し、ＧＯあるいは
Ｎ２の濃度が０．０１容量％（１００ｐＩ）ｍ　）に達
した時に焼結感応体の抵抗値を測定した。測定するガス
濃度を１１００ｐｐに選んだのは−ＣＯの労働衛生上の
許容濃度が１１００ｐｐであるため一少なくともこの濃
度以下で感応する必要があるからである。The method for measuring gas sensitivity characteristics is to apply a current to the heater part of the sensing element in advance, adjust the temperature of the sensing element to 400°C, and then insert it into a measuring box with a known volume. , test gas (CO gas (CO6) with a syringe
．． A mixed gas of 0% and N295.0%) and N2 gas (99% or more)) are injected into the measurement box, and when the concentration of GO or N2 reaches 0.01% by volume (100 pI) m). The resistance value of the sintered sensitive body was measured. The gas concentration to be measured was selected to be 1,100 pp because the permissible concentration of -CO for industrial hygiene is 1,100 pp, so it is necessary to respond at least below this concentration.

ガス感応特性は、（１）ガス感度（空気中の抵抗値（Ｒ
＆　）／ガス中の抵抗値（Ｒｇ））　＋　（ｉｎ抵抗経
時変化率△Ｒ（感応体を６００℃の温度で２０００時間
保持した場合の抵抗値の初期値に対する変化率）で評価
した。第１表には、添加物（ＣＵＯあるいはＣｄＯ）を
加えた場合のやはりガス感度（Ｒａ７８ｇ）と、抵抗経
時変化率（ΔＲ）を示す。なおΔＲは表中の（）内に記
載した。また第３図にはＣｕＯの感度と抵抗経時変化率
の添加量依存性（試料％Ａ−１〜Ａ−ｔｓ）を−第４図
にはＣｄＯ（７）それ（試料ＮｎＡ−１、Ａ−ｓ〜Ａ−
９）を示した。Gas sensitivity characteristics include (1) gas sensitivity (resistance value in air (R
& )/resistance value in gas (Rg)) + (in resistance change rate over time ΔR (rate of change in resistance value from the initial value when the sensitive body is held at a temperature of 600°C for 2000 hours). Table 1 also shows the gas sensitivity (Ra78g) and resistance change rate over time (ΔR) when an additive (CUO or CdO) is added. ΔR is written in parentheses in the table. Figure 3 shows the dependence of CuO sensitivity and resistance change rate over time (sample %A-1 to A-ts), and Figure 4 shows CdO (7) and (sample NnA-1, A-ts). A-
9) was shown.

ここで、　ＣｕＯあるいはＣｄＯを添加したα−Ｆｅ２
０５の場合、これにｃｏ＋Ｈ２等の還元性ガスが触れる
と抵抗が大きくなる性質をもっている。Here, α-Fe2 added with CuO or CdO
In the case of 05, the resistance increases when it comes into contact with a reducing gas such as co+H2.

すなわちガス感度をＲａ７８ｇ　　で定義すればこれが
１よシ小さい程感度が大きいと言える。That is, if gas sensitivity is defined as Ra78g, it can be said that the smaller this value is than 1, the higher the sensitivity.

以下余白 第１表 ＊比較例 第１表お９°よび第３〜第４図より、α−Ｆｅ２０３に
ＣｕＯあるいはＣｄＯを単独あるいは複数で添加するこ
とによりＣＯに対して極めて高い活性度を示し−しかも
これが経時的に安定なため一結果的に非常に大きなガス
感度と信頼性を実現し得ることがわかる。本発明におい
て添加物総量を。、１〜６０モル％に限定したのは０．
１モル％未満ではガス感応特性ならびに信頼性を向上せ
しめる効果が見られず、逆に６０モル％を超えると、ガ
ス感応特性に及はす効果が小さくなり、また特性の安定
性に欠けるからである。Margin Table 1 * Comparative Example Table 1 and Figures 3 and 4 show that adding CuO or CdO to α-Fe203, singly or in combination, shows extremely high activity towards CO. Moreover, since this is stable over time, it can be seen that extremely high gas sensitivity and reliability can be achieved as a result. In the present invention, the total amount of additives. , 0.0 was limited to 1 to 60 mol%.
If it is less than 1 mol%, the effect of improving gas sensitivity characteristics and reliability will not be observed, and if it exceeds 60 mol%, the effect on gas sensitivity characteristics will be small and the stability of the characteristics will be lacking. be.

次に実施例２では、ＣｕＯあるいはＣｄＯを単独である
いは複数で含むα−Ｆｅ２０３へのＡｕの添加量効果に
ついて述べる。Next, in Example 2, the effect of the amount of Au added to α-Fe203 containing one or more of CuO or CdO will be described.

〔実施例２〕 出発原料は市販の塩化絹２鉄（Ｆ８Ｇ／９６Ｈ２０）３
０ｇと硫酸第１鉄（ＦｅＳＯ４・７Ｈ２０）　ｅ　ｏ　
９を用い、実施例１と同様の方法で共沈物を得た。これ
を乾燥−熱処理を行ない−これに第２表（添加銅（Ｃｕ
Ｏ）および酸化カドミウム（ＣｄＯ）　　を添加し、さ
らに市販の塩化金酸（ＨＡｕＪ１４・４Ｈ２０）を水に
溶かしてこの濃度が１００■／ｍｅ　に調製した溶液を
第２表（Ａｕ量）の割合だけ添加し、それぞれの粉体を
らいかい機で３時間乾式混合した。[Example 2] The starting material was commercially available silk diiron chloride (F8G/96H20)3
0g and ferrous sulfate (FeSO4・7H20) e o
A coprecipitate was obtained in the same manner as in Example 1 using Example 9. This was dried, subjected to heat treatment, and added to it as shown in Table 2 (added copper (Cu)
A solution prepared by adding O) and cadmium oxide (CdO) and dissolving commercially available chloroauric acid (HAuJ14.4H20) in water to a concentration of 100 μm/me was mixed in the proportion shown in Table 2 (Au amount). and dry mixing each powder for 3 hours using a miller.

この粉体を、実°施例１と同様の方法で成型、焼成し、
ガス検知素子を作成した。This powder was molded and fired in the same manner as in Example 1,
A gas detection element was created.

それぞれの検知素子のガス感応特性を実施例１の場合と
同様の方法で測定した。The gas sensitivity characteristics of each sensing element were measured in the same manner as in Example 1.

以下余白 第２表 ＊比較例 第２表にＣｕＯとＣｄＯの一種以上を含むα−Ｆｅ２ｅ
ｓにＡｕを添加した時のガス感度（Ｒａ／Ｒｇ　）と抵
抗変化率（ΔＲ）を示す。Margin Table 2 below * Comparative Example Table 2 shows α-Fe2e containing one or more of CuO and CdO
The gas sensitivity (Ra/Rg) and resistance change rate (ΔR) when Au is added to s are shown.

第５図には、ＣｕＯとＣｄＯがそれぞれ１．０モル％含
むα−Ｆｅ２ｅｓへのＡＨの添加量効果（試料隘Ａ−１
１，Ｂ−７〜Ｂ−１ｏ）を示す。Figure 5 shows the effect of the amount of AH added to α-Fe2es containing 1.0 mol% each of CuO and CdO (sample A-1).
1, B-7 to B-1o).

第２表及び第６図から明らかなように、　Ａｕ　を０．
１〜１０重量％添加することにより、さらにＣ０に対し
て極めて高い活性度を示し、しかも、経時的にもさらに
安定になるため、結果的に非常に大きなガス感度と信頼
性を実現し得ることがわかる。As is clear from Table 2 and FIG. 6, when Au is 0.
By adding 1 to 10% by weight, it exhibits extremely high activity against CO and becomes even more stable over time, resulting in extremely high gas sensitivity and reliability. I understand.

しかしＡｕ量が２０　ｗｔ％になるとその効果がほとん
ど無くなった。However, when the amount of Au reached 20 wt%, this effect almost disappeared.

実施例１，２では感応体が焼結体の場合で示したが一実
施例３では感応体が焼結膜の場合でのＡｕ　の添加量効
果について述べる。In Examples 1 and 2, the case where the sensitive body is a sintered body was shown, but in Example 3, the effect of the amount of Au added will be described in the case where the sensitive body is a sintered film.

〔実施例３〕 出発原料は市販の塩化第２鉄（ＦｅＣＡ３・６Ｈ２０）
３０ｇと硫酸第１鉄（ＦｅＳＯ４・７Ｈ２０）　　６０
　ｊｊを用い、実施例１と同様の方法で共沈物を得た。[Example 3] Starting material is commercially available ferric chloride (FeCA3.6H20)
30g and ferrous sulfate (FeSO4・7H20) 60
A coprecipitate was obtained in the same manner as in Example 1 using JJJ.

これを乾燥、熱処理を行ない−これに第３表（添加物−
ＣｕＯ、ＣｄＯ）の組成になるように市販の酸化銅（（
ＵＯ）および酸化カドミウム（ＣｄＯ）を添加し、さら
に市販の塩化金酸（ＨＡｕ（Ｊ４・４Ｈ２０）を水に溶
かしてこの濃度が１００　ｍｇ／ｌｕｌに調製した溶液
を第３表（Ａｕ量）の割合だけ添加し、それぞれの粉体
をらいかい機で３時間乾式混合した。This is dried and heat treated - Table 3 (Additives -
Commercially available copper oxide ((
A solution prepared by adding UO) and cadmium oxide (CdO) and then dissolving commercially available chloroauric acid (HAu (J4.4H20) in water to a concentration of 100 mg/lul) was prepared according to Table 3 (Au amount). The powders were added in proportions, and each powder was dry-mixed for 3 hours using a mixer.

この粉体を５０〜１００μに整粒し−トリエタノールア
ミンを加えてペースト化した。これを用いて作成して焼
結膜型ＣＯセンサの構造を第２図に示した。図において
、ガス検知素子の基板として縦、横それぞれ５ｍｍ、厚
みｏ、ｓｍｍのアルミナ基板１の表面に０．５ｍｍの間
隔に一対の櫛形の金電極２を形成した。裏面には抵抗体
用の金電極３も同時に形成し、この間にグレーズ抵抗体
４を印刷し。This powder was sized to a size of 50 to 100μ and triethanolamine was added to form a paste. The structure of a sintered film type CO sensor made using this is shown in FIG. In the figure, a pair of comb-shaped gold electrodes 2 were formed at an interval of 0.5 mm on the surface of an alumina substrate 1 having length and width of 5 mm and thickness o and s mm, respectively, as a substrate for a gas sensing element. A gold electrode 3 for a resistor was also formed on the back side at the same time, and a glaze resistor 4 was printed during this time.

焼きつけてヒータとした。I baked it and used it as a heater.

次に一上述のペーストを基板の表面に約７０μの厚みに
印刷し、室温で自然乾燥させた後−ｅｏ。Next, the above-mentioned paste was printed on the surface of the substrate to a thickness of about 70μ, and after air drying at room temperature -eo.

℃の温度になるまで徐々に加熱し、この温度で１時間保
持した。この段階でペーストが蒸発し、焼結膜６になっ
た。このガス感応体の厚みは約５６μであった。このよ
うにしてガス検知素子を得た。The mixture was gradually heated to a temperature of 0.degree. C. and held at this temperature for 1 hour. At this stage, the paste evaporated and became a sintered film 6. The thickness of this gas sensitive member was approximately 56μ. A gas sensing element was thus obtained.

以下余白 第３表 ＊比較例 それぞれのＣＯセンサのガス感応特性を実施例１の場合
と同様の方法で測定した。第３表にＣｕＯとＣｄＯｆ：
含むα−Ｆ８２０５にＡｕを添加した時のガス感度（Ｒ
ａ／Ｒｇ　）と抵抗変化率（ΔＲ）を示す。Table 3 (margin below) *Comparative Examples The gas sensitivity characteristics of each CO sensor were measured in the same manner as in Example 1. Table 3 shows CuO and CdOf:
Gas sensitivity (R
a/Rg) and resistance change rate (ΔR).

第６図〜第７図にはＣｕＯとＣｄＯが６モル％含まれる
α−Ｆｅ２ｅｓへのＡＨの添加量効果（試料Ｎ、Ｃ−１
〜Ｃ−５）及び２０モル％含まれるその効果（試料隔Ｃ
−６〜Ｇ−１ｏ）を示す。Figures 6 and 7 show the effect of the amount of AH added to α-Fe2es containing 6 mol% of CuO and CdO (sample N, C-1
~ C-5) and its effect containing 20 mol% (sample interval C
-6 to G-1o).

第３表及び第６図〜７図から明らかなように、感応体が
焼結膜であっても、またＣｄＯを沈澱法で作製した粉体
を用いた場合でも一実施例１及び２で得られたのとはゾ
同じ特性が得られている。また抵抗値の経時変化率も実
施例１及び２と同様非常に小きい。As is clear from Table 3 and Figures 6 to 7, the results obtained in Example 1 and 2 can be obtained even when the sensitive body is a sintered film or when a powder prepared by CdO precipitation method is used. It has the same characteristics as the other one. Further, the rate of change in resistance value over time is also very small, as in Examples 1 and 2.

まだ第３表及び第６図〜７図から−Ａｕ　の添加量が０
．１重量％未満ではその効果はなく１本発明の効果が期
待できない。また逆に添加量が１０．。From Table 3 and Figures 6 and 7, the amount of Au added is still 0.
．． If the amount is less than 1% by weight, there will be no such effect and the effects of the present invention cannot be expected. Conversely, the amount added is 10. .

重量％を超えるとガス感度の低下あるいは特性の安定性
の面で実用性に欠けるようになる。本発明のガス検知素
子に含まれるＡｕ量を、ＣｄＯに対して添加する量で０
．１〜１０重量％に限定したのは上述した理由による。If it exceeds % by weight, it becomes impractical in terms of reduced gas sensitivity or stability of properties. The amount of Au contained in the gas sensing element of the present invention is 0 in the amount added to CdO.
．． The reason for limiting the content to 1 to 10% by weight is as stated above.

ところで実施例では酸化鉄の出発原料に塩化第２鉄と硫
酸第１鉄を、銅、カドミウム及び金については市販の酸
化銅、酸化カドミウム、塩化金酸を用いたものについて
述べたが、本発明は最終的に感応体の組成が前述した範
囲内のものであればよく、何ら出発原料や製造工程を限
定するものではない。By the way, in the examples, ferric chloride and ferrous sulfate were used as starting materials for iron oxide, and commercially available copper oxide, cadmium oxide, and chloroauric acid were used for copper, cadmium, and gold, but the present invention The final composition of the reactor may be within the above-mentioned range, and the starting materials and manufacturing process are not limited in any way.

発明の詳細 な説明したように１本発明のＣＯセンサは。Details of the invention As explained above, the CO sensor of the present invention is as follows.

α−Ｆ８２０５にＣｕＯ及びＣｄＯの一種以上を加えた
もの、あるいはこれにさらにＡｕを添加した焼結体ある
いは焼結膜を感応体として用いたものであり。A sintered body or film obtained by adding one or more of CuO and CdO to α-F8205, or further adding Au to α-F8205 is used as a sensitive body.

これによって微量検知が難しいとされてきたＣＯガスに
対して大きい感度を実現し得るものである０これはガス
器具の不完全燃焼あるいは火災の初期に発生するＣＯに
よる中毒事故が多発する傾向にある昨今、これを未然に
防ぐＣＯセンサの要求が大きくなりつつある社会ニーズ
に的確に対応するものであり、その効果は極めて犬なる
ものがある。This makes it possible to achieve high sensitivity for CO gas, which has been considered difficult to detect in trace amounts.This is because poisoning accidents due to CO generated during incomplete combustion of gas appliances or in the early stages of a fire tend to occur frequently. In recent years, there has been a demand for CO sensors that can prevent this from occurring, which accurately responds to growing social needs, and its effects are extremely impressive.

また一本発明のいまひとつの効果は寿命特性、特に通電
による抵抗値の経時変化の大幅な軽減である。これは換
言すればあらゆる検知素子の眉も重要な要素である素子
の信頼性の向上に極めて大きな寄与をもたらすものであ
る。Another effect of the present invention is a significant reduction in the life characteristics, especially the change in resistance value over time due to energization. In other words, this makes an extremely large contribution to improving the reliability of any sensing element, which is also an important element.

構造の一例を示す図、第３〜第７図は本発明の一実施例
における添加物量と、ＣＯおよびＨ２に対する感度（”
／Ｒｇ　）ならびに抵抗経時変化率（ΔＲ）との関係を
示した特性図である。Figures 3 to 7, which are diagrams showing an example of the structure, show the amount of additives and the sensitivity to CO and H2 ("
/Rg) and the resistance change rate over time (ΔR).

１・・・・・・焼結体1... Sintered body

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）アルファ型酸化第２鉄（ａ−Ｆｅ２０ｓ）に、添
加物として銅（Ｃｕ　）、カドミウム（Ｃｄ）のうち少
なくともひとつが、それぞれＯｕＯおよびＣｄＯに換算
して添加物総量で０．１〜６０モル％含むものをガス感
応体として用いることを特徴とするＣＯセンサ〇(1) At least one of copper (Cu) and cadmium (Cd) is added as an additive to alpha-type ferric oxide (a-Fe20s), with a total additive amount of 0.1 to A CO sensor characterized by using a substance containing 60 mol% as a gas sensitive body. （２）　　ガス感応体が金（Ａｕ）を０．１〜１０重量
％含むことを特徴とする特許請求の範囲第（１ン項記載
のｃ６センサ。(2) The c6 sensor according to claim 1, wherein the gas sensitive material contains 0.1 to 10% by weight of gold (Au). （３）　　ガス感応体が加圧成型し、焼成して得られる
焼結体、またはペーストを印刷して焼成して得(3) A sintered body obtained by pressure molding and firing the gas sensitive body, or a sintered body obtained by printing and firing a paste.