JPS59217106A - ホール素子を用いた測量機 - Google Patents

ホール素子を用いた測量機

Info

Publication number
JPS59217106A
JPS59217106A JP9327583A JP9327583A JPS59217106A JP S59217106 A JPS59217106 A JP S59217106A JP 9327583 A JP9327583 A JP 9327583A JP 9327583 A JP9327583 A JP 9327583A JP S59217106 A JPS59217106 A JP S59217106A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
angle
hall element
hall
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9327583A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0358444B2 (ja
Inventor
Nobuo Hori
信男 堀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Optical Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Optical Co Ltd filed Critical Tokyo Optical Co Ltd
Priority to JP9327583A priority Critical patent/JPS59217106A/ja
Publication of JPS59217106A publication Critical patent/JPS59217106A/ja
Publication of JPH0358444B2 publication Critical patent/JPH0358444B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、角度検出装置に関し、更に詳細にはホール素
子を用いた角度検出@置に関するものである。
(従来技術) ホール素子とは、磁気を電気に変換する素子であって、
バイアス電流を流すと印加磁界に比例する出力を発生す
るものである。その構造を第1図に示す。すなわち半導
体薄板ρに外部より電流lHを流し、これと直角方向に
磁界(磁束密度日)をかけたとき、ローレンツ力により
lHと8の双方に直角に電位差VHが発生する。とのV
Hは。
ホール電圧と呼ばれ、半導体の厚さd1幅Wおよび長さ
tが一様であれば次式で与えられ、lHとBのそれぞれ
に直線的に比例する。
RH vH=□lHB          ・・・(1)なお
RH:ホール定数である。
上の構造において、磁界(8)の方向がホール素子面に
対して直角とならないときは、その磁界のホール素子面
に対しての直角成分のみが、ホール電圧■8に寄与する
こととなる。従って、該ホール電圧v8は、ホール素子
面の法線nと磁界とがなす角を0としたとき、次式で示
される。
RH V−−IHacosθ       ・・・(21− 従って9例えば、磁界の方向を固定しておき、該磁界内
に配置されたホール素子Pを回転させたとき、この回転
角は上記ホール電圧の大きさとして得ることができ、こ
の現象を利用してホール素子を用いて角度検出を行なう
ことができる。
ところが、上記したような方法で角度検出を行なう場合
にはS Co1tθ の関係から角度分解能が角度値に
よって変化するため、n密な角度検出を行なうことが困
難であった。特に、磁界の方向がホール素子面の法線か
られずかに偏移している場合には、  eollθの変
化率は極めて小さく、このため精密な電圧計やA/D変
換器等が必要となり、検出装置が高価なものとなってし
まうという欠点があつ念。また、ホール素子の上記ホー
ル電圧VHは、上記磁界の磁束密度の経年変化および各
ホール素子の温度特性に敏感に反応するため・複雑な補
償処理を行なう必要がある。
一方1特開昭54−18768号には、互いに直交して
配されたホール素子である複数個の磁気センサーを磁界
内に配置して、磁界忙対する磁気センサーの角度を検出
する角度センサーが提案されている。この角度センサー
は、複数の磁気センサーによって、磁界を各方向成分に
分解して検出し、その各方向成分の商をとることによっ
て、角度をtanθ として検出するものである。この
角度センサーによれば、上記したように磁界の各方向成
分の商をとることによって角度検出を行なっているので
、磁界の磁束密度の経年変化や各ホール素子の温度特性
に影響されずに角度の検出を行なうことができるが、角
度をtanθ として検出するため、角度をcosθ 
として検出する場合と同様。
分解能が角度値忙よって変化してしまい、精密な測定が
行なえないという欠点がある。
(発明の目的) そこで本発明は、使用する磁界の磁束密度の経年変化や
各ホール素子の温度特性に影響されず。
かつ分解能が角度値によって変化させられずに角度を検
出することのできる角度検出装置を提供することを目的
とするものである。
(発明の構成および作用) 本発明によるホール素子を用いた角度検出装置は、靜磁
界を形成する磁界形成手段または互い忙π/2位相がず
れた第1および第2交番磁界を形成する第1および第2
交番磁界形成手段、前記静磁界または第1交番磁界中に
配置された第1ホール素子、前記靜磁界または第2交番
磁界中に配置された第2ホール素子、第1および第2ホ
ール素子を、第1ホール素子面の法線と前記磁界の方向
とのなす角である第1角と、第2ホール素子面の法線と
前記磁界の方向とのなす角である第2角との和が、に/
2となる状態に位置付け、かっこの第1角と第2角との
和がπ/2となる状態を維持しつつ、該第1および第2
ホール素子を1本の回動軸あるいは平行な回動軸の周シ
に前記磁界に対して回転可能に支持する支持部材、前記
第1および第2ホール素子に、互いにπ/2位相のずれ
た電流または直流定電流を前記回動軸に沿った方向に流
れるように供給する電流供給手段、前記第1および第2
ホール素子が出力する第1および第2ホール電圧信号を
加算または減算して合成信号を出力する信号合成手段、
および交番磁界又は交流電流に対応した交番信号と前記
信号合成手段からの前記合成信号を受け、該合成信号と
前記交番信号との位相差を検出する位相差検出手段を備
え念ことを特徴とするものである。
以上説明したような構成を有する本発明の角度検出装置
においては、上記のように配置され念第1および第2ホ
ール素子が出力する第1および第2ホール電圧信号を加
算着えは減算して合成信号を得、この合成信号と交番信
号との間の位相差を検出し、この位相差によってホール
素子と磁界の間の角度を検出するようにしているので、
角度検出釦おいて磁界の磁束密度の経年変化や各ホール
素子の温度特性が影響することがなく、また角度によっ
て分解能が変化することがなく、全体として精密な角度
検出を行なうことができる。
(本発明の角度検出装置の原理) 以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明を行なう
第2図は1本発明の角度検出装置の原理を示す図であっ
て、第1ポール素子3および第2ホール素子5は、互い
に直角関係を保ちつつ、共通の回動軸である軸0を中心
に回動可能に、磁束密度日の靜磁界中に配置されている
。従って、上記静磁界の方向と第1ホール素子3の素子
面の法線nとのなす角θ、および該靜磁界の方向と第2
ホール素子5の素子面の法線とのなす角との和は、90
’すなわちπ/2となっている。第1ホール素子302
つの入力端子7.7′は、上記軸0上妃配されておシャ
一方の入力端子7には正弦波電流発生器11が接続され
ておシ、他方の入力端子7′は接地されている。従って
、第1ホール素子3には。
上記正弦波電流発生器11がらI sinωtの制御電
流が供給されている。第2ホール素子5の2つの入力端
子9・ 9′ も上記軸0上に配されており。
一方の入力端子9はπ/2移相器13を介して上記正弦
tIj!、電流発生器l】に接続されており、他方の入
力端子9′は接地されている。従って、第2ホール素子
51Cは、上記π/2移相器13から1゜cO3ωtの
制御電流が供給されている。第1ホーール素子3の出力
端子15.151 と単2ポール素子5の出方端子17
.171 とは、それぞれ発生するホール電圧が加算さ
れるように直列接続され、このホール電圧は増幅器19
妃よって増幅されるようKjzっでいる。上記の条件の
もとで、第1ホール素子3が発生するポール電圧VH(
11は。
VH(1)= CH* l0stncat m Bco
sθ・・・(3) と、第2ホール素子5が発生するポール電圧vH(2)
は ・・・(4) とそれぞれ示すことができる。
こ\で1CHは、ホール素子固有の定数でホール係数R
Hとホール素子の厚みdとの商RH/ dで示され1以
下、ホール定数と呼び第1ホール素子および第2ホール
素子の定数は同じものとして取扱う。
このようにして得られた第1ホール素子aのホール電圧
VHと第2ホール素子50ホール電圧V□(2)とを加
算し合成を行うと・ v 、+ =y H(11+ y H+21= Cトげ
 I。 sinωtBcos θ+CHIocot ω
t*Bs1n θ=CHII 1゜・Bs I n (
ωt+θ)・・・(5)が得られる。
この式(5)から明らかなように9合成されたホール電
圧VH+θ中では、磁界の直角方向と第1ホール素子と
がなす角θが、第1ホール素子に流した正弦波電流(l
oginωt)に対する位相差となって現われる。
従ってこの位相差を正確に測定することによって磁界B
の方向に対するホール素子の回転角θを得ることができ
る。
また第1ホール電圧vH(1)と第2ホール電圧vH(
21の差をとったときは。
v−=v(1)−、+21 HH = CH* I。sinωt aF3co*tl−CH
* Iocosωt * Bs1nθ=CHI+1゜・
B争5In(ωを一θ)        −+6)とし
て和をとったときと同様に位相差として1回転角θが現
われる。
(実施例) 以下1本発明をトランシットに適用した実施例を添付図
面を参照しつつ説明する。
(第1の実施例) 〈全体構成〉 トランシットは1第3図に示すように、望遠鏡21をそ
の水平軸21a、21bを中心として回動自在に支持す
る支柱23a、23bを有する托架部23を鉛直軸オわ
シに回動自在に支持する基盤25とから構成されている
。望遠鏡21の回動軸21a、21bは、図示しないベ
アリングによって支柱23a、23bに回動自在に支持
されている。
トランシットの測角を可能とする構成は、高低角度測定
用の磁界形成部30.高低角度の信号検出部40.水平
角度測定用の磁界形成部50.水平角度の信号検出部6
0.電流供給部70.信号処理部80及び表示部90か
ら構成されている。
〈高低角度測定用磁界形成部30〉 高低角度測定用の磁界形成部30は、ディスク32を備
えておル、このディスク32は、その中心な回動軸21
aと同軸に取付けられ、望遠鏡21と共に回動するよう
になっている。このディスク32の外縁KFili状部
材328が設けられており、この環状部材32aの内面
には、ディスク中心を挾んで磁石34と磁石36とが、
その対向面の極性が鼻なるように、かつ、望遠鏡の規準
軸および回動軸211と直角方向の磁界を形成するよう
に配置されている。
〈高低角度の信号検出部40> 高低角度の信号検出部4oは、#1ホール素子3と第2
ホール素子5によって第4図のように構成され、支柱2
3aK取付けられている◇第1ホール素子3は望遠鏡2
18の回動軸中心21a′上でかつ水平に、第2ホール
素子5はその回動軸中心21a′上で■直に取付けられ
ている。7)お。
こ\で水平、垂直というのはトランシットが正しく取付
けられている状態でのことである。(以下同じ)。第1
ホール素子3と第2ホール素子5とは、原理の説明の項
での説明と同様に配置され。
かつ電気的に接続されている。従って、それらについて
ここで繰シ返さない。
〈水平角度側定石磁界形成部50> 水平角度測定用の磁界形成部5oは・ディスク52を備
えており1このディスク52は、托架部23にその回動
軸23cと同軸な状朝で取付けら−れ、托架部23と共
に回動できるようになっている0このディスク52の外
縁には環状部材52aが設けられており、この環状部材
5211の内面には・ディスク中心を挾んで磁石54と
磁石56とがその対向面の極性が真なるように配置され
ている。この磁界形成部50は印遠鏡21の規準軸21
cと平行な靜磁界を形成している。
〈水平角度の信号検出部60〉 水平角度の信号検出部60は高度角度信号検出部40と
同様に2つのホール素子によって構成されている。これ
ら2つのホール素子は、トランシットを適正に@え付け
、望遠@21の規準軸21cが南北を又は東西を規準し
ているときに、磁界形成部50が形成する磁界方向に、
一方は平行と々す、他方状直交するように配置されてい
る。これによって基準位置が設定可能となる。
〈電流供給部70の概要〉 電流供給部70は、後1c詳細に説明するように高低角
度の信号検出部40および水平角度の信号検出部60の
それぞitのホール素子へπ/2位相差を有する電流を
供給するもので、支柱23bに組み込まれている。
く信号処理部80の概要〉 信号処理部80は、後に詳細に説明するように信号検出
部40によって検出した信号と、電流供給部70が信号
検出部40へ供給する電流とを受け、それらの位相差を
検出して高低角度を演算し、また信号検出部60によっ
て検出した信号と、電流供給部70が信号検出部60へ
供給する電流とを受け、それらの位相差を検出して水平
角度を演算している。
〈表示器90〉 表示器90は、上記信号処理部80で演算した高低角度
及び水平角度の表示を行うものである。
〈電流供給部70および信号処理部80の詳細〉次忙第
5八図ないし渾7図を参照して、上記電流供給部70お
よび信号処理部80の詳細について説明する。
なお1本実施例では、高低角度の検出と水平角度の検出
とは絡々同一の構成によって行われるため、以下高低角
度の検出についてのみ説明を行い水平角度の検出につい
ての説明は省略する。
〈電流供給部70) 電流供給部7oは、第5A図に示されているような電源
回路100によって構成されておシ、この電源回路10
0は、互いにπ/2位相がずれた第1および第2電圧V
、、V2を形成し、第1電圧ヲオヘ77fOP、 10
4を介して第1ホール素子3に、第2m圧をオイアンプ
OP2106を介して第2ホール素子5にそれぞれ印加
することによって、第1および第2ホール素子3,5に
互いにπ/2位相がずれた第1および第2を流1 si
nωt11ocosωtをそれぞれ流すものである。
電源回路100は正弦波電圧発生器102.1つのコイ
ルL、  1つのコンデンサc、2つの可変抵抗器VR
,、Vn2、抵抗R,7)いしR9及び2つのOPアン
プ104.106から構成されている。
コイルし、可変抵抗VRt I Vn21 コンデンサ
C及び正弦波電圧発生器102とで直列回路を構成して
いる。第1ホール素子3へ供給する第1電圧v1けコイ
ルLと可変抵抗VR,によって形成され、第2ホール素
子5へ供給する第1電圧v1  はコンデンサCと可変
抵抗νR2とによって形成される。ここで式(5)を成
立させるためにVlとv2の関係は完全に90°位相差
をもたせる必要がある。コンデン−FCが完全に9fリ
アクタンスXc  成分しかもたないのであれば、抵抗
成分と直交したインピーダンスが得られるのであるが、
実際にはfff5日図示すように僅かながらの抵抗器R
c  が含捷れでいるため合成インピーダンスZc  
は抵抗成分軸と直角とはならなくなる。そこで、z2と
■2との直交関係を確保するため可変抵抗Rv  と直
列に微か設リアクタンス量のコイルLを接続している。
コイルしのりアクタンス分xL、  可変抵抗VR,、
Vn。
並びにコンデンサCのリアクタンスXc  及び抵抗器
Re  の関係社用58図に示している。
電圧v1と電圧V2との撮部を一致させ、がっπ/2位
相関係に調整するには可変抵抗VR,及びVn2を適轟
に変化させることによって行う。
第5B図から明らかなように、可変抵抗VR,の変化で
は、コイルLと可変抵抗VR,との合成インピーダンス
z1  の大きさの変化が顕著でちゃ、かつ傾きθi 
の変化が僅かであるの忙対1−1可変抵抗VR2の変化
ではコンデンサCと可変抵抗VR2との合成インピーダ
ンスz2  の大きさの変化が僅かであり・かつ傾きθ
2 の変化が顕著となる。
そこで崖フ電圧V、と第2電圧v2との振幅調整は主に
可変抵抗vR,ICよって父位相差飼整は主に可変抵抗
・VR2によって行われる。
コンデンサCと可変抵抗VR,とで形成された第1電圧
V1は抵抗R5ないしR6及びオペアンプop、によっ
て差動増幅された後端子へから出方される。
コイルLと可変抵抗vR2とで形成された第2電圧v2
は、抵抗R7ないしR9及びオペアンプOP2によって
差動増幅された後、端子日から出力される。
上記の構成によって出力端子へに生ずる電圧をEl s
lnωt・” (7) とすれば1出力端子Bに生ずる電圧は ε2sIn(ωt −π/ 2 ) ±E2 cosω
t    ・181と表わされるようにπ/2位相差を
有する信号となる。ここで抵抗R5qいしR9は、出力
端子A。
Bから共に振幅が共通でかつ十分な電圧が得られるよう
に電圧v1及び電圧v2に対応1−て選択されている。
従って式(7)のiElと式(8)のR2とが一致する
こととなる。これを以下E; とする。
電源回路100の出力端子AFi、第1ホール素子30
入力端子7.7′及び可変抵抗VR,o  を介して接
地されて第1ホール素子3の第1入力端子路を、又出力
端千日は、第2ホール素子5の入力端子9.9′及び可
変抵抗VR,。′を介して接地されて第2ホール素子5
の第2人力電流路を構成する。
上記のように第1ホール素子3及び第2ポール素子5の
入力端子7.7’ 、9.9’に電圧が印加されている
ので第1及び第2ホール素子3.5には入力電流が流れ
、磁界中に族ツバれることを条件として、それぞれの出
方端子にポール電圧が発生する。
〈佃号処到1部SO> 次に、f6図および第7図を参照して、上記信号処理部
80を詳細に説明する。この信号処理部80は、大きく
分けて坑6図に示すホール電圧検出回路200.および
第7図に示す角度値演算部300から構成されている。
〈ホール電圧検出回M2O0> ホール電圧検出回路200は、第1および第2ホール素
子3,5の不平置市・圧、入力電流値偏差およびホール
定数値偏差を除去した純粋な合成ホール電圧の抽出を行
なうものであり、第6図に示されているように、抵抗R
1〜R26,R1,l〜R21′  および7つのオペ
アン7’ OP5〜OP6およびOP5′〜OP5′ 
 から構成このオ硬アンプop、tim幅を目的として
おらず前段と後段とのバッファを目的としておシ、従っ
て抵抗RIIないしR+ 4の値は1例えば10にΩの
ように高抵抗で統一されているロオにアンプQP5の出
力端子は抵抗R15を介してオペアン7°OP4の■入
力端子へ入力されている。
第1ホール素子3の第1入力端子路に挿入された可変抵
抗VR、、は、第1ホール素子3の出力端子15.15
’の不整合等を原因として生ずる不平衡電圧を補償する
第1補償電圧ve を発生するためのものである。従っ
て可変抵抗VR,o の抵抗値は例えば109位の低い
抵抗値のものが用いられ第1ホール素子の不平衡電圧に
対応して適当に調整される。この補償電圧VCは、抵抗
R16ないしR18及びオペアンプOP5で構成された
バッファアンプと抵抗RI9とを介してオペアンプOP
4の■入力端子へ入力されている。オペアンプOP5は
バッファを目的としているので抵抗R16〜R18の抵
抗値は1例えばIOKΩ高抵抗値で統一されている。
抵抗R15とR,、fj、いし”2+及びオぜアン76
0P4け、差動アンプを構成し、これは第1ホール素子
3の第1ホール電圧y 、(11’と第1補償↑に圧V
C,との差動増幅を行い第1ホール電圧vHtll ’
から不平衡電圧を除去した純粋な第1ホール電圧vH′
1)  を抽出するためのものである。オにアンプOP
5の一方の入力端子には、抵抗RItを介して第1ホー
ル素子3の一方の出力端子15が、オイアンf OPs
の他方の入力端子には、抵抗R12を介して第1ホール
床子3の他方の出力端子15’が、それ−t’tL接続
されている。このオペアンプOP3は・その出力端子が
、抵抗R13を介してe入力端子に接続されておシ、■
入力端子は、抵抗日14を介して接地されている。
第2ホール素子5に関して上記と1司様の回路構成とな
っているので同じ信号にダッシュを付け。
その説明は省略する。向オペアンプOP4/に取シ付け
られた抵抗820〆 に直列に可変抵抗VR,iK接続
されているが、この抵抗R22は第1ホール素子3と第
2ホール素子5のホール定数の差等によって生ずるホー
ル電圧vH(1) 、 VH(2ゝの振幅f直の不一致
を調整するためのものでおり、適当なill整のもとに
、オペアンプOP とop /  の出力の振幅値4 を一致させる。
オペアンプOP4の出力端子は抵抗R23を介して、オ
ペアンプc)p 4/ の出力端子は抵抗R24を介し
て。
オペアンプOP6のC−)入力端子に接続さ−h、てい
る。
オイアン7pOP6の出力は、出力端子c i−ら角度
値演算部300へ送られるとともに、抵抗日25を介し
てそのO入力端子にも送られるようKなっている。オペ
アンプOP6の■入力端子は抵抗R26を介してアース
端子へ接続されている。
上記のように構成することによってオペアンプOP に
よって不平衡電圧成分7)E除去された純粋な第1ホー
ル電圧vH(1)  とオペアンプ□p4/ によって
不平衡電圧成分が除去さitた純粋な第2ホー)し電圧
VHとを加え合せた電圧力;、オペアンプ(2) O12の出力として得られる。
〈角度値演算部300〉 次に、第7図を参照して角度値演算部300の構成の詳
細について説明する。この角度値演算部300は、増幅
$310.矩形波変換部320、位相差検出部330、
クロックツ臂ルス発生器340、パルスカウンタ350
および演算器360から構成されている。
電源回路100の出力端子Aからの出力信号は。
第8図(1)に示す正弦波で1式(7)によシE、si
nωtで表わされる。この出力信号は、増幅部310の
第1アン7’312によって適当なレベルに増幅された
後、矩形波変換部320の第1矩形波変換器322によ
って矩形波に変換される。この矩形波変換された信号は
第8図(3)に示されているような形状であり、これは
位相差検出部330の第1AND回路332および遅進
弁別回路334へ入力されている。
ホール電圧検出回路200で検出した第1ホール電圧v
H+1)と第2ホール電圧vH121の和の信号である
合成ホール電圧信号は出力端子Cから得られ。
この合成ホール電圧信号は第8図(2)に示されている
ように、ホール素子の回動角θを位相差にもつ信号であ
り、上記式(5) CH@l o IIB s I n
 (ωt+θ)で表わされる。仁の信号は、増幅部31
0の第2アンf314によって適当なレベルに増幅され
、矩形波変換部320の第2矩形波変換器324によっ
て第8図(4)に示されているような矩形波に変換され
る。この矩形波変換された信号は、遅進弁別回路334
へ入力されるととも[、NOT回路336によって第8
図(5)K示されているような反転信号とされた後第1
AND回路332へ入力される。第1A N D回路3
32は第8図(3)の信号と(5)の信号の論理積をと
シ、第8図(6)に示すような。
第8図(1)の信号と(2)の信号との位相差に対応し
たパルスを有する信号をl+R2AND回路338へ出
力する。クロックパルス発生器340は第8図(7)に
示すようなりロツクノぐルスを、第2AND回路338
へ出力する。第2AND回路338は第8図(6)の信
号と(7)の信号との論理積をとシ、第8図(8)忙示
すように第8図(1)の信号と(2)の信号との位相差
に対応したクロック/母ルス列を形成し、ノやルスカウ
ンタ350へ出力する。ノやルスカウンタ350は第2
AND回路338の出力パルスのカウントを行い、その
結果を演算器360へ出力する。
一方、遅進弁別回路334は、第1矩形波変換器322
の出力と第2矩形波変換器324の出力から第8図(1
)の電源回路100の出力端子Aからの信号に対し第8
図(2)の合成ホール電圧信号が進み状襲か遅れ状態か
を判別する。
この遅進弁別回路334の構成は、インクリメンタル式
ロータリーエンコーダーでよく用いられる方向弁別回路
の構成と同じであるので詳細な説明は省略する。遅進判
別回路334の判別出力は。
演算器360に出力され演算器360は/4ルスカウン
タ350の計数結果と、遅進判別回路3340判別結果
に基づいて磁界方向に対するホール素子の回動角θを演
算し表示器90へ演算結果を出力する。表示器90は演
算器360の演算結果′を表示する。
なお、角度値演舅部300の^端子に入力する基準信号
は第1ホール素子の入力電圧で説明したが、第2ホール
素子の入力電圧であっても差支えなく、この場合には1
位相差は(θ−π/2)で得られる。基準信号として第
1ホール素子の入力電圧とするか第2ホール素子の入力
電圧とするかは1例えばトランシットのような天頂角を
ゼロ度とするか水平角をゼロにするかと云った角度原点
の取り方によって変えればよい◎ 〈第1実施例のトランシットの構造の変形〉上記実施例
においては、高低角度を検出するために磁界形成部30
を托架部23に、又信号検出部40を望遠鏡21の回動
軸上に取付け、一方水平角度を検出するために磁界形成
部50と基盤25に、信号検出部60を托架部23の回
動軸上に取り付け、これに基づいて説明を行った。しか
し本発明はこの構成に限られるものではなく磁界形成部
が形成する磁束と、信号検出部のホール素子とが相対移
動を行えば、この移itb itを検出できるもので、
第9図に示すように高低角度検出のために信号検出部4
0を托架部23に、又磁界形成部30を望遠鏡21の回
動軸上に取付は一力、水平角度検出のために信号検出部
60を基盤23に又、磁界形成部50を托架部23の回
動軸上に取り付けても、何等さしつかえなく角度検出が
行えるものである。第9図においては、主な構成部材を
第3図に示した実施例と同じ参照番号で示している。
以上説明した第1の実施例では2つのホール素子の入力
電圧をそれぞれπ/2関係の位相差で交番させて2つの
ホール電圧を合成した信号vH= cHe Io”Bs
1n (ωを十〇)   ・・・(5)を形成していた
が、2つのホール素子に加える磁界を、それぞれ、π/
2位相差で交番させ、この2つのホール素子には直流電
圧を印加することKよって上記合成ホール電圧v8を得
ることもできるO (第2の実施例) 以下、その例を第2実施例として第10図を参照しつつ
説明する・ 第1磁界形成部400は、リング状の磁路にその中心に
向けて突出部400a、bが設けられておシ、この突出
部400a、bにはコイル402a。
bが巻かれておシ、突出部間に磁界が形成されるように
なっている。第2磁界形成部410も第1磁界形成部4
00と同様の構成となっている。陶。
2つの磁界形成部の形成した磁界方向は直交している。
電圧供給部420は、互いにπ/2位相差を有する第1
および第2交流電圧を発生し、この第1゜第2交流電圧
を第1磁界形成部400と第2磁界形成部410とへそ
れぞれ供給する。これによって第1磁界形成部400は
Bs1nωtの第1交番磁界を、又第2磁界形成部41
0はB sln (ωt−tt/2)の第2交番磁界を
形成する。電圧供給部420は。
また一定の直流電圧Eを形成し、信号検出部430の第
1.第2ホール素子432.434へ供給する。
信号検出部430は、上記第1および第2ホール素子4
32.434を備えておシ、これらfRlおよび第2ホ
ール素子432.431−J:、 共に回動軸440に
取り付けられ、これと共に回動できるようkなっている
。第1ホール素子432は、第1磁界形成部400が形
成する交番磁界中に配され1回動軸4400回動中心上
に入力端子432a、432bが設けられている。また
、第2ホール素子434は、第2磁界形成部410が形
成する交番磁界中に配され、上記回動軸440の回動中
心1忙入力端子434a、434bが設けられている。
第1ホール素子432および第2ホール素子434は、
互いに平行に、あるいは同一平面内に配置されている。
第1ホール素子432及び第2ホール素子434には、
電圧供給部420が形成した直流電圧Eがスリップリン
グ436を介して図示はしないが、それぞれの入力端子
へ供給されている。
第1ホール素子432と第2ホール素子434の出力端
子は1図示はしないが直列に接続され、これKよってス
リップリング438を介して第1ホール素子432と、
第2ホール素子434の合成ホール電圧vH(1ゝ+v
Hf21 が取り出せるよう釦なっている。
以上の構成において、第1ホール素子432が発生する
ホール電圧VH(1)はホール素子の入力電流をl、第
1ホール素子の法線n、と、第1磁界形成部の成形する
磁束8slnωtとのなす角をθとすると1次式で求め
ることができる。
VH(l)=CHBslnωt@l@cos19   
   =191一方、第2ホール素子434が発生する
ホール電圧vH(21はホール素子の入力電流をl・第
2ホール素子434の法線n2  と第2磁界形成部の
形成する磁束Bs1n(ωを一π/2)とのなす角はπ
/2−θであるので次式で求めることができる。
VH(2)=CH@Bs1n(ωを一π/2)@llI
c08(π/2−θ)CH* a cosωt ’ I
 * slnθ           ・φ−(In伺
、ここでは、第1ホール素子432と第2ホール素子4
34に流れる電流値は同一とし、また形成される磁界の
振幅は等しいものとする。第1ホール素子432の発生
するホール電圧vH(1)  と。
第2ホール素子4340発生するホール電圧vH(21
とを加え合せた合成ホール電圧VH= VH(1)〜+
vH(2+は以下に示すように式(5)と一致する。
v H= y HLl) + V Hf21” CH”
 8 sinωt @ l a cosθ十CH* a
 cosωt s l m sinθ= CHB I 
s In (ωt+θ)           −(1
11従ってこの合成ホール電圧と、電圧供給部420が
磁界形成部へ供給する電圧を基準信号として、これとの
位相差を検出することKよって形成され九磁束と、ホー
ル素子とが、なす角が測定可能となる点は既述した実施
例と同様であるので信号処理部等の説明は省略する。
〈実施例の変形例〉 崗、上記変形例では、2つのホール素子を平行とし、第
1.第2の交番磁界方向を直交させて説明したが、この
構成に限定されるものではなく・第1ホール素子の法線
nI  が第1交番磁界方向となす角と第2ホール素子
の法線n2  が、第2交番磁界方向となす角との和が
π/2であれば合成ホール電圧は1式で現われ測角機能
を十分圧果たす本のである。例えば第1ホール素子と第
2ホール素子とが9の角度をなしていれに、第1交番磁
界の方向と、第2交番磁界の方向とがなす角をに/2+
ψとすることKよって1本発明の適用が可能となる。ま
た、ホール電圧vH(1)およびvHf2)の合成を、
加算によって行なったが鴫この合成は・減算によって行
なってもよいことはもちろんである。
尚、実施例の説明においてホール素子を回動軸1忙配置
しているが、これは磁界日に分布むらがある場合にその
影響を少なくするものであって。
分布むらの少ない静磁界が得られるならば、ホール素子
は軸上でなく軸とともに回動する位置に取り付ければ足
りる。
第1笑施例においてホール素子へ供給する交流電流及び
第2実施例において交番磁界を形成するための供給電圧
は正弦波電圧としてきたが、これは正弦波に限られるも
のではなくπ/2位相差を持つ2つの矩形波電圧であっ
ても構わない。ただし、この時には合成されたステップ
状の出力信号ラフイルターリングすることによって位相
差を抽出することとkる◎ (本発明の効果) 本発明の角度検出装置によれば上記したように磁界とホ
ール素子とのなす角がホール素子の合成出力電圧と基準
信号との位相差として現れる。従って角度分解能は、基
準信号の周波数と位相差を検出するためのクロック/母
ルスの周波数との比に依存することとなる。基準信号は
ホール素子に印加する交流電圧又は交番磁界を形成する
交流電圧であるので、要求される角度分解能に尾、じて
基準信号及びクロックツ!/L−スの周波数を選択する
ことにより、高分解能の角度検出本容易に行える。又本
発明の角度検出装置は磁界とホール素子とのなす角をホ
ール素子の出力振幅値変化を検出し得るものでなく、ホ
ール素子の合成出力電圧と基準信号との位相差検出によ
り得るものであるから、従来の検出手段と比較して項境
変化に対して強く信頼性が高い本のといえる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、ホール素子の構造を示す斜視図。 第2図は1本発明の角度検出装置の原理を示す斜視図。 第3図は、第1の実施例忙よるトランシットの全体構成
を示す斜視図。 第4図は、高低角度の信号検出部の構成を示す斜視図。 第5A図および第5B図は、”*流供給部の構成を示す
電気回路図およびそのベクトル図。 第6図は、ホール電圧検出回路の電気回路図。 第7図は、角度値演算部の電気回路図。 第8図は、各回路の出力信号等をボすタイムチャート。 第9図は、第3図に示した第1の実施例の各部材の配置
を変更した変形例を示す斜視図。 第10図は、第2の実施例によるトランシットの主要部
を示す概略斜視図である。 3・・・第1ホール素子、5・・・第2ホール素子。 11・・・正弦波電流発生器、13・・・π/2移相器
。 21 a * 2 l b・・・回動軸、30・・・高
低角度測定用の磁界形成部、40・・・高低角度の信号
形成部。 50・・・水平角度測定用の磁界形成部、60・・・水
平角度の信号検出部、70・・・電流供給部、80・・
・信号処理部。 第1図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  静磁界を形成する磁界形成手段、該靜磁界中
    に配置された第1および第2ホール素子、該第1および
    第2ホール素子を、第1ホール素子面の法線と前記静磁
    界の方向とのなす角である第1角と、第2ホール素子面
    の法線と前記靜磁界の方向とのなす角である第2角との
    和がπ/2となる状態に位置付け、かつこの第1角と第
    2角との和がπ/2となる状態を維持しつつ、該第1お
    よび第2ホール素子を1本の回動軸あるいは平行な回動
    軸の周りに前記靜磁界に対して回動可能釦支持する支持
    部拐、前記第1ホール素子延、第1電流を前記回動軸に
    沿った方向に流れるように供給する第1電流供給手段、
    前記第2ホール素子に、第1w!流からπ/2位相がず
    れた第2電流を前記回動軸に沿った方向に流れるように
    供給する第2電流供給手段、前記第1および第2ホール
    素子が出力する第1および第2ホール電圧信号を加算ま
    たは減算して合成信号を出力する信号合成手段、および
    前記第1又は第2電流に対応した交番信号と前記信号合
    成手段からの前記合成信号を受け、該合成信号と前記電
    流との位相差を検出する位相差検出手段を備え九角度検
    出装置。
  2. (2)′第1交番磁界を形成する第1交番磁界形成手段
    、前記第1交番磁界からπ/2位相がずれた第2交番磁
    界を形成する第2交番磁界形成手段。 前記第1交番磁界中に配置された第1ホール素子、前記
    第2交番磁界中に配置された第2ホール素子、第1およ
    び第2ホール素子を・第1ホール素子面の法線と前記磁
    界の方向とのなす角である第1角と、第2ホール素子面
    の法線と前記磁界の方向とのなす角である第2角との和
    が。 π/2となる状態に位置付け、かつこの第1角と第2角
    との和がπ/2となる状態を維持しつつ、該第1および
    第2ホール素子を1本の回動軸あるいは平行な回動軸の
    周りに前記磁界忙対して回動可能に支持する支持部材、
    前記第1および!2ホール素子に、直流電流を前記回動
    軸に沿った方向に流れるように供給する電流供給手段、
    前記第1および第2ホール素子が出力する第1および第
    2ホール電圧信号を加算または減算して合成信号を出力
    する信号合成手段、および前記第1磁界又は第2磁界に
    対応した交番信号と前記信号合成手段からの前記合成信
    号を受け、該合成信号と前記信号との位相差を検出する
    位相差検出手段を備えた角度検出装置。
JP9327583A 1983-05-26 1983-05-26 ホール素子を用いた測量機 Granted JPS59217106A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9327583A JPS59217106A (ja) 1983-05-26 1983-05-26 ホール素子を用いた測量機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9327583A JPS59217106A (ja) 1983-05-26 1983-05-26 ホール素子を用いた測量機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59217106A true JPS59217106A (ja) 1984-12-07
JPH0358444B2 JPH0358444B2 (ja) 1991-09-05

Family

ID=14077885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9327583A Granted JPS59217106A (ja) 1983-05-26 1983-05-26 ホール素子を用いた測量機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59217106A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6550150B1 (en) 1999-10-22 2003-04-22 Pentax Corporation Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder
US6629371B1 (en) 1999-10-22 2003-10-07 Pentax Corporation Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder
WO2008050550A1 (en) * 2006-10-25 2008-05-02 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation angle detector
JP2010256169A (ja) * 2009-04-24 2010-11-11 Murata Machinery Ltd リニアスケール
JP2019505811A (ja) * 2016-02-17 2019-02-28 コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングContinental Automotive GmbH 回転可能な構成部品の角度位置を検出する装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6550150B1 (en) 1999-10-22 2003-04-22 Pentax Corporation Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder
US6629371B1 (en) 1999-10-22 2003-10-07 Pentax Corporation Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder
WO2008050550A1 (en) * 2006-10-25 2008-05-02 The Furukawa Electric Co., Ltd. Rotation angle detector
US8362761B2 (en) 2006-10-25 2013-01-29 Furukawa Electric Co., Ltd Rotation angle detector
JP2010256169A (ja) * 2009-04-24 2010-11-11 Murata Machinery Ltd リニアスケール
JP2019505811A (ja) * 2016-02-17 2019-02-28 コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングContinental Automotive GmbH 回転可能な構成部品の角度位置を検出する装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0358444B2 (ja) 1991-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10309802B2 (en) Angle sensors, systems, and methods
JP5096442B2 (ja) 回転角計測装置,モータシステム及び電動パワーステアリング・システム
US8564283B2 (en) Rotation-angle-detecting apparatus, rotating machine and rotation-angle-detecting method
CA2733431C (en) Multi-axis fluxgate magnetic sensor
US20120038351A1 (en) Rotating field sensor
JP2003075108A (ja) 回転角度センサ
JP2001356026A (ja) 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダを搭載した測量機
US20220163605A1 (en) Electronic circuit for measuring an angle and an intensity of an external magnetic field
Ripka et al. Precise DC current sensors
JP2012127736A (ja) 磁気センサ
JPS59217106A (ja) ホール素子を用いた測量機
US6629371B1 (en) Surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder
JP2002524754A (ja) 粗位置インジケータを使用する精密位置エンコーダ
Popovič Integrated Hall magnetic angle sensors
Merayo et al. A portable single axis magnetic gradiometer
RU2352954C2 (ru) Навигационный магнитометр (варианты)
US10838023B2 (en) High performance magnetic ring and sensor arrangement
KR20190122144A (ko) 인코더
JP2000055930A (ja) 加速度センサ
JP2010223595A (ja) 位置検出装置
WO2017213552A1 (ru) Устройство для бесконтактной диагностики подземных трубопроводов
CN113466492A (zh) 一种测量加速度计模型参数磁矢量灵敏度的装置及方法
JPS62100671A (ja) 磁界測定方法
JPS59217107A (ja) ホ−ル素子を用いた角度検出装置
JP2003315094A (ja) エンコーダ