JPS592134U - 回転塗布装置 - Google Patents

回転塗布装置

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JPS592134U
JPS592134U JP9577182U JP9577182U JPS592134U JP S592134 U JPS592134 U JP S592134U JP 9577182 U JP9577182 U JP 9577182U JP 9577182 U JP9577182 U JP 9577182U JP S592134 U JPS592134 U JP S592134U
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JP
Japan
Prior art keywords
wafer
outer periphery
coating device
gas
rotary coating
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JP9577182U
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JPS6339966Y2 (ja
Inventor
圭一 柴田
Original Assignee
株式会社東芝
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS592134U publication Critical patent/JPS592134U/ja
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  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の要部断面正面図、第２図は本考案の第
１の実施例の要部断面正面図、第３図は同じく第２の実
施例の要部断面正面図、第４図は同一しく第３の実施例
の要部断面正面図である。 ３・・・チャンバ、５・・・ウェハチャック、６・・・
ウェハ、６Ｃ・・・外周縁部、１６．　２０．　３２・
・・開口、１７ａ、２１ａ、３１ａ・・・内壁面、２５
ａ・・・内側壁面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円板状のウェハを吸着し回転させるウェハチャックと、
    上記ウェハを収容するとともに上記ウェハの上方および
    下方に開口をもち、上記両開口から気体を吸入し外部に
    排出するチャンバーとを有し、上記回転によりウェハ上
    の塗布液を拡げ余分の塗布液を気流とともに外部に排出
    する回転塗布装置において、上記チャンバは、上記ウェ
    ハの外周縁部に沿ってその上方および下方にそれぞれ近
    接し上記外周縁部と協働して流入気体を絞る流入口をそ
    れぞれ形成しかつ上記回転の中心から遠ざかるに従って
    順次互の間隔が大となる一対の環状内壁面と、上記ウェ
    ハの外周縁を離間して囲繞し上方に向って内方に傾斜し
    た内側壁面とを具備したことを特徴とする回転塗布装置
    。
JP9577182U 1982-06-28 1982-06-28 回転塗布装置 Granted JPS592134U (ja)

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JP9577182U JPS592134U (ja) 1982-06-28 1982-06-28 回転塗布装置

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JP9577182U JPS592134U (ja) 1982-06-28 1982-06-28 回転塗布装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS592134U true JPS592134U (ja) 1984-01-09
JPS6339966Y2 JPS6339966Y2 (ja) 1988-10-19

Family

ID=30228548

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9577182U Granted JPS592134U (ja) 1982-06-28 1982-06-28 回転塗布装置

Country Status (1)

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JP (1) JPS592134U (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5337189A (en) * 1976-09-17 1978-04-06 Inoue Japax Res Inc Production of surfactant
JPS5337702A (en) * 1976-09-18 1978-04-07 Mitsui Mining & Smelting Co Briquets
JPS5337701A (en) * 1976-09-20 1978-04-07 Kobe Steel Ltd Preparation of carbonaceous raw material for metallurgical use from coal
JPS5472973A (en) * 1977-11-24 1979-06-11 Hitachi Ltd Rotary applying unit
JPS5999361A (ja) * 1982-11-30 1984-06-08 Kanaasu Data Kk デジタル・レ−ト・メ−タ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5337189A (en) * 1976-09-17 1978-04-06 Inoue Japax Res Inc Production of surfactant
JPS5337702A (en) * 1976-09-18 1978-04-07 Mitsui Mining & Smelting Co Briquets
JPS5337701A (en) * 1976-09-20 1978-04-07 Kobe Steel Ltd Preparation of carbonaceous raw material for metallurgical use from coal
JPS5472973A (en) * 1977-11-24 1979-06-11 Hitachi Ltd Rotary applying unit
JPS5999361A (ja) * 1982-11-30 1984-06-08 Kanaasu Data Kk デジタル・レ−ト・メ−タ

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Publication number Publication date
JPS6339966Y2 (ja) 1988-10-19

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