JPS592134U - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
- Publication number
- JPS592134U JPS592134U JP9577182U JP9577182U JPS592134U JP S592134 U JPS592134 U JP S592134U JP 9577182 U JP9577182 U JP 9577182U JP 9577182 U JP9577182 U JP 9577182U JP S592134 U JPS592134 U JP S592134U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- outer periphery
- coating device
- gas
- rotary coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来例の要部断面正面図、第2図は本考案の第
1の実施例の要部断面正面図、第3図は同じく第2の実
施例の要部断面正面図、第4図は同一しく第3の実施例
の要部断面正面図である。 3・・・チャンバ、5・・・ウェハチャック、6・・・
ウェハ、6C・・・外周縁部、16. 20. 32・
・・開口、17a、21a、31a・・・内壁面、25
a・・・内側壁面。
1の実施例の要部断面正面図、第3図は同じく第2の実
施例の要部断面正面図、第4図は同一しく第3の実施例
の要部断面正面図である。 3・・・チャンバ、5・・・ウェハチャック、6・・・
ウェハ、6C・・・外周縁部、16. 20. 32・
・・開口、17a、21a、31a・・・内壁面、25
a・・・内側壁面。
Claims (1)
- 円板状のウェハを吸着し回転させるウェハチャックと、
上記ウェハを収容するとともに上記ウェハの上方および
下方に開口をもち、上記両開口から気体を吸入し外部に
排出するチャンバーとを有し、上記回転によりウェハ上
の塗布液を拡げ余分の塗布液を気流とともに外部に排出
する回転塗布装置において、上記チャンバは、上記ウェ
ハの外周縁部に沿ってその上方および下方にそれぞれ近
接し上記外周縁部と協働して流入気体を絞る流入口をそ
れぞれ形成しかつ上記回転の中心から遠ざかるに従って
順次互の間隔が大となる一対の環状内壁面と、上記ウェ
ハの外周縁を離間して囲繞し上方に向って内方に傾斜し
た内側壁面とを具備したことを特徴とする回転塗布装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9577182U JPS592134U (ja) | 1982-06-28 | 1982-06-28 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9577182U JPS592134U (ja) | 1982-06-28 | 1982-06-28 | 回転塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS592134U true JPS592134U (ja) | 1984-01-09 |
JPS6339966Y2 JPS6339966Y2 (ja) | 1988-10-19 |
Family
ID=30228548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9577182U Granted JPS592134U (ja) | 1982-06-28 | 1982-06-28 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS592134U (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5337189A (en) * | 1976-09-17 | 1978-04-06 | Inoue Japax Res Inc | Production of surfactant |
JPS5337702A (en) * | 1976-09-18 | 1978-04-07 | Mitsui Mining & Smelting Co | Briquets |
JPS5337701A (en) * | 1976-09-20 | 1978-04-07 | Kobe Steel Ltd | Preparation of carbonaceous raw material for metallurgical use from coal |
JPS5472973A (en) * | 1977-11-24 | 1979-06-11 | Hitachi Ltd | Rotary applying unit |
JPS5999361A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-08 | Kanaasu Data Kk | デジタル・レ−ト・メ−タ |
-
1982
- 1982-06-28 JP JP9577182U patent/JPS592134U/ja active Granted
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5337189A (en) * | 1976-09-17 | 1978-04-06 | Inoue Japax Res Inc | Production of surfactant |
JPS5337702A (en) * | 1976-09-18 | 1978-04-07 | Mitsui Mining & Smelting Co | Briquets |
JPS5337701A (en) * | 1976-09-20 | 1978-04-07 | Kobe Steel Ltd | Preparation of carbonaceous raw material for metallurgical use from coal |
JPS5472973A (en) * | 1977-11-24 | 1979-06-11 | Hitachi Ltd | Rotary applying unit |
JPS5999361A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-08 | Kanaasu Data Kk | デジタル・レ−ト・メ−タ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6339966Y2 (ja) | 1988-10-19 |
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