JPS59198420A - 光合分波器用多層フイルタの製法 - Google Patents
光合分波器用多層フイルタの製法Info
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- JPS59198420A JPS59198420A JP7288883A JP7288883A JPS59198420A JP S59198420 A JPS59198420 A JP S59198420A JP 7288883 A JP7288883 A JP 7288883A JP 7288883 A JP7288883 A JP 7288883A JP S59198420 A JPS59198420 A JP S59198420A
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- light
- multilayered
- demultiplexer
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
- G02B6/29362—Serial cascade of filters or filtering operations, e.g. for a large number of channels
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- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29379—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device
- G02B6/2938—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device for multiplexing or demultiplexing, i.e. combining or separating wavelengths, e.g. 1xN, NxM
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、異波長の光信号を多重伝送する波長分割多重
伝送方式にお・ける光信号の結合重たは分離などに用い
る多チヤンネル用光合分波器に用い（以下余白） られる多層フィルタの製法及びそれを用いた合分波器に
関する。
伝送方式にお・ける光信号の結合重たは分離などに用い
る多チヤンネル用光合分波器に用い（以下余白） られる多層フィルタの製法及びそれを用いた合分波器に
関する。
従来知られている誘電体多層膜を用いた光合分波器の一
例を第１図に示す。第１図で１は光ファイバ、２ａは集
束用レンズ、４は誘電体多層膜フィルタを示す。入力フ
ァイバ１ａより入射された波長λ１ 、λ２．λ３．λ
４の光の内λｌの光はフィルタ４ａによシ反射されλ２
〜λ４の光はフィルタ４ａ＝２通過する。λ１の光は集
束用レンズ２ａによシ集束され、ファイバ１ｂに出力サ
レル。
例を第１図に示す。第１図で１は光ファイバ、２ａは集
束用レンズ、４は誘電体多層膜フィルタを示す。入力フ
ァイバ１ａより入射された波長λ１ 、λ２．λ３．λ
４の光の内λｌの光はフィルタ４ａによシ反射されλ２
〜λ４の光はフィルタ４ａ＝２通過する。λ１の光は集
束用レンズ２ａによシ集束され、ファイバ１ｂに出力サ
レル。
以下、λ２〜λ４の光も同様にして各々フィルタ４ｂ〜
４ｄによって反射され、ファイバ１０〜１ｅにそれぞれ
出力される。この例においてはフィルタ４ａ〜４ｂが独
立して空間に配列されているので、それぞれのフィルタ
面に対する光の入射角を調整し、入出力の光軸を調整す
る必要があシ、また個別部品の組合せで構成されてｂる
ので各部品のアライメント調整に大変手間どるという欠
点を有した。また環境特性、たとえば温度変動、機械的
振動などによシ部品間の配置が微小にずれて損失が漁火
したり、フィルタがむきだしであるので湿度変動によっ
てフィルタ特性が変動するといった問題点があった。さ
らに調整、組立てに多大の労費と時間をついやすため非
常に高価であった。
４ｄによって反射され、ファイバ１０〜１ｅにそれぞれ
出力される。この例においてはフィルタ４ａ〜４ｂが独
立して空間に配列されているので、それぞれのフィルタ
面に対する光の入射角を調整し、入出力の光軸を調整す
る必要があシ、また個別部品の組合せで構成されてｂる
ので各部品のアライメント調整に大変手間どるという欠
点を有した。また環境特性、たとえば温度変動、機械的
振動などによシ部品間の配置が微小にずれて損失が漁火
したり、フィルタがむきだしであるので湿度変動によっ
てフィルタ特性が変動するといった問題点があった。さ
らに調整、組立てに多大の労費と時間をついやすため非
常に高価であった。
第２図に他の従来例を示す。第２図において、３はガラ
ス基板、他の番号は第１図の場合と同じである。第２図
の例では、誘電体多層膜フィルタはガラス基板に蒸着さ
れ、それがさらに多層に重ね合わされている。この例に
おいては、斜左上から入射されたλｌ〜λ４の入力光は
フィルタ４ａ〜４ｄで反射され出力分離される。従って
、第１図の例で問題となった各々の多層膜フィルタ間の
設置角度のバラつきは軽減されるが、フィルタが大型に
なるという欠点を有した。すなわち、フィルタへの入射
角θ１ 、θ２．θ３．θ４はフィルタ透過損失を小さ
くするために、通常２２．５〜４５゜に選ばれるため、
λ１からλ４までの光を分波するには大きな面積（フィ
ルタ長さは約２ｄｔａｎθ４゜ｄ：多層膜フィルタの厚
さ）のフィルタが必要であった。そのため、高価なもの
になっていた。
ス基板、他の番号は第１図の場合と同じである。第２図
の例では、誘電体多層膜フィルタはガラス基板に蒸着さ
れ、それがさらに多層に重ね合わされている。この例に
おいては、斜左上から入射されたλｌ〜λ４の入力光は
フィルタ４ａ〜４ｄで反射され出力分離される。従って
、第１図の例で問題となった各々の多層膜フィルタ間の
設置角度のバラつきは軽減されるが、フィルタが大型に
なるという欠点を有した。すなわち、フィルタへの入射
角θ１ 、θ２．θ３．θ４はフィルタ透過損失を小さ
くするために、通常２２．５〜４５゜に選ばれるため、
λ１からλ４までの光を分波するには大きな面積（フィ
ルタ長さは約２ｄｔａｎθ４゜ｄ：多層膜フィルタの厚
さ）のフィルタが必要であった。そのため、高価なもの
になっていた。
本発明の目的は小型で、生産性が高く、作成が容易な光
合分波器用多層フィルタの製法及びその多層フィルタケ
用いた合分波器ケ提供することにある。
合分波器用多層フィルタの製法及びその多層フィルタケ
用いた合分波器ケ提供することにある。
本発明は第２図の多層フィルタに着目し、波長λ１＋λ
２＋・・・＋λ４の光ビームが透過する表面積（光ビー
ムスポット径とほぼ等しい断面積）だけの極めて小さい
面積を利用して、多層フィルタを一体的に小型に構成す
るようにしたものである。
２＋・・・＋λ４の光ビームが透過する表面積（光ビー
ムスポット径とほぼ等しい断面積）だけの極めて小さい
面積を利用して、多層フィルタを一体的に小型に構成す
るようにしたものである。
すなわち、第２図の上記入射光線と平行に多層フィルタ
に切断線全複数本人れて切断する。この切断線は上記入
射光線の光ビームスポット径よシ若干大きい値の間隔て
入れるっ上記切断によシ複数個のフィルタ素子を得る。
に切断線全複数本人れて切断する。この切断線は上記入
射光線の光ビームスポット径よシ若干大きい値の間隔て
入れるっ上記切断によシ複数個のフィルタ素子を得る。
このフィルタ素子平面にほぼ４５°の角度で光を入射さ
せるようにすれば第１図の構成の点線部のフィルタが得
られることを本発明者は見いだしたもっである。この発
明によシ、一体化および小型化された多層フィルタを従
来の第２図のように構成したフィルタから、少なくとも
数個から１０数個得ることができる。
せるようにすれば第１図の構成の点線部のフィルタが得
られることを本発明者は見いだしたもっである。この発
明によシ、一体化および小型化された多層フィルタを従
来の第２図のように構成したフィルタから、少なくとも
数個から１０数個得ることができる。
しかもこれらフィルタの特性の均一性はきわめてよい。
以下、本発明による多層フィルタの作成方法の一例を図
？用いて説明する。まず第３図に示す如くガラス板３に
誘電体多層膜フィルタ４を蒸着する。このようにフィル
タの蒸着が完了した阻止波長の異なるガラス板３枚全第
４図に示す如く接着剤等で層状に接着する。この板を第
４図の破線７で示す如くフィルタ４の面に対し４５°の
角度で切断すれば第５図に示す多層フィルタが完成する
。
？用いて説明する。まず第３図に示す如くガラス板３に
誘電体多層膜フィルタ４を蒸着する。このようにフィル
タの蒸着が完了した阻止波長の異なるガラス板３枚全第
４図に示す如く接着剤等で層状に接着する。この板を第
４図の破線７で示す如くフィルタ４の面に対し４５°の
角度で切断すれば第５図に示す多層フィルタが完成する
。
このフィルタケ用いた分波器の例を第６図に示す。
第６図において、１は入出力光ファイバ、２は集束性ロ
ッドレンズ、６は基板である。分波原理は第１図の場合
と同様で、λｌ〜λ４の波長の光はそれぞれファイバ１
ｂ〜１ｅに出力される。
ッドレンズ、６は基板である。分波原理は第１図の場合
と同様で、λｌ〜λ４の波長の光はそれぞれファイバ１
ｂ〜１ｅに出力される。
なお、４ａのフィルタは全反射ミラーでもよい。
この分波器の場合、多層フィルタの切断角度さえ精度良
くしておけば、ロッドレンズ２は多層フィルタ側面に押
しつけるだけでロッドレンズの位置決めが可能となろう
このタイプの多層膜では第４図の破線７で示す如く切断
すれば１枚の多層フィルタから多くの多層フィルタが作
成でき、量産性が高い。この多層フィルタ３，４、及び
ロッドレンズ２、入出力ファイバ１を第７図に示す基板
６に乗せ接着剤で固定すれば、よｐ作成は簡単化される
っ基板６の一例としてはシリコン単結晶を用い、ファイ
バ１及びロッドレンズ２が乗る部分を異方性エツチング
を用いた■溝基板がある。これを用いれば、高精度の位
置決めが可能となる。
くしておけば、ロッドレンズ２は多層フィルタ側面に押
しつけるだけでロッドレンズの位置決めが可能となろう
このタイプの多層膜では第４図の破線７で示す如く切断
すれば１枚の多層フィルタから多くの多層フィルタが作
成でき、量産性が高い。この多層フィルタ３，４、及び
ロッドレンズ２、入出力ファイバ１を第７図に示す基板
６に乗せ接着剤で固定すれば、よｐ作成は簡単化される
っ基板６の一例としてはシリコン単結晶を用い、ファイ
バ１及びロッドレンズ２が乗る部分を異方性エツチング
を用いた■溝基板がある。これを用いれば、高精度の位
置決めが可能となる。
第８図は本発明の別の実施例である。この例ではロッド
レンズ２及び人出力ファイバ１ばすべてアレイ状になっ
ておシ、そのため、３角形のガラスブロック３ａの端面
に全反射ミラー４ｅを蒸着した構成となっている。入力
ファイバ１ａから入力された波長λｌ 、λ２．λ３．
λ４の光は、ロッドレンズ２によシ平行光となシ全反射
ミラー４ｅによフ反射され、フィルタ４ａに入射する。
レンズ２及び人出力ファイバ１ばすべてアレイ状になっ
ておシ、そのため、３角形のガラスブロック３ａの端面
に全反射ミラー４ｅを蒸着した構成となっている。入力
ファイバ１ａから入力された波長λｌ 、λ２．λ３．
λ４の光は、ロッドレンズ２によシ平行光となシ全反射
ミラー４ｅによフ反射され、フィルタ４ａに入射する。
以下第１図の実施例と同様に波長λ１．λ２゜λ３．λ
４の光はそれぞれファイバｌｂ、ｌｃ。
４の光はそれぞれファイバｌｂ、ｌｃ。
ｌｃｉ、ｌｅから出力される。第９図は本発明の更に別
の実施例である。この例においては、入力ファイバｌａ
ｉ出力ファイバアレイと反対側に設けたつここでは全反
射ミラー４ｃも誘電体多層膜４ａ〜４ｄと平行になるの
で、４ａがら４ｄｉ作成する場合と同様に第４図に示し
た如くガラス板に蒸着したものを層状に接着し、その後
所定の角度に切断すればよい。第１０図は本発明のさら
に別の実施例である。この例では出力ファイバ１ｅと入
力ファイバ１ａが同一直線上になるように設置したもの
である。
の実施例である。この例においては、入力ファイバｌａ
ｉ出力ファイバアレイと反対側に設けたつここでは全反
射ミラー４ｃも誘電体多層膜４ａ〜４ｄと平行になるの
で、４ａがら４ｄｉ作成する場合と同様に第４図に示し
た如くガラス板に蒸着したものを層状に接着し、その後
所定の角度に切断すればよい。第１０図は本発明のさら
に別の実施例である。この例では出力ファイバ１ｅと入
力ファイバ１ａが同一直線上になるように設置したもの
である。
なお、ここでは分波の場合の例のみ示したが合波の場合
Ｆも全く同一の構成のものが使用でき、入力と出力の方
向？逆にするだけでよい。又、ここでは４波の合分波器
の例を示したが、２波以上のチャンネル数の合分波器も
、出方ファイバ（合波の場合は入力ファイバ）とロッド
レンズ及び誘電体多層膜フィルタを増減させることによ
シ、作成することができる。ここで示した例では、ファ
イバ端面からの光を平行光にするため、或は平行光の集
束にロッドレンズを用いたが、他のレンズでも同様に使
用できる。又、ここではフィルタ面に対して４５°の角
度で多層フィルタを切断した場合の例を示したが、必ず
しも４５°でなくとも分波器を作成することは可能であ
るつじかし、この場合には光軸合わせかやや面倒になる
事が予想される。
Ｆも全く同一の構成のものが使用でき、入力と出力の方
向？逆にするだけでよい。又、ここでは４波の合分波器
の例を示したが、２波以上のチャンネル数の合分波器も
、出方ファイバ（合波の場合は入力ファイバ）とロッド
レンズ及び誘電体多層膜フィルタを増減させることによ
シ、作成することができる。ここで示した例では、ファ
イバ端面からの光を平行光にするため、或は平行光の集
束にロッドレンズを用いたが、他のレンズでも同様に使
用できる。又、ここではフィルタ面に対して４５°の角
度で多層フィルタを切断した場合の例を示したが、必ず
しも４５°でなくとも分波器を作成することは可能であ
るつじかし、この場合には光軸合わせかやや面倒になる
事が予想される。
以上説明した如く、本発明によれば、フィルタ面のそろ
った多層フィルタを実現でき、しかもこれは小振で量産
性に勝れている。第４図の例では１枚のフィルタから５
個程度の多層フィルタが切断できる事？示している。も
ちろんこの数は甲いられる光線の１喝、切断可能な大き
さの限界、扱いやすさ等？考慮して決定されるので、−
概には決定できないが、少くとも従来知られている多層
フの イルタよりは同じ材料で数多くものが作成できる。
った多層フィルタを実現でき、しかもこれは小振で量産
性に勝れている。第４図の例では１枚のフィルタから５
個程度の多層フィルタが切断できる事？示している。も
ちろんこの数は甲いられる光線の１喝、切断可能な大き
さの限界、扱いやすさ等？考慮して決定されるので、−
概には決定できないが、少くとも従来知られている多層
フの イルタよりは同じ材料で数多くものが作成できる。
へ
特にフィルタ面に対して４５°の角で切断されたもので
は、人出力？直角に配列でき、多層フィルタ側面の切断
面にロッドレンズを密着して作成することが可能となシ
光軸合せせが非常に容易になる。さらに多層フィルタケ
同じ基板構成のものから一度に数１固から１０数個得る
ことができるので、フィルタ特性の均一性があがる。
は、人出力？直角に配列でき、多層フィルタ側面の切断
面にロッドレンズを密着して作成することが可能となシ
光軸合せせが非常に容易になる。さらに多層フィルタケ
同じ基板構成のものから一度に数１固から１０数個得る
ことができるので、フィルタ特性の均一性があがる。
第１図、第２図は従来の光合分波器の断面図、第３図は
ガラス板に誘電体多層膜を蒸着した図、第４図は多層フ
ィルタ断面図、第５図はフィルタ面に対し４５°の角度
で多層フィルタを切断した図、第６図、第８図、第９図
、第１０図は本発明による光合分波器の実施例、第７図
はフィルタ。 ロンドレンズ、ファイバを乗せて固定するだめの基板で
ある。 １・・・光ファイバ、２ａ・・・集束用レンズ、２・−
・集束性ロッドレンズ、３・・・スペーサガラス、４・
・・誘電１１１ ｔ ｌ 図 猪 Ｚ 図 ′ｌ 翁 に 図
ガラス板に誘電体多層膜を蒸着した図、第４図は多層フ
ィルタ断面図、第５図はフィルタ面に対し４５°の角度
で多層フィルタを切断した図、第６図、第８図、第９図
、第１０図は本発明による光合分波器の実施例、第７図
はフィルタ。 ロンドレンズ、ファイバを乗せて固定するだめの基板で
ある。 １・・・光ファイバ、２ａ・・・集束用レンズ、２・−
・集束性ロッドレンズ、３・・・スペーサガラス、４・
・・誘電１１１ ｔ ｌ 図 猪 Ｚ 図 ′ｌ 翁 に 図
Claims (1)
- １、阻止波長の異なる複数の光帯域阻止フィルタを中介
物をはさんで多層状に重ね合わせ、該フィルタ面に対し
ほぼ４５ の角度で切断線を平行に複数本人れて、切断
することにより、多層フィルタを少なくとも１個作成す
ることを特徴とする光合分波器用多層フィルタの製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7288883A JPS59198420A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7288883A JPS59198420A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59198420A true JPS59198420A (ja) | 1984-11-10 |
Family
ID=13502329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7288883A Pending JPS59198420A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59198420A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01276739A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Tokin Corp | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
| CN102576973A (zh) * | 2009-01-19 | 2012-07-11 | 奥兰若技术有限公司 | 具有用于1060nm的保护滤光器的高功率多芯片泵浦模块以及包括其的泵浦模块 |
| JP2016188930A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 日本電信電話株式会社 | ファイバ側方光入出力装置及び光軸調整方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57158804A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Olympus Optical Co Ltd | Optical path splitting prism and its production |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP7288883A patent/JPS59198420A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57158804A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Olympus Optical Co Ltd | Optical path splitting prism and its production |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01276739A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Tokin Corp | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
| JPH0658982B2 (ja) * | 1988-04-28 | 1994-08-03 | 株式会社トーキン | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
| CN102576973A (zh) * | 2009-01-19 | 2012-07-11 | 奥兰若技术有限公司 | 具有用于1060nm的保护滤光器的高功率多芯片泵浦模块以及包括其的泵浦模块 |
| JP2016188930A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 日本電信電話株式会社 | ファイバ側方光入出力装置及び光軸調整方法 |
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