JPS59198420A - 光合分波器用多層フイルタの製法 - Google Patents
光合分波器用多層フイルタの製法Info
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- JPS59198420A JPS59198420A JP7288883A JP7288883A JPS59198420A JP S59198420 A JPS59198420 A JP S59198420A JP 7288883 A JP7288883 A JP 7288883A JP 7288883 A JP7288883 A JP 7288883A JP S59198420 A JPS59198420 A JP S59198420A
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
- G02B6/29362—Serial cascade of filters or filtering operations, e.g. for a large number of channels
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- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29379—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device
- G02B6/2938—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device for multiplexing or demultiplexing, i.e. combining or separating wavelengths, e.g. 1xN, NxM
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、異波長の光信号を多重伝送する波長分割多重
伝送方式にお・ける光信号の結合重たは分離などに用い
る多チヤンネル用光合分波器に用い(以下余白) られる多層フィルタの製法及びそれを用いた合分波器に
関する。
伝送方式にお・ける光信号の結合重たは分離などに用い
る多チヤンネル用光合分波器に用い(以下余白) られる多層フィルタの製法及びそれを用いた合分波器に
関する。
従来知られている誘電体多層膜を用いた光合分波器の一
例を第1図に示す。第1図で1は光ファイバ、2aは集
束用レンズ、4は誘電体多層膜フィルタを示す。入力フ
ァイバ1aより入射された波長λ1 、λ2.λ3.λ
4の光の内λlの光はフィルタ4aによシ反射されλ2
〜λ4の光はフィルタ4a=2通過する。λ1の光は集
束用レンズ2aによシ集束され、ファイバ1bに出力サ
レル。
例を第1図に示す。第1図で1は光ファイバ、2aは集
束用レンズ、4は誘電体多層膜フィルタを示す。入力フ
ァイバ1aより入射された波長λ1 、λ2.λ3.λ
4の光の内λlの光はフィルタ4aによシ反射されλ2
〜λ4の光はフィルタ4a=2通過する。λ1の光は集
束用レンズ2aによシ集束され、ファイバ1bに出力サ
レル。
以下、λ2〜λ4の光も同様にして各々フィルタ4b〜
4dによって反射され、ファイバ10〜1eにそれぞれ
出力される。この例においてはフィルタ4a〜4bが独
立して空間に配列されているので、それぞれのフィルタ
面に対する光の入射角を調整し、入出力の光軸を調整す
る必要があシ、また個別部品の組合せで構成されてbる
ので各部品のアライメント調整に大変手間どるという欠
点を有した。また環境特性、たとえば温度変動、機械的
振動などによシ部品間の配置が微小にずれて損失が漁火
したり、フィルタがむきだしであるので湿度変動によっ
てフィルタ特性が変動するといった問題点があった。さ
らに調整、組立てに多大の労費と時間をついやすため非
常に高価であった。
4dによって反射され、ファイバ10〜1eにそれぞれ
出力される。この例においてはフィルタ4a〜4bが独
立して空間に配列されているので、それぞれのフィルタ
面に対する光の入射角を調整し、入出力の光軸を調整す
る必要があシ、また個別部品の組合せで構成されてbる
ので各部品のアライメント調整に大変手間どるという欠
点を有した。また環境特性、たとえば温度変動、機械的
振動などによシ部品間の配置が微小にずれて損失が漁火
したり、フィルタがむきだしであるので湿度変動によっ
てフィルタ特性が変動するといった問題点があった。さ
らに調整、組立てに多大の労費と時間をついやすため非
常に高価であった。
第2図に他の従来例を示す。第2図において、3はガラ
ス基板、他の番号は第1図の場合と同じである。第2図
の例では、誘電体多層膜フィルタはガラス基板に蒸着さ
れ、それがさらに多層に重ね合わされている。この例に
おいては、斜左上から入射されたλl〜λ4の入力光は
フィルタ4a〜4dで反射され出力分離される。従って
、第1図の例で問題となった各々の多層膜フィルタ間の
設置角度のバラつきは軽減されるが、フィルタが大型に
なるという欠点を有した。すなわち、フィルタへの入射
角θ1 、θ2.θ3.θ4はフィルタ透過損失を小さ
くするために、通常22.5〜45゜に選ばれるため、
λ1からλ4までの光を分波するには大きな面積(フィ
ルタ長さは約2dtanθ4゜d:多層膜フィルタの厚
さ)のフィルタが必要であった。そのため、高価なもの
になっていた。
ス基板、他の番号は第1図の場合と同じである。第2図
の例では、誘電体多層膜フィルタはガラス基板に蒸着さ
れ、それがさらに多層に重ね合わされている。この例に
おいては、斜左上から入射されたλl〜λ4の入力光は
フィルタ4a〜4dで反射され出力分離される。従って
、第1図の例で問題となった各々の多層膜フィルタ間の
設置角度のバラつきは軽減されるが、フィルタが大型に
なるという欠点を有した。すなわち、フィルタへの入射
角θ1 、θ2.θ3.θ4はフィルタ透過損失を小さ
くするために、通常22.5〜45゜に選ばれるため、
λ1からλ4までの光を分波するには大きな面積(フィ
ルタ長さは約2dtanθ4゜d:多層膜フィルタの厚
さ)のフィルタが必要であった。そのため、高価なもの
になっていた。
本発明の目的は小型で、生産性が高く、作成が容易な光
合分波器用多層フィルタの製法及びその多層フィルタケ
用いた合分波器ケ提供することにある。
合分波器用多層フィルタの製法及びその多層フィルタケ
用いた合分波器ケ提供することにある。
本発明は第2図の多層フィルタに着目し、波長λ1+λ
2+・・・+λ4の光ビームが透過する表面積(光ビー
ムスポット径とほぼ等しい断面積)だけの極めて小さい
面積を利用して、多層フィルタを一体的に小型に構成す
るようにしたものである。
2+・・・+λ4の光ビームが透過する表面積(光ビー
ムスポット径とほぼ等しい断面積)だけの極めて小さい
面積を利用して、多層フィルタを一体的に小型に構成す
るようにしたものである。
すなわち、第2図の上記入射光線と平行に多層フィルタ
に切断線全複数本人れて切断する。この切断線は上記入
射光線の光ビームスポット径よシ若干大きい値の間隔て
入れるっ上記切断によシ複数個のフィルタ素子を得る。
に切断線全複数本人れて切断する。この切断線は上記入
射光線の光ビームスポット径よシ若干大きい値の間隔て
入れるっ上記切断によシ複数個のフィルタ素子を得る。
このフィルタ素子平面にほぼ45°の角度で光を入射さ
せるようにすれば第1図の構成の点線部のフィルタが得
られることを本発明者は見いだしたもっである。この発
明によシ、一体化および小型化された多層フィルタを従
来の第2図のように構成したフィルタから、少なくとも
数個から10数個得ることができる。
せるようにすれば第1図の構成の点線部のフィルタが得
られることを本発明者は見いだしたもっである。この発
明によシ、一体化および小型化された多層フィルタを従
来の第2図のように構成したフィルタから、少なくとも
数個から10数個得ることができる。
しかもこれらフィルタの特性の均一性はきわめてよい。
以下、本発明による多層フィルタの作成方法の一例を図
?用いて説明する。まず第3図に示す如くガラス板3に
誘電体多層膜フィルタ4を蒸着する。このようにフィル
タの蒸着が完了した阻止波長の異なるガラス板3枚全第
4図に示す如く接着剤等で層状に接着する。この板を第
4図の破線7で示す如くフィルタ4の面に対し45°の
角度で切断すれば第5図に示す多層フィルタが完成する
。
?用いて説明する。まず第3図に示す如くガラス板3に
誘電体多層膜フィルタ4を蒸着する。このようにフィル
タの蒸着が完了した阻止波長の異なるガラス板3枚全第
4図に示す如く接着剤等で層状に接着する。この板を第
4図の破線7で示す如くフィルタ4の面に対し45°の
角度で切断すれば第5図に示す多層フィルタが完成する
。
このフィルタケ用いた分波器の例を第6図に示す。
第6図において、1は入出力光ファイバ、2は集束性ロ
ッドレンズ、6は基板である。分波原理は第1図の場合
と同様で、λl〜λ4の波長の光はそれぞれファイバ1
b〜1eに出力される。
ッドレンズ、6は基板である。分波原理は第1図の場合
と同様で、λl〜λ4の波長の光はそれぞれファイバ1
b〜1eに出力される。
なお、4aのフィルタは全反射ミラーでもよい。
この分波器の場合、多層フィルタの切断角度さえ精度良
くしておけば、ロッドレンズ2は多層フィルタ側面に押
しつけるだけでロッドレンズの位置決めが可能となろう
このタイプの多層膜では第4図の破線7で示す如く切断
すれば1枚の多層フィルタから多くの多層フィルタが作
成でき、量産性が高い。この多層フィルタ3,4、及び
ロッドレンズ2、入出力ファイバ1を第7図に示す基板
6に乗せ接着剤で固定すれば、よp作成は簡単化される
っ基板6の一例としてはシリコン単結晶を用い、ファイ
バ1及びロッドレンズ2が乗る部分を異方性エツチング
を用いた■溝基板がある。これを用いれば、高精度の位
置決めが可能となる。
くしておけば、ロッドレンズ2は多層フィルタ側面に押
しつけるだけでロッドレンズの位置決めが可能となろう
このタイプの多層膜では第4図の破線7で示す如く切断
すれば1枚の多層フィルタから多くの多層フィルタが作
成でき、量産性が高い。この多層フィルタ3,4、及び
ロッドレンズ2、入出力ファイバ1を第7図に示す基板
6に乗せ接着剤で固定すれば、よp作成は簡単化される
っ基板6の一例としてはシリコン単結晶を用い、ファイ
バ1及びロッドレンズ2が乗る部分を異方性エツチング
を用いた■溝基板がある。これを用いれば、高精度の位
置決めが可能となる。
第8図は本発明の別の実施例である。この例ではロッド
レンズ2及び人出力ファイバ1ばすべてアレイ状になっ
ておシ、そのため、3角形のガラスブロック3aの端面
に全反射ミラー4eを蒸着した構成となっている。入力
ファイバ1aから入力された波長λl 、λ2.λ3.
λ4の光は、ロッドレンズ2によシ平行光となシ全反射
ミラー4eによフ反射され、フィルタ4aに入射する。
レンズ2及び人出力ファイバ1ばすべてアレイ状になっ
ておシ、そのため、3角形のガラスブロック3aの端面
に全反射ミラー4eを蒸着した構成となっている。入力
ファイバ1aから入力された波長λl 、λ2.λ3.
λ4の光は、ロッドレンズ2によシ平行光となシ全反射
ミラー4eによフ反射され、フィルタ4aに入射する。
以下第1図の実施例と同様に波長λ1.λ2゜λ3.λ
4の光はそれぞれファイバlb、lc。
4の光はそれぞれファイバlb、lc。
lci、leから出力される。第9図は本発明の更に別
の実施例である。この例においては、入力ファイバla
i出力ファイバアレイと反対側に設けたつここでは全反
射ミラー4cも誘電体多層膜4a〜4dと平行になるの
で、4aがら4di作成する場合と同様に第4図に示し
た如くガラス板に蒸着したものを層状に接着し、その後
所定の角度に切断すればよい。第10図は本発明のさら
に別の実施例である。この例では出力ファイバ1eと入
力ファイバ1aが同一直線上になるように設置したもの
である。
の実施例である。この例においては、入力ファイバla
i出力ファイバアレイと反対側に設けたつここでは全反
射ミラー4cも誘電体多層膜4a〜4dと平行になるの
で、4aがら4di作成する場合と同様に第4図に示し
た如くガラス板に蒸着したものを層状に接着し、その後
所定の角度に切断すればよい。第10図は本発明のさら
に別の実施例である。この例では出力ファイバ1eと入
力ファイバ1aが同一直線上になるように設置したもの
である。
なお、ここでは分波の場合の例のみ示したが合波の場合
Fも全く同一の構成のものが使用でき、入力と出力の方
向?逆にするだけでよい。又、ここでは4波の合分波器
の例を示したが、2波以上のチャンネル数の合分波器も
、出方ファイバ(合波の場合は入力ファイバ)とロッド
レンズ及び誘電体多層膜フィルタを増減させることによ
シ、作成することができる。ここで示した例では、ファ
イバ端面からの光を平行光にするため、或は平行光の集
束にロッドレンズを用いたが、他のレンズでも同様に使
用できる。又、ここではフィルタ面に対して45°の角
度で多層フィルタを切断した場合の例を示したが、必ず
しも45°でなくとも分波器を作成することは可能であ
るつじかし、この場合には光軸合わせかやや面倒になる
事が予想される。
Fも全く同一の構成のものが使用でき、入力と出力の方
向?逆にするだけでよい。又、ここでは4波の合分波器
の例を示したが、2波以上のチャンネル数の合分波器も
、出方ファイバ(合波の場合は入力ファイバ)とロッド
レンズ及び誘電体多層膜フィルタを増減させることによ
シ、作成することができる。ここで示した例では、ファ
イバ端面からの光を平行光にするため、或は平行光の集
束にロッドレンズを用いたが、他のレンズでも同様に使
用できる。又、ここではフィルタ面に対して45°の角
度で多層フィルタを切断した場合の例を示したが、必ず
しも45°でなくとも分波器を作成することは可能であ
るつじかし、この場合には光軸合わせかやや面倒になる
事が予想される。
以上説明した如く、本発明によれば、フィルタ面のそろ
った多層フィルタを実現でき、しかもこれは小振で量産
性に勝れている。第4図の例では1枚のフィルタから5
個程度の多層フィルタが切断できる事?示している。も
ちろんこの数は甲いられる光線の1喝、切断可能な大き
さの限界、扱いやすさ等?考慮して決定されるので、−
概には決定できないが、少くとも従来知られている多層
フの イルタよりは同じ材料で数多くものが作成できる。
った多層フィルタを実現でき、しかもこれは小振で量産
性に勝れている。第4図の例では1枚のフィルタから5
個程度の多層フィルタが切断できる事?示している。も
ちろんこの数は甲いられる光線の1喝、切断可能な大き
さの限界、扱いやすさ等?考慮して決定されるので、−
概には決定できないが、少くとも従来知られている多層
フの イルタよりは同じ材料で数多くものが作成できる。
へ
特にフィルタ面に対して45°の角で切断されたもので
は、人出力?直角に配列でき、多層フィルタ側面の切断
面にロッドレンズを密着して作成することが可能となシ
光軸合せせが非常に容易になる。さらに多層フィルタケ
同じ基板構成のものから一度に数1固から10数個得る
ことができるので、フィルタ特性の均一性があがる。
は、人出力?直角に配列でき、多層フィルタ側面の切断
面にロッドレンズを密着して作成することが可能となシ
光軸合せせが非常に容易になる。さらに多層フィルタケ
同じ基板構成のものから一度に数1固から10数個得る
ことができるので、フィルタ特性の均一性があがる。
第1図、第2図は従来の光合分波器の断面図、第3図は
ガラス板に誘電体多層膜を蒸着した図、第4図は多層フ
ィルタ断面図、第5図はフィルタ面に対し45°の角度
で多層フィルタを切断した図、第6図、第8図、第9図
、第10図は本発明による光合分波器の実施例、第7図
はフィルタ。 ロンドレンズ、ファイバを乗せて固定するだめの基板で
ある。 1・・・光ファイバ、2a・・・集束用レンズ、2・−
・集束性ロッドレンズ、3・・・スペーサガラス、4・
・・誘電111 t l 図 猪 Z 図 ′l 翁 に 図
ガラス板に誘電体多層膜を蒸着した図、第4図は多層フ
ィルタ断面図、第5図はフィルタ面に対し45°の角度
で多層フィルタを切断した図、第6図、第8図、第9図
、第10図は本発明による光合分波器の実施例、第7図
はフィルタ。 ロンドレンズ、ファイバを乗せて固定するだめの基板で
ある。 1・・・光ファイバ、2a・・・集束用レンズ、2・−
・集束性ロッドレンズ、3・・・スペーサガラス、4・
・・誘電111 t l 図 猪 Z 図 ′l 翁 に 図
Claims (1)
- 1、阻止波長の異なる複数の光帯域阻止フィルタを中介
物をはさんで多層状に重ね合わせ、該フィルタ面に対し
ほぼ45 の角度で切断線を平行に複数本人れて、切断
することにより、多層フィルタを少なくとも1個作成す
ることを特徴とする光合分波器用多層フィルタの製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7288883A JPS59198420A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7288883A JPS59198420A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59198420A true JPS59198420A (ja) | 1984-11-10 |
Family
ID=13502329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7288883A Pending JPS59198420A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59198420A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01276739A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Tokin Corp | Ld励起固体レーザ素子の製造方法 |
CN102576973A (zh) * | 2009-01-19 | 2012-07-11 | 奥兰若技术有限公司 | 具有用于1060nm的保护滤光器的高功率多芯片泵浦模块以及包括其的泵浦模块 |
JP2016188930A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 日本電信電話株式会社 | ファイバ側方光入出力装置及び光軸調整方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57158804A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Olympus Optical Co Ltd | Optical path splitting prism and its production |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP7288883A patent/JPS59198420A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57158804A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Olympus Optical Co Ltd | Optical path splitting prism and its production |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH01276739A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Tokin Corp | Ld励起固体レーザ素子の製造方法 |
JPH0658982B2 (ja) * | 1988-04-28 | 1994-08-03 | 株式会社トーキン | Ld励起固体レーザ素子の製造方法 |
CN102576973A (zh) * | 2009-01-19 | 2012-07-11 | 奥兰若技术有限公司 | 具有用于1060nm的保护滤光器的高功率多芯片泵浦模块以及包括其的泵浦模块 |
JP2016188930A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 日本電信電話株式会社 | ファイバ側方光入出力装置及び光軸調整方法 |
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