JPS5918555A - 荷電粒子線取扱方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、走査型電子顕微鏡、Ｘ線マイクロアナライザ
、電子線露光装置等における荷電粒子線取扱方法と装置
に関する。

走査型電子顕微鏡や電子線露光装置等の荷電粒子線装置
においては、試料上における荷電粒子線の非点収差を補
正することが精度や分解能を高める上で重要である。

このため、従来では、使用者が陰権線萱上の像の良否を
判定しつつ、前記像が最も鮮明になるように非点収差補
正を行なっていた。

しかし、この方法は、使用者が感覚に頼−って非点補正
レンズによる補正の方向と量の調節とを同時にカットア
ンドトライ的に進めなければならないから、熟練を要す
るのみならず、長時間を要し使用者にとって非常に困難
で大きな負担になっている。

この困難の原因は非点収差の方向と量が定量的に不明な
ことにあり、もしこれが定量的に測定できれば測定値に
基づき非点補正レンズを正しく調節することが可能にな
る。

本発明はこのように困難の原因とな−っている非点収差
の定置的測定を可能ならしめ、その結果熟練者でなくて
も、短時間にして、正確かつ容易に非点収差を補正する
ことができ、併せて焦点合せも正しく行うことのできる
荷電粒子線取扱方法及び装置を提供することを目的とす
る。

先ず、第１図ないし第３図を参照して本発明の詳細な説
明する。

第１図は非点収差がある場合のビーム軸（１）上の任意
な位置（△Ｚ）における荷電粒子線（２）の横断面図、
第２図と第３図は荷電粒子線（２）の縦断図面である。

第１図においてビーム軸（１）を原点（０，０）とする
ＸＹ座標のＸ軸とある角度（の傾斜する面（Ｐ）に投影
された荷電粒子線（２）の（θ）方向成分（Ｄ、）を示
し、第２図に（θ）が（θ１）のとき、第３図に（θ）
が（θ２）のときの（１）、　）を示す。

レンズにより集束された荷電粒子線（２）に非点収差が
ある場合、その非点収差（△Ｕ）は、一般に次の（１）
式で表わされる。

△Ｕ＝△Ｚωｅ１χ＋Ｉ’ｈ、ωｅ−１（χ−２λＬ　
）　、、、、、−＋１１ここで、△Ｚはビーム軸（１）
上の位置座標、ωはビームの開き角、 ｅは指数関数、 １は虚数、 χはビームの位相、 ＮＬは非点収差の大きさ、 λＬは非点収差の方向。

従って、非点収差は、（１）式における非点収差の大き
さくＮＬ）と方向（λ１．）が判れば補正可能である。

そこで、第１図における角（θ）を（θ＋）（θ２）に
した場合のビームの形状を考察すると、第２図及び第３
図から明らかなように、いずれの場合も幅（Ｄθ）が最
小になる位置（ＰＭ）が存在する。非点収差がない場合
は、すべての（θ）の値に対して（ＦＭ）の位置は同一
となり、焦点面（Ｆ、）と一致する。

非点収差がある場合は（ＰＭ　）は焦点面（Ｐｏ）　と
一致せず、かつ第２図、第３図に示される如（（θ）に
より（ＦＭ）の位置は異なる。この位置（ＰＭ）と焦点
面（ＦＯ）の間の距離を（ｗＺＭ）とすると、この５− 距離（８２Ｍ）は（１）式から（△Ｕ）の面（Ｐ）への
投影長さくＤθ）を求め、（Ｄθ）が最小になる（△Ｚ
）を算出することにより得られ、結果は次のとおりであ
る。

△２．ニーＮＬ−箕（２（λＬ−θ））・・・・・（２
）角（θ１）、（θ２）の場合の６２Ｍは（２）式の（
θ）に（θｌ）。

（θ２）を代入することにより得られる。

前記位置（ＦＭ　）は角（θ）をさらに（θ３）（θ４
）・・・（θｎ）にした場合も同様に存在し、またこれ
らの場合の距離（△Ｚ）も同様に（２）式であられされ
もところで、レンズが例えば電磁コイルの場合、焦点を
焦点面（Ｆ”Ｏ）に一致させたときの励磁電流を＜　ｒ
ｏ）　、焦点をわずかにずらせて位置（ＦＭ）に一致さ
せたときの励磁電流を（Ｉ）とし、（１０）と（Ｉ）の
差を（△Ｉ）とすると、（３）式が成立ち、（△Ｉ）が
比較的微少量の場合は（４）式が成立つ。

Ｉ　−＝　ｒｏ十△■・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（３
）△ＺＭ＝ｋＬ、△Ｉ・・・・・・・・・・・・・・・
・曲・・・・・（４）ここで（ｋＬ）はレンズによって
決まる定数である。

従って、（２）　ｆ３＋（４１式から次式が得られる。

６− ｋＬ（１−Ｉ。）−Ｎ＋、・（２）（≠（λＬ−θ））
・・・・・・・・・（５）ここで、（のを３種類の値に
変え、そのときの（１）の値を測定して（５）式に代入
すれば、（５）式は３元連立方程式となり、非点収差の
大きさくＮＬ）と方向（λＩ、）を求めることができる
。

のとした場合の計算を以下に説明する。

先ず、（ＴＩ）（１２）　（＋３）を（５）式に代入し
”Ｃ１に、（１−１゜）　−−Ｎ　、、・部（２（λＬ
−０）ｌ・・・・・・（６）ｋＬ（１２−ｒｏ　）＝−
ＮＬ、　ｃＱＳ　（２（λｔ、−７）　１−＝−（７）
’　（＋３　　Ｉｏ）＝　　ＮＬ−ｃＯｓ（２（λＬ　
−−、ｚ　）ｌ　・＝−（ｓ）を得、これらの式から（
Ｎ＋、）（λＬ）を求めると次式が得られる。

ここで、（ｋＬ）は装置固有の定数であって予じめ測定
しておくことにより既知であるから、（ＩＩ）（Ｉ２）
　（＋３）の計を測定すれば＋９）（１０）式により（
ＮＬ）（λＬ）を得ることができ、非点収差を定量的に
測定することができる。

このようにして非点収差の大きさくＮＬ）　と方向（λ
Ｌ）が求められた場合に非点補正コイルにより非点収差
を補正するには、集束レンズにより生じた非点収差と大
きさが等しく、方向が９０度回転した非点収差を補正コ
イルで作ればよく、従って補市量（Ｎ８）と補正方向（
λＳ）は、Ｎ５−ＮＬ・・・・・・・・・・・・・・・
−・・−・・・・・・・・・・・・−・・・・・・・・
・旧）λＳ−λＬ　＋　２−ψＳ・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１２）によ
り求めることができる。なお、（ψＳ）は補正コイルの
もつ方向であり、既知である。従って（９）（１０）式
を（１１１（１２）式へ代入するととなり、やはり（Ｉ
Ｉ）（Ｉ２）（１３）を測定すれば非点補正の量と方向
を正確に決定することができる。

また（６）（８１式から次式を得ることができる。

Ｉｏは前述の如く焦点が焦点面（Ｐｏ）に一致した時の
レンズの励磁電流であるから、（ＩＩ）（Ｉ２）（＋３
）を測定しておけば荷電粒子線の非点補正な（１３１（
Ｉ（イ）式により、焦点合せを（＋５）式により併せて
行なうことができる。

なお（Ｉｏ）は別の方法で求めることもできる。

即ち、不足焦点面と過剰焦点面との間に像の流れのない
焦点面（Ｆｏ）が存在するから、この状態に像を設定し
、このときの励磁電流（Ｉ）を測定すればよい。その後
は角（θ）を２種類に変えて（Ｉ）を測定しく５）式に
代入すれば、（Ｔｏ）が既知の２元連立方程式となり、
未知数が（Ｎ１．）と（λＬ）の２個となるから計算が
容易になる。この方法は像の判断を行なわなければなら
ないが、像の流れのない状態の判断は比較的容易なので
、角（θ）を２種類に変えるの９− みで良いという利点は生かされる。

以上は、非点補正の方式が補正の大きさと、方向を制御
する極座標方式の場合であるが、補正コイルに供給する
電流（Ｉｓｘ　）　（Ｉｓｙ）を直接制御する直角座標
方式の場合も同様にして補正することができる。

すなわち、＋１３１　（＋４）式で示される極座標（Ｎ
８）（λＳ）から直角座標への変換を行なえば、次式が
得られる。

ゆ （（１３−１２）　＋　（Ｉ２−　Ｌ）　１ｓｉｎ　２
ψｓ　：Ｅ’＋・・・＋・・（１６）ここで、（１ｃｓ
）は補正コイルの形状、巻数によって決る定数であり、
予じめ知ることができる。

従って、＋１６）（１η式から明らかなように、（ＩＩ
）（１２）（＋３）を測定することにより、（Ｉｓｘ）
と（Ｉｓｙ）を求１０− めることかでき、補正を正しく行なうことができる。

なお、角（θ）を４種類以−にに変えて、（５）式を４
元服−Ｊ二の連立方程式にしても、」−述と同様にして
非点収差の大きさくＮ１．）と方向（λＩ、）を求める
ことができる。

本発明、−に述の点に着目してなされたもので・、試１
ど荷電粒子線を少なくとも２方向に相対的に繰返（〜移
動させつつ、試料−１−における荷電粒子線の焦点を変
化させてそのときに試料から生じる信号粒子を基に試ネ
３１＋における荷電粒子線の断面の移動方向成分が最小
となる条件を移動方向別に検出１〜、検出値を用いて非
点収差を表わす信号、非点収差を補正する信号、および
焦点合せの信号のうち少なくともいずれか１一つを算出
する荷電粒子線取扱方法および装置に特徴がある。

試料と荷電粒子線の軸を横切る面内での相対的な移動は
、粒子線を静電的又は電磁的に走査させる方法が一般的
であるが、ビームは固定して試料自体を粒子線を横切る
方向に移動させることにょつても行なうことかで・きる
。

また、試料と荷電粒子線の相同的な移動を行なう而は、
粒子線の軸を横切る面であれば粒子線の軸と直交する面
であ−っでもよいし、直交してない面であってもよい。

試料上における荷電粒子線の焦点の調節は集束レンズを
調節することにより変化させてもよいし、試料をビーム
軸方向に移動させることにより変化させてもよい。

信号粒子は、試料から反射した反射荷電粒子や試料から
発生した２次荷電粒子であってもよいし、試料を透過し
た透過荷電粒子であってもよい。

又、試料に吸収された吸収荷電粒子であってもよい。又
更には試料中で励起されたＸ線、光子等の非荷電粒子で
あってもよい。試料上における荷電粒子線の断面の移動
方向成分が最小になったことは、試料と荷電粒子線を相
対的に移動させると同時に信号粒子を検出して検出信号
の波形を得れば、この波形の立上りが荷電粒子線の断面
の移動方向成分を表わすから、この立上りが最も鋭くな
−ったことにより知ることができる。

試料上における荷電粒子線の断面の移動方向成分が最小
となる焦点調節条件は、最小になったときの集束レンズ
の電流値や電圧値又はビーム軸方向における試料の位置
として検出すればよい。

１″−Ｊ、下、図面に示す実施例に基いて本発明を説明
する。第４図は、非点収差を補正する信号の表示装置と
手動による非点収差補正装置を備えた荷電粒子線取扱装
置の実施例である。同図において、（１０）は荷電粒子
線（印の発生源であり、発生された荷電粒子線（１１）
は、非点収差補正コイル（１２Ｌ集束レンズ（Ｉ３）及
び走査コイル（１イ）を順次通って試料（Ｉ５）に照射
される。

補正コイル（１２）は、非点収差補正の大きさくＮｓ）
を制御するためのＮｓ制御電源（１６）と方向（λＢ）
を制御するλＳ制御電源ＯＤとから成る非点収差補正用
電源（１８）から補正電流が供給される。各制御電源ｆ
ｌｆ３１（１７１は、ボリュウムを調節して電流を調節
するように構成されている。

集束レンズ（１３１はレンズ電源（１翅から供給される
電１３− 流により励磁され、走査コイル（１イ）は走査回路（２
０）から走査方向設定回路（２１）を介して入力する電
流により励磁され、荷電粒子線を粒子線の軸を横切る面
内で走査する。レンズ電源（１９）は、ボリュウムによ
り励磁電流ｊＩ）を調節するように構成されている。

走査方向設定回路（２１）は、第１図における角（θ）
を設定する回路であり、スイッチにより、角（のを０．
１、ゼと設定するように構成されている。

（２２）はレンズ電源ｆ１９）から集束レンズ（１３）
に供給される励磁電流値（ＩＩ）（Ｉ２）　（Ｉａ）　
　を検出して記憶回路（２３）に記憶し、記憶した電流
値を基にして（１３）式とＯａ式の演算をする演算制御
回路、（２４）は算出した非点収差補正の大きさくＮｓ
）を表示する表示器、（２５）は算出した非点収差補正
の方向（λＳ）を表示する表示器、（２６）は試料（１
５１からの２次電子、反射電子等の信号粒子（２７）を
検出する検出器、（２８）は検出器（２６）の出力信号
を用、いて荷電粒子線（１１）を試料（円上において線
走査したことにより生じるラインプロファイルを表示す
る表示装置である。

この荷電粒子線装置において非点収差を補正す１４− るには、次のＪ二つにすればよい。

■　制御電源ｒｌ　６）　（１７）をオフにする。

（■　走査方向設定回路（２１）のスイッチを操作しン
ズ電源（＋　９）により表示装置（２８）に表示された
ラインプロファイルが最も鋭い立上りになるような励磁
電流に設定し、そのときの電流値（ｒ）を（Ｉｔ）とし
て記憶装置（２３）に記憶させる。

■　以下■と同様にし°Ｃ角（θ）を１にして（■２）
を求め、角（のを７にして（■３）を求めて各々記憶回
路（２３）に記憶させる。

■　記憶回路（２３）内の電流値（Ｉｔ）（■２）（Ｉ
３）を用いて演算制御回路（２２）において（１３）式
と（１４）式の演算をさせる。

■　算出１〜だ（ＮＳ）（λＳ）を表示器（２４）　（
２５）に表示させる。

■　制御電源（Ｉ（ｉ）（１７）をオンにし、表示され
た値（Ｎｓ）（λ８）に従って手動に」：り制御電源１
１６＋（＋７＋を設定すれば、非点収差は正しく補正さ
れる。

なお、非点収差を補正することなしに、荷電粒子線の非
点収差の大きさと方向を知るのみでよい場合は、ｆ９１
ｆ＋ｏ）式の演算を行ない、結果を表示器（２４）　（
２５）に表示させればよい。

第５図は、非点収差を自動的に補正する自動非点収差補
正装置と、自動焦点合せ装置とを備えた荷電粒子線取扱
装置の一実施例である。この装置は、荷電粒子線（団の
発生源（１０）、非点補正コイル（１２）、集束レンズ
（Ｉ３）、走査コイル（１→、検出器（２６）の他に、
Ｄ　Ａ変換器（３０）　（３１）と増幅器（３２）　（
３３）の対からなる２組の制御電源を有する非点収差補
正用電源（３４）と、ＤＡ変換器（３５）と増幅器（３
６）の対からなるレンズ電源（３７）と、走査回路（３
８）と、走査方向設定回路（３９）と、検出器（２６）
の出力信号を微分する微分回路（４０）と、微分回路（
４０）の出力信号の波高値の大小を比較する比較回路（
旧）と、２つの記憶回路（４２）　（４３）と、トリガ
ーパルス発生回路（４４）と、（１３）式と（１４）式
の演算を行なう演算回路（４５）と、中央制御回路（４
６）とを備えている。

ＤＡ変換器（３０）と増幅器（３２）の対は非点収差補
正の大きさく　Ｎ、）用、Ｉ）　Ａ変換器（３１）と増
幅器（３３）の対は非点収差補正の方向（λＳ）用であ
る。又、ＤＡ変換器（３５）と増幅器（３６）の対は、
荷電粒子線（１１）の焦点を変化させ、最後に焦点合せ
電流（Ｔｏ　）を出力する。各ＤＡ変換器（３０）　（
３１）には演算回路（４５）における演算結果（Ｎｓ）
（λｓＸ　Ｉｏ）が供給される。

この装置の動作を次に説明する。

■　スタート釦（図示せず）が圧下されて動作開始指令
が中央側ｍ１回路（４６）に入力すると、中央制御回路
（４６）は演算回路（４５）と走査方向設定回路（３９
）をリセットする。これにより非点収差補正用電源（３
４）の出力はゼロになり、走査方向はθ二〇に設定され
る。中央制御回路（４６）はトリガーパルス発生回路（
４４）にスタート指令を出力し、トリガーパルス発生回
路（４４）はＤＡ変換器（３５）と走査回路（３８）に
トリガーパルスを出力する。これにより、ＤＡ変換器（
３５）はある値にセットされ、その出力電圧は増幅器（
３６）において励磁電流に変換され１７− て集束レンズ（１３）に供給される。また、走査回路（
３８）は、トリガーパルスが入力したことにより荷電粒
子線（１１）を試料（１５）上において一回走査させる
走査信号を走査方向設定回路（３９）を介して走査コイ
ル（１勢に供給する。

■　荷電粒子線（１１）の走査にともなって生じる信号
粒子は検出器（２６）に検出され、その出力信号は微分
回路（４０）で微分され、微分波形の波高値は比較回路
（４１）において記憶回路（４２）に記憶されている波
高値と大小を比較される。

記憶されている波高値の方が小さい場合は消去され、新
たに微分回路からの波高値が記憶される。

■　−回の走査が終了すると、中央制御回路（４６）は
再びスタート指令をトリガーパルス発生回路（４４）に
出力し、トリガーパルス発生回路（４４）は次のトリガ
ーパルスをＤ　Ａ変換器（３５）と走査回路（３８）に
出力する。

■　これにより、ＤＡ変換器（３５）が１ステツプ加算
した電圧を発生し、それによって１ステ１８− ツブ加算した励磁電流が集束レンズ（１３）に供給され
て荷電粒子線（１１）の焦点位置が変化する。

また、走査回路（３８）はトリガーパルスが入力したこ
とにより、再び一回分の走査信号を出力する。

■　微分回路（４０）と比較回路（４Ｉ）と記憶回路（
４２）は前記■の動作をする。

■　駅り比較回路（４１）において微分回路（４０）の
出力信号の波高値が最大と判定されるまで、前記■■■
を繰返す。比較回路（４１）における前記判定は、たと
えば微分回路（４０）の出力信号の波高値が前回の走査
時の波高値と一致したこと（波高値の変化がなくなった
こと）により行なうことができる。

■　微分回路（４０）の出力信号の波高値が最大になる
と、比較回路（４１）はその旨のパルス信号を中央制御
回路（４６）に送るとともに記憶回路（４２）をクリヤ
し、中央制御回路（４６）はスタート指令の発生を中爪
する。

■　前記ののとき、つまり微分回路の出力信号が最大に
な−ったときは即ち検出器（２６）の出力波形の立上り
が最も鋭（なったときであり、このとき幅（ＤＭ’）が
最小であるから、中央制御回路（４６）はそのときのＤ
Ａ変換器（３５）の値を（１３）（１→（１５）式の（
１１）として記憶回路（４３）に記憶させる。

■　リ、下、同様にして走査方向（１）を設定して（Ｉ
２）を得、（ヲ）を設定して（＋３）を得も［相］　（
ＩＩ）（Ｉ２）（＋３）を得たならば、中央制御回路（
４６）は、演算回路（４５）に演算指令を出力する。

これにより演算回路（４５）は記憶回路（４３）内の（
１＋）　（Ｉ２）　（＋３）を基にして（＋３１（１４
）（１５）式の演算を行なって非点収差補正の大きさく
ＮＳ）と方向（λＳ）と焦点合せ電流（Ｉ９）を算出し
、（ＮＳ）を変換器（３０）に、（λＳ）を（３１）に
（Ｉｏ）を（３５）に各々出力する。これにより−１（
Ｎｓ）と（λＳ）は増幅器（３２）　（３３）を介して
補正コイル０渇に供給され非点収差は正しく補正される
。又（Ｉｏ）は増幅器（３６）を介して集束レンズ０３
）に供給され、焦点が正しく結ばれる。

なお、補正装置が直角座標方式の場合は、演算回路（４
５）において（１６）式と（１７）式の演算を行なわせ
ればよい。

上述の実施例では荷電粒子線＋ＩＩ）の集束、偏向及び
非点収差の補正を電磁方式とし、これに流れる電流によ
って制御しているが、代りに電極による静電方式として
、これに印加される電圧によって制御してもよい。

おける荷電粒子線の焦点を変化させてそのときに試料か
ら生じる信号粒子を検出して試料上における荷電粒子線
の断面の移動方向成分が最小になる条件を移動方向別に
検出し、検出値を用いて荷電粒子線の非点収差を表わす
信号、非点収差を補正する信号、および焦点合せの信号
のうち少なくともいずれか１つを算出するから、非点収
差の定量的測定が可能になり、また自動的に補正と焦点
合せを行なうように構成することもできる。すなわち第
２の発明によれば、表示装置に表示されたラー２１〜 インプロファイルが最もシャープになるようにレンズ電
源を設定するだけでよいから非点収差の定量的な測定を
することができ、その結果素人でも簡単かつ短時間で正
確に補正することができる。

さらに、第３の発明によれば、非点収差の補正と焦点合
せが自動的に行なわれるから、使用者はスタート釦を押
すだけでよく、−切の判断を必要とせずに短時間で正確
に荷電粒子線の取扱いを行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の原理説明図であり、第１
図は荷電粒子線の横断面図、第２図と第３図は荷電粒子
線の縦断面図、第４図は本発明にかかる装置の第１実施
例の電気回路のブロック図、第５図は第２実施例め電気
回路のブロック図である。 （＋１）：荷電粒子線、　（１の：非点収差補正コイノ
ペ０■：集束レンズ、　０４）：走査コイノペ　０９：
試料、（１８Ｘ３４）　：　　非点収差補正用電源、　
　（１９Ｘ３７）　：　レンズ電源、　　（２０Ｘ３８
）　：走査回路、（２１Ｘ３９）　：走２２− 査方向設定回路、　　（２２Ｘ４５）　：演算回路、（
２：うＸ４２Ｘ４３）　：記憶回路、　　（２４Ｘ２５
）　：表示器、（２６）　：検出器、　　（２７）　：
信号粒子、　　（２８）　：表示装置、　　（４０）　
：微分回路、（４１）：比較回路、（４４）：　）リガ
ーパルス発生器、　　（４６）　：中央制御回路。 特許出願人 ＝２３− 矛１図 第３図 （１（１，５００円）　　　　　　　　　　　　　　Ｆ
Ｊｄ和５８年１０月６８２０発明の名称　　荷電粒子線
取扱方法および装置３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名　称　　株式会社　エリオニクス ８、補正の内容 １）明細書中、特許請求の範囲を別紙のとおり補正する
。 ２）同、１０頁１行の１−・・・生かされる。」のあと
に下記の文を挿入する。 記 この例として、（θ）を（０）と（π／４）の２種類に
変え、そのときの（１）の値が（Ｔｉ　、　１２）であ
った場合を示す。これらの値を（５）式へ代入すると ｋｃ、　　（Ｌ＋−１ｏ）−−Ｎ　　−ｃｏｓ（２（λ
Ｌ−ｏ＞）　　・・・−・−（１ｇ　）ｋＬ（１２−１
ｏ）＝　−Ｎ　−ｃｏＪ２（λＬ−πｙ　４））−＜　
１９）となり、これらの式を解くと ＮＬ＝ｋＬｒ石弓扉石Ｊ・・・・・・・・・・・・・・
・・・・（２０）；ｈ、＝　（１／２”Ｉ・ｊａｎ−一
（Ｉ２−丁い／（丁＋−１：ｏ）　　　　　−（２１＞
となって（ＮＬ）（λし）が求められる。なお、この（
ＮＬ）（λＬ　）を（１１）　　（１２）へ代入すれば
非点の補正量（Ｎｓ）、補正方向（λＳ）が求められる
ことは前記例と同様である。 ３）同、１１頁６行「・・・できる。」の後に、以下１
− を挿入する。 記 例えば、（Ｏ）を（０，π／４．π／２，３π／４〉の
４種類に変え、そのときの（１）の値が（Ｉｔ、　　１
２．　１３．　１４）であった場合を示ず。これらの値
を（５）式に代入すると、（θ）が（０，π／４）の時
は（１８）、（１９）式と同じでありその他に次式が得
られる。 ｋＬ（ｈ　−［ｏ）＝　−Ｎ　−ｃｏｓ（２（λＬ−ｙ
ｒ　／２））・−・−・＜　２２　＞ｌｕ、　（１４−
ｆｏ）＝　−Ｎ　−ｃｏＪ２（λＬ−３π／４））−＜
　２３　＞λｔ＝（１／２）−ｊａｎ−１−（Ｉｔ　Ｉ
２）／（Ｉ３　］１＋）、、、　（２５＞ｌ０＝（Ｉｌ
＋　１２＋ｂ＋１４）／４・・・・・・・・・・・・・
・・・・・町・・　（２６）となって（ＮＬ、λＬ　）
および（Ｉｏ）がそれぞれ求まる。なお、この（ＮＬ、
λし　）から補正量（Ｎｓ）、補正方向（λＳ）さらに
は直角座標方式の場合の補正電流（Ｉ　ｓｘ、　　Ｉ　
ｓｙ）がそれぞれ求められることは前記例と同様である
。 ４）同、２０頁３行のｒ（ＤＭ）Ｊをｒ（Ｄθ）」と補
正する。 ５）同、２１負１５〜１６行の「非点収差を表わす信号
、・・・・・・焦点合わせの信号」を、「非点収差を表
わす信号および非点収差を補正する信号」と補正する。 ６）同、２２頁９行の１できる。」のあとに、下記の文
を挿入する。 記 そして、第４、第５、第６の発明によれば、共通の情報
を基にして、荷電粒子線の非点収差と焦点合ぜとを行な
うことができる。 特許請求の範囲 １）試料ど荷電粒子線とを荷電粒子線の軸を横切る面内
で少なくとも２方向に相対的に繰返し移動さＵ、かつ試
料上にお【ｊる荷電粒子線の焦点を調整し、そのとぎに
試料から生じる信号粒子を用いて試料−ににおける荷電
粒子線の断面の前記移動方向の成分が最小になる前記焦
点調節条件を移動方向別に検出し、検出値を用いて荷電
粒子線の非点収差を表わす信号１点ユ非点収差を補正す
る倍長−のうちの少なくともいずれか１つを算出するこ
とを特徴とする荷電粒子線取扱方法。 ２）荷電粒子線と試料とを荷電粒子線の軸を横切る面内
で相対的に繰返し移動する手段と、移動方向を少なくと
も２方向に切換える手段と、試料上の荷電粒子線の焦点
を調整する手段と、試料からの信号粒子の検出器と、検
出した信号の波形を表示覆る装置と、試料上の荷電粒子
の断面の前記移動方向の成分が最小になつ１〔ときに前
記焦点調節手段の条件を移動方向別に記憶し、記憶内容
を用いて荷電粒子線の非点収差を表わず信号、ζユ非点
収差を補正する借景−のうち少なくともいずれか１つを
締出する手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子線取
扱装置。 ３）荷電粒子線と試料とを荷電粒子線の軸を横切る面内
で相対的に繰返し移動する手段と、移動方向を少なくと
も２方向に切換える手段と、試料上の荷電粒子線の焦点
を調整する手段と、試料からの信号粒子の検出器と、検
出した信号の波形から試料上の荷電粒子線の断面の前記
移動方向の成分の大小を判定し、移動方向の成分が最小
になったときに前記焦点調節手段の条件を移動方向別に
記憶し、記憶内容を用いて荷電粒子線の非点収差を表わ
す信号互非点収差を補正する信相のうちの少なくともい
ずれか１つを算出する手段とを備えたことを特徴とする
荷電粒子線取扱装置。 向の成分が最小になる前記焦点調節条件を移動方試石上
の荷電粒子線の断面の前記移動方向の成分４−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 かつ試料上における荷電粒子線の焦点を調節し、そのと
   きに試料から生じる信号粒子を用いて試料上における荷
   電粒子線の断面の前記移動方向の成分が最小になる前記
   焦点調節条件を移動方向別に検出し、検出値を用いて荷
   電粒子線の非点収差を表わす信号、非点収差を補正する
   信号、および焦点合せの信号のうち少なくともいずれか
   １つを算出することを特徴とする荷電粒子線取扱方法。 少なくとも２方向に切換える手段と、試料上の荷電粒子
   線の焦点を調節する手段と、試料からの信号粒子の検出
   器と、検出した信号の波形を表示する装置と、試料上の
   荷電粒子の断面の前記移動方向の成分が最小になったと
   きに前記焦点調節手段の条件を移動方向別に記憶し、記
   憶内容を用いて荷電粒子線の非点収差を表わす信号、非
   点収差を補正する信号、および焦点合せの信号のうち少
   な（ともいずれか１つを算出する手段とを備えたことを
   特徴とする荷電粒子線取扱装置。 少なくとも２方向に切換える手段と、試料上の荷電粒子
   線の焦点を調節する手段と、試料からの信号粒子の検出
   器と、検出した信号の波形から試料上の荷電粒子線の断
   面の前記移動方向の成分の大小を判定し、移動方向の成
   分が最小になったときに前記焦点調節手段の条件を移動
   方向別に記憶し、記憶内容を用いて荷電粒子線の非点収
   差を表わす信号、非点収差を補正する信号、および焦点
   合せの信号のうち少なくともいずれか１つを算出する手
   段とを備えたことを特徴とする荷電粒子線取扱装置。