JPS5918452A - 電磁超音波計測装置 - Google Patents
電磁超音波計測装置Info
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- JPS5918452A JPS5918452A JP57127675A JP12767582A JPS5918452A JP S5918452 A JPS5918452 A JP S5918452A JP 57127675 A JP57127675 A JP 57127675A JP 12767582 A JP12767582 A JP 12767582A JP S5918452 A JPS5918452 A JP S5918452A
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- JP
- Japan
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- coil
- electromagnetic ultrasonic
- magnetic pole
- transmitting
- ultrasonic measuring
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2412—Probes using the magnetostrictive properties of the material to be examined, e.g. electromagnetic acoustic transducers [EMAT]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/02854—Length, thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/042—Wave modes
- G01N2291/0421—Longitudinal waves
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- Electromagnetism (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電磁超音波計測装置に関する。
非破壊検査の方法の一つに超音波を利用する方法があり
、広く使用されているが、被検材の表面が滑らかである
ことが必要であったり、高温の被検材には応用できない
等の欠点がある。電磁超音波計測装置は、これらの欠点
がないものとして広く研究され、実用に供されつつあり
、例えば、ｎｏｎ ｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅ ｔｅｓｔ
ｉｎｇ ＶＯＬ、５ Ａ ３ ｊｕｎｅ１９７２ Ｐ１
５４〜１５９ ［ＥＩｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｏ−ａｃ
ｏｕｓｔｉｃｎｏｎ−ｄｅｓｔｓｃｔｉｖｅ ｔｅｓ
ｔｉｎｇ ｉｎ ｔｈｅ ５ｏｖｉｅｔ［Ｊｎｉｏ
ｎＪにも具体的に紹介されている。
、広く使用されているが、被検材の表面が滑らかである
ことが必要であったり、高温の被検材には応用できない
等の欠点がある。電磁超音波計測装置は、これらの欠点
がないものとして広く研究され、実用に供されつつあり
、例えば、ｎｏｎ ｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅ ｔｅｓｔ
ｉｎｇ ＶＯＬ、５ Ａ ３ ｊｕｎｅ１９７２ Ｐ１
５４〜１５９ ［ＥＩｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｏ−ａｃ
ｏｕｓｔｉｃｎｏｎ−ｄｅｓｔｓｃｔｉｖｅ ｔｅｓ
ｔｉｎｇ ｉｎ ｔｈｅ ５ｏｖｉｅｔ［Ｊｎｉｏ
ｎＪにも具体的に紹介されている。
電磁超音波計測装置によって高感度に被検材内部のきす
を検出し、或は被検材の厚み全計測するには、原理的に
明らかなように、被検材表面に作用する磁界を強くする
か、送信コイルに加える信号を強化するかのいずれか、
或は両方を強化するかしか方法はない。これらのうち、
送信コイルに加える信号全強化することは安全の面から
も限界があり、磁界全強化することが有効となるが、従
来、断面Ｅ型の鉄心を使用して被検材の表面に磁界全作
用させるものとされているため、その強化にも限界があ
った。
を検出し、或は被検材の厚み全計測するには、原理的に
明らかなように、被検材表面に作用する磁界を強くする
か、送信コイルに加える信号を強化するかのいずれか、
或は両方を強化するかしか方法はない。これらのうち、
送信コイルに加える信号全強化することは安全の面から
も限界があり、磁界全強化することが有効となるが、従
来、断面Ｅ型の鉄心を使用して被検材の表面に磁界全作
用させるものとされているため、その強化にも限界があ
った。
すなわち、電磁超音波計測装置では、ｈ１゛測の目的に
合わせて横波、縦波が選択的に使用されるわけである。
合わせて横波、縦波が選択的に使用されるわけである。
この場合、比較的高温にある被検材に対しても有効な縦
波を利用しようとするときは、被検材の表面に平行に作
用している磁界が必要であるが、断面がＥ型の鉄心を使
用していると、被検材が単に継鉄として作用するにすぎ
ず、その表面に平行な磁界を効果的に得ることができな
いのである。
波を利用しようとするときは、被検材の表面に平行に作
用している磁界が必要であるが、断面がＥ型の鉄心を使
用していると、被検材が単に継鉄として作用するにすぎ
ず、その表面に平行な磁界を効果的に得ることができな
いのである。
本発明ｃＩ、被検材を中にして励磁コイル全巻回した構
造とすることにより、原理的に励磁コイルによる起磁力
Ａ・ＩＩＩが全て被検材に平行に作用するものとし、そ
の結果、被検材表面に平行に作用する磁界成分全増大さ
せ、縦波を利用した電磁超音波計測を効果的に行うこと
を提案するものである。
造とすることにより、原理的に励磁コイルによる起磁力
Ａ・ＩＩＩが全て被検材に平行に作用するものとし、そ
の結果、被検材表面に平行に作用する磁界成分全増大さ
せ、縦波を利用した電磁超音波計測を効果的に行うこと
を提案するものである。
第１図、第２図に本発明に係る電磁超音波計測装置の基
本釣力構成全斜視図及び断面斜視図で示す。尚、図にお
いて同一部材には同一の参照符号が付されている。
本釣力構成全斜視図及び断面斜視図で示す。尚、図にお
いて同一部材には同一の参照符号が付されている。
同図忙おいて、２個の直流コイル１１．１２は各々が独
立して被検材１を包囲する如く巻回されており、２個の
直流コイル１１．１２から発生する直流磁束（図中点線
で示す）は加え合されるように励磁される。ここで夫々
のコイルは直列接続でも、並列接続でも良い。２個の直
流励磁コイル１１．１２の間の空間に被検材１と対向し
て送受信コイル１３が配置されている。送受信コイル１
３は、これ全回−場所に配置することができるのは勿論
、送信コイルと受信コイルとを被検材１全はさんで配置
する方式いわゆる透過形とじうろことは醒うまでもない
。
立して被検材１を包囲する如く巻回されており、２個の
直流コイル１１．１２から発生する直流磁束（図中点線
で示す）は加え合されるように励磁される。ここで夫々
のコイルは直列接続でも、並列接続でも良い。２個の直
流励磁コイル１１．１２の間の空間に被検材１と対向し
て送受信コイル１３が配置されている。送受信コイル１
３は、これ全回−場所に配置することができるのは勿論
、送信コイルと受信コイルとを被検材１全はさんで配置
する方式いわゆる透過形とじうろことは醒うまでもない
。
第３図に２個の直流励磁コイルの励磁電流の流れる方向
を図中矢印で示す。
を図中矢印で示す。
上記構成において、２つの直流コイル１１゜１２によ多
発生する直流磁束はその大半が被検材１の内部を通り、
しかもその方向は被検材１０表面と平行となる。即ち、
コイル１１．１２の作る磁束はほとんど全て縦波電磁超
音波全送受信するのに必要な被検材１の表面と平行な成
分の磁場全形成する。直流励磁コイル１１．１２の励磁
ｉ′全増大すればほぼ比例的に磁場強度は増大し、この
磁場強度は１００００ Ｇａｕｓｓ 以上の値を得る
ことは容易である。その結果、本実施例によれば縦波電
磁超音波の検出信号レベルは従来法による平均的な磁場
強度（約３００００ａｕｓｓ ）に比較し約１１倍［
＝ （１０，０００／３，０００ ）２１）の感度向上
が図れ、その効果は非常に大きい。
発生する直流磁束はその大半が被検材１の内部を通り、
しかもその方向は被検材１０表面と平行となる。即ち、
コイル１１．１２の作る磁束はほとんど全て縦波電磁超
音波全送受信するのに必要な被検材１の表面と平行な成
分の磁場全形成する。直流励磁コイル１１．１２の励磁
ｉ′全増大すればほぼ比例的に磁場強度は増大し、この
磁場強度は１００００ Ｇａｕｓｓ 以上の値を得る
ことは容易である。その結果、本実施例によれば縦波電
磁超音波の検出信号レベルは従来法による平均的な磁場
強度（約３００００ａｕｓｓ ）に比較し約１１倍［
＝ （１０，０００／３，０００ ）２１）の感度向上
が図れ、その効果は非常に大きい。
又、本構成によれば送受信コイル１３は直流励磁コイル
間の空間内であれば被検材の表面、側面、層面どの位置
にでも配置でき、単一の送受信コイルのみならず、複数
の送受信コイルを所定の間隔で対向配置することも可能
である。
間の空間内であれば被検材の表面、側面、層面どの位置
にでも配置でき、単一の送受信コイルのみならず、複数
の送受信コイルを所定の間隔で対向配置することも可能
である。
次に、第１図の構成において磁場発生効率を改善するた
めに鉄心を設けることが当然考えられる。
めに鉄心を設けることが当然考えられる。
この場合の断面斜視図全第４図に示す。同図において鉄
心１４は直流励磁コイル１１．１２ｉ包囲する様に構成
されている。
心１４は直流励磁コイル１１．１２ｉ包囲する様に構成
されている。
なお、常電導コイルによる電磁石の代りに超伝導マグネ
ットヲ用い扛ば、磁場強度を大きくとることが可能とな
るので更に計測感度の向上が図れることは勿論である。
ットヲ用い扛ば、磁場強度を大きくとることが可能とな
るので更に計測感度の向上が図れることは勿論である。
第５図の構成は励磁コイルを一つにした例であり、実質
的に前述の構成と変るところはない。第６図は被検材１
がパイプであシ、バイブの肉厚を測定しようとする例で
ある。
的に前述の構成と変るところはない。第６図は被検材１
がパイプであシ、バイブの肉厚を測定しようとする例で
ある。
第４図〜第６図の例において、鉄心１４は、後述する本
発明の実施例第７図、第８図のように、コイル全両側か
らはさみ込む形のように二分割とすることが実際的であ
る。
発明の実施例第７図、第８図のように、コイル全両側か
らはさみ込む形のように二分割とすることが実際的であ
る。
第７図、第８図は本発明を第６図の例に適用した具体的
な実施例全一部断面で示す側面図、平面図である。
な実施例全一部断面で示す側面図、平面図である。
鉄心１４は１４ａ、１４ｂに２分割され、夫々中央に切
欠き部を有する断面コ字状の円筒形に作られ、夫々の内
面にコイル１１．１２が、保護カバー２１ａ、２１ｂに
よって固着されるとともに、第７図に示すように、コイ
ル１１．Ｉｎ対向させた形でボルト２２および図示しな
いナツトによって結合される。２５ａ、２５ｂは先端部
が先細り状にされた円筒形磁極であり、夫々鉄心１４ａ
。
欠き部を有する断面コ字状の円筒形に作られ、夫々の内
面にコイル１１．１２が、保護カバー２１ａ、２１ｂに
よって固着されるとともに、第７図に示すように、コイ
ル１１．Ｉｎ対向させた形でボルト２２および図示しな
いナツトによって結合される。２５ａ、２５ｂは先端部
が先細り状にされた円筒形磁極であり、夫々鉄心１４ａ
。
１４ｂの中央の切欠き部に挿入され、ボルト２６によっ
て鉄心１４ａ、ｂに固着される。２７ａ。
て鉄心１４ａ、ｂに固着される。２７ａ。
２７ｂはカバーであり、中心部に穴のあけられた円板で
ある。このカバーは、ボルト２６の鉄心側面からの突出
を防ぐため、ボルト２６の部分が一部切欠かれる他、後
述する冷却水配管の配置される部分も切欠かれ、鉄心側
面からの突出部ができないように工夫されている。
ある。このカバーは、ボルト２６の鉄心側面からの突出
を防ぐため、ボルト２６の部分が一部切欠かれる他、後
述する冷却水配管の配置される部分も切欠かれ、鉄心側
面からの突出部ができないように工夫されている。
磁極２５ａ、２５ｂは、先細り状とされているから、そ
の先端部に磁界全集中させることができ、効果的に被検
材表面と平行な磁場を作シ出すことができる。被検材１
の寸法の変更に対しては、磁極２５ａ、２５ｂを変更す
ることによって対応することができる。更に１磁極２５
ａ、２５ｂの内面を図のように傾きを持ったものとする
ことにより、被検材の導入をスムーズにすることができ
る。
の先端部に磁界全集中させることができ、効果的に被検
材表面と平行な磁場を作シ出すことができる。被検材１
の寸法の変更に対しては、磁極２５ａ、２５ｂを変更す
ることによって対応することができる。更に１磁極２５
ａ、２５ｂの内面を図のように傾きを持ったものとする
ことにより、被検材の導入をスムーズにすることができ
る。
この場合、磁極の内面に保護部材を貼る、等することに
よシ、磁極２５、被検材ｌの衝突があっても、両者金偏
つけないようにすることができる。
よシ、磁極２５、被検材ｌの衝突があっても、両者金偏
つけないようにすることができる。
磁極２５ａ、２５ｂには図示されていないが冷却水を通
すための貫通孔が設けられ、冷却される。
すための貫通孔が設けられ、冷却される。
例えば、鉄心１４ａ側について見ると、冷却水は冷却水
導入配管２８ａから導入され、磁極２５ａ内の貫通孔を
通り磁［１２５ａの先端部で図示しない渡り配管を通っ
て、磁極２５ａの９０° 離れた位置にある貫通孔に導
かれる。このｌＬ過通孔出良冷却水は渡り配管３０ａに
より、さらに９０° 離れた位置にある貫通孔に導かれ
る。この貫通孔を流れた冷却水は磁極２５５１の先端部
で渡り配管３１ａによシ更に９０°離れた位置にある貫
通孔に導かれる。この貫通孔を出た冷却水は配管２８ａ
と対応した上部位置にある冷却水排出配管（図示せず）
により外部に排出される。即ち、磁極２５８は９０°き
ざみで配置された貫通孔全冷却水が２往復する形で冷却
されるのでおる。鉄心１４ｂについても、同様に、配管
２８ｂから冷却水が導入され、磁極２５ｂの貫通孔と渡
り配管（途中で渡シ配管３１ｋ１通る）とを順次通過し
ながら、図示しない配管から排出される。
導入配管２８ａから導入され、磁極２５ａ内の貫通孔を
通り磁［１２５ａの先端部で図示しない渡り配管を通っ
て、磁極２５ａの９０° 離れた位置にある貫通孔に導
かれる。このｌＬ過通孔出良冷却水は渡り配管３０ａに
より、さらに９０° 離れた位置にある貫通孔に導かれ
る。この貫通孔を流れた冷却水は磁極２５５１の先端部
で渡り配管３１ａによシ更に９０°離れた位置にある貫
通孔に導かれる。この貫通孔を出た冷却水は配管２８ａ
と対応した上部位置にある冷却水排出配管（図示せず）
により外部に排出される。即ち、磁極２５８は９０°き
ざみで配置された貫通孔全冷却水が２往復する形で冷却
されるのでおる。鉄心１４ｂについても、同様に、配管
２８ｂから冷却水が導入され、磁極２５ｂの貫通孔と渡
り配管（途中で渡シ配管３１ｋ１通る）とを順次通過し
ながら、図示しない配管から排出される。
磁極２５ａ、２５ｂは第７図に破線で示すように内部筒
と外部筒の２分割されたものを合せて一体化した形にす
ることができる。このようにするときは、被検材の寸法
変更に対応して磁極２５を交換するとき、内部筒、外部
筒全夫々分離して扱うことができるから、ボ量を軽減で
き、取扱いが容易となる利点がある。
と外部筒の２分割されたものを合せて一体化した形にす
ることができる。このようにするときは、被検材の寸法
変更に対応して磁極２５を交換するとき、内部筒、外部
筒全夫々分離して扱うことができるから、ボ量を軽減で
き、取扱いが容易となる利点がある。
（９）
４０は送受信部収納ブロックであり、偏平な中空材を円
く成形されるとともに、６０°き、ざみで後述する送受
部５１〜５６ （５４，５５は図示せず）が配置される
ための貫通孔６１〜６６（６４゜６５は図示せず）を有
するーブロック４０は磁極２５ａ、ｂの夫々の先端部に
より支持される。ブロック４０に設けられた貫通孔６１
〜６６の被検材１側には非導電性のカバー７１〜７６
（７４゜７５は図示せず）が配置され、反対側には送受
信部５１〜５６が配置される。送受信部は例えば送信コ
イル、受信コイル（図示せず）がモールドされたもの全
主体とするから、この強度を補強するため保護カバー８
１〜８６ （８４，８５は図示せず）が設けられる。送
信コイル、受信コイルと外部回路との依続はケーブル配
管９１〜９６（９４゜９５は図示せず）によシ行なわれ
る。ケーブル配管９１〜９６は後述する冷却水導入配管
同様に磁極２５ｂに設けた貫通孔により外部に導出され
る。
く成形されるとともに、６０°き、ざみで後述する送受
部５１〜５６ （５４，５５は図示せず）が配置される
ための貫通孔６１〜６６（６４゜６５は図示せず）を有
するーブロック４０は磁極２５ａ、ｂの夫々の先端部に
より支持される。ブロック４０に設けられた貫通孔６１
〜６６の被検材１側には非導電性のカバー７１〜７６
（７４゜７５は図示せず）が配置され、反対側には送受
信部５１〜５６が配置される。送受信部は例えば送信コ
イル、受信コイル（図示せず）がモールドされたもの全
主体とするから、この強度を補強するため保護カバー８
１〜８６ （８４，８５は図示せず）が設けられる。送
信コイル、受信コイルと外部回路との依続はケーブル配
管９１〜９６（９４゜９５は図示せず）によシ行なわれ
る。ケーブル配管９１〜９６は後述する冷却水導入配管
同様に磁極２５ｂに設けた貫通孔により外部に導出され
る。
ブロック４０の中空部４１には冷却水導入配管４２が接
続され、冷却水が導入される。この冷却（１０） 水は中空部４１からカバー７１と送受信ブロック５１と
の空間及びカバー７２と送受信ブロック５２との空間の
夫々に分流し、以下、中空部とカバーと送受信ブロック
との間の空間とを順次流れ、配管４２に対向する位置に
設けられた図示しない冷却水排出導管を介して外部に排
出される。導入配管４２は磁極２５ｂの貫通孔４３全通
過する。
続され、冷却水が導入される。この冷却（１０） 水は中空部４１からカバー７１と送受信ブロック５１と
の空間及びカバー７２と送受信ブロック５２との空間の
夫々に分流し、以下、中空部とカバーと送受信ブロック
との間の空間とを順次流れ、配管４２に対向する位置に
設けられた図示しない冷却水排出導管を介して外部に排
出される。導入配管４２は磁極２５ｂの貫通孔４３全通
過する。
図示しない導出配管も同様である。導水配管４２および
ブロック４０の中空部４１は断面積が小さいので冷却水
に不純物がまざっていたり、内部に藻が発生したりする
様なことがあると、つ−まったり、冷却水の流れがかた
よったりして冷却が不充分になる可能性がある。それ故
、冷却水は蒸留水とし、充分な流速で流れる様にするの
が良い。
ブロック４０の中空部４１は断面積が小さいので冷却水
に不純物がまざっていたり、内部に藻が発生したりする
様なことがあると、つ−まったり、冷却水の流れがかた
よったりして冷却が不充分になる可能性がある。それ故
、冷却水は蒸留水とし、充分な流速で流れる様にするの
が良い。
第１図は本発明の基礎となる基本構成全概念的に示す斜
視図、第２図は第１図における励磁コイルと送受信コイ
ルとの関係を示す断面斜視図、第３図は第１図の基本概
念全説明する線図、第４図は第１図に鉄心’ｘ １Ａ−
用した場合の構成全話す断面（１１） 斜視図５．２５５図は励磁コイルを一つにした場合の構
成についての断面斜視図、第６図は被検材全パイプとし
たときの構成全話す断面斜視図、第７図。 平面図であり、夫々互いに■−■、■−■方向に区充す
【ｌ゛ふ合。 １・・・被検材、１１ 、１２−−−−フィル、１４ａ
、１４ｂ・・・鉄心、２５ａ、２５ｂ・・・磁極、４０
・・・送受何部収納ブロック、４２，２８ａ、２８ｂ・
・・冷却水量（１２） 第 １ 図 宅 ３ 図 第 ４図 日立市幸町３丁目１番１号株式 会社日立製作所日立研究所内 ■［出 願 人 株式会社日立製作所 東京都千代田区丸の内−丁目５ 番１号
視図、第２図は第１図における励磁コイルと送受信コイ
ルとの関係を示す断面斜視図、第３図は第１図の基本概
念全説明する線図、第４図は第１図に鉄心’ｘ １Ａ−
用した場合の構成全話す断面（１１） 斜視図５．２５５図は励磁コイルを一つにした場合の構
成についての断面斜視図、第６図は被検材全パイプとし
たときの構成全話す断面斜視図、第７図。 平面図であり、夫々互いに■−■、■−■方向に区充す
【ｌ゛ふ合。 １・・・被検材、１１ 、１２−−−−フィル、１４ａ
、１４ｂ・・・鉄心、２５ａ、２５ｂ・・・磁極、４０
・・・送受何部収納ブロック、４２，２８ａ、２８ｂ・
・・冷却水量（１２） 第 １ 図 宅 ３ 図 第 ４図 日立市幸町３丁目１番１号株式 会社日立製作所日立研究所内 ■［出 願 人 株式会社日立製作所 東京都千代田区丸の内−丁目５ 番１号
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検材を中にして巻回され、直流電圧全顎えられる
励磁コイルと、前記励磁コイルによる磁界が作用してい
る被検材カ表面部分に機械歪を生じさせるための送信コ
イルと前記機械歪が被検社内全伝播して被検材表面にあ
られれたことを検出する受信コイルとよりなり、前記励
磁コイルが被検材に対向する面を除いて継鉄によって囲
−まれるとともＫ、コイルの前記被検材に対向する面に
は磁極が前記継鉄に支持されて配置され、且、前記送信
コイル又は受１ｇコイルが前記磁極によって支持される
ことを特徴とする電磁超音波計測装置。 ２、第１項において、前記磁極が被検材の寸法に応じて
交換されることを特徴とする電磁超音波計測装置。 ３、第１項において、前記磁極、送信コイル又は受信コ
イルの水冷却のための配管が備えられることを特徴とす
る電磁超音波計測装置。 ４、 第１項において、前記磁極の、少なくとも一つの
側は被検材の挿入方向に対してテーパー面とされること
全特徴とする電磁超音波計測装置。 ５、第１項において、送信コイル及び受信コイルが被検
材の周囲に複数組配置されることを特徴とする電磁超音
波計６１１］装置。 ６、第１項において、送信コイル及び受信コイルの被検
材に対向する而には非導電性の材料の保獲カバーが配置
されることを特徴とする電磁超音波計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57127675A JPS5918452A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 電磁超音波計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57127675A JPS5918452A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 電磁超音波計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918452A true JPS5918452A (ja) | 1984-01-30 |
| JPH0146028B2 JPH0146028B2 (ja) | 1989-10-05 |
Family
ID=14965931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57127675A Granted JPS5918452A (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 電磁超音波計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918452A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1982
- 1982-07-23 JP JP57127675A patent/JPS5918452A/ja active Granted
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| JPH0146028B2 (ja) | 1989-10-05 |
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