JPS5918352U - 静電レンズ構造 - Google Patents

静電レンズ構造

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JPS5918352U
JPS5918352U JP11436182U JP11436182U JPS5918352U JP S5918352 U JPS5918352 U JP S5918352U JP 11436182 U JP11436182 U JP 11436182U JP 11436182 U JP11436182 U JP 11436182U JP S5918352 U JPS5918352 U JP S5918352U
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JP
Japan
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electrodes
electrostatic lens
lens structure
high voltage
ground potential
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JP11436182U
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JPS6331480Y2 (ja
Inventor
平田 衡
境 悠治
Original Assignee
日本電子株式会社
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の静電レンズ構造を示す断面図、第2図は
本考案の一実施例を示す断面図である。 11:基台、12:イオン源、13:支持体、14゜1
5、 16:接地電極、17.18:高電圧電極、19
.20,21,22:絶縁体、23. 24:偏向電極

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 接地電位あるいは低電圧が印加される電極と、高電圧が
    印加される電極とを交互に配置した静電レンズにおいて
    、該電極の内、接地電位あるいは低電位が印加される複
    数の電極を導電部材あるいは絶縁部材を介して一体的に
    接続し、該電極の内高電圧が印加される電極同志を絶縁
    材を介して接続した静電レンズ構造。
JP11436182U 1982-07-28 1982-07-28 静電レンズ構造 Granted JPS5918352U (ja)

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JP11436182U JPS5918352U (ja) 1982-07-28 1982-07-28 静電レンズ構造

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JP11436182U JPS5918352U (ja) 1982-07-28 1982-07-28 静電レンズ構造

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Publication Number Publication Date
JPS5918352U true JPS5918352U (ja) 1984-02-03
JPS6331480Y2 JPS6331480Y2 (ja) 1988-08-23

Family

ID=30264386

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JP11436182U Granted JPS5918352U (ja) 1982-07-28 1982-07-28 静電レンズ構造

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6175057U (ja) * 1984-10-23 1986-05-21

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6175057U (ja) * 1984-10-23 1986-05-21

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6331480Y2 (ja) 1988-08-23

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