JPS60193656U - 多極電極 - Google Patents
多極電極Info
- Publication number
- JPS60193656U JPS60193656U JP8167784U JP8167784U JPS60193656U JP S60193656 U JPS60193656 U JP S60193656U JP 8167784 U JP8167784 U JP 8167784U JP 8167784 U JP8167784 U JP 8167784U JP S60193656 U JPS60193656 U JP S60193656U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- multipolar electrode
- teeth
- multipolar
- alternately
- combining
- Prior art date
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- Granted
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図ａ、 ｂｙ ｃは本考案の一実施例を示した多極
電極の概略図、第２図はその一部詳細図を示したもので
ある。 ４ ａｔ ４ ｂｙ ５ ａｔ ５ ｂ−−−−
−−電極、６ａ、６ｂ、？ａ、７ｂ＝絶縁体、８． ９
ａ、 ９ｂ・・曲リング状絶縁体。
電極の概略図、第２図はその一部詳細図を示したもので
ある。 ４ ａｔ ４ ｂｙ ５ ａｔ ５ ｂ−−−−
−−電極、６ａ、６ｂ、？ａ、７ｂ＝絶縁体、８． ９
ａ、 ９ｂ・・曲リング状絶縁体。
Claims (1)
- 凹面側に１つ以上の歯部を有する曲面体形状の電極体２
つ以上を互いの歯部が交互に入り込む様に絶縁して中空
円筒形状に組み合せて成した多極電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167784U JPS60193656U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 多極電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8167784U JPS60193656U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 多極電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60193656U true JPS60193656U (ja) | 1985-12-23 |
| JPH028355Y2 JPH028355Y2 (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=30628680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8167784U Granted JPS60193656U (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 多極電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60193656U (ja) |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP8167784U patent/JPS60193656U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH028355Y2 (ja) | 1990-02-28 |
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