JPS59170707A - 座標補正機能を備えた測定装置 - Google Patents
座標補正機能を備えた測定装置Info
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- JPS59170707A JPS59170707A JP4574583A JP4574583A JPS59170707A JP S59170707 A JPS59170707 A JP S59170707A JP 4574583 A JP4574583 A JP 4574583A JP 4574583 A JP4574583 A JP 4574583A JP S59170707 A JPS59170707 A JP S59170707A
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- JP
- Japan
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- model
- fixed
- measuring head
- measuring
- inner cylinder
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、測定ヘットを任意の方向に移動させ、測定子
の球部をモデルの表面に接触させてモデルの形状を／１
１＋１定する座標補正機能を備えた測定装置に関するも
のである。
の球部をモデルの表面に接触させてモデルの形状を／１
１＋１定する座標補正機能を備えた測定装置に関するも
のである。
〈従来技術〉
モデルの形状を測定するには、先端部に球部を形成した
測定子を有する測定へノドを、３次元方向に移動できる
ようにするとともに、測定へ・ノドを一定ピ・７チ毎に
設けられた網目状の測定点に順次位置決めし、各測定点
において測定子がモデルに接触するまで測定ヘットを移
動して接触時の測定ヘッドの位置から各測定点における
表面の位置を測定することが考えられる。しかしながら
、モデルの各測定点において、測定子が接触する被測定
面は基準面と平行でない場合が多く、このような場合に
は第３図に示すように、測定子の球ｇＨは測定子の軸線
からずれた位置Ｐ１で被測定面Ｗａと接触するため、測
定子の先端面と被測定面上の測定点となる箇所との間に
は隙間ｅが生じ、これが測定誤差となる。このため従来
は、測定子を測定ヘッドに対して３次元方向へ移動でき
るように支持するとともに各方向への変位を検出できる
ようにし、測定子が被測定面に接触した後に測定子が測
定へノドに対して球部の半径分だけ３次元的に変位した
ことが前記の検出器の出力によって判別されるまで測定
ヘッドを移動し、これに表って隙間ｅに影響されること
なしに被測定面の位置を測定していた。この場合、測定
子が測定子の球部の半径分だけ３次元方向に変位したこ
とが検出器の出力によって判別されるまで測定ヘノ１′
を移動させて停止させる必要があるため、測定時間が長
くなり、また制御が複雑になる問題があった。
測定子を有する測定へノドを、３次元方向に移動できる
ようにするとともに、測定へ・ノドを一定ピ・７チ毎に
設けられた網目状の測定点に順次位置決めし、各測定点
において測定子がモデルに接触するまで測定ヘットを移
動して接触時の測定ヘッドの位置から各測定点における
表面の位置を測定することが考えられる。しかしながら
、モデルの各測定点において、測定子が接触する被測定
面は基準面と平行でない場合が多く、このような場合に
は第３図に示すように、測定子の球ｇＨは測定子の軸線
からずれた位置Ｐ１で被測定面Ｗａと接触するため、測
定子の先端面と被測定面上の測定点となる箇所との間に
は隙間ｅが生じ、これが測定誤差となる。このため従来
は、測定子を測定ヘッドに対して３次元方向へ移動でき
るように支持するとともに各方向への変位を検出できる
ようにし、測定子が被測定面に接触した後に測定子が測
定へノドに対して球部の半径分だけ３次元的に変位した
ことが前記の検出器の出力によって判別されるまで測定
ヘッドを移動し、これに表って隙間ｅに影響されること
なしに被測定面の位置を測定していた。この場合、測定
子が測定子の球部の半径分だけ３次元方向に変位したこ
とが検出器の出力によって判別されるまで測定ヘノ１′
を移動させて停止させる必要があるため、測定時間が長
くなり、また制御が複雑になる問題があった。
〈発明の目的〉
上述した問題点を解決すべ（本発明の目的とするところ
は、測定ヘッドの測定動作を簡単にし、測定時間を短縮
することである。
は、測定ヘッドの測定動作を簡単にし、測定時間を短縮
することである。
〈発明の構成〉
本発明による座標補正機能を備えた測定装置は、測定へ
、ドの測定子をモデルに接触させてモデルの形状を測定
する測定装置において、モデルの表面からの反力を感知
する複数のセンサを設け、複数のセンサからの出力から
前記接触点におりるモデルの傾斜を演算し、演算された
傾斜に基ついて接触点の座標に補正する演算機能を具備
したことを特徴とするものである。
、ドの測定子をモデルに接触させてモデルの形状を測定
する測定装置において、モデルの表面からの反力を感知
する複数のセンサを設け、複数のセンサからの出力から
前記接触点におりるモデルの傾斜を演算し、演算された
傾斜に基ついて接触点の座標に補正する演算機能を具備
したことを特徴とするものである。
〈実施例〉
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１．第２図は、本発明にががる実施例の測定装置の測
定ヘッドの内部構造を示した図であり、１０は公知の手
段で３次元方向に移送される測定へノド本体である。前
記測定へノド本体１ｏに円筒状の外筒１１が着脱可能に
ねじ軸１２で固定され、外筒１１内には外筒１１と間隔
を持って内筒１３が複数のボルト１４により固定されて
いる。内筒１３の上面である水平な面に垂直方向のみの
力を感知する４個の圧電型荷重センサ１５ａ、１５ｂ。
定ヘッドの内部構造を示した図であり、１０は公知の手
段で３次元方向に移送される測定へノド本体である。前
記測定へノド本体１ｏに円筒状の外筒１１が着脱可能に
ねじ軸１２で固定され、外筒１１内には外筒１１と間隔
を持って内筒１３が複数のボルト１４により固定されて
いる。内筒１３の上面である水平な面に垂直方向のみの
力を感知する４個の圧電型荷重センサ１５ａ、１５ｂ。
１５Ｃ，１５ｄが、内筒１３の中心から同距離でかつ内
筒１３の中心回りの等角度間隔でもゲで固着されている
。各センサ１５に一定の押圧力をがげるための複数の調
整ねじ軸１６が外筒１１に蝮合されている。内筒１３の
下端に輪状の支持板１７が固定され、この支持板１７に
固着された案内部材１８に複数のホール１９を介して連
結軸２゜軸２０と同軸にねじ結合されている。内筒１３
と連結軸２０間に押圧ばね２２が設けられ、測定子２１
に大きな力が作用したときのみ測定子２１の損壊を防く
ため測定子２１が押圧ばね２２に逆らって逃げることが
できるようになっている。
筒１３の中心回りの等角度間隔でもゲで固着されている
。各センサ１５に一定の押圧力をがげるための複数の調
整ねじ軸１６が外筒１１に蝮合されている。内筒１３の
下端に輪状の支持板１７が固定され、この支持板１７に
固着された案内部材１８に複数のホール１９を介して連
結軸２゜軸２０と同軸にねじ結合されている。内筒１３
と連結軸２０間に押圧ばね２２が設けられ、測定子２１
に大きな力が作用したときのみ測定子２１の損壊を防く
ため測定子２１が押圧ばね２２に逆らって逃げることが
できるようになっている。
次に第３図に基づいて、第１図で示した測定子２１の球
部２１ａとモデルＷの傾斜面Ｗａとが接触した部分でど
のような力が働くのか説明する。
部２１ａとモデルＷの傾斜面Ｗａとが接触した部分でど
のような力が働くのか説明する。
球部２１ａのモデルＷへの接触圧に対するモデルＷの傾
斜面Ｗａからの反力Ｆが、球部２１ａとモデルＷとの接
触点Ｐ１で傾斜面Ｗａに対して直角に球部２１ａの中心
０に向けて球部２１ａに作用し、この力Ｆば、圧電型荷
重センサ１５ａと圧電型荷重センサ１５ｂを結ぶ線と平
行なＸ方向の力Ｆｘと、圧電型荷重センサ１５Ｃと圧電
型荷重センサ１５ｄを結ふ線と平行なＹ方向の力Ｆｙと
、測定子２１の軸線方向であるＺ方向の力Ｆｚと分解さ
れる。前記力１−′は、第１図において、押圧ばね２２
の力か強く内筒１３と連結軸２０は一体と考えられるた
め、測定子２１、内筒１３を介して各センサ１５ａ〜１
５ｄに伝えられる。
斜面Ｗａからの反力Ｆが、球部２１ａとモデルＷとの接
触点Ｐ１で傾斜面Ｗａに対して直角に球部２１ａの中心
０に向けて球部２１ａに作用し、この力Ｆば、圧電型荷
重センサ１５ａと圧電型荷重センサ１５ｂを結ぶ線と平
行なＸ方向の力Ｆｘと、圧電型荷重センサ１５Ｃと圧電
型荷重センサ１５ｄを結ふ線と平行なＹ方向の力Ｆｙと
、測定子２１の軸線方向であるＺ方向の力Ｆｚと分解さ
れる。前記力１−′は、第１図において、押圧ばね２２
の力か強く内筒１３と連結軸２０は一体と考えられるた
め、測定子２１、内筒１３を介して各センサ１５ａ〜１
５ｄに伝えられる。
次に第４図に基づいて、座標補正演算回路について説明
する。各センサ１５に接続されている比較器４０は、各
センサ１５からの出力がとれか１つでも判定レヘル設定
器４１で設定されたある値以」二になると、タッチ信号
を出すようになっており、このタッチ信号によって第１
図に示した測定ヘッド本体１０の傾斜面Ｗａへの下降が
停止し、接触点Ｐ＋の座標が測定されるようになってい
る。
する。各センサ１５に接続されている比較器４０は、各
センサ１５からの出力がとれか１つでも判定レヘル設定
器４１で設定されたある値以」二になると、タッチ信号
を出すようになっており、このタッチ信号によって第１
図に示した測定ヘッド本体１０の傾斜面Ｗａへの下降が
停止し、接触点Ｐ＋の座標が測定されるようになってい
る。
４２ば演算式
％式％
に基づいて、力Ｆの分解力Ｆｘによる圧電型荷重センサ
１５ａおよび圧電型荷重センサ１５ｂにかかるＺ方向の
力Ｆｚｘを演算する演算回路であり、Ｆｌ、Ｆ２はそれ
ぞれ圧電型荷重センサ１５ａ、１５ｂにかかるＺ方向の
力である。４３は演算式ＦＺＹ−（Ｆ３ Ｆ４）／２ に基づいて、力Ｆの分解力ＦＹによる圧電型荷重センサ
１５Ｃおよび圧電型荷重センサ１５ｄにかかるＺ方向の
力ＦＺＹを演算する演算回路であり、Ｆ３．Ｆ４はそれ
ぞれ圧電型荷重センサ１５Ｃ１１５ｄにかかるＺ方向の
力である。４４は演算式％式％ に基づいて、力Ｆの分解力ＦＺによる各センサ１５にか
かるＺ方向の力Ｆｚｚ、つまりＦＺを演算する演算回路
であ、る。４５ば演算式 ％式％ に基づいて分解力Ｆｘを演算する演算回路であり、Ｅｘ
は圧電型荷重センサ１５ａと圧電型荷重センサｒ５ｂ間
の距離、Ｌは球部２１ａの中心とセンサ１５間の垂直方
向の距離である。４６は演算式％式％） に基づいて分解力ＦＹを演算する演算回路であり、ｐＹ
は圧電型荷重センサ１５ｃと圧電型荷重センサ１５ｄ間
の距離である。４７ば演算式に基づいて反力Ｆを演算す
る演算回路である。４８．４９．５０はそれぞれ演算式 ％式％ に基づいて演算するβ、ｍ、Ｈの演算回路であり、β、
ｍ、ｎは第３図における接触点ＰＩでの１頃斜面Ｗ ａ
の法線単位ベクトルを表す。５１．５２゜５３はそれぞ
れ演算式 ％式％ に基づいて演算するΔＸ、ΔＹ、ΔＺの演算回路であり
、ΔＸ、ΔＹ、ΔＺは、それぞれ第３図における中心Ｏ
から接触点Ｐ＋へのヘクトル量のＸ。
１５ａおよび圧電型荷重センサ１５ｂにかかるＺ方向の
力Ｆｚｘを演算する演算回路であり、Ｆｌ、Ｆ２はそれ
ぞれ圧電型荷重センサ１５ａ、１５ｂにかかるＺ方向の
力である。４３は演算式ＦＺＹ−（Ｆ３ Ｆ４）／２ に基づいて、力Ｆの分解力ＦＹによる圧電型荷重センサ
１５Ｃおよび圧電型荷重センサ１５ｄにかかるＺ方向の
力ＦＺＹを演算する演算回路であり、Ｆ３．Ｆ４はそれ
ぞれ圧電型荷重センサ１５Ｃ１１５ｄにかかるＺ方向の
力である。４４は演算式％式％ に基づいて、力Ｆの分解力ＦＺによる各センサ１５にか
かるＺ方向の力Ｆｚｚ、つまりＦＺを演算する演算回路
であ、る。４５ば演算式 ％式％ に基づいて分解力Ｆｘを演算する演算回路であり、Ｅｘ
は圧電型荷重センサ１５ａと圧電型荷重センサｒ５ｂ間
の距離、Ｌは球部２１ａの中心とセンサ１５間の垂直方
向の距離である。４６は演算式％式％） に基づいて分解力ＦＹを演算する演算回路であり、ｐＹ
は圧電型荷重センサ１５ｃと圧電型荷重センサ１５ｄ間
の距離である。４７ば演算式に基づいて反力Ｆを演算す
る演算回路である。４８．４９．５０はそれぞれ演算式 ％式％ に基づいて演算するβ、ｍ、Ｈの演算回路であり、β、
ｍ、ｎは第３図における接触点ＰＩでの１頃斜面Ｗ ａ
の法線単位ベクトルを表す。５１．５２゜５３はそれぞ
れ演算式 ％式％ に基づいて演算するΔＸ、ΔＹ、ΔＺの演算回路であり
、ΔＸ、ΔＹ、ΔＺは、それぞれ第３図における中心Ｏ
から接触点Ｐ＋へのヘクトル量のＸ。
ｙ、 ｚ成分を意味する。５４，５５．５６は、それ
ぞれ球部２１ａの中心○のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置を検出
する位置検出器である。５７，５８．５９はそれぞれ演
算式 ％式％ に基づいて演算するＸ’、Ｙ’、Ｚ’の演算回路であり
、ｘ’、ｙ’、ｚ’は、それぞれ接触点Ｐ１におけるｘ
、ｙ、−Ｚ方向の座標を表す。
ぞれ球部２１ａの中心○のＸ、Ｙ、Ｚ方向の位置を検出
する位置検出器である。５７，５８．５９はそれぞれ演
算式 ％式％ に基づいて演算するＸ’、Ｙ’、Ｚ’の演算回路であり
、ｘ’、ｙ’、ｚ’は、それぞれ接触点Ｐ１におけるｘ
、ｙ、−Ｚ方向の座標を表す。
次に上述した測定ヘッドの構成と座標補正演算回路の構
成に基づいて、測定へノドの動作と演算回路の動作につ
いて説明する。測定ヘッド本体ＩＯが傾斜面Ｗａに向け
て下降して測定子２１と傾斜面Ｗａとが当接し、この当
接によって傾斜面Ｗａからの反力Ｆか、測定子２１、内
筒１３を介して各センサ１５に伝えられ、各センサ１５
から出力が発生する。前記各センサ１５からの出力は、
比較器４０および演算回路４２，４３．４４に伝達され
、比較器４０によって各センサ１５の出力がどれか１つ
でも判定レヘル設定器４１で設定された値以上になると
、タッチ信号が発生して測定ヘッド本体１０の下降が停
止し、演算回路４２゜４３．４４によってそれぞれ力Ｆ
ｚｘ、Ｆｚｖ。
成に基づいて、測定へノドの動作と演算回路の動作につ
いて説明する。測定ヘッド本体ＩＯが傾斜面Ｗａに向け
て下降して測定子２１と傾斜面Ｗａとが当接し、この当
接によって傾斜面Ｗａからの反力Ｆか、測定子２１、内
筒１３を介して各センサ１５に伝えられ、各センサ１５
から出力が発生する。前記各センサ１５からの出力は、
比較器４０および演算回路４２，４３．４４に伝達され
、比較器４０によって各センサ１５の出力がどれか１つ
でも判定レヘル設定器４１で設定された値以上になると
、タッチ信号が発生して測定ヘッド本体１０の下降が停
止し、演算回路４２゜４３．４４によってそれぞれ力Ｆ
ｚｘ、Ｆｚｖ。
Ｆ ｚ ｚの演算が行われる。Ｆｚｘの演算回路４２の
出力がＦｘの演算回路４５、ｐｚｙの演算回路４３の出
力がＦｙの演算回路４Ｇへ伝達され、演算回路４５，４
．６によってそれぞれ力Ｆｘ、Ｆ”ｙの演算が行われる
。Ｆｘの演算回路４５からの出力はＦの演算回路４７と
βの演算回路４８、Ｆ Ｙの演算回路４６からの出力ば
Ｆの演算回路４７とｍの演算回路４９、Ｆｚｚの演算回
路４４からの出力はＦの演算回路４７とｎの演算回路５
０に伝達され、Ｆの演算回路４７によって力Ｆの演算か
行われ、Ｆの演算回路４７の出力は演算回路４８゜４９
．５０伝達される。演算回路４８，４９．５０によって
それぞれ法線単位ベクトルβ、 ｍ、 ｎの演算が行
われ、演算回路４８，４９．５０からの出力は、それぞ
れ外部信号β、ｍ、ｎとして取り出され、また演算回路
５Ｌ ５２．５３に伝達される。演算回路５１．５２
．５３によってそれぞれΔＸ、ΔＹ、ΔＺの演算が行わ
れ、演算回路５１．５２．５３からの出力は、それぞれ
演算回路５’？、 ５８． ５９に伝達される。球部
２１ａの中心Ｏの位置は、位置検出器５４．５５．．５
６によって検出され、位置検出器５４，５５．５６から
の出力はそれぞれ演算回路５７，５８．５９に伝達され
る。演算回路５７，５８．５９によって接触点Ｐ１の座
標ｘ’、ｙ’、ｚ’の演算が行われ、外部信号としてＸ
’ ＋ Ｙ ’ ＋ Ｚ′が取出される。以下測定
ヘッド本体１ｏを一定ビソチ毎に設けられた網目状の測
定点に順次位置決めし、各測定点における法線単位ベク
トル＃、ｍ、ｎと補正座標を求める。
出力がＦｘの演算回路４５、ｐｚｙの演算回路４３の出
力がＦｙの演算回路４Ｇへ伝達され、演算回路４５，４
．６によってそれぞれ力Ｆｘ、Ｆ”ｙの演算が行われる
。Ｆｘの演算回路４５からの出力はＦの演算回路４７と
βの演算回路４８、Ｆ Ｙの演算回路４６からの出力ば
Ｆの演算回路４７とｍの演算回路４９、Ｆｚｚの演算回
路４４からの出力はＦの演算回路４７とｎの演算回路５
０に伝達され、Ｆの演算回路４７によって力Ｆの演算か
行われ、Ｆの演算回路４７の出力は演算回路４８゜４９
．５０伝達される。演算回路４８，４９．５０によって
それぞれ法線単位ベクトルβ、 ｍ、 ｎの演算が行
われ、演算回路４８，４９．５０からの出力は、それぞ
れ外部信号β、ｍ、ｎとして取り出され、また演算回路
５Ｌ ５２．５３に伝達される。演算回路５１．５２
．５３によってそれぞれΔＸ、ΔＹ、ΔＺの演算が行わ
れ、演算回路５１．５２．５３からの出力は、それぞれ
演算回路５’？、 ５８． ５９に伝達される。球部
２１ａの中心Ｏの位置は、位置検出器５４．５５．．５
６によって検出され、位置検出器５４，５５．５６から
の出力はそれぞれ演算回路５７，５８．５９に伝達され
る。演算回路５７，５８．５９によって接触点Ｐ１の座
標ｘ’、ｙ’、ｚ’の演算が行われ、外部信号としてＸ
’ ＋ Ｙ ’ ＋ Ｚ′が取出される。以下測定
ヘッド本体１ｏを一定ビソチ毎に設けられた網目状の測
定点に順次位置決めし、各測定点における法線単位ベク
トル＃、ｍ、ｎと補正座標を求める。
第５図は、第２の実施例として測定ヘットの内部構造を
示した図であり、測定ヘッド本体１０に外筒３０が着脱
可能にねじ軸１２に固定され、外筒３０の下端に外筒３
０の中心回りの等角度位置で４枚の板ハ＄３１ａが外筒
３０の中心にせり出すような形で挟持固定され、この複
数の板ハネ３１の端部に案内部材３２が固定されている
。案内部材３２に複数のボール３３を介して連結軸３４
が外筒３０の軸線回りに回転可能に案内支持され、連結
軸３４の下端に測定子２１が連結軸３４と同軸的にねじ
結合されている。外筒３ｏと連結軸３４間に連結軸３４
を押圧する押圧ばね３５が設げられ、外筒３０の下部側
面に板ばね３１等を覆うカバー３６が固定されている。
示した図であり、測定ヘッド本体１０に外筒３０が着脱
可能にねじ軸１２に固定され、外筒３０の下端に外筒３
０の中心回りの等角度位置で４枚の板ハ＄３１ａが外筒
３０の中心にせり出すような形で挟持固定され、この複
数の板ハネ３１の端部に案内部材３２が固定されている
。案内部材３２に複数のボール３３を介して連結軸３４
が外筒３０の軸線回りに回転可能に案内支持され、連結
軸３４の下端に測定子２１が連結軸３４と同軸的にねじ
結合されている。外筒３ｏと連結軸３４間に連結軸３４
を押圧する押圧ばね３５が設げられ、外筒３０の下部側
面に板ばね３１等を覆うカバー３６が固定されている。
外筒３ｏと案内部材３２間の各板ばね３１に半導体歪セ
ン力・３７が固着され、各半導体歪センサ３７は板ばね
３１が曲げられることによって感知されるようになって
いる。測定子２１とモデルＷとか当接することによって
傾斜面Ｗ ’ａからの反力Ｆは、測定子２１、連結軸３
４、案内部材３２を介して板ばね３１を曲げ、半導体歪
センサ３７に伝えられる。半導体歪センサ３７からの出
力は、第４図の座標補正＾ｉｉ算回路によって、補正座
標が求められる。
ン力・３７が固着され、各半導体歪センサ３７は板ばね
３１が曲げられることによって感知されるようになって
いる。測定子２１とモデルＷとか当接することによって
傾斜面Ｗ ’ａからの反力Ｆは、測定子２１、連結軸３
４、案内部材３２を介して板ばね３１を曲げ、半導体歪
センサ３７に伝えられる。半導体歪センサ３７からの出
力は、第４図の座標補正＾ｉｉ算回路によって、補正座
標が求められる。
〈発明の効果〉
本発明の座標補正機能を備えた測定装置は、測定ヘッド
の測定子をモデルに接触させてモデルの形状を測定する
測定装置において、モデルの表面からの反力を感知する
複数のセンサを設り、複数のセンサからの出力から前記
接触点におけるモデルの傾斜を演算し、演算された傾斜
に基づいて接触点の座標に補正する演算機能をＲ備した
ごとにより、モデルと測定子とが接触した後、測定子を
測定ヘッドに対して所定量変位させるべく、測定ヘッド
を移動させることなく、接触点の座標を測定することが
でき、測定ヘッドの動作が簡単になり測定時間を短縮で
き、また制御が簡単になるメリットがある。
の測定子をモデルに接触させてモデルの形状を測定する
測定装置において、モデルの表面からの反力を感知する
複数のセンサを設り、複数のセンサからの出力から前記
接触点におけるモデルの傾斜を演算し、演算された傾斜
に基づいて接触点の座標に補正する演算機能をＲ備した
ごとにより、モデルと測定子とが接触した後、測定子を
測定ヘッドに対して所定量変位させるべく、測定ヘッド
を移動させることなく、接触点の座標を測定することが
でき、測定ヘッドの動作が簡単になり測定時間を短縮で
き、また制御が簡単になるメリットがある。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は第１の実
施例である測定ヘッドの内部構造を示した図、第２図は
第１図におけるｎ−ｎ線で断面した図、第３図はモデル
と測定子とが当接した部分を拡大した図、第４図は座標
補正演算回路を示した図、第５図は第２の実施例である
測定ヘッドの内部構造を示した図。 １３・・・内筒、１５・・・センサ、２１・・・測定子
、４２．４３．４４．４５，４６，４７４．８．４９，
５０，５１，５２，５３，５７，５８．５９・・・演算
回路、５４，５５．５６・・・位置検出器。 特許出願人 豊田工機株式会社 躬１７ 第 ２図 １４ １５ｄ
施例である測定ヘッドの内部構造を示した図、第２図は
第１図におけるｎ−ｎ線で断面した図、第３図はモデル
と測定子とが当接した部分を拡大した図、第４図は座標
補正演算回路を示した図、第５図は第２の実施例である
測定ヘッドの内部構造を示した図。 １３・・・内筒、１５・・・センサ、２１・・・測定子
、４２．４３．４４．４５，４６，４７４．８．４９，
５０，５１，５２，５３，５７，５８．５９・・・演算
回路、５４，５５．５６・・・位置検出器。 特許出願人 豊田工機株式会社 躬１７ 第 ２図 １４ １５ｄ
Claims (1)
- （１）測定へ７ドを任意の方向に移動させ、測定子の球
部をモデルの表面に接触させてモデルの形状を測定する
測定装置において、モデルの表面からの反力を測定子を
介して感知する複数のセンサと、複数のセンサからの出
力に基づいて前記接触点におけるモデルの傾斜を演算し
、演算された傾斜に基づいて接触点の座標に補正する演
算装置を具備したことを特徴とする座標補正機能を備え
た測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4574583A JPS59170707A (ja) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | 座標補正機能を備えた測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4574583A JPS59170707A (ja) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | 座標補正機能を備えた測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59170707A true JPS59170707A (ja) | 1984-09-27 |
Family
ID=12727849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4574583A Pending JPS59170707A (ja) | 1983-03-17 | 1983-03-17 | 座標補正機能を備えた測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59170707A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63135807A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | プロ−ブ姿勢制御装置 |
| JP2003050124A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Mitsutoyo Corp | 移動装置 |
-
1983
- 1983-03-17 JP JP4574583A patent/JPS59170707A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63135807A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | プロ−ブ姿勢制御装置 |
| JP2003050124A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Mitsutoyo Corp | 移動装置 |
| JP4669639B2 (ja) * | 2001-08-08 | 2011-04-13 | 株式会社ミツトヨ | 移動装置 |
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