JPS59149635A - カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法 - Google Patents
カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法Info
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- JPS59149635A JPS59149635A JP58012760A JP1276083A JPS59149635A JP S59149635 A JPS59149635 A JP S59149635A JP 58012760 A JP58012760 A JP 58012760A JP 1276083 A JP1276083 A JP 1276083A JP S59149635 A JPS59149635 A JP S59149635A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はカラーブラウン管に用いられるシャドウマスク
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
一般にカラーブラウンＵは３本の′電子ビームを射出す
る心子銃と、この１子銃に対向する外囲器のパネル内面
に設けられた赤１ｇおよび緑色に発光する蛍光体が規則
正しく配列された蛍光面と、この蛍光面に一定の間隔（
以下ｑ値と称す）をおいて対向配置された多数の規則正
しく配列された微細開孔を有するシャド１クマスクとを
備えている。
る心子銃と、この１子銃に対向する外囲器のパネル内面
に設けられた赤１ｇおよび緑色に発光する蛍光体が規則
正しく配列された蛍光面と、この蛍光面に一定の間隔（
以下ｑ値と称す）をおいて対向配置された多数の規則正
しく配列された微細開孔を有するシャド１クマスクとを
備えている。
このような構成のカラーブラウン管において、３不の゛
成子ビームはシャドウマスクのは側聞孔近傍で果申し、
ｑ ｉｉｉ間で再び離散し所定の蛍光体に正しく対応射
突してカラー映像を現出せしめる。このシャドウマスク
は通常人のような工程を経て製造される。すなわち、シ
ャドウマスク素材のＬＬｌ ｍｍないし０．３ｍｍ程度
の高純度の鉄板に光感光層を塗布し、光露光法によって
所定の微細開孔の配列パターンを形成し、エツチングに
より微細開孔を穿設する。次いで、微細開孔面は曲面状
に、周辺部はマスクフレームへの固定を可能とする形状
にプレス成形１−る。更にシャドウマスク表面に耐蝕性
を有する灰黒色ないし黒色の酸化被膜を形成する。
成子ビームはシャドウマスクのは側聞孔近傍で果申し、
ｑ ｉｉｉ間で再び離散し所定の蛍光体に正しく対応射
突してカラー映像を現出せしめる。このシャドウマスク
は通常人のような工程を経て製造される。すなわち、シ
ャドウマスク素材のＬＬｌ ｍｍないし０．３ｍｍ程度
の高純度の鉄板に光感光層を塗布し、光露光法によって
所定の微細開孔の配列パターンを形成し、エツチングに
より微細開孔を穿設する。次いで、微細開孔面は曲面状
に、周辺部はマスクフレームへの固定を可能とする形状
にプレス成形１−る。更にシャドウマスク表面に耐蝕性
を有する灰黒色ないし黒色の酸化被膜を形成する。
この酸化被膜は、後工程のシャドウマスクを介する光嬉
光法による蛍光面形成時の紫外線のマスク表面での反射
防止、管の排気までの謂の発生防止および′ａの動作時
の２次１ｄ子放出防止、電子ビームの吸収等を目的と１
−るもの−〇ある。酸化′Ｉｉは蒸気酸化、ガス酸化ま
たはｒルカリ浴酸化等種々の叡化法が可能であり、発色
は灰黒色ないし黒色で一般には黒色である程好ましい。
光法による蛍光面形成時の紫外線のマスク表面での反射
防止、管の排気までの謂の発生防止および′ａの動作時
の２次１ｄ子放出防止、電子ビームの吸収等を目的と１
−るもの−〇ある。酸化′Ｉｉは蒸気酸化、ガス酸化ま
たはｒルカリ浴酸化等種々の叡化法が可能であり、発色
は灰黒色ないし黒色で一般には黒色である程好ましい。
また、酸化のノｑさはｌ待Ｉ痢昭５４− Ｊ ３９４６
３−号公報に示されているように１μｍｎより薄いと錆
の発生防止が不充分てあり、３μｎ１より厚いと組立溶
接時にスプラッシュが多発するのでｌμＩｎないし３μ
ｍ１１が奸才しい。
３−号公報に示されているように１μｍｎより薄いと錆
の発生防止が不充分てあり、３μｎ１より厚いと組立溶
接時にスプラッシュが多発するのでｌμＩｎないし３μ
ｍ１１が奸才しい。
さ−Ｃ１このようなシャドウマスクの素材は一般に高純
度の軟鉄材が用いられている。これは素材の供給舵力、
コスト、加工性および強度４により総合的に決められた
ちのである。しかしながらその最大の欠点は０〜１０（
１’（ｊで約＋２ Ｘ １０ ’ ／’Ｏと熱膨張゛係
数が大きいことでぬる。すなイつち、ｉｌｌ當のシャド
ウマスクの電子ビームの通過率は約１５％〜２！５チで
残りの７５％〜８５％の亀子ビームはシャドウマスクに
射英し、その運帥エネルギーが熱エネルギーに変換され
、シャドウマスクの温度は時として８０°Ｃにも達する
ことになる。この結果シャドウマスクは熱膨張によりド
ーミング現象を生じ、ｑ値が場所により設計値から偏移
する。このｑ値偏移は谷電子ビームの対応する蛍光体へ
のランディング位置ずれを生じ、色純度の劣化を招くこ
とに々る。この現象は特に高解像度用としての微細開孔
のピッチおよび板厚の小さなシャドウマスク程著しく、
管として致命的な特性欠陥となる危険性がある。
度の軟鉄材が用いられている。これは素材の供給舵力、
コスト、加工性および強度４により総合的に決められた
ちのである。しかしながらその最大の欠点は０〜１０（
１’（ｊで約＋２ Ｘ １０ ’ ／’Ｏと熱膨張゛係
数が大きいことでぬる。すなイつち、ｉｌｌ當のシャド
ウマスクの電子ビームの通過率は約１５％〜２！５チで
残りの７５％〜８５％の亀子ビームはシャドウマスクに
射英し、その運帥エネルギーが熱エネルギーに変換され
、シャドウマスクの温度は時として８０°Ｃにも達する
ことになる。この結果シャドウマスクは熱膨張によりド
ーミング現象を生じ、ｑ値が場所により設計値から偏移
する。このｑ値偏移は谷電子ビームの対応する蛍光体へ
のランディング位置ずれを生じ、色純度の劣化を招くこ
とに々る。この現象は特に高解像度用としての微細開孔
のピッチおよび板厚の小さなシャドウマスク程著しく、
管として致命的な特性欠陥となる危険性がある。
このような色純度の劣化の対策として、例えば特公昭４
２−２５４４６号公報、特開昭５０−５８９７７号公報
および特開昭５０−６８６５０号公報ではシャドウマス
クの素材として熱膨張係数が０〜ｌ’００°Ｃで〜５Ｘ
ＩＯ’／’Ｏと鉄より場合によっては１桁以上小さい鉄
およびニッケルを主成分とする合金を使用する例が示さ
れている。すなわち、いわゆる低熱膨張材を使用するこ
とで実質的にドーミング現象に大幅に抑制することが可
能である。
２−２５４４６号公報、特開昭５０−５８９７７号公報
および特開昭５０−６８６５０号公報ではシャドウマス
クの素材として熱膨張係数が０〜ｌ’００°Ｃで〜５Ｘ
ＩＯ’／’Ｏと鉄より場合によっては１桁以上小さい鉄
およびニッケルを主成分とする合金を使用する例が示さ
れている。すなわち、いわゆる低熱膨張材を使用するこ
とで実質的にドーミング現象に大幅に抑制することが可
能である。
しかし鉄およびニッケルを主成分とする素材は製造工程
中で精を発生しやすく孔詰まりゃ耐電圧特性の劣化を起
こす危険性があるため表面に酸化被膜を形成して、これ
を防ぐ必要がある。ところがとの鉄およびニッケルを主
成分とする素材は表面に耐熱性、密着性のよい黒色酸化
被膜を形成させるのがむずかしく、鉄板の表面に黒色酸
化被膜を形成させるような通常の酸化条件、たとえば５
７０〜６００ ’ＯＯ湿水素雰囲気中、またｌ−１５７
０〜６ｏ。
中で精を発生しやすく孔詰まりゃ耐電圧特性の劣化を起
こす危険性があるため表面に酸化被膜を形成して、これ
を防ぐ必要がある。ところがとの鉄およびニッケルを主
成分とする素材は表面に耐熱性、密着性のよい黒色酸化
被膜を形成させるのがむずかしく、鉄板の表面に黒色酸
化被膜を形成させるような通常の酸化条件、たとえば５
７０〜６００ ’ＯＯ湿水素雰囲気中、またｌ−１５７
０〜６ｏ。
°ＣのＣＯ＋ＣＯｔ ＋０２雰囲気中での処理では充分
な酸化膜ができ々いという問題がある。また通常の酸化
条件で処理時間を大幅に延ばして（通常５〜１０分処理
に対し６０〜００分処理）１〜３ｐｍの厚さの醇化膜を
形成しても、膜の密着性が悪く、膜が剥れて管内タスト
となり耐電圧特性を劣化させる問題がある。
な酸化膜ができ々いという問題がある。また通常の酸化
条件で処理時間を大幅に延ばして（通常５〜１０分処理
に対し６０〜００分処理）１〜３ｐｍの厚さの醇化膜を
形成しても、膜の密着性が悪く、膜が剥れて管内タスト
となり耐電圧特性を劣化させる問題がある。
本発明は以上の点に錯みてなされたもので、鉄およびニ
ッケルを主成分とする素材からなるシャドウマスクに密
着性がよくかつ錆の発生を充分防止し得る酸化膜を形成
することを目的とする。
ッケルを主成分とする素材からなるシャドウマスクに密
着性がよくかつ錆の発生を充分防止し得る酸化膜を形成
することを目的とする。
本発明は鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマス
クを化学処理によりニッケルを優先的に溶解させ表面の
鉄組成比を当初の鉄組成比よりも過剰とすることにより
耐熱性密着性のよい酸化膜を形成するシャドウマスクの
製造方法である。
クを化学処理によりニッケルを優先的に溶解させ表面の
鉄組成比を当初の鉄組成比よりも過剰とすることにより
耐熱性密着性のよい酸化膜を形成するシャドウマスクの
製造方法である。
鉄板を使用したシャドウマスクの場合ｉｄ：通常５７０
〜６００’Ｏの湿水素雰囲気中またはＣ０−４−ＣＯ，
，４−０□雰囲気中で５〜１０分間処理して表面に酸化
膜を形成するが、この場合の酸化膜の成分はＦｅ、、０
． ′ｊ６よびＦｅ５０．であることが確認されている
。この鉄板上のＦｅ２Ｏ３＋ Ｆｅ、、０４酸化膜は下
地の鉄とのなじみもよくエイ車中の熱工程を壷っても剥
れること々くシャドウマスクの耐蝕の役目を果たす。し
かるに鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマスク
を通常の酸化条件で処理したが、充分な酸化膜厚が得ら
れなかった。また処理時間を延ばして充分々厚さの酸化
膜を形成させたが製造工程中の熱工程で；５にクラック
が生じ、膜剥れを起こした。之等の原因究明のため酸化
膜の成分を分析した結果、Ｆｅ、、０３． ｐｅ、、０
４ノほかにＮｉＯが；、２められた。このことから鉄」
イよびニッケルを主成分とするシャドウマスクが通常の
酸化条件で充分々厚さの酸化ｊ１莫を形成しないのは表
面の鉄の濃度が低いためであり、形成された酸化膜が熱
工程を１・ｂると剥れるのは下地と酸化１、徒との熱膨
張の差が犬・きいためであることと考えられる。
〜６００’Ｏの湿水素雰囲気中またはＣ０−４−ＣＯ，
，４−０□雰囲気中で５〜１０分間処理して表面に酸化
膜を形成するが、この場合の酸化膜の成分はＦｅ、、０
． ′ｊ６よびＦｅ５０．であることが確認されている
。この鉄板上のＦｅ２Ｏ３＋ Ｆｅ、、０４酸化膜は下
地の鉄とのなじみもよくエイ車中の熱工程を壷っても剥
れること々くシャドウマスクの耐蝕の役目を果たす。し
かるに鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマスク
を通常の酸化条件で処理したが、充分な酸化膜厚が得ら
れなかった。また処理時間を延ばして充分々厚さの酸化
膜を形成させたが製造工程中の熱工程で；５にクラック
が生じ、膜剥れを起こした。之等の原因究明のため酸化
膜の成分を分析した結果、Ｆｅ、、０３． ｐｅ、、０
４ノほかにＮｉＯが；、２められた。このことから鉄」
イよびニッケルを主成分とするシャドウマスクが通常の
酸化条件で充分々厚さの酸化ｊ１莫を形成しないのは表
面の鉄の濃度が低いためであり、形成された酸化膜が熱
工程を１・ｂると剥れるのは下地と酸化１、徒との熱膨
張の差が犬・きいためであることと考えられる。
そこで・ト：発明者ΦトしＬシャドウマスク表１ｍを光
分々厚さの酸化膜が形成できる程度に鉄リッチにすれば
３Ｚｌξを保護しニッケルのみを優先的（・て溶かすよ
う（（化学処理することを検討し／こ。すなわち、？′
ｌ＜の表面のＮｉＯをψ’Ｉ ！′４１ ？夜で処Ｊ呈
すること例よりシャドウマスク表面の鉄の濃度が処理前
のめ初の硅度より高まり、通常の酸化条件で表［Ｒ１に
耐蝕性、密着性のよい酸化１摸を形成することができる
。これは鉄に近い組成となっているシャドウマスクの表
面に酸化）漠を形成さぜるので、形成される酸化膜の１
組成＠ ＮｉＯよりもＦｅ２０ｓ、 Ｆｅ、０４がける
かに多くなり、まだ、この鉄リッチの層が酸化膜と下地
との間の中間層的働きをし、熱工程での熱膨張の差によ
る熱応力を緩和する効果があるためと考えられる。
分々厚さの酸化膜が形成できる程度に鉄リッチにすれば
３Ｚｌξを保護しニッケルのみを優先的（・て溶かすよ
う（（化学処理することを検討し／こ。すなわち、？′
ｌ＜の表面のＮｉＯをψ’Ｉ ！′４１ ？夜で処Ｊ呈
すること例よりシャドウマスク表面の鉄の濃度が処理前
のめ初の硅度より高まり、通常の酸化条件で表［Ｒ１に
耐蝕性、密着性のよい酸化１摸を形成することができる
。これは鉄に近い組成となっているシャドウマスクの表
面に酸化）漠を形成さぜるので、形成される酸化膜の１
組成＠ ＮｉＯよりもＦｅ２０ｓ、 Ｆｅ、０４がける
かに多くなり、まだ、この鉄リッチの層が酸化膜と下地
との間の中間層的働きをし、熱工程での熱膨張の差によ
る熱応力を緩和する効果があるためと考えられる。
次に具体的に酸化皮膜を施した実施例について説明する
。
。
実施例 １）
３６％ニッケルおよび鉄を主成分とする厚さ０．１ｍｍ
の金属板にフォトエツチング法により所定のパターンの
ｇ側聞孔を穿設する。次に１１００℃の温度で真空焼鈍
を行なった後、焼鈍時に発生したしわを取り除くため軽
くレベラーをかけ、次いで化学処理を行なう。
の金属板にフォトエツチング法により所定のパターンの
ｇ側聞孔を穿設する。次に１１００℃の温度で真空焼鈍
を行なった後、焼鈍時に発生したしわを取り除くため軽
くレベラーをかけ、次いで化学処理を行なう。
化学処理液はジャパンメタルフイニシングカンパニー（
株）の商品名エンストリップＳ（鉄の上のニッケルメッ
キ剥離剤）を用いる。
株）の商品名エンストリップＳ（鉄の上のニッケルメッ
キ剥離剤）を用いる。
液組成はエンストリップ８６０ ｇ″／ｌ 、 Ｎａｅ
Ｎ １００ｒ／ｌ であり８０°Ｃの温度で処理時間を
変えて６通りのサンプルを作製した。化学処理後の表面
の鉄の濃度をＥ Ｉｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍａｓ
ｓ Ａｎａｌｙｚｅｒ （ＥＰＭＡ） Ｋより鉄の抄
当りカウント数をとって測定した結果を第１図に示す。
Ｎ １００ｒ／ｌ であり８０°Ｃの温度で処理時間を
変えて６通りのサンプルを作製した。化学処理後の表面
の鉄の濃度をＥ Ｉｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍａｓ
ｓ Ａｎａｌｙｚｅｒ （ＥＰＭＡ） Ｋより鉄の抄
当りカウント数をとって測定した結果を第１図に示す。
すなわち処理時間が長くなる程加速電圧の低いところで
の鉄のカラン） ｍ＆の割合が高くなり表面層の鉄の濃
度が高くなっていることを示す。
の鉄のカラン） ｍ＆の割合が高くなり表面層の鉄の濃
度が高くなっていることを示す。
尚、第１図での特性（ａ）〜（ｇ）は夫々第１表に示す
処理時間を実施したものである。
処理時間を実施したものである。
次にフラットマスクをプレ名成形し、微細開孔面は曲面
状に周辺部はマスクフレームへの固定のためのスカート
部を有する形状に成形する。
状に周辺部はマスクフレームへの固定のためのスカート
部を有する形状に成形する。
さらにトリクレン脱脂後ＣＯ＋００２＋０２の雰囲気カ
ス中テ５７０〜６０（１’Ｑの温度で酸化膜を形成させ
る。
ス中テ５７０〜６０（１’Ｑの温度で酸化膜を形成させ
る。
以上の工程を経て完成したシャドウマスクの酸化膜の密
着性と耐触性についてｄ４１］定した結果を第１表に示
す。
着性と耐触性についてｄ４１］定した結果を第１表に示
す。
（以下余白）
第１表 酸化膜の特性測定結果
膜厚；断面を５ｅｃｏｎｄａｒｙ Ｅ Ｉｅｃｔｒｏｎ
ｉ＆１１ｃｒｏ Ａｎａｌｙｚｅｒ（ＳＥＭ）で測定 膜の密着性；電気炉中で４５０°０×６０分加熱後曲率
Ｒ＝ ｌ ｍｍで９０°折り曲げ、その部分をセロテー
プで剥離しテスト ○Δ×は剥れ０８度を示し、○は 剥れなし、△は若干剥れあり、× は剥れあり実用不能 耐蝕性；温度３５°Ｃ１相対湿度９０〜９５チの雰囲気
中に放置して錆の発生率を観？１１１１ （強制テスト
） 第１表より前述の化学処理液中で８０°Ｃの温度で１〜
３分処理した後、酸化処理を実施したシャドウマスクが
密着性（耐熱性）耐蝕性ともに純鉄を主成分とするシャ
ドウマスクと同等もしくはそれ以上の酸化膜特性を有す
ることがわかる。
ｉ＆１１ｃｒｏ Ａｎａｌｙｚｅｒ（ＳＥＭ）で測定 膜の密着性；電気炉中で４５０°０×６０分加熱後曲率
Ｒ＝ ｌ ｍｍで９０°折り曲げ、その部分をセロテー
プで剥離しテスト ○Δ×は剥れ０８度を示し、○は 剥れなし、△は若干剥れあり、× は剥れあり実用不能 耐蝕性；温度３５°Ｃ１相対湿度９０〜９５チの雰囲気
中に放置して錆の発生率を観？１１１１ （強制テスト
） 第１表より前述の化学処理液中で８０°Ｃの温度で１〜
３分処理した後、酸化処理を実施したシャドウマスクが
密着性（耐熱性）耐蝕性ともに純鉄を主成分とするシャ
ドウマスクと同等もしくはそれ以上の酸化膜特性を有す
ることがわかる。
次に第１表の試験例■、＠のシャドウマスクをカラーブ
ラウン管内に組み込み、通常の熱工程を通過後封止して
管を完成させ動作試験を行ガつだ結果、シャドウマスク
の熱膨張による色純度の劣化は無視しつる程度であり、
またシャドウマスクの孔詰まりもなく耐電圧特性も良好
であった。即ちシャドウマスク表面の化学処理によりそ
の表面を鉄リッチとしても、素材の熱膨張率の変化は無
視できることを確認した。
ラウン管内に組み込み、通常の熱工程を通過後封止して
管を完成させ動作試験を行ガつだ結果、シャドウマスク
の熱膨張による色純度の劣化は無視しつる程度であり、
またシャドウマスクの孔詰まりもなく耐電圧特性も良好
であった。即ちシャドウマスク表面の化学処理によりそ
の表面を鉄リッチとしても、素材の熱膨張率の変化は無
視できることを確認した。
更に管を分解してシャドウマスクの酸化膜の表面状態を
観察した結果酸化膜のダストやクラックはほとんど認め
られなかった。
観察した結果酸化膜のダストやクラックはほとんど認め
られなかった。
実施例 ２）
化学処理をシャドウマスクのプレス成形およびトリクレ
ン脱脂後に行ない、その後酸化処理を行なった。その他
の工程および処理条件は前記実施例１と同様に行なった
。この結果得られたシャドウマスクも実施例１と同様に
良好であった。
ン脱脂後に行ない、その後酸化処理を行なった。その他
の工程および処理条件は前記実施例１と同様に行なった
。この結果得られたシャドウマスクも実施例１と同様に
良好であった。
実施例 ３）
フォトエツチング工程後に化学処理を施し、次いで真空
処理を行なった。以降の工程はレベラープレス成形およ
び酸化処理であり、その曲の工程および処理条件は実施
例１と同様に行なった。との場合は、化学処理の後に真
空処理を行なうためニッケルが表面に若干拡散してきて
その分だけ表面の鉄組成比が減少するが充分実用可能な
ものであった。
処理を行なった。以降の工程はレベラープレス成形およ
び酸化処理であり、その曲の工程および処理条件は実施
例１と同様に行なった。との場合は、化学処理の後に真
空処理を行なうためニッケルが表面に若干拡散してきて
その分だけ表面の鉄組成比が減少するが充分実用可能な
ものであった。
以上の実施例では３６％ニッケルおよび鉄を主成分とす
る素材について説明したが、本発明は、この他４２％ニ
ッケルや５０％ニッケル等の種々のＡｔＨ＆比を有する
素材にも適用しうることはいうまでもない。
る素材について説明したが、本発明は、この他４２％ニ
ッケルや５０％ニッケル等の種々のＡｔＨ＆比を有する
素材にも適用しうることはいうまでもない。
以上のように本発明によれば、剥離やダスト。
クランク及び錆発生を防止し、密着性及び耐触性の良好
なシャドウマスクを得ることができる。
なシャドウマスクを得ることができる。
第１図は横軸にｌ（ＰＭＡ分析時の加速′醒圧、縦軸に
Ｅ ＰＭＡ分析での鉄の強度のカウント数をとって表面
の鉄の組成比を示す特性図である。 代理人弁理士 則近憲佑 （はが１名）第１図 手続補正帯（自発） “８′″′５バ、９．りＩＢ １、 事件の表示 特願昭５８−１．２７６０号 ２ 発明の名称 カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法３ 補
正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４ 代 理 人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ 東京芝浦電１気株式会社東京事務所内 ５、 補正により増加する発明の数 １明細書全文 ７ 補正の内容 １）明細書の発明の名称を ジュゾウカンヨウ ォヨ
セイゾウホウホウ［カラー受像管用シャドウマスク及
びその製造方法」と訂正する。 ２）明細書全文を別紙の通り訂正する。 訂 正 明 細 書 １、発明の名称 カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法 ２、特許請求の範囲 スフ。 ２）鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマスク用
金属板に多数の規則正しく配列された微−側聞孔を穿設
する手段と、前記多数の微細開孔が穿設されたシャドウ
マスクの表面の鉄組成比な当初の金属板の組成比よりも
過剰にする手段と、前記シャドウマスクの表面に灰色な
いし黒色の酸化皮膜を形成する手段とからなることを特
徴とするカラー受像管用シャドウマスクの製造方法。 ３、発明の詳細な説明 〔発明の技術分野〕 本発明はカラー受像管に用いられるシャドウマスク及び
その製造方法に関するものである。 〔発明の技術的背景と問題点〕 一般にカラー受像管は３本の電子ビームを射出する電子
銃と、この電子銃に対向する外囲器のパネル内面に設け
られた赤、青および緑色に発光する螢光体が規則正しく
配列された螢光面と、この螢光面に一定の間隔（以下ｑ
値と称す）をおいて対向配置された多数の規則正しく配
列された微細開孔を有するシャドウマスクとを備えてい
る。このような構成のカラー受像管において、３本の電
子ビームはシャドウマスクの微細開孔近傍で集中し、ｑ
値開で再び離散し所定の螢光体に正しく対応射突してカ
ラー映像を現出せしめる。このシャドウマスクは通常次
のような工程を経て製造される。すなわち、シャドウマ
スク素材のＱ、 ｌ ｔｎｍないしＱ、 ３ ｍｍ程度
の高純度の鉄板に光感光層を塗布し、光露光法によって
所定の微細開孔の１列パターンを形成し、エツチングに
より微細開孔を穿設する。 次いで、微細開孔面は曲面状に、周辺部はマスクフレー
ムへの固定を可能とする形状に、プレス成形する。四に
シャドウマスク表面に耐蝕性を有する灰黒色ないし黒雀
の酸化被膜を形成する。この酸化被膜は、後工程のシャ
ドウマスクを介する光露光法による螢光面形成時の紫外
線のマスク表面での反射防止、管の排気までの錆の発生
階…および管の動作時の２次電子放出防止、電子ビーム
の吸収等を目的とするものである。酸化法は蒸気酸化、
ガス酸化またはアルカリ浴酸化等種々の酸化法が可能で
あり、発色は灰黒色ないし黒色で一般には黒色である程
好ましい。 また、酸化の厚さは特開昭５４−１３９４６３号公報（
−示されているように１μｍより薄いと錆の発生防止が
不充分であり、３μｍより厚いと組立溶接時にスプラッ
シュが多発するので１μｍないし３μｍが好ましい。 さて、このようなシャドウマスクの素材は一般に高純度
の軟鉄材が用いられている。これは素材の供給能力、コ
スト、加工性および強度等により総合的に決められたも
のである。しかしながらその最大の欠点は０〜１００℃
で約１２ Ｘ １０＝／’Ｃと熱膨張係数が大きいこと
である。すなわち、通常のシャドウマスクの電子ビーム
の通過率は約１５％〜２５％で残りの７５％〜８５％の
電子ビームはシャドウマスクに射突し、その運動エネル
ギーが熱エネルギーに変換され、シャドウマスクの温度
は時として８０℃にも達することになる。この結果シャ
ドウマスクは熱膨張によりドーミング現象を生じ、ｑ値
が場所により設計値から偏移する。このｑ値偏移は各電
子ビームの対応す゛る螢光体へのランディング位置ずれ
を生じ、色純度の劣化を招くことになる。この現象は特
に晶解像度用としての微細開孔のピッチおよび板厚の小
さなンヤドウマスクはど著しく、管として致命的な特性
欠陥となる危険性がある。 このような色純度の劣化の対策として、例えば特公昭４
２−２５４４６号公報、特開昭５０−５８９７７号公報
および特開昭５ （１Ｇ ８６５０号公報ではシャドウ
マスクの素材とし７て熱膨張係数が０〜１００℃で〜５
Ｘ１０−’／’Ｃと鉄より場合によっては１桁以−ヒ小
さい鉄およびニッケルを主成分とする合金を使用する例
が示されている。すなわち、いわゆる低熱膨張桐な使用
することで実質的にドーミング現象を大幅に抑制するこ
とがｉＪＪ能である。 しかし鉄およびニッケルを主成分とする素材は製造工程
中で情を発生しやすく孔詰まりや耐電圧特性の劣化を起
こす危険性があるため表面に酸化被膜を形成して、これ
を防ぐ必要がある。ところがこの鉄およびニッケルを主
成分とする素材は表面に耐熱性、密着性のよい黒色酸化
被膜を形成させるのがむずかしく、鉄板の表面に黒色酸
化被膜を形成させるような通常の酸化条件、たとえば５
７０〜６００℃の湿水素雰囲気中、または５７０〜６０
０℃のＣｏ ＋ Ｃｏ ２ ＋０２雰囲気中での処理で
は充分な酸化膜ができないという問題がある。また通常
の酸化条件で処理時間を大幅に延ばして（通常５〜１０
分処理に対し６０〜９０分処理）１〜３μｍの厚さの酸
化膜を形成しても、膜の密着性が悪く、膜が剥れて管内
ダストとなり耐電圧特性を劣化させる問題がある。 〔発明の目的〕 本発明は以りの点に鑑みてなされたもので、鉄およびニ
ッケルを主成分とする素材からなるシャドウマスクに密
着性がよくかつ錆の発生を充分防止し得る酸化膜を形成
することの可能なシャドウマスク及びその製造方法を提
供することを目的とする。 〔発明の概要〕 本発明は鉄およびニッケルを特徴とする特許ドウマスク
を化学処理（二よりニッケ′ルを優先的に溶解させ表面
の鉄組成比を当初の鉄組成比よりも過剰とすることによ
り耐熱性密着性のよい酸化膜を形成するカラー受像管用
シャドウマスク及びその製造方法である。 〔発明の実施例〕 鉄板を使用し、たシャドウマスクのＪ、８％合は通常５
７０〜６００℃の湿水素雰囲（（中またはＣＯモＣＯ２
＋０２雰囲気中で５〜１０分間処理して表面に酸化膜を
形成するが、この場合の酸化膜の成分はＦ ｅ２０３お
よびＦｅ３Ｏ４であることがＶみ忍されている。この鉄
板上のＦ ｅ２０３ ＋ Ｆ ｅ、、０４酸化バψは下
地の鉄とのなじみもよく工程中の熱工程を通っても剥れ
ることなくシャドウマスクの耐蝕の役目を果たす。しか
るに鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマスクを
通常の酸化イコ件で処理したか、充分な酸化膜厚が得ら
れなかった。また処理時間を延°ばして充分な厚さの酸
化膜を形成させたが製造工程中の熱工程で膜にクラック
が生じ、膜剥れを起こした。 之等のｊ９囚究明のため酸化膜の成分を分析した結果、
Ｆｅ２Ｏ３、Ｆｅ３Ｏ４のほかにニッケルの酸化物が認
められた。このことから鉄およびニッケルを主成いため
であり、形成された酸化膜が熱工程を通ると剥れるのは
下地と酸化膜との熱膨張の差が大きいためであることと
考えられる。 そこで本発明者等はシャドウマスク表面を充分な厚さの
酸化膜が形成できる程度に鉄すンチにすれば充分な付着
強度を有する酸化膜が形成できるのではないかと考え、
そこで鉄を保護しニッケルのみを優先的に溶かすように
化学処理することを検討した。すなわち、シャドウマス
クの表面をニッケル用の剥離液で処理すること（−より
シャドウマスク表面の鉄の濃度が処理前の当初の濃度よ
り高まり、通常の酸化条件で表面に耐蝕性、密着性のよ
い酸化膜を形成することができる。これは鉄に近い組成
となっているシャドウマスクの表面ニ酸化膜を形成させ
るので、形成される酸化膜の組成はニッケルの酸化物よ
りも鉄の酸化物の方がはるかに多くなり、また、この鉄
リッチの層が酸化膜と下地との間の中ｍｉ層的働きをし
、熱ユ、程での熱膨張の差による熱応力を緩和する効果
があるためと考えられる。 次に具体的に酸化皮膜を施した実力（巨例について説明
する。 実施例 １） ３５％ニノニンおよび鉄を主成分とする厚さ０１間の金
属板にフォトエツチング法により所定のパターンの微細
開化を穿設する。次に１１００℃の温度で真空焼鈍を行
なった後、焼鈍時に発生したしわを収り除くため軽くレ
ベラーをかけ、次いで化学処理を行なう。 化学処理液はジャパンメタルフィニシングカンパニー
（株）の商品名エンストリップＳ（鉄の上のニッケルメ
ッキ剥離剤）を用いる。 液組成はエンストリップＳ ６ （ｌ ｌ／ ／ ｌ、
ＮａＣＮ ＨＩＯ＆／ｌであり８０℃の温Ｉ隻で処理
時間を変えて６通りのサンプルを作製した。化学処理後
の表面の鉄の濃度をＥｌ ｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ
Ｘ Ｒａｙ Ｍｉｃｒｏ Ａｎａｌｙｚａｒ（ＥＰＭＡ
）により鉄の秒当すカウント数をとって測定した結果を
第１図に示す。すなわち処理時間が長くなる程加速電圧
の低いところでの鉄のカウント数の割合が高くなり表面
層の鉄の濃Ｉ廷が高くなっていることを示す。 尚、第１図での特性にＩ）〜（ｇ）は夫々第１表に示す
処理時間を実施したものである。 次にフラットマスク乞プレス成形し、微細開孔面は曲面
状に周辺部はマスクフレームへの固定のためのスカート
部を有する形状に成形する。 さらにトリクレン脱脂後ＣＯ＋ ｃｏ、、 ＋０２の雰
囲気ガス中で５７０〜６００ ’Ｇの温度で酸化１漠を
形成させる。 以上の工程を経て完成したシャドウマスクの酸化膜の密
着性と耐触性について測定した結果を第１表に示す。 （以下余白） 第１表 酸化膜の特性測定結果 膜厚；断面を研摩し顕微鏡で観察測定 膜の密着性；電気炉中で４５０℃Ｘ６０分加熱後曲率半
径Ｒ＝１朋で９０°折り曲げ、 その部分をセロテープで剥離しテ スト。○△×は剥れの程度を示し、 ○は剥れなし、△は若干例れあり、 ×は剥れあれあり実用不能。 耐蝕性；温度３５℃、相対湿度９０〜９５％の雰囲気中
に放置して錆の発生率を観測 （強制テスト）。 第１表より前述の化学処理液中で８０℃の温度で１〜３
分処理した後、酸化処理を実施したシャドウマスクが密
着性（耐熱性）耐蝕性ともに純鉄を主成分とするシャド
ウマスクと同等もしくはそれ以上の酸化膜特性を有する
ことがわかる。 次に第１表の試験例■、■のシャドウマスクをカラー受
像管内に組み込み、通常の熱工程を通過後封止して管を
完成させ動作試験を行なった結果、シャドウマスクの熱
膨張による色純度の劣化は無視しうる程度であり、また
シャドウマスクの孔詰まりもなく耐電圧特性も良好であ
った。即ちシャドウマスク表面の化学処理によりその表
面を鉄リッチとしても、素材の熱膨張率の変化は無視で
きることを確認した。 更に管を分解してシャドウマスクの酸化膜の表面状態を
観察した結果酸化膜のダストやクラックはほとんど認め
られなかった。 実施例 ２） 化学処理をシャドウマスクのプレス成形およびトリクレ
ン脱脂後に行ない、その後酸化処理を行なった。その他
の工程および処理条件は前記実施例１と同様に行なった
。この結果得られたシャドウマスクも実施例１と同様に
良好であった。 実施例 ３） フォトエツチング工程後に化学処理を施し、次いで真空
処理を行なった。以降の工程はレベラープレス成形およ
び酸化処理であり、その他の工程および処理条件は実施
例１と同様に行なった。この場合は、化学処理の後に真
空処理を行なうためニッケルが表面に若干拡散してきて
その分だけ表面の鉄組成比が減少するが充分実用可能な
、−ものであった。 以上の実施例では３６％ニッケルおよび鉄を主成分とす
る素材について説明したが、本発明は、この他４２％ニ
ッケルや５０％ニッケル或は３２％ニッケルー５％コバ
ルトかうするスーハーアンパー等の種々の組成比を有す
る素材にも適用しうることはいうまでもない。 〔発明の効果〕 以上のように本発明によれば、剥離やダスト。 クラック及び錆発生を防止し、密着性及び耐触性の良好
なカラー受像管用シャドウマスクを得ることができる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は横軸にＥＰＭＡ分析時の加速電圧、縦軸にＥＰ
ＭＡ分析での鉄の強度のカウント数をとって表面の鉄の
組成比を示す特性図である。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑
Ｅ ＰＭＡ分析での鉄の強度のカウント数をとって表面
の鉄の組成比を示す特性図である。 代理人弁理士 則近憲佑 （はが１名）第１図 手続補正帯（自発） “８′″′５バ、９．りＩＢ １、 事件の表示 特願昭５８−１．２７６０号 ２ 発明の名称 カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法３ 補
正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４ 代 理 人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ 東京芝浦電１気株式会社東京事務所内 ５、 補正により増加する発明の数 １明細書全文 ７ 補正の内容 １）明細書の発明の名称を ジュゾウカンヨウ ォヨ
セイゾウホウホウ［カラー受像管用シャドウマスク及
びその製造方法」と訂正する。 ２）明細書全文を別紙の通り訂正する。 訂 正 明 細 書 １、発明の名称 カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法 ２、特許請求の範囲 スフ。 ２）鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマスク用
金属板に多数の規則正しく配列された微−側聞孔を穿設
する手段と、前記多数の微細開孔が穿設されたシャドウ
マスクの表面の鉄組成比な当初の金属板の組成比よりも
過剰にする手段と、前記シャドウマスクの表面に灰色な
いし黒色の酸化皮膜を形成する手段とからなることを特
徴とするカラー受像管用シャドウマスクの製造方法。 ３、発明の詳細な説明 〔発明の技術分野〕 本発明はカラー受像管に用いられるシャドウマスク及び
その製造方法に関するものである。 〔発明の技術的背景と問題点〕 一般にカラー受像管は３本の電子ビームを射出する電子
銃と、この電子銃に対向する外囲器のパネル内面に設け
られた赤、青および緑色に発光する螢光体が規則正しく
配列された螢光面と、この螢光面に一定の間隔（以下ｑ
値と称す）をおいて対向配置された多数の規則正しく配
列された微細開孔を有するシャドウマスクとを備えてい
る。このような構成のカラー受像管において、３本の電
子ビームはシャドウマスクの微細開孔近傍で集中し、ｑ
値開で再び離散し所定の螢光体に正しく対応射突してカ
ラー映像を現出せしめる。このシャドウマスクは通常次
のような工程を経て製造される。すなわち、シャドウマ
スク素材のＱ、 ｌ ｔｎｍないしＱ、 ３ ｍｍ程度
の高純度の鉄板に光感光層を塗布し、光露光法によって
所定の微細開孔の１列パターンを形成し、エツチングに
より微細開孔を穿設する。 次いで、微細開孔面は曲面状に、周辺部はマスクフレー
ムへの固定を可能とする形状に、プレス成形する。四に
シャドウマスク表面に耐蝕性を有する灰黒色ないし黒雀
の酸化被膜を形成する。この酸化被膜は、後工程のシャ
ドウマスクを介する光露光法による螢光面形成時の紫外
線のマスク表面での反射防止、管の排気までの錆の発生
階…および管の動作時の２次電子放出防止、電子ビーム
の吸収等を目的とするものである。酸化法は蒸気酸化、
ガス酸化またはアルカリ浴酸化等種々の酸化法が可能で
あり、発色は灰黒色ないし黒色で一般には黒色である程
好ましい。 また、酸化の厚さは特開昭５４−１３９４６３号公報（
−示されているように１μｍより薄いと錆の発生防止が
不充分であり、３μｍより厚いと組立溶接時にスプラッ
シュが多発するので１μｍないし３μｍが好ましい。 さて、このようなシャドウマスクの素材は一般に高純度
の軟鉄材が用いられている。これは素材の供給能力、コ
スト、加工性および強度等により総合的に決められたも
のである。しかしながらその最大の欠点は０〜１００℃
で約１２ Ｘ １０＝／’Ｃと熱膨張係数が大きいこと
である。すなわち、通常のシャドウマスクの電子ビーム
の通過率は約１５％〜２５％で残りの７５％〜８５％の
電子ビームはシャドウマスクに射突し、その運動エネル
ギーが熱エネルギーに変換され、シャドウマスクの温度
は時として８０℃にも達することになる。この結果シャ
ドウマスクは熱膨張によりドーミング現象を生じ、ｑ値
が場所により設計値から偏移する。このｑ値偏移は各電
子ビームの対応す゛る螢光体へのランディング位置ずれ
を生じ、色純度の劣化を招くことになる。この現象は特
に晶解像度用としての微細開孔のピッチおよび板厚の小
さなンヤドウマスクはど著しく、管として致命的な特性
欠陥となる危険性がある。 このような色純度の劣化の対策として、例えば特公昭４
２−２５４４６号公報、特開昭５０−５８９７７号公報
および特開昭５ （１Ｇ ８６５０号公報ではシャドウ
マスクの素材とし７て熱膨張係数が０〜１００℃で〜５
Ｘ１０−’／’Ｃと鉄より場合によっては１桁以−ヒ小
さい鉄およびニッケルを主成分とする合金を使用する例
が示されている。すなわち、いわゆる低熱膨張桐な使用
することで実質的にドーミング現象を大幅に抑制するこ
とがｉＪＪ能である。 しかし鉄およびニッケルを主成分とする素材は製造工程
中で情を発生しやすく孔詰まりや耐電圧特性の劣化を起
こす危険性があるため表面に酸化被膜を形成して、これ
を防ぐ必要がある。ところがこの鉄およびニッケルを主
成分とする素材は表面に耐熱性、密着性のよい黒色酸化
被膜を形成させるのがむずかしく、鉄板の表面に黒色酸
化被膜を形成させるような通常の酸化条件、たとえば５
７０〜６００℃の湿水素雰囲気中、または５７０〜６０
０℃のＣｏ ＋ Ｃｏ ２ ＋０２雰囲気中での処理で
は充分な酸化膜ができないという問題がある。また通常
の酸化条件で処理時間を大幅に延ばして（通常５〜１０
分処理に対し６０〜９０分処理）１〜３μｍの厚さの酸
化膜を形成しても、膜の密着性が悪く、膜が剥れて管内
ダストとなり耐電圧特性を劣化させる問題がある。 〔発明の目的〕 本発明は以りの点に鑑みてなされたもので、鉄およびニ
ッケルを主成分とする素材からなるシャドウマスクに密
着性がよくかつ錆の発生を充分防止し得る酸化膜を形成
することの可能なシャドウマスク及びその製造方法を提
供することを目的とする。 〔発明の概要〕 本発明は鉄およびニッケルを特徴とする特許ドウマスク
を化学処理（二よりニッケ′ルを優先的に溶解させ表面
の鉄組成比を当初の鉄組成比よりも過剰とすることによ
り耐熱性密着性のよい酸化膜を形成するカラー受像管用
シャドウマスク及びその製造方法である。 〔発明の実施例〕 鉄板を使用し、たシャドウマスクのＪ、８％合は通常５
７０〜６００℃の湿水素雰囲（（中またはＣＯモＣＯ２
＋０２雰囲気中で５〜１０分間処理して表面に酸化膜を
形成するが、この場合の酸化膜の成分はＦ ｅ２０３お
よびＦｅ３Ｏ４であることがＶみ忍されている。この鉄
板上のＦ ｅ２０３ ＋ Ｆ ｅ、、０４酸化バψは下
地の鉄とのなじみもよく工程中の熱工程を通っても剥れ
ることなくシャドウマスクの耐蝕の役目を果たす。しか
るに鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマスクを
通常の酸化イコ件で処理したか、充分な酸化膜厚が得ら
れなかった。また処理時間を延°ばして充分な厚さの酸
化膜を形成させたが製造工程中の熱工程で膜にクラック
が生じ、膜剥れを起こした。 之等のｊ９囚究明のため酸化膜の成分を分析した結果、
Ｆｅ２Ｏ３、Ｆｅ３Ｏ４のほかにニッケルの酸化物が認
められた。このことから鉄およびニッケルを主成いため
であり、形成された酸化膜が熱工程を通ると剥れるのは
下地と酸化膜との熱膨張の差が大きいためであることと
考えられる。 そこで本発明者等はシャドウマスク表面を充分な厚さの
酸化膜が形成できる程度に鉄すンチにすれば充分な付着
強度を有する酸化膜が形成できるのではないかと考え、
そこで鉄を保護しニッケルのみを優先的に溶かすように
化学処理することを検討した。すなわち、シャドウマス
クの表面をニッケル用の剥離液で処理すること（−より
シャドウマスク表面の鉄の濃度が処理前の当初の濃度よ
り高まり、通常の酸化条件で表面に耐蝕性、密着性のよ
い酸化膜を形成することができる。これは鉄に近い組成
となっているシャドウマスクの表面ニ酸化膜を形成させ
るので、形成される酸化膜の組成はニッケルの酸化物よ
りも鉄の酸化物の方がはるかに多くなり、また、この鉄
リッチの層が酸化膜と下地との間の中ｍｉ層的働きをし
、熱ユ、程での熱膨張の差による熱応力を緩和する効果
があるためと考えられる。 次に具体的に酸化皮膜を施した実力（巨例について説明
する。 実施例 １） ３５％ニノニンおよび鉄を主成分とする厚さ０１間の金
属板にフォトエツチング法により所定のパターンの微細
開化を穿設する。次に１１００℃の温度で真空焼鈍を行
なった後、焼鈍時に発生したしわを収り除くため軽くレ
ベラーをかけ、次いで化学処理を行なう。 化学処理液はジャパンメタルフィニシングカンパニー
（株）の商品名エンストリップＳ（鉄の上のニッケルメ
ッキ剥離剤）を用いる。 液組成はエンストリップＳ ６ （ｌ ｌ／ ／ ｌ、
ＮａＣＮ ＨＩＯ＆／ｌであり８０℃の温Ｉ隻で処理
時間を変えて６通りのサンプルを作製した。化学処理後
の表面の鉄の濃度をＥｌ ｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ
Ｘ Ｒａｙ Ｍｉｃｒｏ Ａｎａｌｙｚａｒ（ＥＰＭＡ
）により鉄の秒当すカウント数をとって測定した結果を
第１図に示す。すなわち処理時間が長くなる程加速電圧
の低いところでの鉄のカウント数の割合が高くなり表面
層の鉄の濃Ｉ廷が高くなっていることを示す。 尚、第１図での特性にＩ）〜（ｇ）は夫々第１表に示す
処理時間を実施したものである。 次にフラットマスク乞プレス成形し、微細開孔面は曲面
状に周辺部はマスクフレームへの固定のためのスカート
部を有する形状に成形する。 さらにトリクレン脱脂後ＣＯ＋ ｃｏ、、 ＋０２の雰
囲気ガス中で５７０〜６００ ’Ｇの温度で酸化１漠を
形成させる。 以上の工程を経て完成したシャドウマスクの酸化膜の密
着性と耐触性について測定した結果を第１表に示す。 （以下余白） 第１表 酸化膜の特性測定結果 膜厚；断面を研摩し顕微鏡で観察測定 膜の密着性；電気炉中で４５０℃Ｘ６０分加熱後曲率半
径Ｒ＝１朋で９０°折り曲げ、 その部分をセロテープで剥離しテ スト。○△×は剥れの程度を示し、 ○は剥れなし、△は若干例れあり、 ×は剥れあれあり実用不能。 耐蝕性；温度３５℃、相対湿度９０〜９５％の雰囲気中
に放置して錆の発生率を観測 （強制テスト）。 第１表より前述の化学処理液中で８０℃の温度で１〜３
分処理した後、酸化処理を実施したシャドウマスクが密
着性（耐熱性）耐蝕性ともに純鉄を主成分とするシャド
ウマスクと同等もしくはそれ以上の酸化膜特性を有する
ことがわかる。 次に第１表の試験例■、■のシャドウマスクをカラー受
像管内に組み込み、通常の熱工程を通過後封止して管を
完成させ動作試験を行なった結果、シャドウマスクの熱
膨張による色純度の劣化は無視しうる程度であり、また
シャドウマスクの孔詰まりもなく耐電圧特性も良好であ
った。即ちシャドウマスク表面の化学処理によりその表
面を鉄リッチとしても、素材の熱膨張率の変化は無視で
きることを確認した。 更に管を分解してシャドウマスクの酸化膜の表面状態を
観察した結果酸化膜のダストやクラックはほとんど認め
られなかった。 実施例 ２） 化学処理をシャドウマスクのプレス成形およびトリクレ
ン脱脂後に行ない、その後酸化処理を行なった。その他
の工程および処理条件は前記実施例１と同様に行なった
。この結果得られたシャドウマスクも実施例１と同様に
良好であった。 実施例 ３） フォトエツチング工程後に化学処理を施し、次いで真空
処理を行なった。以降の工程はレベラープレス成形およ
び酸化処理であり、その他の工程および処理条件は実施
例１と同様に行なった。この場合は、化学処理の後に真
空処理を行なうためニッケルが表面に若干拡散してきて
その分だけ表面の鉄組成比が減少するが充分実用可能な
、−ものであった。 以上の実施例では３６％ニッケルおよび鉄を主成分とす
る素材について説明したが、本発明は、この他４２％ニ
ッケルや５０％ニッケル或は３２％ニッケルー５％コバ
ルトかうするスーハーアンパー等の種々の組成比を有す
る素材にも適用しうることはいうまでもない。 〔発明の効果〕 以上のように本発明によれば、剥離やダスト。 クラック及び錆発生を防止し、密着性及び耐触性の良好
なカラー受像管用シャドウマスクを得ることができる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は横軸にＥＰＭＡ分析時の加速電圧、縦軸にＥＰ
ＭＡ分析での鉄の強度のカウント数をとって表面の鉄の
組成比を示す特性図である。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑
Claims (1)
- 鉄およびニッケルを主成分とするシャドウマスク用金属
板に多数の規則正しく配列された微細開孔を穿設する手
段と、前記多数の微細開孔が穿設されたシャドウマスク
の表向の鉄組成比を化学処理により前記表面のニッケル
を優先的に溶解させ当初の鉄組成比よりも過ＩＩ Ｋす
る手段と、前記シャドウマスクの表面に入点ないし黒色
の酸化皮膜を形成する手段とからなることを特徴とする
シャドウマスクの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58012760A JPS59149635A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法 |
| GB08401937A GB2134319B (en) | 1983-01-31 | 1984-01-25 | Shadow mask |
| DE3403088A DE3403088C2 (de) | 1983-01-31 | 1984-01-30 | Lochmaske für Farbbildröhre und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| US06/575,387 US4596943A (en) | 1983-01-31 | 1984-01-30 | Shadow mask for a color picture tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58012760A JPS59149635A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59149635A true JPS59149635A (ja) | 1984-08-27 |
| JPH0463500B2 JPH0463500B2 (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=11814354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58012760A Granted JPS59149635A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | カラー受像管用シャドウマスク及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4596943A (ja) |
| JP (1) | JPS59149635A (ja) |
| DE (1) | DE3403088C2 (ja) |
| GB (1) | GB2134319B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02270248A (ja) * | 1989-04-10 | 1990-11-05 | Nkk Corp | シヤドウマスク用金属薄板及びその製造方法 |
| JP2018104823A (ja) * | 2015-02-10 | 2018-07-05 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクを作製するために用いられる金属板およびその製造方法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4713576A (en) * | 1985-04-24 | 1987-12-15 | Hitachi, Ltd. | Color picture tube with shadow mask |
| JPH0676646B2 (ja) * | 1985-04-26 | 1994-09-28 | 日立金属株式会社 | ブラウン管シヤドウマスク材料およびこれを用いたカラ−ブラウン管 |
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