JPS5914101A - 磁気記録再生方式 - Google Patents

磁気記録再生方式

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JPS5914101A
JPS5914101A JP57121117A JP12111782A JPS5914101A JP S5914101 A JPS5914101 A JP S5914101A JP 57121117 A JP57121117 A JP 57121117A JP 12111782 A JP12111782 A JP 12111782A JP S5914101 A JPS5914101 A JP S5914101A
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JP
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magnetic
recording
recording medium
head
thickness
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JP57121117A
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Kazuo Shiiki
椎木 一夫
Yoshihiro Shiroishi
芳博 城石
Isamu Yuhito
勇 由比藤
Kiminari Shinagawa
品川 公成
Yasutaro Kamisaka
保太郎 上坂
Hideo Fujiwara
英夫 藤原
Hitoshi Nakamura
斉 中村
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Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/1278Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
    • GPHYSICS
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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気ディスク装置、ビデオ機器などにおける磁
気記録再生方式に関し、とくに高密度記録町生に適した
垂直磁気記録用のヘッド−媒体系に関する。
従来の磁気記録方式はリング型磁気ヘッドにより記録媒
体の面内方向に磁化全残留させ信号を記録代生するもの
であった。しかし、この方式では記録の高品度化ととも
に記録媒体内反磁場が大きくなり記録密度に自ら限界が
あ4つた。これに対し最近、記録媒体面に垂直な磁化を
利用する垂直磁化方式が提案てれ、この方式は記録の高
密度化とともに媒体内反磁場が零に漸近する方式として
注目を集めている。垂直磁気記録方式に関してはたとえ
ば公開特許公報、特開昭52−82318゜82319
.134706などに原理的な提案がなされており、短
波長特性がすぐれている、すなわち高密度記録の可能性
が示されている。
第1図は従来から知られている垂直磁気記録方式の一例
で閉磁路構造全とりもつとも効率がよいと考えられる、
磁気ヘッド1と媒体系2の組合せを模式的に示した図で
ある。符号11は記録再生のための第1の磁極、12は
信号電流を流すためのコイル、13は閉磁路を形成する
たぬの第2の磁極である。また記号21は垂直異方性ケ
もった磁気記録媒体層(以下、垂直磁化層と記す)、2
2は閉磁路を形成するための高透磁率層である。
しかし、このような原理的な提案だけでは必ずしも高密
度記録全実用的な水準で実現できるものではない。上記
のような垂直磁気記録方式において、従来は、各磁極お
よび垂直磁化層の磁気特性や寸法・形状が具体的にどの
ようなものであれば満足すべき結果が得られるかを示す
指導原理がなく、比較的無方針に各磁気特性や寸法を組
合せていた。このよう′な状態で良好な結果の得られな
いのは言うまでもない。本発明者達は磁気ヘッドや記録
媒体の寸法や磁気特性を垂直磁気記録方式として特有の
、ある範囲にした場合にのみ実用的に高密度記録再生装
置が実現できることをみいだした。
たとえば、第1の磁極の寸法は記録密度特性と関係して
おり、単に第1図に示された構造の磁気ヘッド全作製し
ても高い記録密度が実現できるとはかぎらない。また、
実用上は従来の記録再生方式と園程度の記録再生効率全
もつこと、高い周波数帯域せで使用できることも要求さ
れるが、第10に示されるような原理的な提案は必ずし
もこの要求を満たしていない。
本発明の目的は垂直磁気記録方式として磁気ヘッドおよ
び記録媒体を最適化し、記録再生効率にすぐれ、高周波
特性が良好な実用的な磁気記録再生方式を提供すること
にある。
本発明においては磁気ヘッドおよび記録媒体の寸法およ
び磁気特性を、磁気ヘッドの磁界分布が急峻になるよう
に最適化して高い記録密度全連成させ、同時に高い記録
再生効率全実現した。また高い周波数帯域において使用
する場合には、磁気ヘッドをホトリソグラフィ技術など
を用いて作製する薄膜磁気ヘッドとすれば、目的を達成
できるようにした。
上記目的全達成するため、本発明の磁気記録再生方式は
、磁気記録再生用の第1の磁極が7KG以上の飽和磁束
密度を有する磁性材料からなり且つその記録媒体対向面
端部における厚みが0.15〜0.5μmであり、記録
媒体に対して該第1の磁極と同じ側にある第2の磁極の
記録媒体対向面端部における厚みが該第1の磁極の10
倍以上である垂直磁気記録再生ヘッドと、高透磁率磁性
層上に面接せたは中間層を介して形成きれ、膜面に垂直
碌方向に磁化容易軸があり、厚みが0.1〜05μmで
且つ該膜面に垂直な方向の保磁力が250〜6000e
の磁性薄膜を有する垂直磁気記録媒体からなるものであ
る。
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
第2図は本発明を説明するために模式的に示した薄膜磁
気ヘッド−記録媒体系の概略断面図である。薄膜磁気ヘ
ッド3の主要部をつき゛に説明する。
フオトセラム(米国、コーニング社の商品名)からなる
基板31上に飽和磁束密度Bs、が種々異なるCo基非
晶質磁性合金例えば、Coヮ。Cr、2Z’+2 + 
Co、4Cr8Z r、 + co、。hso、z r
、など(以下、組成式における数字はat%を示すもの
とする)をスパッタ法で釉々の厚みTP2で被着ζせて
、第1図に示さnた閉磁路を形成するための第2の磁極
13に対応する磁極32とした。後述するように基板と
してM n −Znフェライトなど強磁性体を用いれば
この閉磁路を形成するための磁極を基板と兼用でせるこ
ともできる。33は記録再生のための第1の磁極35と
、閉磁路を形成するための第2の磁極32及びコイル3
4全磁気的邂気的にへたてるための5in2絶縁In 
(スパッタ法により被着)、34は信号電流を流すため
のAtコイル(蒸着法によV被着した1ターンのコイル
)である。SiO2絶縁層の全体の厚み(すなわちAt
コイルの上面側の5io2層の厚みと下面側の厚みとの
合計)は約3μmXAtコイルの厚みは約1.5μm1
幅は約50μmとした。これらの寸法、材料はとくに本
発明を規定するものではなく、ヘッド作製上の容易さを
考慮して選べばよい。
35は記録再生のための第1の磁極で、ここでは飽和磁
束密度Bs、が釉々異々る材料と1−で、Co基非晶質
合金CO,、MO,、!lZ r、、、、  など)、
N 1−Fe結晶質合金(Ni−1c+wt%Feなど
)、pesti晶質合金(Fe  6.5wt%Ssな
ど)をスパッタ法により被着形成した(いずれも周波数
IMH2における透磁率が約1000以上)。第1の磁
極35において、記録媒体に対抗するヘッド先端部の磁
極の厚みTP、’!に0.1〜3μmと変え、ヘッド内
部(すなわち先端部以外の部分)の厚みは3μm一定と
してヘッド全作製した。なお実際には薄膜ヘッドの作製
は従来公知の技術、スパッタ法、蒸着法、ホトリソグラ
フィ技術、研削、研まなどによって行なわれるが、この
ような作製方法は周知の技術であり、ここでは詳細全省
略する。
つぎに記録四体4の構成を説明する。ガラス基板41の
上に高透磁率層としてCo−Mo−Zr非晶質合金(C
o、。M O9,5Z 、r 10.5など)42をス
パッタ法で約1μm厚みで形成しく周波数IMH2にお
ける透磁率が約1.000 ) ”Jらにこの上に垂直
磁気記録媒体としてCo −C″lr結晶質合金(Co
−17at%Crなど)43全厚みtm’(H変化甥せ
てスパッタ法で形成した。Co−Cr媒体の垂直方向の
イ呆磁力HC上はスパッタ時の基板温度を変えることに
よって、変化させた。Ta。
λ・10等の添刀口元累によってHC上を変化させるこ
とも可能である。作製した媒体の飽和磁化は約200〜
700emu/弘 であった。垂直磁気記録媒体として
は、Co−Cr合金のほかに、C0−RL1合金や、C
o−W−P合金、Co−Mn −P合金が知ら拉ている
が、coおよびCrf主成分とする合金がもつとも垂@
磁気異方性、飽和磁化が大きく、作りやすいので、本発
明を実施する場合に、現在のところ、もつとも望筐しい
種々の薄膜磁気ヘッドと記録媒体と全組み合せて、記録
再生特性を測定した。測定は最適記録電流において相対
速度2.5m/Sで、磁気ヘッドと記録媒体との間隔は
0.05μm以下の状態で行なった。
第3図は第1の磁極(Ni−1c+wt%pe合金膜)
の先端部における厚みTP+に変化させたときの、最高
記録密度り、。の変化を示したグラフである。なおここ
では第2の磁極材としてはCo、、Cr、2Z r、2
非晶質合金を用いた。ここで最高記録密度り、。とじて
は、十分低い記録密度における記録再生出力の50%の
出力が得られる最高の記録密度全便宜的に用いた。TP
、以外の寸法、磁気特性は第1表(a)に示した代表的
な値を用いた。
TP、が0,15μm〜0.5μmの狭い範囲でだけI
)soが太きい。これはTP、が大きい場合は磁気ヘッ
ドの磁界分布が急峻にならず、’1’p、が小さい場合
は磁気的に飽和が起り、十分な記録磁界が発生できない
ことによるものと考えられる。
なお、第1表には後述する実施例のデータも記載しであ
る。
第4図は第1の磁極の飽和磁束密度B”+に変化させた
ときの記録密度IKBPIにおける出力eを示すグラフ
である。Bs、以外の寸法、磁気特性は第1表(b)に
示した代表的な値を用いた。Bslが低くなるにつれて
eが低くなるが、Bslが7KG未満ではeが極端に低
くなる。これは第1の磁極の先端が磁気的に飽和しはじ
め、十分な記録磁界が得られなくなり媒体に記録が十分
性なわれなくなること全童味しており、磁気ヘッドとし
ては望ましくない。第4図の結果から考えて第1のラフ
である。第5図の#に軸は第1の磁極の厚みTPlに対
して知略化した第2の磁極の厚みTP2、すなわちTP
2/TP、 、縦軸は十分低い記録密度における記録再
生出力の50%の出力が得られる記録密度り、。を示す
。TP2以外の寸法、磁気特性は第1ff(C)に示す
代表的な値を用いた。TP。
は少なくともTPlの10倍以上の厚みがないと、十分
に大きなり、。は得られないことがわかる。これはTP
2がTPlと同程度であると、第2の磁極にお−いても
記録内生が行なわれてしまうためと考えられる。
第6図は第2の磁極の飽和磁束密1hi B ” 2 
に対する最高記録密度り、。の変化を示すグラフである
第6図の横軸は第1の磁極の飽和磁束密度BS。
に対して規格化した第2の磁極の飽和磁束密度BS2、
すなわちBs2/BS、 、縦軸は十分低い記録密度に
おける配、録褐生出力の50%の出力が得られる記録r
fi度D5oを示す。Bs2以外の寸法、磁気特性は第
1ff(d)に示す代表的な値を用いた。
Bs2はBs、の−以下とする方が望ましい。これは第
1の磁極と第2の磁極が対等であると、第2の磁極にお
いても記録再生が行なわれてしまうためと考えられる。
−・般に飽和磁束密度が低い材料はキュリ温度も低く、
キュリ温度が低いと室温付近のわずかな温度変化に対し
て特性が大きくも斐のでBs2の値は実際の便用条件を
考慮して決定する必要がある。材料によっても異なるが
実用上キュリ温度が約2000位必要とするとBs2は
約3KG以上となる。
第7図は記録媒体の垂直方向の保磁力HCJLに対する
最高記録密度り、。の変化を示すグラフである。Hc工
以外の寸法、磁気特性は第1表(e)に示す代表的な値
を用いた。He上は太きすぎるとり、。が小さくなるが
、これは記録電流の飽和特性力・らみて、ヘッド先端が
磁気的に飽和したためではなく、何か別の原因と考えら
れる。従来の水平磁気記録方式では、ヘッド先端が磁気
的に飽和しないかぎり記録媒体の保磁力に大きいほど記
録密度特性はのびる傾向にあるので、これは垂直磁気記
録方式に特有な効果と考えられる。またHe上が小さす
ぎるとD5nが小さくなるが、これは垂直方向に磁化を
残留はせることができなくなるためである。前述した本
発明の磁気ヘッドの場合は、各部の寸法や材料特性の違
いにも多少よるが、HC上=250〜6000eで高い
記録密度が得られる。
第8図は記録媒体の膜面に垂直な方向に磁化容易軸のあ
る磁性膜の厚みtmに対する最高記録密度り、。の変化
を示すグラフである。tm以外の寸法、磁気特性は第1
衣(f)に示す代表的な値を用いた。tmが太きいとり
、oが小さくなるが、これはtm犬になることによって
記録媒体内の磁界分布が広がるためと考えられる。一方
tmが小きい場合もり、oが不妊くなるが、これは薄い
場合は十分に垂直磁気異方性を有する膜が得られないこ
とによると考えられる。一般に、前述した本発明の磁気
ヘッドと組み合せた場合、媒体の厚みtmは061〜0
5μm″′Cあることが必要である。
前述した薄膜磁気ヘッドと記録媒体とはこれを組み合せ
て用いた場合に初めて艮好な記録密度特性が得られるの
であって、本発明の磁気ヘッドで従来の水+磁気記録媒
体に記録再生しても、また逆に従来の水平磁気記録用の
リングヘッドを用い−C本発明の磁気記録媒体に記録再
生を行なっても良好な記録密度特性を示さない。たとえ
ばリングヘッドと垂直磁気記録再生とを組み合せた場合
、媒体の保磁力HC土は約100 ooe以上と大きい
方が記録密度特性がのびる傾向を示すが本発明にはおよ
げない。甘た以上示したことく、原理的に提案されでい
る従来公知の垂直磁気記録用媒体と垂直磁気記録用磁気
ヘッドがめれば必ず高記録密度の垂直磁気記録再生がで
きるというわけではなく、各々の最適化および組み合せ
の最適化を図ることによって初めて高い記録密度特性が
達成できる。
また、本発明では閉磁路を構成することによって従来の
水平磁気記録とh程度の記録再生効率を得ることができ
、記録電流としては数100mAT以下、出力としては
約40μVp−p/T以上(トラック幅約80μmのと
き)が得られる。また本発明の実施を実施例に述べたご
とく薄膜磁気ヘッドとすると、七のインダクタンスは数
10nH(at IOM)(Z)以下と非常に小さく、
非常に高い周波数帯域まで使用が可能である。
実施例では閉磁路を形成するための第2の磁極はスパッ
タ法で形成したCO基非晶質磁性合金を用いたが、高周
波数帯域で使用する場合は5ho2゜A40.などの絶
縁物全中間に介在でせ何層にも積層芒せることによって
渦電#Lを軽減し効率全一層高めることができる。また
実施例に示した材料および製法は1例であって、従来公
知の釉々の材料、製法によって本発明を構成できること
はいうまでもない。たとえばガラス基板ではなくテープ
状の媒体とすることも可能である。とくに磁気ヘッドの
第2の磁極としては強磁性基板を用いることも可能で、
その場合は作製プロセスを簡単化できる。基板としては
、硬度、1tttもう性、光面性などが良好であり、か
つ前述した本発明の条件を満たす材料でなければならな
いが、そのような材料としてはM n−Z nフェライ
ト単結晶基板がもつともすぐれている。
なお、上記以外については、従来の技術を踏襲してよい
【図面の簡単な説明】
第1図は垂直磁気記録方式を説明するための模式図、第
2図は本発明の詳細な説明するためのヘッド・媒体系の
断面図、第3図は第1の磁極の先端部厚芒と最高記録密
度との関係を示すグラフ、第4図Qづ、第1の磁極の飽
和磁束密度と出力との関係を示すグラフ、第5図は第2
の磁極の厚さと最あ)記録密度との関係を示すグラフ、
第6図に第2の磁極の飽和磁束密度と最高記録rpH度
との関係を示すグラフ、第7図は記録媒体の膜面に垂直
な方向の保磁力と最高記録密度との関係を示すグラフ、
第8図は記録媒体の膜面に垂直な方向に磁化容易軸のあ
る磁性膜の厚さと最高記録密度との関係を示すグラフで
ある。 11.35・・・磁気記録再生を行なわするための第1
の磁極、12.34・・・信号電流を流して記録。 角生信号を検出するためのコイル、13.32・・・閉
磁路を形成するための第2の磁極、21.43・・・垂
直磁気記録再生、22.42・・・閉磁路を形成第 1
 喝 2 12 区 2 第 3 図 ア/=l (μ?−9 某 42 第 5 ロ アF2/ T(t )6   乙  し] f′17 図 Hcw  (Oe) 5fI8  図 t、n(μ笥) 第1頁の続き 0発 明 者 上坂保太部 国分寺市東恋ケ窪1丁目280番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 0発 明 者 藤原英夫 国分寺市東恋ケ窪1丁目280番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 (C発 明 者 中村前 国分寺市東恋ケ窪1丁目280番 地株式会社日立製作所中央研究 所内

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、磁気記録再生用の第1の磁場が7KG以上の飽和磁
    束密度を有する磁性材料からなり且つその記録媒体対向
    面端部における厚みが0.15〜0.5μrr+Tあり
    、且つ記録媒体に対して該第1の磁極と同じ側にある第
    2の磁極の記録媒体対向面端部における厚みが該第1の
    磁極の10倍以上である垂直磁気記録再生ヘッドと、高
    透磁率磁性層上に直接または中間層を介して形成され、
    膜面に垂直な方向に磁化容易軸があり、厚みが01〜0
    .5μmで且つ該膜面に垂直な方向の保磁力が250〜
    6000eの磁性薄膜を有する垂直磁気記録媒体からな
    ることを特徴とする磁気記録再生方式。 2、 上記第2の磁極を構成する磁性材料がMn−Zn
    フェライト単結晶であること全特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の磁気記録再生方式。 3 上記垂1に磁気記録媒体の膜面に垂直な方向に磁化
    容易軸を有する磁性薄膜がCoおよびCrを主成分とす
    る合金であることを特徴とする特許請求の範囲第1項も
    しくは第2角記載の磁気記録再生方式。
JP57121117A 1982-07-14 1982-07-14 磁気記録再生方式 Pending JPS5914101A (ja)

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