JPS59139118A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は金属磁性体を用いた記録および再生用の磁気ヘ
ッドに関する。

〔従来技術〕

従来より、磁気へラドコアを構成する磁性材料としてフ
ェライトを用いた磁気ヘッドが実用化されている。フェ
ライト材よりなる磁気ヘッドは、高透磁率を有し再生能
率が高く、また耐摩耗性にも優れているためＶＴＲ用ビ
デオヘッドとして広く用いられている。しかし、最近で
はＶＴＲ，の高性能化、小型軽量化の要請にともない、
磁気テープの保磁力が従来の５００〜６００エルステツ
ド（酸化物テープ）から１２００〜１５００エルステツ
ド（メタルテープ）Ｋ移行しつつある。このように磁気
テープの保磁力が高くなると従来のフェライト（飽和磁
束密度約５０００ガウス）では記録が不十分となる。一
方、磁気へラドコア材を構成する他の磁性体として、セ
ンダス）（Ｆ’ｅ−Ａｔ−３ｉ合金）あるいは非晶質磁
性合金のような金属磁性体を用いた磁気ヘッドは、素材
の飽和磁束密度がフェライトより高く、前記高保磁カメ
タルテープに対しても十分記録可能なものが得られ、か
つ摺動雑音が低いという優れた特性を有する。しかし、
一般に使用されるヘッド形状でのコア厚さではビデオ周
波数領域での実効透磁率がフェライトより低く、従って
再生能率は低くなる。さらに最大の問題点として耐摩耗
性に劣るという欠点がある。

最近では上記問題を解決するために、トラック幅の厚み
を有する金属磁性体と耐摩耗性に優れた保縛材とを組み
合せた磁気ヘッドが提案されている。例えば、第１図に
示すように磁気回路を構成した金属磁性体１０の両側面
に保護材ｉ　ｉ、　１ｉ’が設けられている。ここで、
図中１２は非磁性材を介したギャップ、１３はコイル巻
線用窓である。

このような磁気へラドコアは第２図のような工程で接合
ブロックが作られる。第２図（ａ）は保護材１１の上に
トラック幅に等しい厚みの金属磁性体１０が蒸着あるい
はスパッタリング法によって形成され、もう一方の保護
材１１′を金属磁性体１００面で接合して、第２図（ｂ
）に示すような接合ブロック１４を得る。この時の接合
材としては樹脂、ガラス、ロー材等がおる。一方、コア
材の金属磁性体に対して保護材は耐摩耗性、熱膨張係数
。

加工性等を適当に設定したガラス、セラミック等の電導
性の低い材料の中から選ばれる。しかし、これら保護材
を金属磁性体と組み合せて接合する場合、前記、樹脂、
ガラス、ロー材を用いると、一方が接合され易くもう一
方が接合され難いという欠点を持っている。例えば、樹
脂は比較的容易に接合可能であるが、精度や湿度に対し
て信頼に欠け、またテープ走行中に表面に樹脂がしみ出
してしまうという最大の欠点をもっている。一方、ガラ
スは保護材との接合強度は強いが金属との接合強度が弱
い。またロー材はその逆である。というようにどちらも
異種材料の接合に対して一長一短があり十分満足するも
のではない。たとえ中間膜を介して接合されてもその接
合強度は弱く、加工中にはく離してしまうというような
問題が起り、加工歩留りが悪という欠点がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は前記従来の欠点を解消し、金属磁性体と
保護材を組み合せた磁気ヘッドにおいて接合強度が高く
、かつ、耐摩耗性にも優れ、加工歩留りの優れた磁気ヘ
ッドの構造を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は保護材に用いるガラス、セラミック等の酸化物
がガラスとの接合強度が高いということに注目し、主な
接合部が保護材面で行なわれるようなヘッド構造にする
ことによって解決した。

本発明は磁気ヘッドの形状を有する金属磁性体の主磁路
形成面を２個の保護基板で挾んだ磁気ヘッドにおいて、
少なくとも一方の保穫基板面に残膜を設は該溝にトラッ
ク幅にｔｌぼ等しい厚みの金属磁性体を埋め込み、主な
接合強度を２個の保循基板面の接合部で構成した磁気ヘ
ッドである。具体的な一例を第３図に示す。すなわち、
保護材１１および１１′の少なくとも一方の面にほぼト
ラック幅に等しい深さの浅溝を形成し、該浅溝に金属磁
性体１０を充填してなり、保護材１１および１１′の主
たる接合は保護材同志の接合面１５゜１５′で行なわれ
る。上記の接合ブロックは磁気コア半休１６．１６’に
分割され、少なくとも一方のコア半休にコイル巻線溝１
３を形成して後、ギャップ突き合せ面に非磁性ギャップ
材を介してコア半休１６．１６’を接合して磁気へラド
コアを得る。この時の主な接合は同様に保護材面で行な
われ、他にコイル巻線窓の一部もしくはコア後部に接合
補強材を充填してもよい。

以Ｆ実施例によって磁気ヘッド構造の特徴およびその製
造方工程を詳細に説明する。

〔発明の実施例〕

第４図Ｖｉ本発明の磁気ヘッドを構造する工程の第１の
実施例を示す。工程順を示す（イ）等はそれぞれ第４図
の（イ）等に対応する。

（イ）：磁気ヘッドの一方の側面を形成する保護基板２
０を用意する。該保護基板は、非磁性セラミック材から
なり、幅ａはコア幅で、約３ｍ、長さｂはコア高さで約
２．５　ｒｒａｇ　（２個取りの長さが示しである）、
厚みＣはコア厚みの半分で約１ｍ、それぞれ加工代を含
めた寸法である。上面２１はもう一方の保護基板（後述
）との接合面となる。接合面２１に金属磁性体を充填す
るための浅溝２２が形成される。浅溝２２は磁気ヘッド
のトラック幅より若干深めに形成され、溝幅をコア幅よ
り狭くし、保護材での接合面を残すように加工する。加
工は砥石あるいけマスクエツチングによって行なわれる
。

（ロ）：次に上記浅溝２２に金属磁性体、例えばセンダ
ストあるいは非晶質磁性合金２３を蒸着あるいけスパッ
タリング等の薄模形成技術によって形成する。

（ハ）二次に上記の磁性膜形成工程で生じた余分の金属
磁性体を研削、研摩等によって除去し、接合面を形成す
る。この時、金属磁性体膜の厚みはトラック幅ｔにほぼ
等しくシ、両端面は保護基板面が現われるようにする。

に）：次に前記研摩面（接合面）Ｋガラス２４をスパッ
タリング等の手段によって設ける。

（ホ）：次にもう一方の保論基板２０　／を重ね合せる
。

保護基板２０′の接合面は鏡面研摩しておくことが望ま
しく、場合によっては上記研摩面にもガラス膜を形成す
れば接合強度を良好にすることができる。

（へ）：次に上記重ね合せた保護基板を加圧しながら加
熱して接合体２５を形成する。

（ト）二次に上記接合体Ａ」を中央で分割し１組のコア
ブロック半休２６．２６’形成して後、再び突き合せて
接合するギャップ突き合せ面２７．２７’を鏡面研摩を
行なう。

（イ）二次に少なくとも一方のギャップ突き合せ面にコ
イル巻線用の溝２８形成する。その後、ギャップ突き合
せ面２７．２７’に非磁性ギャップ膜をスパッタ法によ
って規定の厚さだけ形成する。この場合、ヘッドコアの
前部突き合せ部には高融点ガラスを、後部突き合せ部に
は接合材となる低融点ガラスを形成するとよい。

（１刀：次に、２１固のコアフ゛ロック２６．２６’　
を突き合せて、加熱しながら加圧して接合し、磁気ヘッ
ドコアブロック２９を形成する。この時補強材として、
窓の一部にもガラスを補充することによって強度を高め
ることができる。主な接合部の強度は保護材の接合部、
３１．３１’によって保障される。すなわち、酸化物系
の保護材はガラスとのぬれ性がよく、接合強度も優れて
いるため、加工工程においてはく離などの問題がほとん
ど起らない。次に点線部で切断して（図に示すような一
個のへラドコア３２を得る。

次にに）、に示すようにコア幅Ｔ（約１５０μｍ）に切
断してヘッドコアチップ３３が完成する。

第５図（（１）〜Ｏψ）および第６図に本発明の他の実
施例を示す。工程（１）は保護基板２０に金属磁性体を
充填するための浅溝２２を設ける。この時、浅溝の端部
に傾斜を設け、該浅溝に充填された金属磁性体の端縁と
作動ギャップが平行部を持たないようにアジマス損失を
与え、金属磁性体端部が疑似ギャップとして作動しない
ようにしている。

傾斜部の角度θは６０°〜３０’の範囲とした。浅溝の
深さは３０μｍとした。工ｉ　（Ｉ＋）は上記浅溝が埋
まる程度にセンダスト合金２３をスパッタリングする。

工程０１Ｄは上記センダスト合金膜の不用の部分を（９
） 研削、研摩して除去し、センダスト膜厚をトラック幅ｔ
（２５μｍ）となるように規定した。以後の工程は第４
図に）〜に）までの工程によって作製され、工程ぐψに
示すようなテープ摺動面の栴造を持つヘッドコアを完成
する。また、トラック幅の広いヘッドコアを作製する場
合には、第６図に示すようにセンダスト合金膜が充填さ
れた２個のブロックを重ね合せることによって得ること
ができる。

また、センダスト合金膜は単１−膜でもよく、絶縁膜を
中間に挾んで多１−膜にしてもよい。特にトラック１隔
の広いヘッドコアにおいては渦電流損失が低減できるた
めに高周波特性が劣化しない。

本発明によれば、作動ギャップｇと金属磁性体２３の端
部が平行部を形成しないため、雑音信号として再生する
ことが解消される。

本発明の他の実施例を第７図（Ｉ〜■）に示す。

第７図は堆積された金属磁性体の厚膜をトラック幅とす
るものである。すなわち、工程（Ｉ）に示すように保護
基板２０に設けた浅溝をトラック幅より若干深く形成し
、これに金属磁性体をトラック幅（１０） の厚みだけ堆積し、さらにその上に非磁性保護材３４を
堆積した構造を有する。

工程（ＩＤは研削、研摩によって不用の非磁性保護材お
よび金属磁性体を除去する。この時、非磁性保護材を残
すようにすれば、金属磁性体の膜厚がトラック幅となる
ため、トラック幅精度が向上する。

〔発明の効果〕

本発明によれば磁気ヘッドの形状を有する金属磁性体の
側面を２個の保護基板で挾んだ磁気ヘッドにおいて、少
なくとも一方の保護基板に浅韓を設け、該溝にトラック
幅にほぼ等しい厚みの金属磁性体を埋め込み、主な接合
強度を２個の保護基板面の接合部で構成された構造を有
するため、保護基板に酸化物系の非磁性、高硬度の材料
を用いることによって、接合材となるガラスとの接合強
度が高くなり、ヘッド加工工程においてのはく離の問題
がほとんどなくなり、ヘッド加工歩留りが著しく向上す
る。

【図面の簡単な説明】

（１１） 第１図は従来の磁気ヘッドの構造を示す斜視図、第２図
（ａ）、　（ｂ）Ｖｉ従来の磁気ヘッドの作製法を示す
ブロック斜視図、第３図は本発明の磁気ヘッドの一例を
示すコア斜視図、第４図（イ）〜Ｑ→は本発明の磁気ヘ
ッド製造工程を説明するための斜視図および平面図、第
５図（１）〜（Ｖ）、第６図、第７図（Ｉ）〜［相］は
本発明の他の実施例を説明する磁気ヘッド製造工程図お
よびヘッド先端平面図である。 １０．２３・・・金属磁性体、１１．２０・・・保護材
、（１２） 閉１図　　ｖＪｚ図 第４図 第　４　図 第５　図 （ｉ）　　　　　２２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気ヘッドの形状を有する金属磁性体の主磁路形成
   面を２個の保護基板で挾んだ磁気ヘッドにおいて、少な
   くとも一方の保膿基板面に浅溝を役は該浅溝にトラック
   幅にほぼ等しい厚みの金属磁性体を埋め込んだことを特
   徴とする磁気ヘッド。 ２、　前記保護基板の浅溝の端部が傾斜しており、該浅
   溝に設けられた金属磁性体端縁が作動ギャップと平行部
   を持たないことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の磁気ヘッド。 ３、　前記浅溝に設けられた金属磁性体の上に非磁性暎
   を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   磁気ヘッド。