JPS59106039U - 真空装置の弁に付設される気体漏れ検出器 - Google Patents
真空装置の弁に付設される気体漏れ検出器Info
- Publication number
- JPS59106039U JPS59106039U JP183U JP183U JPS59106039U JP S59106039 U JPS59106039 U JP S59106039U JP 183 U JP183 U JP 183U JP 183 U JP183 U JP 183U JP S59106039 U JPS59106039 U JP S59106039U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- gas leak
- leak detector
- detector attached
- vacuum equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の気体漏れ検出器の説明図、第２図は本考
案の気体漏れ検出器の配置を示す説明図、第３図は本考
案に用いる圧電素子の一例の作動状況を示す説明図、第
４図は本考案の一実施態様の構造の説明図。 １・・・・・・真空ポンプ、３，３ａ・・・・・・弁、
１１・・・・・・音波検出体。
案の気体漏れ検出器の配置を示す説明図、第３図は本考
案に用いる圧電素子の一例の作動状況を示す説明図、第
４図は本考案の一実施態様の構造の説明図。 １・・・・・・真空ポンプ、３，３ａ・・・・・・弁、
１１・・・・・・音波検出体。
Claims (2)
- （１）真空ポンプ、真空タンク及び真空配管等の真空装
置に付設される弁の近傍の圧力側配管内に圧電素子を設
けたことを特徴とする真空装置の弁に付設される気体漏
れ検出器。 - （２）圧電素子を２個のスプリングで挾み宙吊りにした
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
真空装置の弁に付設される気体漏れ検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP183U JPS59106039U (ja) | 1983-01-04 | 1983-01-04 | 真空装置の弁に付設される気体漏れ検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP183U JPS59106039U (ja) | 1983-01-04 | 1983-01-04 | 真空装置の弁に付設される気体漏れ検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59106039U true JPS59106039U (ja) | 1984-07-17 |
Family
ID=30131742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP183U Pending JPS59106039U (ja) | 1983-01-04 | 1983-01-04 | 真空装置の弁に付設される気体漏れ検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59106039U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020525720A (ja) * | 2017-06-30 | 2020-08-27 | バット ホールディング アーゲー | 音響センサを備えた真空弁 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5395687A (en) * | 1977-02-02 | 1978-08-22 | Fuji Rousui Chiyousa Sentaa | Detecting method and apparatus for location of liquid leakage in liquid guide tube |
-
1983
- 1983-01-04 JP JP183U patent/JPS59106039U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5395687A (en) * | 1977-02-02 | 1978-08-22 | Fuji Rousui Chiyousa Sentaa | Detecting method and apparatus for location of liquid leakage in liquid guide tube |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020525720A (ja) * | 2017-06-30 | 2020-08-27 | バット ホールディング アーゲー | 音響センサを備えた真空弁 |
| US11460125B2 (en) | 2017-06-30 | 2022-10-04 | Vat Holding Ag | Vacuum valve with acoustic sensor |
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