JPS5896706A - 磁気記録媒体 - Google Patents
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- JPS5896706A JPS5896706A JP56194400A JP19440081A JPS5896706A JP S5896706 A JPS5896706 A JP S5896706A JP 56194400 A JP56194400 A JP 56194400A JP 19440081 A JP19440081 A JP 19440081A JP S5896706 A JPS5896706 A JP S5896706A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 35
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020516 Co—V Inorganic materials 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 235000011389 fruit/vegetable juice Nutrition 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- ZEKANFGSDXODPD-UHFFFAOYSA-N glyphosate-isopropylammonium Chemical compound CC(C)N.OC(=O)CNCP(O)(O)=O ZEKANFGSDXODPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000012577 media supplement Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- FPVKHBSQESCIEP-JQCXWYLXSA-N pentostatin Chemical compound C1[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@H]1N1C(N=CNC[C@H]2O)=C2N=C1 FPVKHBSQESCIEP-JQCXWYLXSA-N 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁気dU2録媒体に関し、時には超重密度記
録用の垂直磁気記録媒体に関するものである。
録用の垂直磁気記録媒体に関するものである。
超尚密度記録が可能な垂直磁気記録は近い将来の実用化
を1指して多方面で精力的な研究が進められている。従
来からの磁気記録媒体においては、基板上の磁性膜にお
いてリング型磁気ヘッドによって磁性膜水平方向の磁化
(面内方向の磁化)によって記録が行われている。水平
磁化による記録の場合、記録密度を増加していくと(B
性膜の反磁界が増して残留磁化の減衰と回転を生じ、内
生出力が著しく減少するため、記録密度の高密度化に限
界がある。そこで、磁性膜の面に垂1aな方向即ち厚さ
方向に磁化を行う垂直磁気記録方式が水平磁気記録の高
密度化の壁を破るものとして提唱されている。垂直磁気
記録においては、原理的に、記録信号が短波長になる即
ち記@密度を増大していくにつね、減<m界が小さくな
る性膜があるので、水平磁気記録より島密度i己碌に有
利であると期待されているのである。
を1指して多方面で精力的な研究が進められている。従
来からの磁気記録媒体においては、基板上の磁性膜にお
いてリング型磁気ヘッドによって磁性膜水平方向の磁化
(面内方向の磁化)によって記録が行われている。水平
磁化による記録の場合、記録密度を増加していくと(B
性膜の反磁界が増して残留磁化の減衰と回転を生じ、内
生出力が著しく減少するため、記録密度の高密度化に限
界がある。そこで、磁性膜の面に垂1aな方向即ち厚さ
方向に磁化を行う垂直磁気記録方式が水平磁気記録の高
密度化の壁を破るものとして提唱されている。垂直磁気
記録においては、原理的に、記録信号が短波長になる即
ち記@密度を増大していくにつね、減<m界が小さくな
る性膜があるので、水平磁気記録より島密度i己碌に有
利であると期待されているのである。
このような垂11磁気記録に用いるi己録媒体としては
、スパッタ法により作成したCo −Cr膜がきわめて
優れたものとして既に提案されている。スバッタ法は、
不活性ガスの低真空中でグロー放電を行ったとき陰極(
ターゲット)Kガスイオンが衝突することにより陰極材
料を原子またはその集団として気化させ、こうしてスパ
ッタされて飛出した金属原子を陽極近くに位置づけた基
板の表面上に付着せしめる方法であり、金属(−性薄膜
の製造方法の一つとして良く知られているものである。
、スパッタ法により作成したCo −Cr膜がきわめて
優れたものとして既に提案されている。スバッタ法は、
不活性ガスの低真空中でグロー放電を行ったとき陰極(
ターゲット)Kガスイオンが衝突することにより陰極材
料を原子またはその集団として気化させ、こうしてスパ
ッタされて飛出した金属原子を陽極近くに位置づけた基
板の表面上に付着せしめる方法であり、金属(−性薄膜
の製造方法の一つとして良く知られているものである。
本発明者は、このCo −Cr膜について実用化及び量
産化の観点から研究を進めてきたが、その過程で幾つか
の問題があることを知見した。即ち、第1に、スパッタ
装置を使用して高速成膜を実施する場合、膜面に垂直方
向の保磁力()lc(1) )が大きすぎ、実際にディ
ジタル記録を行う際充分なオーバーライ)%性が得られ
ないことであり、第2に保磁力(Hc(上))が成膜時
の基材の温度にきわめて大きな依存性を示すので、量産
のため連続して成膜した場合、ターゲットからの輻射熱
による基材温度の変化が不可避的に起り、それに伴って
保磁力(1(c(1) )が変化し、同一品質の成膜が
不可能となることである。
産化の観点から研究を進めてきたが、その過程で幾つか
の問題があることを知見した。即ち、第1に、スパッタ
装置を使用して高速成膜を実施する場合、膜面に垂直方
向の保磁力()lc(1) )が大きすぎ、実際にディ
ジタル記録を行う際充分なオーバーライ)%性が得られ
ないことであり、第2に保磁力(Hc(上))が成膜時
の基材の温度にきわめて大きな依存性を示すので、量産
のため連続して成膜した場合、ターゲットからの輻射熱
による基材温度の変化が不可避的に起り、それに伴って
保磁力(1(c(1) )が変化し、同一品質の成膜が
不可能となることである。
先ず、第1のオーバーライド特性については、少くとも
266に3以上必要であり、これを満足するに&@保磁
力(He(L) )は6000e以下でなければならな
い。Co −Cr膜の場合、実験案旧規模での低速成膜
(〈数百A/分)時には基板の冷却を工夫しさえすれば
Hc(上)<60006 とすることが可能ではある
が、実際の工業化を行う場合それが可能とされる数千へ
/分の高速成膜時にはどうしても600 Oe以上とな
り、はなはだしい場合には1800Ue にまでも達し
た。従って、C0−Cr 膜では実際にディジタル記
録を行うに充分のオーバーライド特性を工業化を許容す
る生産速度において実現しえない。
266に3以上必要であり、これを満足するに&@保磁
力(He(L) )は6000e以下でなければならな
い。Co −Cr膜の場合、実験案旧規模での低速成膜
(〈数百A/分)時には基板の冷却を工夫しさえすれば
Hc(上)<60006 とすることが可能ではある
が、実際の工業化を行う場合それが可能とされる数千へ
/分の高速成膜時にはどうしても600 Oe以上とな
り、はなはだしい場合には1800Ue にまでも達し
た。従って、C0−Cr 膜では実際にディジタル記
録を行うに充分のオーバーライド特性を工業化を許容す
る生産速度において実現しえない。
次に、保磁力(1(C(1) )の基材温度依仔性の問
題であるが、(、’o −Cr膜の場合、保磁力は基材
温度の上昇に対し30Oe/1o度以上の割合で増加す
ることが知見された。基板は王にターゲットからの輻射
熱により加熱されるが、連続生産の場合基板の温度は時
々刻々変化することが予想され、上記のような大きな温
度依仔性の下では同一特性の成膜が不可能である。
題であるが、(、’o −Cr膜の場合、保磁力は基材
温度の上昇に対し30Oe/1o度以上の割合で増加す
ることが知見された。基板は王にターゲットからの輻射
熱により加熱されるが、連続生産の場合基板の温度は時
々刻々変化することが予想され、上記のような大きな温
度依仔性の下では同一特性の成膜が不可能である。
斯界では、Co −Cr糸に第6成分として例えばロジ
ウムを脩加する等の試みもあるが、上目ピ間趙はいぜん
として解消しない。本発明は、以上の理由に鑑みて為さ
れたものであり、特に実用化や量産化に適した優れた超
高密度磁気記録用の垂直磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
ウムを脩加する等の試みもあるが、上目ピ間趙はいぜん
として解消しない。本発明は、以上の理由に鑑みて為さ
れたものであり、特に実用化や量産化に適した優れた超
高密度磁気記録用の垂直磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
コバルトは大きな結晶異方性エネルキーな有し、その六
方晶形の結晶′a造によって垂直磁化膜となる基本的元
素と考えられる。本発明者はコバルト系合金について広
範な検討の結果co −MO−V台金が本発明の目的に
好適であることを見出した。
方晶形の結晶′a造によって垂直磁化膜となる基本的元
素と考えられる。本発明者はコバルト系合金について広
範な検討の結果co −MO−V台金が本発明の目的に
好適であることを見出した。
本発明に従う垂11磁化映は、75〜90重前%c。
と、15重t%以下のMOと、残余が■及び不可避的に
随伴する不純物とから構成される。
随伴する不純物とから構成される。
本発明のCo −V −MO展においては、垂直記録媒
体として最も重要なパラメータである(002)面から
のX#!反射ロッキング曲線の半値巾Δθ5゜の値は5
°以内であり、これはCo −Cr y4と同等である
。このX線反射ロッキング曲線とは膜の結晶構造のC軸
の分散度合を表わすものである。また、ディジタル記録
において充分なオーバーライド特性が得られるかどうか
を決定するHC(J−)についても、M、o の添加量
を調節することにより上限の600 (Je以下の範囲
で300〜6 o o Oeの値に制御可能である。史
に、基板温度の上昇に伴なう保磁力)lc(±)の増加
率も1oOe/1o度 以下とCo −Cr Wの1/
3以下に抑えることができ、連続成膜の場合にターゲッ
トからの輻射熱による基板温度の変化に伴っての保磁力
変化を(、’o −Cr膜の場合よりはるかに低くする
ことができる。
体として最も重要なパラメータである(002)面から
のX#!反射ロッキング曲線の半値巾Δθ5゜の値は5
°以内であり、これはCo −Cr y4と同等である
。このX線反射ロッキング曲線とは膜の結晶構造のC軸
の分散度合を表わすものである。また、ディジタル記録
において充分なオーバーライド特性が得られるかどうか
を決定するHC(J−)についても、M、o の添加量
を調節することにより上限の600 (Je以下の範囲
で300〜6 o o Oeの値に制御可能である。史
に、基板温度の上昇に伴なう保磁力)lc(±)の増加
率も1oOe/1o度 以下とCo −Cr Wの1/
3以下に抑えることができ、連続成膜の場合にターゲッ
トからの輻射熱による基板温度の変化に伴っての保磁力
変化を(、’o −Cr膜の場合よりはるかに低くする
ことができる。
本発明のCo −Mo −Vmにおいて、Co は垂
直(ム化膜を実現する大きな結晶異方性を有する結晶構
造を形成する基本的元素として75〜95重敵チ必峨で
ある。75%より少ないと所定の垂直磁化、が不足し、
他方95%を越えると0和磁化が高くなりすぎる。残る
5〜25kk%が190及び■で構成される。■のみを
添加した場合にはCo −Cr 映におけるC「 と
同僚に飽和磁化A4sを低下させ、ji、c、p構造を
安定化させ、異方性値界Hk〉4πMs を満足する
ものの、垂直保磁力か低すぎまたロッキング曲線の半値
巾も広がる傾向を示すが、これにMOを添加することに
より前者か500〜600 (Je の範囲でまた後者
が28〜34度の範囲で目的とする膜を得ることができ
る。
直(ム化膜を実現する大きな結晶異方性を有する結晶構
造を形成する基本的元素として75〜95重敵チ必峨で
ある。75%より少ないと所定の垂直磁化、が不足し、
他方95%を越えると0和磁化が高くなりすぎる。残る
5〜25kk%が190及び■で構成される。■のみを
添加した場合にはCo −Cr 映におけるC「 と
同僚に飽和磁化A4sを低下させ、ji、c、p構造を
安定化させ、異方性値界Hk〉4πMs を満足する
ものの、垂直保磁力か低すぎまたロッキング曲線の半値
巾も広がる傾向を示すが、これにMOを添加することに
より前者か500〜600 (Je の範囲でまた後者
が28〜34度の範囲で目的とする膜を得ることができ
る。
MOの添加けは少量でも相応の効果を生じるが、他方1
5%を越えると保磁力(1−(c(上))の低下を示し
はじめる。そこでMOは15市1%以下とされ、MOの
添加量により保磁力(I]c(1)を自在に制御するこ
とができる。残部は、■及び不Eii避的に随伴する不
純物から構成される。好ましい■添加量は6〜16%そ
して好ましいMO添加噴は3〜15%の範囲であり、所
定の工程条件の下で目的とする成11u%性を得るべく
適宜組合せられる。
5%を越えると保磁力(1−(c(上))の低下を示し
はじめる。そこでMOは15市1%以下とされ、MOの
添加量により保磁力(I]c(1)を自在に制御するこ
とができる。残部は、■及び不Eii避的に随伴する不
純物から構成される。好ましい■添加量は6〜16%そ
して好ましいMO添加噴は3〜15%の範囲であり、所
定の工程条件の下で目的とする成11u%性を得るべく
適宜組合せられる。
本発明の磁気記録媒体の製J外方法自体は、H「定の配
合比のターゲラトラ使用してスパッタ装置Nを用いて例
えばポリイミド等の基板に適宜のスパッタ乗↑」:の下
でスパッタを行うことにより作h’< Lうる。基板温
度の」−昇を防ぐ為、マグネトロン型のスパッタ装[1
0使用も好都合である。
合比のターゲラトラ使用してスパッタ装置Nを用いて例
えばポリイミド等の基板に適宜のスパッタ乗↑」:の下
でスパッタを行うことにより作h’< Lうる。基板温
度の」−昇を防ぐ為、マグネトロン型のスパッタ装[1
0使用も好都合である。
また、垂直磁化膜を高透磁率層で裏打ちする技術も既に
提唱されている(特開昭54−51804号)。これは
、補助(d(極を用いなくとも率極型ヘッドによって効
率よく垂直騒気記録を行うことを1丁とするもので、本
発明においてもこのような高透磁率層を基板と垂面磁化
膜との間に介在させることは何ら妨げられるものでない
。高透磁率層としては例えばMO−Fe −Ni 台
金が使用されうる。
提唱されている(特開昭54−51804号)。これは
、補助(d(極を用いなくとも率極型ヘッドによって効
率よく垂直騒気記録を行うことを1丁とするもので、本
発明においてもこのような高透磁率層を基板と垂面磁化
膜との間に介在させることは何ら妨げられるものでない
。高透磁率層としては例えばMO−Fe −Ni 台
金が使用されうる。
以下、実施列を示す。
実施?/ll
高速スパッタリング装置縦を用いて、Go−v−M。
の成分北本をかえて成膜を行い、得られた膜のHc(1
−)および△050を測定した。スパッタ条件は、Ar
ガス圧8. OX 10−3Torr、投入′取方3
〜51(W、成極間距離ioomである。精米を比較例
と合わせて表1に示す。
−)および△050を測定した。スパッタ条件は、Ar
ガス圧8. OX 10−3Torr、投入′取方3
〜51(W、成極間距離ioomである。精米を比較例
と合わせて表1に示す。
表1
これから、本発明によるCo−V −Mo ytp−が
、工業化司能な高速成膜時においても、充分なオーバー
ライド特性の得られる保磁力(HC(1))< 600
0eを実現しており、さらにMOの硝加量により保磁力
()Ic(1) )’<3 o O〜60 ode の
範囲で任意に制御可能であるという利点がある。
、工業化司能な高速成膜時においても、充分なオーバー
ライド特性の得られる保磁力(HC(1))< 600
0eを実現しており、さらにMOの硝加量により保磁力
()Ic(1) )’<3 o O〜60 ode の
範囲で任意に制御可能であるという利点がある。
次に、基板の温度に対する成膜の付性変化列を以下の表
2及び添付グラフに示す。成膜速度は5200A/分と
した。
2及び添付グラフに示す。成膜速度は5200A/分と
した。
衣2
このように、本発明によるCo −V −Mo膜におい
ては基板温度が20℃から2110℃へと上昇してもH
c(上)は1700e の上昇を示す程度であり、保磁
力温度依存性は10(Je/度と小さい。この事実は、
本発明によるCo −V −Mo膜が、連続生産時にタ
ーゲットからの輻射熱によって基板温度が変化しても、
膜特性の変化はきわめて少なく電画に適した優れたもの
であることを示−づ−0この程度の保磁力変化は基板の
冷却技術等により神fJ15る。これに対し、Co −
Cr gの場合、水冷時においてさえも保イd力(口C
(1))l工600 (Je を越え、光分なオーバー
ライ)%件か得らゎないげがりか、基板温度に対して側
い依存性を示す。基板温度が20℃から200℃へと上
昇すると、IC(上)は6700e もの増大を示シ
、コレf?、 5 (S Oe/I o度もの保磁力上
昇率であり、本発明Co −v −MO膜の3倍以上で
ある。
ては基板温度が20℃から2110℃へと上昇してもH
c(上)は1700e の上昇を示す程度であり、保磁
力温度依存性は10(Je/度と小さい。この事実は、
本発明によるCo −V −Mo膜が、連続生産時にタ
ーゲットからの輻射熱によって基板温度が変化しても、
膜特性の変化はきわめて少なく電画に適した優れたもの
であることを示−づ−0この程度の保磁力変化は基板の
冷却技術等により神fJ15る。これに対し、Co −
Cr gの場合、水冷時においてさえも保イd力(口C
(1))l工600 (Je を越え、光分なオーバー
ライ)%件か得らゎないげがりか、基板温度に対して側
い依存性を示す。基板温度が20℃から200℃へと上
昇すると、IC(上)は6700e もの増大を示シ
、コレf?、 5 (S Oe/I o度もの保磁力上
昇率であり、本発明Co −v −MO膜の3倍以上で
ある。
以上説明した通り、本発明は、新規なCo−V−Mo
垂直磁気記録膜な提供することにより、従来提唱された
Co −Cr系に固有の、ディジタル記録の際のオーバ
ーライ)%性、保磁力の基板温度依存性等についての問
題を解消し、充分に工業化が可能の垂直磁気記録膜を実
現したものであり、今後大きな進展を期待される超高密
度記録の分野に貢献するところきわめて犬である。
垂直磁気記録膜な提供することにより、従来提唱された
Co −Cr系に固有の、ディジタル記録の際のオーバ
ーライ)%性、保磁力の基板温度依存性等についての問
題を解消し、充分に工業化が可能の垂直磁気記録膜を実
現したものであり、今後大きな進展を期待される超高密
度記録の分野に貢献するところきわめて犬である。
図面は本発明及び従来垂直磁気記録映について基板温度
へのくミ気特性の依存性を示すグラフである。 同 首 橋 −I−,。 基緩囁/L (’C) ゛手続袖正書 昭和57年1 月 511 特許庁長官 島 1)春 樹 殿 事(’lの表示 昭和56年特願第194400 号発
明の名称 磁気記録媒体 補11°をする者 ・1(イ/1との関係 特許出願
人名称(506)東京電気化学工業株式会社代理人 〒103 住 所 東京都中央区日本橋3」”目13番11号油
脂上業会館同 住所 同 1゜ 一′刺F1白でf槽りJl汁′績V旧数パ袖+Eの対象 4書勾発期者祠1横トやQ欄− 明細書の発明−の名負は特許請求の範囲・発明の詳細な
説明の欄浦正の内容 別紙の通り 特願昭5<S−194400号明細書を以下の通り補正
します。 t 第6頁、下から6行及び3行それぞれに「基材」と
ある憂いずれも「基板」と訂正します。 2 第4頁、下から7行及び6行それぞれに「基材」と
あるをいずれも「基板」と訂正します。 五 第7頁、9行「(土)」と「を」との間に「)」を
挿入します。 4、第10頁、下から10行「100′!l/度」とあ
るを「10°0/10度」と訂正します。 25−
へのくミ気特性の依存性を示すグラフである。 同 首 橋 −I−,。 基緩囁/L (’C) ゛手続袖正書 昭和57年1 月 511 特許庁長官 島 1)春 樹 殿 事(’lの表示 昭和56年特願第194400 号発
明の名称 磁気記録媒体 補11°をする者 ・1(イ/1との関係 特許出願
人名称(506)東京電気化学工業株式会社代理人 〒103 住 所 東京都中央区日本橋3」”目13番11号油
脂上業会館同 住所 同 1゜ 一′刺F1白でf槽りJl汁′績V旧数パ袖+Eの対象 4書勾発期者祠1横トやQ欄− 明細書の発明−の名負は特許請求の範囲・発明の詳細な
説明の欄浦正の内容 別紙の通り 特願昭5<S−194400号明細書を以下の通り補正
します。 t 第6頁、下から6行及び3行それぞれに「基材」と
ある憂いずれも「基板」と訂正します。 2 第4頁、下から7行及び6行それぞれに「基材」と
あるをいずれも「基板」と訂正します。 五 第7頁、9行「(土)」と「を」との間に「)」を
挿入します。 4、第10頁、下から10行「100′!l/度」とあ
るを「10°0/10度」と訂正します。 25−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)基板と、該基板上に形成される垂直方向に<m化容
易軸を有する磁気記録)@とから成り、磁気記録+ik
mカフ5〜90重量%<7)Co と、151m%以下
のMo と、残部の■及び不可避的に随伴する不純物と
から成ることを特徴とする磁気記録媒体。 2)基板と、該基板上の高fpi磁率層と、該l#l透
磁率増上に形成される垂直方向にイガ化容易軸を有する
磁気記@層とから成り、磁気記録層が75〜90車量チ
のCo と、15重f%以下のMo と、残部のV及
び不可避的に随伴する不純物とから成ることを特徴とす
る磁気記録媒体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56194400A JPS5896706A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 磁気記録媒体 |
US06/418,610 US4452864A (en) | 1981-12-04 | 1982-09-16 | Magnetic recording medium |
DE3237232A DE3237232C2 (de) | 1981-12-04 | 1982-10-07 | Magnetisches Aufzeichnungsmedium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56194400A JPS5896706A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5896706A true JPS5896706A (ja) | 1983-06-08 |
JPH0340491B2 JPH0340491B2 (ja) | 1991-06-19 |
Family
ID=16323963
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56194400A Granted JPS5896706A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 磁気記録媒体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4452864A (ja) |
JP (1) | JPS5896706A (ja) |
DE (1) | DE3237232C2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57149706A (en) * | 1981-03-12 | 1982-09-16 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
US4645719A (en) * | 1984-06-18 | 1987-02-24 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Soft magnetic thin film having uniaxial magnetic anisotropy |
US4587176A (en) * | 1985-01-14 | 1986-05-06 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Layered coherent structures for magnetic recording |
US5023148A (en) * | 1987-12-30 | 1991-06-11 | Seagate Technology, Inc. | Tine film cobalt-containing recording medium |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5451804A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-24 | Shiyunichi Iwasaki | Magnetic recording medium |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5837616B2 (ja) * | 1976-04-27 | 1983-08-17 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体の製造法 |
US4277809A (en) * | 1979-09-26 | 1981-07-07 | Memorex Corporation | Apparatus for recording magnetic impulses perpendicular to the surface of a recording medium |
-
1981
- 1981-12-04 JP JP56194400A patent/JPS5896706A/ja active Granted
-
1982
- 1982-09-16 US US06/418,610 patent/US4452864A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-10-07 DE DE3237232A patent/DE3237232C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5451804A (en) * | 1977-09-30 | 1979-04-24 | Shiyunichi Iwasaki | Magnetic recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4452864A (en) | 1984-06-05 |
DE3237232C2 (de) | 1994-05-26 |
DE3237232A1 (de) | 1983-06-09 |
JPH0340491B2 (ja) | 1991-06-19 |
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