JPS60101710A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JPS60101710A JPS60101710A JP58206910A JP20691083A JPS60101710A JP S60101710 A JPS60101710 A JP S60101710A JP 58206910 A JP58206910 A JP 58206910A JP 20691083 A JP20691083 A JP 20691083A JP S60101710 A JPS60101710 A JP S60101710A
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録媒体に係り、特に垂直磁気記録ができ
る磁気記録媒体に関するものである。
る磁気記録媒体に関するものである。
近年、磁気記録媒体の記録密度を高めるため。
垂直磁気記録方式が検討されている。この記録方式に用
いられる磁気記録媒体は、非磁性材からなる基材と、そ
の晶相の表面に形成された軟磁性材からなる第1の磁性
層と、その第1の磁性層の表面に形成された垂直異方性
を有する第2の磁性層とから構成されている。そしてこ
の第2の磁性層の膜厚方向、すなわち垂直方向に磁化す
ることにより、所望のデータが高密度に記録されるよう
になっている。
いられる磁気記録媒体は、非磁性材からなる基材と、そ
の晶相の表面に形成された軟磁性材からなる第1の磁性
層と、その第1の磁性層の表面に形成された垂直異方性
を有する第2の磁性層とから構成されている。そしてこ
の第2の磁性層の膜厚方向、すなわち垂直方向に磁化す
ることにより、所望のデータが高密度に記録されるよう
になっている。
第1図は、この垂直磁気記録媒体と垂直磁気記録用ヘッ
ドの配置状態を示す断面図である。ポリエスデルヘコポ
リイミドなどの合成樹脂あるいは陽極酸化したアルミニ
ウム板などの非磁性材からなる基材lの表面に、軟磁性
材からなる第1の磁性Jf!2と第2の磁性層3が順次
形成されてテープ状あるいはディスク状の垂直磁気記録
媒体を構成しでいる。
ドの配置状態を示す断面図である。ポリエスデルヘコポ
リイミドなどの合成樹脂あるいは陽極酸化したアルミニ
ウム板などの非磁性材からなる基材lの表面に、軟磁性
材からなる第1の磁性Jf!2と第2の磁性層3が順次
形成されてテープ状あるいはディスク状の垂直磁気記録
媒体を構成しでいる。
この磁気記録媒体を挾むようにして、主磁極5と補助磁
極6とが配置されている。主IJi極5は股厚が約1μ
程度のもので、ガラスやポリイミドなどの非磁性材から
なる支持体4の片面にスパッタリングなどで形成されて
いる。補助磁極6には、励磁コイル7が所定ターン数巻
装されている。この励磁コイル7に記録されるべき信号
電流を流して主磁極5を補助磁極6側から励磁すると、
主磁極5の先端付近に強い垂直磁界が発生して、それと
対向している第2の磁性層3に磁気記録がなされる。
極6とが配置されている。主IJi極5は股厚が約1μ
程度のもので、ガラスやポリイミドなどの非磁性材から
なる支持体4の片面にスパッタリングなどで形成されて
いる。補助磁極6には、励磁コイル7が所定ターン数巻
装されている。この励磁コイル7に記録されるべき信号
電流を流して主磁極5を補助磁極6側から励磁すると、
主磁極5の先端付近に強い垂直磁界が発生して、それと
対向している第2の磁性層3に磁気記録がなされる。
このものにおいて、第1の磁性層2と主磁極5との間隔
Cを可及的に狭くすれば周波数特性、特に高周波領域で
の特性の向上が図れることが知られており、そのために
第2の磁性層3をさらに薄くするイ頃向にある。
Cを可及的に狭くすれば周波数特性、特に高周波領域で
の特性の向上が図れることが知られており、そのために
第2の磁性層3をさらに薄くするイ頃向にある。
従来の磁気記録媒体は、第1の磁性Pi2に鉄とニッケ
ルの合金あるいはそれに銅やモリブデンなどを添加した
パーマロイが、第2の磁性[3にコバルトとクロムの合
金が、それぞれ用いられていた。第2の磁性層3の構成
元素であるコバルトは六方最密格子(h、C,p)構造
をもち、そのC軸の方向に大きな結晶磁気異方性を有し
ており。
ルの合金あるいはそれに銅やモリブデンなどを添加した
パーマロイが、第2の磁性[3にコバルトとクロムの合
金が、それぞれ用いられていた。第2の磁性層3の構成
元素であるコバルトは六方最密格子(h、C,p)構造
をもち、そのC軸の方向に大きな結晶磁気異方性を有し
ており。
このコバルトにクロt、を添加することによって膜の飽
和磁化を下げ、膜面に対して垂直方向にC軸を配向し易
くなることからコバルト−クロム合金が第2の磁性層3
として用いられる。
和磁化を下げ、膜面に対して垂直方向にC軸を配向し易
くなることからコバルト−クロム合金が第2の磁性層3
として用いられる。
ところがこのコバルト−クロム合金からなる磁性層は、
水平(面内)方向の残留磁束密度Br(1)に対する垂
直方向の残留磁束Br(上)の比Br(上)/Br(1
)(以下、垂直残留磁束密度比と称す)が約0,6とま
だ小さく、異方性磁界強度Hkも24000e程度であ
ることから、まだ十分に満足できる磁気特性とはいえな
い。このような傾向は、磁性層の膜厚が例えば0.3μ
mあるいはそれよりさらに薄くなった場合に顕著である
。
水平(面内)方向の残留磁束密度Br(1)に対する垂
直方向の残留磁束Br(上)の比Br(上)/Br(1
)(以下、垂直残留磁束密度比と称す)が約0,6とま
だ小さく、異方性磁界強度Hkも24000e程度であ
ることから、まだ十分に満足できる磁気特性とはいえな
い。このような傾向は、磁性層の膜厚が例えば0.3μ
mあるいはそれよりさらに薄くなった場合に顕著である
。
磁気特性の向上を図るため、コバルト−クロム系合金に
タングステン(W)、モリブデン(MO)、レニウム(
Re)などの第3元素を添加することが提案されたが、
これらの第3元素では十分な効果を得ることができず、
特に垂直残留磁束密度比を1以上にすることができない
。
タングステン(W)、モリブデン(MO)、レニウム(
Re)などの第3元素を添加することが提案されたが、
これらの第3元素では十分な効果を得ることができず、
特に垂直残留磁束密度比を1以上にすることができない
。
本発明者らは垂直異方性を有する磁性層の構成材料につ
いて種々検討した結果、コバルトとクロムとタンタルの
3成分系合金で前記磁性層を構成することにより、垂直
残留磁束密度比を1以上にし、しかも異方性磁界強度を
さらに高め、優れた磁気特性が得られることを見出した
。
いて種々検討した結果、コバルトとクロムとタンタルの
3成分系合金で前記磁性層を構成することにより、垂直
残留磁束密度比を1以上にし、しかも異方性磁界強度を
さらに高め、優れた磁気特性が得られることを見出した
。
基板に結晶化ガラスを用い、コバルトディスク上にクロ
ムとタンタルのベレットをそれぞれ中心より放射状に配
置し、ターゲット上のペレット数を調整することにより
合金組成が変えられるようにする。そして高真空度にし
たのちアルゴンガスを導入し、高周波電力でスパッタリ
ングを行ない、基板上にコバルトを主成分とするCoC
r−Taの3成分系アモルファス合金薄膜を作成する。
ムとタンタルのベレットをそれぞれ中心より放射状に配
置し、ターゲット上のペレット数を調整することにより
合金組成が変えられるようにする。そして高真空度にし
たのちアルゴンガスを導入し、高周波電力でスパッタリ
ングを行ない、基板上にコバルトを主成分とするCoC
r−Taの3成分系アモルファス合金薄膜を作成する。
このようにして作成された各種組成の合金試料が後述の
各特性試験に使用される。
各特性試験に使用される。
第2図は、前記合金中のコバルトとクロムの含有率をコ
バルト77.9原子%、クロム22.1原子%と一定に
して、合金中のタンタル含有率X(原子%)((Go?
? 、!l Crz z 、z )i o O−X
Tax) を種々変えた場合の磁気4・、?性図である
。
バルト77.9原子%、クロム22.1原子%と一定に
して、合金中のタンタル含有率X(原子%)((Go?
? 、!l Crz z 、z )i o O−X
Tax) を種々変えた場合の磁気4・、?性図である
。
この図から明らかなように、垂直残留磁束密度比は、タ
ンタルを少荒添加することにより含有率0原子%のもの
、すなわちちコバルトークロムの2成分系合金のものに
比べて急激に高くなり、タンタル含有率が約0.5原子
%付近で最高値を示す。
ンタルを少荒添加することにより含有率0原子%のもの
、すなわちちコバルトークロムの2成分系合金のものに
比べて急激に高くなり、タンタル含有率が約0.5原子
%付近で最高値を示す。
タンタル含有率がそれよりも大きくなると垂直残留磁束
密度比はごく緩やかに低下するが、含有率が2.6原子
%のものでも垂直残留磁束密度比はl付近にあり、タン
タル無添加のものよりも高い値を示している。
密度比はごく緩やかに低下するが、含有率が2.6原子
%のものでも垂直残留磁束密度比はl付近にあり、タン
タル無添加のものよりも高い値を示している。
またHkもタンタルをナル添加することにより高くなり
、それの1有率が約0.5〜0.7原子%付近で最高値
を示す。含有率がそれよりも大きくなるとHkは徐々に
低下するが、含有率が約1.2原子%以下ではタンタル
無添加のものよりも高い値を示している。なおこのよう
な傾向は、他の成分であるコバルトとクロムの比率を多
少変動させても同様であることが、後述の第3図から明
らかである。
、それの1有率が約0.5〜0.7原子%付近で最高値
を示す。含有率がそれよりも大きくなるとHkは徐々に
低下するが、含有率が約1.2原子%以下ではタンタル
無添加のものよりも高い値を示している。なおこのよう
な傾向は、他の成分であるコバルトとクロムの比率を多
少変動させても同様であることが、後述の第3図から明
らかである。
従って合金中におけるタンタル含有率は、それの添加効
果を発揮するとともに高い垂直残留磁束密度比ならびに
異方性磁界強度を得るために、約0.1〜1.2原子%
の範囲に規制するとよい。なお、タンタルの添加によっ
て垂直方向の飽和磁束密度B5(1)ならびに保磁力H
e(1)は低下する傾向にあるから、ハフニウム含有率
は約0.1〜0.71子%の範囲に規制するとさらに望
ましい。
果を発揮するとともに高い垂直残留磁束密度比ならびに
異方性磁界強度を得るために、約0.1〜1.2原子%
の範囲に規制するとよい。なお、タンタルの添加によっ
て垂直方向の飽和磁束密度B5(1)ならびに保磁力H
e(1)は低下する傾向にあるから、ハフニウム含有率
は約0.1〜0.71子%の範囲に規制するとさらに望
ましい。
第3図は、本発明に係るCo−Cr−Ta、3成分系合
金(実線)ならびに従来のCo−Cr2成分系合金(点
線)の磁気特性図で1両合金ともCo −Cr合金成分
を100原子%とし、そのうちのCr含有率を種々変え
た場合の磁気特性を示している。
金(実線)ならびに従来のCo−Cr2成分系合金(点
線)の磁気特性図で1両合金ともCo −Cr合金成分
を100原子%とし、そのうちのCr含有率を種々変え
た場合の磁気特性を示している。
なお、本発明し3係る合金中のタンタル含有率は 、0
.5原子%とした。図中のHk−AおよびHk−Bは本
発明および従来の合金の異方性磁界強度、Br(1)/
Br(〆)−AおよびBr(1)/Br(1)−Bは本
発明および従来の合金の垂直残留磁束密度比をそれぞれ
示している。
.5原子%とした。図中のHk−AおよびHk−Bは本
発明および従来の合金の異方性磁界強度、Br(1)/
Br(〆)−AおよびBr(1)/Br(1)−Bは本
発明および従来の合金の垂直残留磁束密度比をそれぞれ
示している。
この図から明らかなように;異方性磁界強度ならびに垂
直残留磁束密度比に対するタンタルの添加効果は、クロ
ムの含有率を多少変化させても同様に現われ、特に従来
のものではクロム′d率が少なくなると異方性磁界強度
ならびに垂直残留磁束密度比が極端に低下していたが1
本発明のものではそれを改善することができ、異方性磁
界強度ならびに垂直残留磁束密度比が常に高く維持され
る。
直残留磁束密度比に対するタンタルの添加効果は、クロ
ムの含有率を多少変化させても同様に現われ、特に従来
のものではクロム′d率が少なくなると異方性磁界強度
ならびに垂直残留磁束密度比が極端に低下していたが1
本発明のものではそれを改善することができ、異方性磁
界強度ならびに垂直残留磁束密度比が常に高く維持され
る。
次の表はGo−Cr系合金における第3元索Yの添加効
果をそれぞれ示すもので、組成比(原子%)は (GO
7? 、9 Cr22.1 )! ! 、5 Yo 、
sである。なお。
果をそれぞれ示すもので、組成比(原子%)は (GO
7? 、9 Cr22.1 )! ! 、5 Yo 、
sである。なお。
スパッタリング法で形成された各磁性層の厚さは0.3
μmである。この表から明らかなように、第3元素とし
てTi、Zr、Nb、MoならびにWを添加したものは
、垂直残留磁束密度比が1未満で、しかも異方性磁界強
度も低いが、第3元素がTaの場合は垂直残留磁束密度
比が1.24もあり、また異方性磁界強度も37000
eと高い。
μmである。この表から明らかなように、第3元素とし
てTi、Zr、Nb、MoならびにWを添加したものは
、垂直残留磁束密度比が1未満で、しかも異方性磁界強
度も低いが、第3元素がTaの場合は垂直残留磁束密度
比が1.24もあり、また異方性磁界強度も37000
eと高い。
本発明は前述、のような構成になっており、磁気特性の
優れた垂直磁気記録媒体を提供することができる。
優れた垂直磁気記録媒体を提供することができる。
第1図は垂直磁気記録媒体と垂直磁気記録用ヘッドとの
配置状態を示す断面図、第2図および第3図は磁気特性
図である。 1・・・・・・基材、2・・・・・・第1の磁性層、3
・・・・・・第2の磁性層、5・・・・・・主磁極、6
・・・・・・補助磁極、7・・・・・・励磁コイル。 第1図
配置状態を示す断面図、第2図および第3図は磁気特性
図である。 1・・・・・・基材、2・・・・・・第1の磁性層、3
・・・・・・第2の磁性層、5・・・・・・主磁極、6
・・・・・・補助磁極、7・・・・・・励磁コイル。 第1図
Claims (1)
- (1)非磁性材からなる基材と、その基材の表面に形成
された軟磁性材からなる第1の磁性層と、その第1の磁
性層の表面に形成された垂直異方性を有する第2の磁性
層とを備え、前記第2の磁性層が膜厚方向に磁化される
ものにおいて、前記第2の磁性層が、コバルトを主成分
としそれにクロムとタンタルを添加したコバルトとクロ
ムとタンタルの3成分系合金で構成されていることを特
徴とする垂直磁気記録媒体。 (2、特許請求の範囲第(1)項記載において、前記タ
ンタルの含有率が約0.1〜1.1原子%の範囲に規制
されていることを特徴とする垂直磁気記録媒体、
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58206910A JPS60101710A (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 垂直磁気記録媒体 |
GB08425048A GB2148944B (en) | 1983-11-05 | 1984-10-04 | Magnetic recording medium |
US06/668,299 US4603091A (en) | 1983-11-05 | 1984-11-05 | Recording medium for perpendicular magnetization |
DE19843440386 DE3440386A1 (de) | 1983-11-05 | 1984-11-05 | Aufzeichnungstraeger fuer quermagnetisierung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58206910A JPS60101710A (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60101710A true JPS60101710A (ja) | 1985-06-05 |
Family
ID=16531096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58206910A Pending JPS60101710A (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4603091A (ja) |
JP (1) | JPS60101710A (ja) |
DE (1) | DE3440386A1 (ja) |
GB (1) | GB2148944B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6339122A (ja) * | 1986-08-01 | 1988-02-19 | Hitachi Ltd | 面内磁気記録媒体 |
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DE3610431A1 (de) * | 1985-03-28 | 1986-10-02 | Victor Company Of Japan, Ltd., Yokohama, Kanagawa | Quermagnetisierungsaufzeichnungsmedium |
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JP2555683B2 (ja) * | 1988-04-04 | 1996-11-20 | 日本ビクター株式会社 | 磁気記録媒体 |
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JPS5758226A (en) * | 1980-09-22 | 1982-04-07 | Toshiba Corp | Magnetic recording medium |
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JPS59119531A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-10 | Tdk Corp | 磁気記録媒体 |
-
1983
- 1983-11-05 JP JP58206910A patent/JPS60101710A/ja active Pending
-
1984
- 1984-10-04 GB GB08425048A patent/GB2148944B/en not_active Expired
- 1984-11-05 US US06/668,299 patent/US4603091A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-11-05 DE DE19843440386 patent/DE3440386A1/de active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3440386C2 (ja) | 1989-11-16 |
DE3440386A1 (de) | 1985-05-15 |
GB8425048D0 (en) | 1984-11-07 |
GB2148944B (en) | 1987-01-21 |
GB2148944A (en) | 1985-06-05 |
US4603091A (en) | 1986-07-29 |
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