JPS5895659A - 高耐食性窒化珪素焼結体およびその製造方法 - Google Patents
高耐食性窒化珪素焼結体およびその製造方法Info
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- JPS5895659A JPS5895659A JP56192451A JP19245181A JPS5895659A JP S5895659 A JPS5895659 A JP S5895659A JP 56192451 A JP56192451 A JP 56192451A JP 19245181 A JP19245181 A JP 19245181A JP S5895659 A JPS5895659 A JP S5895659A
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Classifications
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は機械的強度および耐食性に優れ丸高書ＪＥＩＩ
化珪素焼結体および七Ｏ１ｌ造方法に関するものである
。
化珪素焼結体および七Ｏ１ｌ造方法に関するものである
。
窒化珪素焼結体は機械的強直中尉熱性などの諸轡性に優
れている丸めに１例えはガスタービン部品のような高温
―造材料としての用途がああ、しかし一方窒化珪素は共
有縮合性が高いために、１１１１緒性に乏しく、窒化珪
素単体より高書度かつ高強度の焼結体を得ることは困難
である。
れている丸めに１例えはガスタービン部品のような高温
―造材料としての用途がああ、しかし一方窒化珪素は共
有縮合性が高いために、１１１１緒性に乏しく、窒化珪
素単体より高書度かつ高強度の焼結体を得ることは困難
である。
そのため従来より窒化珪素を焼結するに際しては、 ｈ
Ｉｋｌｏ −ＡＩｔｏｓ希土類元素の酸化物等よ如成る
焼結助剤を使用してきえ、けれど％ ＭｇＯを焼結助剤
とした焼結体は酸化雰囲気においてＭ１ｒ８１０ｓ等を
生成する為耐欧化性が悪い、ｙ、Ｏｎを焼結助剤としえ
鉤請体ｔｉｅ ｊｌＪ ＩＩ トシテ８１１０％ −Ｙ
ｓ８１ｘＯｒ −Ｙｓｌｌｉｓ（ｈｓＮが生成していれ
ば嵐いがＹ８１〜ＮおよびＩｂＹｓＱＩＮ４が生成して
いると耐酸化性は極端Ｋｌｌ＜ｔゐ、第Ｊ椙としてどの
相が生成するかは、Ｂ１５Ｎａ −８１０ｍ −Ｙ＊Ｏ
ｓの量およびその他の焼結助１１Ａｔ）Ｍｌｍと量、障
威雰囲気等に影響されるがこれら諸要素を正確にコント
ロールする事は難しい。Ｃｅ０１を焼結助剤とした場合
には、焼結中ＫＣ＠へがＣ句ＯａＫ還元され、その際生
じた酸素が８１ＪＮ４と反応してＳｌへを生成させるた
め、８１１Ｎ４− ＣｏＯｘ系では耐欧化性が良い第２
相組成はない。その他の希土類元素酸化物を焼結助剤と
じ九場会にも、いかなる組成にすれば耐欧化性が改善さ
れるかという結果は得られていない。
Ｉｋｌｏ −ＡＩｔｏｓ希土類元素の酸化物等よ如成る
焼結助剤を使用してきえ、けれど％ ＭｇＯを焼結助剤
とした焼結体は酸化雰囲気においてＭ１ｒ８１０ｓ等を
生成する為耐欧化性が悪い、ｙ、Ｏｎを焼結助剤としえ
鉤請体ｔｉｅ ｊｌＪ ＩＩ トシテ８１１０％ −Ｙ
ｓ８１ｘＯｒ −Ｙｓｌｌｉｓ（ｈｓＮが生成していれ
ば嵐いがＹ８１〜ＮおよびＩｂＹｓＱＩＮ４が生成して
いると耐酸化性は極端Ｋｌｌ＜ｔゐ、第Ｊ椙としてどの
相が生成するかは、Ｂ１５Ｎａ −８１０ｍ −Ｙ＊Ｏ
ｓの量およびその他の焼結助１１Ａｔ）Ｍｌｍと量、障
威雰囲気等に影響されるがこれら諸要素を正確にコント
ロールする事は難しい。Ｃｅ０１を焼結助剤とした場合
には、焼結中ＫＣ＠へがＣ句ＯａＫ還元され、その際生
じた酸素が８１ＪＮ４と反応してＳｌへを生成させるた
め、８１１Ｎ４− ＣｏＯｘ系では耐欧化性が良い第２
相組成はない。その他の希土類元素酸化物を焼結助剤と
じ九場会にも、いかなる組成にすれば耐欧化性が改善さ
れるかという結果は得られていない。
そこで本発明者らは耐酸化性を向上させるため、窒化珪
素に添加する焼結助剤につき程々検討を行なつ九、そＯ
結果焼結助剤として酸化イツトリウムと酸化セリウムを
一定比率で使用しさらに酸化アル１＝りムを使用する事
によシ。
素に添加する焼結助剤につき程々検討を行なつ九、そＯ
結果焼結助剤として酸化イツトリウムと酸化セリウムを
一定比率で使用しさらに酸化アル１＝りムを使用する事
によシ。
耐酸化性が優れ九焼結体が得られることを見出し本発明
を完成し丸。すなわち本発明は窒化珪素７１−ｆ’Ｚデ
重量−１酸化イツトリウムに対する酸化セリウムの割合
が峰ル比でＯ，ａ〜参である両歌化物が１〜ＪＯ重量−
１酸化アルミニウムがａｔ−を重量−からなる窒化珪素
焼結体およびそＯ１ａ造方法である。
を完成し丸。すなわち本発明は窒化珪素７１−ｆ’Ｚデ
重量−１酸化イツトリウムに対する酸化セリウムの割合
が峰ル比でＯ，ａ〜参である両歌化物が１〜ＪＯ重量−
１酸化アルミニウムがａｔ−を重量−からなる窒化珪素
焼結体およびそＯ１ａ造方法である。
以下率！１ｉｌｊｌＩを更に詳細Ｋｌ！羽する。
前述し一＃一様にＹｓＯｉｔ−焼結助剤とし丸場合の第
１相はｓｉ雪Ｏ烏−Ｙｓ８１怠伽ｅ Ｙｓ８１＠へ１Ｎ
が好ましく。
１相はｓｉ雪Ｏ烏−Ｙｓ８１怠伽ｅ Ｙｓ８１＠へ１Ｎ
が好ましく。
これらの相を生成させるには酸素壜九は８１０ｘがある
Ｓ＊必要である。ζｅａｓｔたはＳｌへの供給源として
はＣｅへが焼結中にＣｓ０ｓＶＣ還元されると１１に放
出される酸素壕丸はそれが８１ｓＮ＋と反応して生成す
る活性な８１（ｈが最適である。すなわち最初から８１
０ｇ粉末を添加しておいては好ましい第２相を生成させ
為効果は少ない。また酸化セリウムは酸化イツトリウム
と反応して耐酸化性の曳いＣｅ１Ｙ１０Ｆ轡の化合物を
つくる。
Ｓ＊必要である。ζｅａｓｔたはＳｌへの供給源として
はＣｅへが焼結中にＣｓ０ｓＶＣ還元されると１１に放
出される酸素壕丸はそれが８１ｓＮ＋と反応して生成す
る活性な８１（ｈが最適である。すなわち最初から８１
０ｇ粉末を添加しておいては好ましい第２相を生成させ
為効果は少ない。また酸化セリウムは酸化イツトリウム
と反応して耐酸化性の曳いＣｅ１Ｙ１０Ｆ轡の化合物を
つくる。
酸化セリウムと酸化イツトリウムの割合は。
生成させる第１相の組成によって異なるが、耐酸化性の
嵐い酸化セリウムと酸化イツトリウムの化合物を生成さ
せ、かつＹＩｉｉｔＯｓＮ ＊ ８１ｍＹｓＯｓＮａお
よび耐酸化性の悪い酸化セリウムの化合物を生成させな
い条件として、酸化イツトリウムに対する酸化セリウム
の割合がモル比で０．４Ｉ−参であゐことが必要となる
０．参よりも小さいと耐酸化性の悪いイフ）９ウムの
化合物が生成し、夢よシも大きいと耐酸化性の悪いセリ
ウムの化合物が生成する。ｔたこれら両歌化物の焼結体
中の含有量はＪ−２０重量−の範囲にしなければならな
い。１重量−よりも少ないと焼結性に乏しくｅＬ ２０
重量−よりも多いと耐酸化性が悪くなる１、シかしなが
らこの８１ｓＮ４− Ｙ２ｏｓ−Ｃ＠偽系ではホットプ
レスしなければ充分に緻密化しない、従って好ましい第
１相を変化させることなく緻密化を促進する焼結助剤を
添加しなければならない。
嵐い酸化セリウムと酸化イツトリウムの化合物を生成さ
せ、かつＹＩｉｉｔＯｓＮ ＊ ８１ｍＹｓＯｓＮａお
よび耐酸化性の悪い酸化セリウムの化合物を生成させな
い条件として、酸化イツトリウムに対する酸化セリウム
の割合がモル比で０．４Ｉ−参であゐことが必要となる
０．参よりも小さいと耐酸化性の悪いイフ）９ウムの
化合物が生成し、夢よシも大きいと耐酸化性の悪いセリ
ウムの化合物が生成する。ｔたこれら両歌化物の焼結体
中の含有量はＪ−２０重量−の範囲にしなければならな
い。１重量−よりも少ないと焼結性に乏しくｅＬ ２０
重量−よりも多いと耐酸化性が悪くなる１、シかしなが
らこの８１ｓＮ４− Ｙ２ｏｓ−Ｃ＠偽系ではホットプ
レスしなければ充分に緻密化しない、従って好ましい第
１相を変化させることなく緻密化を促進する焼結助剤を
添加しなければならない。
この観点から鋭意検討したところ酸化アルオニウムを０
． ／ −を重量−添加すれば、この問題を解決で自る
ことが判つ九、＊化アル（＝ラムが６１％よりも少ない
と十分に緻密化せず、を九を重量−よりも多いと耐酸化
性が悪くなる自また本発明焼結体では窒化珪素を７Ｉ−
デｚ２重量−會有していなければならない、７７重量−
より４少ないと粒界相の量が多くなｐ過ぎ耐酸化性が悪
くなる。７２９重量−よ〉も多いと焼結助剤の量が少な
くな〉、焼結性に乏しくなる。
． ／ −を重量−添加すれば、この問題を解決で自る
ことが判つ九、＊化アル（＝ラムが６１％よりも少ない
と十分に緻密化せず、を九を重量−よりも多いと耐酸化
性が悪くなる自また本発明焼結体では窒化珪素を７Ｉ−
デｚ２重量−會有していなければならない、７７重量−
より４少ないと粒界相の量が多くなｐ過ぎ耐酸化性が悪
くなる。７２９重量−よ〉も多いと焼結助剤の量が少な
くな〉、焼結性に乏しくなる。
本発＠窺化ｉ素焼結体を得るには、ｉず窒化珪素および
焼−助剤としての酸化イツトリウム。
焼−助剤としての酸化イツトリウム。
酸化セリウムおよび酸化アル建ニウムの各々を窒化珪素
７！〜Ｗ７．９重量−、モル比で０．参〜＃Ｓｌに調整
した酸化セリウふと酸化イツトリウムの混合物Ｊ〜１０
重量−１酸化アルミエウ五〇、／ −１重量＃ＩＩｏ割
合で１例えばポールｔＪ＆／等により粉砕温合し、約２
０００１４７−の圧力を加えて所望Ｏ形状に成形する。
７！〜Ｗ７．９重量−、モル比で０．参〜＃Ｓｌに調整
した酸化セリウふと酸化イツトリウムの混合物Ｊ〜１０
重量−１酸化アルミエウ五〇、／ −１重量＃ＩＩｏ割
合で１例えばポールｔＪ＆／等により粉砕温合し、約２
０００１４７−の圧力を加えて所望Ｏ形状に成形する。
次ｆｌｃ／４ｏｔｓ〜２２００℃の＠度の常圧１九は圧
力３０００気圧以下Ｏ加圧下で窒素ガス中若しくは窒素
ガスを含む非酸化性雰囲気中で焼結する。
力３０００気圧以下Ｏ加圧下で窒素ガス中若しくは窒素
ガスを含む非酸化性雰囲気中で焼結する。
本発ＦＩＡＫおける原料Ｏ窒化珪素１ｄ、ａ相が！０−
以上含まれていることが望ましい、これは窒化珪素の焼
結には一／１転移が大きく関係し、−椙が１０％より１
少ないと充分に焼結が進行しないからである。なお窒化
珪素を充分な焼結体とする丸めに焼結助剤も含めて粒度
を１０ミクｐン以下Ｋｌｋ粒したものであることが望ま
しい。
以上含まれていることが望ましい、これは窒化珪素の焼
結には一／１転移が大きく関係し、−椙が１０％より１
少ないと充分に焼結が進行しないからである。なお窒化
珪素を充分な焼結体とする丸めに焼結助剤も含めて粒度
を１０ミクｐン以下Ｋｌｋ粒したものであることが望ま
しい。
本発明において出発原料の窒化珪素の代シに窒化珪素を
形成しうる原料即ち、金属珪素粉末を用い、これに上記
の焼結助剤を添加混合して成形したものを窒素ガス雰囲
気中１Ｊｏｏ−ｔｚｏｏ℃で焼結して得られる窒化珪素
反応焼結体を使用することもできる。この反応焼結体を
！≦００〜ＪＪＯＯ１：の温度の常圧壜九は圧力３００
０気圧以下の加圧下で窒素ガス空塔しくは窒素ガスを含
む非酸化性雰囲気中で焼結する。
形成しうる原料即ち、金属珪素粉末を用い、これに上記
の焼結助剤を添加混合して成形したものを窒素ガス雰囲
気中１Ｊｏｏ−ｔｚｏｏ℃で焼結して得られる窒化珪素
反応焼結体を使用することもできる。この反応焼結体を
！≦００〜ＪＪＯＯ１：の温度の常圧壜九は圧力３００
０気圧以下の加圧下で窒素ガス空塔しくは窒素ガスを含
む非酸化性雰囲気中で焼結する。
以上の様にして得られ九本発明の窒化域素焼結体は、高
緻密性で機械的強度が高く、高温度下における耐酸化性
が優れている。そのため耐酸化性の要求されるがスター
ビンエンジン、ディーゼルエンジン用部品或いは切削工
具として好適なものである。
緻密性で機械的強度が高く、高温度下における耐酸化性
が優れている。そのため耐酸化性の要求されるがスター
ビンエンジン、ディーゼルエンジン用部品或いは切削工
具として好適なものである。
次に本発明を実施例によ）更に詳細に説明すゐが、本発
明はその要旨を超えない＠シ以下の実施例に限定される
ことはない。
明はその要旨を超えない＠シ以下の実施例に限定される
ことはない。
実施例Ｉ
平均粒＠ａｙμ璽の窒化珪素粉末に平均粒径ｔＯ＃雪の
１０１粉末、平均粒径／、ＯＨｓのＣｏｏｓ粉末および
平均粒径ｔ０μＩＩＯＡ１５Ｏｓ粉末を第１表の試料番
号Ｉ、コ、 Ｊ ｅ ｚ −４ｅ ｔ ＊り、ｔｏ、ｔ
ｉ。
１０１粉末、平均粒径／、ＯＨｓのＣｏｏｓ粉末および
平均粒径ｔ０μＩＩＯＡ１５Ｏｓ粉末を第１表の試料番
号Ｉ、コ、 Ｊ ｅ ｚ −４ｅ ｔ ＊り、ｔｏ、ｔ
ｉ。
／Ｊ 、 ／Ｊ 、 ／参、 ｔｚ 、 ＃ 、 ／７
、 ｔｔ Ｋ示す割合で混合した後コｏｏｏｈ／−の
圧力にて成形し、次にこの成形体をｔｔｏｏ〜２０１０
℃圧力／−２０００気圧の窒素雰囲気にて各１時間焼結
した。試料番号参と７は平均粒径ｔ０μｗｚＱ金属珪素
粉末に平均粒ｖｋ／、０μ颯のＹｘＯａ ｍ）末、平均
粒径ｔ０μ藁のＣ＠０１粉末および平均粒径ｉ０μＩＩ
ＯＡ１．へ粉末を反応焼結後第１ｆｉに示す割合にな
る様に混会し先後ＪＯＯｔＮ１４／ｄの圧力にて成形し
、窒素雰囲気にてｌ参ｊｅ）ｃｔでの温度で反応焼結し
、さらに温度／り００′ｃとＪｔｚｏｃ圧力Ｊ０気圧と
Ｊｏｏ。
、 ｔｔ Ｋ示す割合で混合した後コｏｏｏｈ／−の
圧力にて成形し、次にこの成形体をｔｔｏｏ〜２０１０
℃圧力／−２０００気圧の窒素雰囲気にて各１時間焼結
した。試料番号参と７は平均粒径ｔ０μｗｚＱ金属珪素
粉末に平均粒ｖｋ／、０μ颯のＹｘＯａ ｍ）末、平均
粒径ｔ０μ藁のＣ＠０１粉末および平均粒径ｉ０μＩＩ
ＯＡ１．へ粉末を反応焼結後第１ｆｉに示す割合にな
る様に混会し先後ＪＯＯｔＮ１４／ｄの圧力にて成形し
、窒素雰囲気にてｌ参ｊｅ）ｃｔでの温度で反応焼結し
、さらに温度／り００′ｃとＪｔｚｏｃ圧力Ｊ０気圧と
Ｊｏｏ。
気圧Ｏｉ１素雰素気囲気各１時間焼結した０次にこれら
の試料の室温強度と、空気中／１００℃で１００時間酸
化させ先後の重量増加および室温強度を測定し九。
の試料の室温強度と、空気中／１００℃で１００時間酸
化させ先後の重量増加および室温強度を測定し九。
尚、強直測定はｔ■×夢−の断面を持つ試料を用いＪＩ
Ｂ Ｂ−参０／参ｗｃ従い２０−スパンの三点−げ法に
より、室温での曲げ強捏を測定し九結果を第１表に示す
。
Ｂ Ｂ−参０／参ｗｃ従い２０−スパンの三点−げ法に
より、室温での曲げ強捏を測定し九結果を第１表に示す
。
５１１７表よシ判るように８ｂＮａ ｅ ＹｍＯｓ ＊
Ｃ＠ｏｌ ｅム１ｓｏｓを本発明の組成範１１に含有
する本発明品は、範囲外の比較例５ｉｘ−ｉＨｃ対して
優れた強度を酸化試験の前後に於て有し耐食、耐熱性構
造材として優れたものであった。
Ｃ＠ｏｌ ｅム１ｓｏｓを本発明の組成範１１に含有
する本発明品は、範囲外の比較例５ｉｘ−ｉＨｃ対して
優れた強度を酸化試験の前後に於て有し耐食、耐熱性構
造材として優れたものであった。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｖ＞ ｔｉｉ化珪素７ｊ〜り２り重量−１酸化イツト
リウムに対す為酸化七すクムの割合がモル比で０、＃〜
参であ為両酸化物がコ〜２０重量−１酸化アル１＝りム
がａｔ−を重量参からなる高耐食＊＊化珪嵩倫結体。 （１２）窒化珪素７Ｉ−デＺＦ重量−と、酸化イツトリ
ウムに対する酸化セリウムの割合がモル比でα参〜参で
ある混合物２〜２０重量−と、酸化アル々ニウムｏ、ｉ
−を重量−とを混合成形し、窒素ガス中若しくは窒素ガ
スを含む非酸化性雰囲気中にて１ｔｏｏ〜コＪａｙ℃の
温度で焼結すゐことを特徴とする高耐食性窒化珪素焼結
体の製造方法。 ａ） 反応焼結後車化珪素７！〜り２デ重電−になる量
の金属珪素と酸化イツトリウムに対する酸化セリウムの
割合がモル比でａ参〜参である混合物Ｊ−Ｊ０重量−と
、酸化アル１＝ウム０、／〜を重量−とを混合成形し、
窒素ガス中若しくは窒素ガスを會む非酸化性ｔＳ気中に
て反応焼結し、次に同雰−気にて／４００−２２００℃
Ｏ温度で再焼結することを特徴とする高耐食ａｍ化珪素
鉤焼結体製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192451A JPS5895659A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 高耐食性窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
| US06/444,119 US4499192A (en) | 1981-11-30 | 1982-11-24 | Silicon nitride sintered products having high corrosion resistance and process for production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192451A JPS5895659A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 高耐食性窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5895659A true JPS5895659A (ja) | 1983-06-07 |
Family
ID=16291516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56192451A Pending JPS5895659A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 高耐食性窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4499192A (ja) |
| JP (1) | JPS5895659A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS609770A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-18 | Kyocera Corp | サ−マルヘツド |
| JPS60191063A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-28 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体 |
| JPS6270264A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-31 | 株式会社 エス・テイ−・ケ−・セラミツクス研究所 | 窒化ケイ素焼結体の製造法 |
| WO2017099249A1 (ja) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | 日本マタイ株式会社 | フレキシブルコンテナ |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4628039A (en) * | 1984-03-06 | 1986-12-09 | Kyocera Corporation | Sintered silicon nitride body |
| JPS6172684A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-14 | 株式会社東芝 | 高強度・高耐摩耗摺動部材およびその製造方法 |
| US4892848A (en) * | 1985-07-30 | 1990-01-09 | Kyocera Corporation | Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof |
| US4920085A (en) * | 1987-04-02 | 1990-04-24 | Kyocera Corporation | Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof |
| JPH01313362A (ja) * | 1988-06-09 | 1989-12-18 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック発熱体およびその製造方法 |
| WO1990008113A1 (en) * | 1989-01-17 | 1990-07-26 | Allied-Signal Inc. | Super tough monolithic silicon nitride |
| JP2855243B2 (ja) * | 1991-12-05 | 1999-02-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 耐摩耗性の優れた窒化珪素質焼結体 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5257100A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-11 | Toshiba Corp | Method for production of sintered material of silicon nitride system |
| JPS5388013A (en) * | 1977-01-14 | 1978-08-03 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of making sintered ceramics |
| JPS53140310A (en) * | 1977-05-14 | 1978-12-07 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Manufacture of silicon nitride sintered articles |
| JPS5622678A (en) * | 1979-07-28 | 1981-03-03 | Ngk Spark Plug Co | Manufacture of high tenacity silicon nitride sintered body |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4156051A (en) * | 1975-11-10 | 1979-05-22 | Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. | Composite ceramic articles |
| JPS5418816A (en) * | 1977-07-14 | 1979-02-13 | Tokyo Shibaura Electric Co | Sintered members having good corrosionn resistance to gallium phosphide and gallium arsenide |
| US4280850A (en) * | 1978-06-15 | 1981-07-28 | Gte Laboratories, Incorporated | S13N4 Having high temperature strength and method |
| US4264548A (en) * | 1979-12-20 | 1981-04-28 | Ford Motor Company | Method of making silicon nitride based cutting tools-I |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP56192451A patent/JPS5895659A/ja active Pending
-
1982
- 1982-11-24 US US06/444,119 patent/US4499192A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5257100A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-11 | Toshiba Corp | Method for production of sintered material of silicon nitride system |
| JPS5388013A (en) * | 1977-01-14 | 1978-08-03 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of making sintered ceramics |
| JPS53140310A (en) * | 1977-05-14 | 1978-12-07 | Toyoda Chuo Kenkyusho Kk | Manufacture of silicon nitride sintered articles |
| JPS5622678A (en) * | 1979-07-28 | 1981-03-03 | Ngk Spark Plug Co | Manufacture of high tenacity silicon nitride sintered body |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS609770A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-18 | Kyocera Corp | サ−マルヘツド |
| JPH0583378B2 (ja) * | 1983-06-29 | 1993-11-25 | Kyocera Corp | |
| JPS60191063A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-28 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体 |
| JPH0566337B2 (ja) * | 1984-03-06 | 1993-09-21 | Kyocera Corp | |
| JPS6270264A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-31 | 株式会社 エス・テイ−・ケ−・セラミツクス研究所 | 窒化ケイ素焼結体の製造法 |
| WO2017099249A1 (ja) * | 2015-12-11 | 2017-06-15 | 日本マタイ株式会社 | フレキシブルコンテナ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4499192A (en) | 1985-02-12 |
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