JPS5890732A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、たとえば多数の半導体ペレットを搭載した
リードフレームなどの被搬送物を間欠搬送させる搬送装
置に関する。

ワイヤメンディングの分野においては、リードフレーム
を定量間欠送りして、リードフレームの被メンド部およ
び、リードフレームに搭載された半導体ベレットの被メ
ンド部を、Ｘ−Ｙテーブルに搭載されたがンディングヘ
、ドのがンディングツール部に導く搬送装置が使用され
ている。この搬送装置は、半導体ペレットが微小であっ
て高精度の加工を必要とするために、上記間欠送りには
極めて高い精度が要求される。

かかる搬送装置には、従来第１図ないし第３図に示すも
のが使用されている０図中ａＨリードフレーム（被搬送
物）％Ｅｌを案内する案内路である。この案内路ａの貴
方には、案内路ａに沿って送り杆Ｏが配設されている。

そして、この送り杆０には、一対のアーム＠、Ｃが突出
して設けられ、さらにこれらアームｃ、′″Ｃの先端下
面にはたとえば送り爪す、ｂが設けられている。

また送り杆Ｏを間欠駆動させる駆動機構として、送りモ
ータｄの出力軸に連結された回転軸・に、送り扛上下動
用のカムｆ・および送シ杆軸方向動用の込りカムｇを設
け、カムｆをカムフォロアｈおよび伝達杆五を介して送
シ杆０に連結し、また込りカムｇを、カムフォロアｊお
よび揺ルバーｋを介し送り杆０に設けた送りコマｌに連
結しである。

そして、リードフレームｍを搬送するにあたっては、送
りモータｄを回転させることによシ、ク モ−／ｄの１回転で送り杆０が上下動して、送り爪す、
ｂによりてリードフレームｍを係止するとともに、この
係止と同時に摺動レバーにの揺動によって送り杆ｏｔ−
移動し、フレームｍの１ピツチづつの搬送、いわゆる間
欠搬送が行なわれるようになっている。

なお、ｐ、ｑは復帰用のばね部材でるる。

しかしながら、このような間欠搬送動作を１つの駆動機
構で行なう構造は、１個所に送゛シ杆０をＷｈｖｃ的に
係止する動作機器と、送り杆Ｏを案内路ａに沿って動作
させる機器とが集中して設けられ、１つの機構で全ての
動作を行なうので、その構造が複雑にな夛、また送りピ
ッチの変更に際してはカムを交換する必要があるなどの
問題がある。

この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目
的とするところは、駆動機構を動作別に、第１の駆動機
構、第２の駆動機構に分ける構造にして、機構の簡素化
を図るとともに送りピッチの変更に容易に対応すること
ができる搬送装置を提供しようとするものである・以下
、この発明を図面に示す一笑施例にもとづいて説明する
。第４図ないし第６図は搬送装置のそれぞれ異なる方向
から見た図でアシ、図中１は、被搬送物を案内する案内
路で、この案内路１の側方には、案内路１に沿って送り
杆２が配設されている。そして、送シ杆２には、たとえ
ば所定の間隔でアーム３が複数、たとえば２個突設され
ている。そして、これらアーム３゜３の先端には、案内
路１を上部よｐ臨むように、これらアーム３．３の先端
下面に、送シ爪３ａ＋３ａが設けられている。これは、
被搬送物を案内路１上で係止する係止部４，４である。

上記被搬送物に、たとえば半導体ペレット５を多数所載
したリードフレーム６でｈｖて、このリードフレーム６
の画情には所定の間隔で送り孔６ａが多畝儂えら−れて
いる。

ｆ？ｃ、上記送り杆２の下段には第１の駆動機構１が設
けられ、同じく送り杆２の側方には第２の駆動機構８が
設けられている。上記第１の駆動機ｍｙに、送〕杆２の
真下に配設された。たとえば矩形筒状に形成され餞持体
９に支持されている。すなわち、この支持体９には、上
部壁を貫通して作動杆１０が上下動自在に配設されその
上端部は、連結部１１ａおよびコ字状の連結杆１１ｂを
介して送り杆２の下部局面に連結されている。また、作
動杆１０の下端部は、支持体９Ｆ３に設けた設置台１１
に設置されたコイル１２で囲繞されており、作動杆＋ｌ
Ｄとコイル１２とでルノイド１３を構成している。しか
して、コイル１２に［ｋ、ｔ−流すことにより、送り杆
２を下方へ押し下げ、また上記電流を切ることにより連
結部１１１と支持体９の上面との関に位置して作動杆１
０に巻装された圧縮コイルはね１４０弾性力によって送
９杆２を上方に押し上げることができるようになってい
る。これによシ係止部４，４は、案内路１から接離する
方向へ駆動され、間欠搬送の１つの動作である案内路１
上の被搬送物を断続的に係止する動作を行なう。

なお、１５は送り杆２の下方に設けられた支持フレーム
、１６．１６ｔｒＬその支持）Ｖ−Ａｌ１に設けられ、
送り杆２を上下方向および案内路ｌに沿う方向に移動自
在に支持する軸受体でめる。また、１１は作動杆１０の
上１方向の移動量を規制するための係止部１８でｈ−ｚ
て、その移動量はス）　ｙ　ｔ４　７９と設置台１１と
で制御される。

一方、第２の駆動機構８は、ワイヤがンデイング装置に
用いられるＸ−Ｙテーブル２０を用いている。すなわち
ｓ　Ｘ　’　Ｙテーブル２０は、上面にリードフレーム
６および半導体ペレット５の被メンド部にがンディング
するがンディングヘ、ド２ノを搭載しており、エンコー
ダ２２を備えたＸ＠駆動モータ２３およびエンコーダ２
４を備えたＹ軸駆動モータ２６で、案内路１に沿ったＸ
方向の移動、案内路１から接離するＹ方向へ移動できる
ようになっている。その移ｓａｒ＊精度は高精度でろっ
て±２μ程度の精度でめる。なお、２６はＸ−Ｙテーブ
ル２０の移動ｋを制御するための制御装置である。

そして、かかるＸ−Ｙテーブル２０の上記送り杆２餞と
対向する側部に、Ｌ字状の躯動側りラッチ禅２７が送り
杆２ｉｌへ向って突設され、このクラッチ悸２７に対応
して送９杆２に、従動側クラッチ伸２８が設けられてい
る。これらクラッチ機構２９を構成する駆動側、従動側
クラッチ捧２７，２１１ｕ、上記送り杆２が下降移動し
たときに、駆動側クラ、チ俸２２が案内路１の来円方同
後段に、また従動側クラ、チ棒２８がそのクラッチ棒２
７の前段に位置して、両者が電なり合うよ゛うになって
いて、この状態、つまり、係止部４，４で被搬送物を係
止した状態で、Ｘ−Ｙテーブル２０を案内路１に沿って
走電的に移動させることによシ、被搬送物を送ることが
できるよう罠なっている。しかして、Ｘ・Ｙテーブル２
０、クラ、チ機構２９により、間欠搬送の１つの動作で
ある送りが行なわれる構造となっている。なお、３０は
、支持フレーム１５に設けた上記送り杆２の位置決めを
行なうシヨ、クアプノーパ（図示しない）を重装したス
ト、パ一部材３１および引張ばね部材３２から構成され
る送シ杆復帰機構である。

また、上記ソレノイド１３はソレノイド駆動制御装置３
３を介して上記Ｘ−Ｙテーブル２０側の制御装置２６に
接続されていて、送り杆２の断続的な係止動作と送り杆
２の送り動作との協動により、被搬送物のピッチ搬送、
いわゆる間欠搬送を行えるようになっている。

次にこのように構成された搬送装置の動作について説明
する。案内路１上にリードフレーム６がセットされ、か
つ送夛杆２がスト、ノ譬一部材３１で位置犬めされた初
期の状態において、まず初めにソレノイド１３に電流が
供給され、ソレノイド１３を励磁する。これに伴い、送
り杆２および従！ＩＪｍクラ、チ２８は一定量下降し、
各送り爪ＪａｎＪａがリードフレーム６の送υ孔６ａ・
・・と係付しリードフレーム６を係止する。

またこめとき、従動側クラッチ棒２８は、駆動側クラ、
チ偉２７と接触しないだけの微少クリアランス、ｔｔ（
５０μ程度）を存して駆動側クラ、チ４２８と重合的に
配置される。

ついで、制御装置２６からの４令に基づいてＸ１１！１
１１駆鯛モータ２３で、Ｘ−Ｙテーブル２０は案（ハ）
ｗ６Ｊに旧ったＸ方向へ一定量、つまりリードフレーム
６０所要送りピッチ、すなわちフレームピッチＰに、微
少クリアランスｉｔを加えた直送る。このＸ−Ｙテーブ
ル２０の移動によって送り杆２２よびリードフレーム６
は、案内路１にｔｄってフレームピッチＰ分送られる。

そして、リードフレーム６の送９が終了すると、制ｍ茨
ｆｉＬＸ６からの指令に基づいてソレノイド２０は消磁
され、送り杆２は圧縮コイルばね１４の弾性力によって
上昇し、送り爪３ｍ、３ｍは送り孔６ａ・・・から抜け
、リードフレーム６との係止が解除される。同時に従動
側クラ、チ棒２８が駆動側クラ、チ棒２１から外れ、送
シ杆２は引張ばね部材３２の弾性力でスト、・臂一部材
３１側へ戻され、元の状態に復帰する。このような動作
を繰り返し行なうことによシ、リードフレーム６は１ピ
、チづつ間欠搬送されることになる。

上述のようにこの駆動機構は間欠搬送にかかわる二つの
動作を第１の駆動機構７、第２の駆動機構８に独立させ
たことにより、それぞれの動作を簡易な直線運動に必要
な最低減の構造とすることができ、駆動機構全体の構造
を簡素化することができた。また間欠搬送の送りピッチ
の変更がめりても、直線運動量を調節するだけで変更す
ることができ、容易にピッチ童の調節を行なうことがで
きる。

しかも、追従性能の臭いソレノイド１３、および込り鞘
度に搬れるＸ−Ｙテーブル２０の両省の動作によって間
欠搬送を達成するようにしたから、梢展を必要とする被
搬送物の間欠送りを萬梢度におこなうことができる。ま
た従来のカム式の構造では、１５−のピッチ送りに際し
、１ピツチめたり約０．７秒の時間を菅したが、これを
約０．３秒ｍＭでき、高速化にも寄与している。

さらに、仮搬込物の送りＦｉｘ−Ｙテーブル２０のＪｅ
動菫をクラ、チ棒２７，２Ｂからなるクラッチ機構２９
を介して伝達する構造でめるが、ｄ鈑送物は間欠搬送で
あり、デンディング時にはクラッチ機構２９と係合して
いないのでボンディング時のＸ−Ｙテーブル２０の高精
度移動には側らの思影譬を与えない、また、たとえＸ・
Ｙテーブル２０が暴走したとしても、クラ、チ慎９Ｉｊ
Ｉ２９の断絖鯛作によって送り杆２側には何らの支陣を
与えることはなく、保全、管理・の面においても優れる
ものである。

なお、この発明は上述した笑施例に限定されるものでは
ない。すなわち、上述した実施例でに被搬送物に半導体
のリードフレームを用いたが、リードフレーム以外の被
搬送物でも間欠搬送を行なうことができる。ま九係止部
の構造に送り爪を採用したが、この固定部の構造はマグ
ネット、あるいは被搬送物をはさんで係止するフラング
機構など他の構造でもよい。さらにまた、第１の駆動機
構にソレノイドを用い、また第２の駆動機構にＸ−Ｙテ
ーブルを利用して、間欠搬送動作を行なうようにしたも
のを示したが、これらには限定されるものではなく、た
とえばソレノイドによって各第１．第２の駆動機構を構
成するようにしてもよいものでめる。

以上説明したようにこの発明によれば、動作別に分けた
第１の駆動機構と第２の駆動機構とで、送り杆を介し被
搬送物を案内路に沿って間欠搬送する構造としたから、
第１０駆動機構、第２の駆動機構は直線運動だけの簡易
な構造となり得、従来の１個の駆動機構で間欠搬送にか
かる全ての動作を行なうものと比べ、その構造を部系化
にすることができる。また、直線運動の運動挺をかえる
。たけて、間欠搬送のピッチ童を調節することができる
ので、ピッチ量の調節を容易に竹なうことができるとい
った効果を奏する。さらにここで使用している第２の駆
動機構はボンディングヘッドを搭載しているＸ−Ｙテー
ブルをそのまま代用することもできるので機体的に著し
く簡単化される。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図および第３図は従来のワイヤボンディン
グに用いられる搬送装置を示す平面図、止囲凶および第
２図ｔｏ−ａｔ線に沿う断面図、第４区、５ｇ５図およ
び第６図はこの発明の一実施例の搬込装置を示す正面図
、第４図■−■線に沿うＦ！１ＴＩＪｌ］Ｊ図および平
面図である。 １・・・案内路、２・・・送り杆、６・・・リードフレ
ーム（板飯込吻）、７・・・第１の駆動機構、８・・・
第２の駆動愼憾、１３・・・ソレノイド、２０・・・Ｘ
・Ｙテーブル。 會ＩＷＡ ｆｌＩｐ２図 畔■

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　Ｍ搬込物を案内する案内路と、この案内路に
   旧って配設され上記案内路上の被搬送物を搬送するため
   の送り杆と、この送り杆を上記案内路から接岨する方向
   へ駆動する第１の駆動機構と、上記送り杆を上記案内路
   に沿って駆動し被搬送物を上記案内路に沿って間欠搬送
   させる第２の躯１ＩＪＪ愼構を具備したことを特徴とす
   る搬送装置・
2. （２）第１の駆動機構は、ンレノイドから構成されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の搬送
   装置。
3. （３）第２の駆＃＊１ｌｔｌ、Ｘ　”　Ｙ−７ｆ　ルｉ
   ）ｈ　ラ構成されていること金特徴とする特許請求の範
   囲第１項に１載の搬送装置。