JPS588135B2 - ペレットの移送装置 - Google Patents
ペレットの移送装置Info
- Publication number
- JPS588135B2 JPS588135B2 JP48103077A JP10307773A JPS588135B2 JP S588135 B2 JPS588135 B2 JP S588135B2 JP 48103077 A JP48103077 A JP 48103077A JP 10307773 A JP10307773 A JP 10307773A JP S588135 B2 JPS588135 B2 JP S588135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- vacuum suction
- suction tool
- pellets
- transfer device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は微小部品の移送装置に関し、とくに半導体ペレ
ットボンデイングに際しペレットを移送する装置に関す
る。
ットボンデイングに際しペレットを移送する装置に関す
る。
トランジスタ半導体集積回路IC等の半導体装置の製造
においては半導体ペレットを金属タブ等に接続するペレ
ットボンデイング工程が必要である。
においては半導体ペレットを金属タブ等に接続するペレ
ットボンデイング工程が必要である。
このペレットボンデイングはウエハより分割されたペレ
ットを個々に真空吸着具で吸着し、金属タブ上に移送し
てこれに直接接続する方法がとられており、この際ペレ
ットを一個接続する毎につぎのペレットを供給するため
の位置合せが手動ないしは自動により行なわれる。
ットを個々に真空吸着具で吸着し、金属タブ上に移送し
てこれに直接接続する方法がとられており、この際ペレ
ットを一個接続する毎につぎのペレットを供給するため
の位置合せが手動ないしは自動により行なわれる。
自社特許出願である昭和47年12月6日出願の特願昭
47−121581があり、この自社の先願の微小部品
の移送装置は第1図に示すように一旦ペレットを別のあ
る位置におき、それを位置合せ装置2により位置合せを
したのち、ペレットを別の真空吸着具3で吸着して金属
タブ4に接続する構造のものである。
47−121581があり、この自社の先願の微小部品
の移送装置は第1図に示すように一旦ペレットを別のあ
る位置におき、それを位置合せ装置2により位置合せを
したのち、ペレットを別の真空吸着具3で吸着して金属
タブ4に接続する構造のものである。
このような従来の移送装置の構造にあっては、前記真空
吸着具3の移動は一つの円弧上に沿って行なわれるため
真空吸着具3、位置決め装置2のヘッドの位置調整をす
る際にペレット1の角度が最初と接続後とでは異なり、
したがって回転角度を正確に調整することが難しくさら
には、分割されたペレット1と位置決め装置2間の距離
が長いためにインデックス・タイムが長くなりペレット
の移送処理能力が小さいなどの不都合を生じている。
吸着具3の移動は一つの円弧上に沿って行なわれるため
真空吸着具3、位置決め装置2のヘッドの位置調整をす
る際にペレット1の角度が最初と接続後とでは異なり、
したがって回転角度を正確に調整することが難しくさら
には、分割されたペレット1と位置決め装置2間の距離
が長いためにインデックス・タイムが長くなりペレット
の移送処理能力が小さいなどの不都合を生じている。
本発明は以上のような従来の不都合を解消するものであ
って、その目的とするところはペレットを移送する際ペ
レットの回転方向のずれのない構造の移送装置を提供す
るにある。
って、その目的とするところはペレットを移送する際ペ
レットの回転方向のずれのない構造の移送装置を提供す
るにある。
また他の目的はペレットの移送距離を短かくすることの
できる構造の移送装置を提供するにある。
できる構造の移送装置を提供するにある。
このような目的を達成するための本発明の基本的な構成
は、ペレットを移送するための複数の真空吸着具が差動
するようにした構造であって、以下図面に示す実施例に
より本発明を詳細に説明する。
は、ペレットを移送するための複数の真空吸着具が差動
するようにした構造であって、以下図面に示す実施例に
より本発明を詳細に説明する。
第2図は本発明による微小部品の移送装置の一部を省略
した斜視図である。
した斜視図である。
同図において本発明による移送装置10は×方向に同時
に往復する二つの真空吸着具11,12が並設されてい
る。
に往復する二つの真空吸着具11,12が並設されてい
る。
そして前記真空吸着具11,12はそれぞれアーム13
,14と一体化されており、これらのアーム13,14
はほぼ水平な方向に延長されている。
,14と一体化されており、これらのアーム13,14
はほぼ水平な方向に延長されている。
また前記アーム13,14の自由端13a,14aは駆
動源(図示せず)に連絡された回転方向に俯仰動作する
係合部材15と当接され、かつ前記自由端13a,14
aに近い前記アーム13,14上の位置には、アーム1
3,14を支持する支持部材16,17が嵌挿固着され
て、これらの支持部材16,17は前記アーム13.1
4の延長方向に対して直角をなす方向に延長された支軸
18により枢支されている。
動源(図示せず)に連絡された回転方向に俯仰動作する
係合部材15と当接され、かつ前記自由端13a,14
aに近い前記アーム13,14上の位置には、アーム1
3,14を支持する支持部材16,17が嵌挿固着され
て、これらの支持部材16,17は前記アーム13.1
4の延長方向に対して直角をなす方向に延長された支軸
18により枢支されている。
また前記支軸18の端部18a,18bはブリフジ形に
成形された枠19と固着され、この枠19により前記ア
ーム13,14および真空吸着具11,12を含む機構
が支持されている。
成形された枠19と固着され、この枠19により前記ア
ーム13,14および真空吸着具11,12を含む機構
が支持されている。
さらに前記枠19にはその張出部20に一端を支持され
たストツパ21,22が設けられており、これらのスト
ツパ21,22の自由端21a,22aはそれぞれ前記
アーム13,14の前記支持部材16,17と前記自由
端13a,14aとのほぼ中間位置に対応するよう設け
られしかもその延長方向は前記アーム13,14の延長
方向に対してほぼ直角をなす方向に延長されている。
たストツパ21,22が設けられており、これらのスト
ツパ21,22の自由端21a,22aはそれぞれ前記
アーム13,14の前記支持部材16,17と前記自由
端13a,14aとのほぼ中間位置に対応するよう設け
られしかもその延長方向は前記アーム13,14の延長
方向に対してほぼ直角をなす方向に延長されている。
このストツパ21,22はその突出長さを自在長に調節
できる構造であって通常の場合その自由端21a,22
aと前記アーム13,14間には所定の間隙をもつよう
に配設されている。
できる構造であって通常の場合その自由端21a,22
aと前記アーム13,14間には所定の間隙をもつよう
に配設されている。
さらに、前記アーム13,14は前記ストツパ21,2
2に近接して設けられた引張ばね23,24により、そ
の自由端13a,14a側が常にストツパ21,22方
向に引き付けられている。
2に近接して設けられた引張ばね23,24により、そ
の自由端13a,14a側が常にストツパ21,22方
向に引き付けられている。
また、移送装置10のアーム13,14の下方にはその
延長方向に沿って分割されたペレット27を載置する台
23、その台28に近接した前記枠19寄りに配設され
た位置決め装置29それに前記位置決め装置29に近接
し、かつ前記枠19より内側に設けられた金属タブ30
がそれぞれ配設されている。
延長方向に沿って分割されたペレット27を載置する台
23、その台28に近接した前記枠19寄りに配設され
た位置決め装置29それに前記位置決め装置29に近接
し、かつ前記枠19より内側に設けられた金属タブ30
がそれぞれ配設されている。
ここで、前記真空吸着具11,12が取付けられた前記
アーム13,14の長さの関係すなわち支点25,26
より前記真空吸着具11,12に至る距離は第3図aに
示すように、たとえば支点25より真空吸着具11まで
の距離を150(mm)とした場合、支点26より真空
吸着具12までの距離は225(mm)、またその際の
真空吸着具11,12のリフト差は真空吸着具11が3
(mm)の場合真空吸着具12は45(mm)となる。
アーム13,14の長さの関係すなわち支点25,26
より前記真空吸着具11,12に至る距離は第3図aに
示すように、たとえば支点25より真空吸着具11まで
の距離を150(mm)とした場合、支点26より真空
吸着具12までの距離は225(mm)、またその際の
真空吸着具11,12のリフト差は真空吸着具11が3
(mm)の場合真空吸着具12は45(mm)となる。
これに対して、第3図bに示すように支点25が75(
mm)もとの位置よりも移動した場合には、真空吸着具
11が6(mm)のリフト差となり、また真空吸着具1
2が9(mm)のリフト差になる。
mm)もとの位置よりも移動した場合には、真空吸着具
11が6(mm)のリフト差となり、また真空吸着具1
2が9(mm)のリフト差になる。
そこで差動操作により前記真空吸着具11を4.5(m
m)のリフト差におさえることにより前記真空吸着具1
2のリフト差(9mm)に対して位置決め装置29と台
28の位置では9(mm)−4.5(mm)=4.5(
mm)のリフト差がでてくる。
m)のリフト差におさえることにより前記真空吸着具1
2のリフト差(9mm)に対して位置決め装置29と台
28の位置では9(mm)−4.5(mm)=4.5(
mm)のリフト差がでてくる。
したがって、このリフト差を利用して位置決め装置29
の下方に前記台28を一部重なり合った状態に配設する
ことができる。
の下方に前記台28を一部重なり合った状態に配設する
ことができる。
これらのことから、真空吸着具のストロークを大幅に短
かくすることが可能になり、装置全体をコンパクトにま
とめることができる。
かくすることが可能になり、装置全体をコンパクトにま
とめることができる。
また、単位当りの作業時間が短縮され、作業能率が高め
られる効果が得られる。
られる効果が得られる。
また吸着具11,12とも同一方向に移動するため、位
置決め装置29で位置決めされたペレットは角度ずれを
生じることなく金属タブ30上に位置されてペレット付
けされる。
置決め装置29で位置決めされたペレットは角度ずれを
生じることなく金属タブ30上に位置されてペレット付
けされる。
したがって従来のようにペレットの角度ずれの問題はな
くなる。
くなる。
第1図は従来の微小部品の移送装置の平面図、第2図は
本発明による微小部品の移送装置の一部を省略した斜視
図、第3図a,bは本発明の微小部品の移送装置の状態
説明図である。 1・・・・・・ペレット、2・・・・・・位置決め装置
、3・・・・・・真空吸着具、4・・・・・・金属タブ
、10・・・・・・移送装置、11・・・・・・真空吸
着具、12・・・・・・真空吸着具、13・・・・・・
アーム、13a・・・・・・自由端、14・・・・・・
アーム、14a・・・・・自由端、15・・・・・・係
合部材、16・・・・・・支持部材、17・・・・・・
支持部材、18・・・・・・支軸、18a・・・・・・
端部、18b・・・・・・端部、19・・・・・・枠、
20・・・・・・張出部、21・・・・・・ストツパ、
21a・・・・・・自由端、22・・・・・・ストツパ
、22a・・・・・・自由端、23・・・・・・引張ば
ね、24・・・・・・引張ばね、25・・・・・・支点
、26・・・・・・支点、27・・・・・・ペレット、
28・・・・・・台、29・・・・・・位置決め装置、
30・・・・・・金属タブ。
本発明による微小部品の移送装置の一部を省略した斜視
図、第3図a,bは本発明の微小部品の移送装置の状態
説明図である。 1・・・・・・ペレット、2・・・・・・位置決め装置
、3・・・・・・真空吸着具、4・・・・・・金属タブ
、10・・・・・・移送装置、11・・・・・・真空吸
着具、12・・・・・・真空吸着具、13・・・・・・
アーム、13a・・・・・・自由端、14・・・・・・
アーム、14a・・・・・自由端、15・・・・・・係
合部材、16・・・・・・支持部材、17・・・・・・
支持部材、18・・・・・・支軸、18a・・・・・・
端部、18b・・・・・・端部、19・・・・・・枠、
20・・・・・・張出部、21・・・・・・ストツパ、
21a・・・・・・自由端、22・・・・・・ストツパ
、22a・・・・・・自由端、23・・・・・・引張ば
ね、24・・・・・・引張ばね、25・・・・・・支点
、26・・・・・・支点、27・・・・・・ペレット、
28・・・・・・台、29・・・・・・位置決め装置、
30・・・・・・金属タブ。
Claims (1)
- 1 ウエハから分割された4角形状のペレットを個々に
真空吸着具により吸着し移送させてペレット位置調整部
にペレットを載置するものであって、上下動及び直線上
を往復動するものである第1の真空吸着具と、ペレット
位置調整部のべレソトを先端V字形状の部材を用いてX
Y方向に移動させることにより所定の位置にペレットを
位置決めする位置決め装置と、所定の位置に位置決めさ
れたペレットを第2の真空吸着具により吸着し移送させ
て基板の所定のペレット取り付け部にペレットを対応さ
せ前記基板にペレットを接続するものであって、上下動
及び往復動するものである第2の真空吸着具とを有し、
第1の真空吸着具と第2の真空吸着具は差動できるよう
に構成されていることを特徴とするペレットの移送装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP48103077A JPS588135B2 (ja) | 1973-09-14 | 1973-09-14 | ペレットの移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP48103077A JPS588135B2 (ja) | 1973-09-14 | 1973-09-14 | ペレットの移送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5056877A JPS5056877A (ja) | 1975-05-17 |
JPS588135B2 true JPS588135B2 (ja) | 1983-02-14 |
Family
ID=14344565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP48103077A Expired JPS588135B2 (ja) | 1973-09-14 | 1973-09-14 | ペレットの移送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS588135B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0547059B2 (ja) * | 1987-04-25 | 1993-07-15 | Sukegawa Elec |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5736836A (ja) * | 1980-08-15 | 1982-02-27 | Hitachi Ltd | Peretsutobonda |
JPS57155746A (en) * | 1981-03-23 | 1982-09-25 | Hitachi Ltd | Support structure of collet |
-
1973
- 1973-09-14 JP JP48103077A patent/JPS588135B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0547059B2 (ja) * | 1987-04-25 | 1993-07-15 | Sukegawa Elec |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5056877A (ja) | 1975-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW516154B (en) | Robot for carrying substrates | |
US8764085B2 (en) | Clamping device and workpiece conveying robot | |
WO2007097147A1 (ja) | 搬送装置及び搬送方法 | |
TW201540444A (zh) | 吸盤、機械手及機器人 | |
WO2017163796A1 (ja) | 基板搬送ハンド及びロボット | |
US7712808B2 (en) | End effector with centering grip | |
JPS588135B2 (ja) | ペレットの移送装置 | |
TW511131B (en) | Apparatus for placing a semiconductor chip as a flipchip on a substrate | |
JPS626655B2 (ja) | ||
JPH0332586A (ja) | 匣鉢吸着時における匣鉢位置決め装置 | |
JP2003218183A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
JP2017059777A (ja) | 搬送装置およびはんだボール印刷システム | |
CN115258681A (zh) | 晶圆搬运方法、机械手及划片机 | |
JP4199432B2 (ja) | ロボット装置及び処理装置 | |
JPS5935177B2 (ja) | ダイボンデイング装置 | |
JP3173918B2 (ja) | 基板搬送ハンドおよびこれを備えた基板搬送装置 | |
JPH0249720Y2 (ja) | ||
KR20230136524A (ko) | 반송 로봇 | |
JPH0744473Y2 (ja) | ワーク取扱ロボット | |
JP2002313884A (ja) | 板状体の位置のアライメント機構 | |
JPH0540958Y2 (ja) | ||
JP2587842Y2 (ja) | ボンディング装置におけるウエハ−リングのマウント部構造 | |
JP2003168719A (ja) | アライメント処理方法およびアライメント処理装置 | |
JPH0243533Y2 (ja) | ||
JPH0735613Y2 (ja) | プレスブレーキロボットシステムにおけるワーク位置決め装置 |