JPS5874086A - 応力検出素子 - Google Patents

応力検出素子

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JPS5874086A
JPS5874086A JP56172040A JP17204081A JPS5874086A JP S5874086 A JPS5874086 A JP S5874086A JP 56172040 A JP56172040 A JP 56172040A JP 17204081 A JP17204081 A JP 17204081A JP S5874086 A JPS5874086 A JP S5874086A
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JP
Japan
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complex
stress
precipitate
plate
charge transfer
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Pending
Application number
JP56172040A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanori Sakamoto
正典 坂本
Masami Sugiuchi
政美 杉内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
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Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/84Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of applied mechanical force, e.g. of pressure

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 る予力検出素子に関する。
(従来技術) 従来、応力を検知するための素子としては、機銅粉のよ
うな金属材料を分散させたいわゆる感圧シートがある。
前者についてみると、圧電材料と分極させたものや、圧
電性磁気材料などが知られしく、また印加応力と発生す
る電位差の直線性が乏しく、簡便な応力検出素子として
は適当でなからた。また、後者につ−ていえは、累−の
製造は比截的容易□であるものの、高分子材料と金鵬粉
との親和性が悪く、長期の使用や水分の侵入、金属粉末
の酸化などによって特性が変化する欠点があった。
(本発明の目的) 本発明は、応力検出素子の上記欠点を改善するためにな
され九もので、検出感度が良好で、安定な応力検出素子
を提供できるものでおる。
(本発明の構成) 本発明は、印加応力ないし圧力に応じて電気抵抗が変化
する材料を相対向する電極間に介在させてなる応力検出
素子において、電子受容体と電子供与体とで形成される
電荷移動型錯体を高分子材料中に分散させた材料(抵抗
材料)t−用いることを特徴とする゛ものである。
本発明で用いることのできる電荷移動−錯体は、電子供
与体が芳香衰化合物あるvkはN−へテロ芳香環化合物
から選ばれたものであシ、また電子受容体が7.7,8
.8−テトラ゛レテノキノジメタン、テトラシアノジメ
タン、パラクロラニル、四塩化縦索、バラベンゾキノン
、wO1票あるいは塩素から選ばれたものである両成分
からなる錯体でLJ)、特に電子供与体とぽはテトラチ
アテトラセン、テトラチアナフタセン、ナト2セレノテ
トラセン、テトラチアフルバレンが好ましい。これらの
成分は1種あるいは2種以上併用することもできる。
この錯体は、導電性を有する針状晶でら9、かつ結晶の
長軸方向と、短軸方向の導電性が大きく異なるいわゆる
異方性を有するものであシ、骸針状晶−を高分子材料中
で配向させることにより異方性を有する応力検出素子を
実現でき、応力検出素子としては極めて好都合である。
本発明の電荷移動型錯体を製造するVCは、公知の錯体
の製法を採用することができるが、例えばナト2セン誘
導体の有機溶媒溶液と、電子受容体の有機溶媒溶液□を
、両成分示当量となるように混合し、攪拌した1門加温
することにょル製造できる。
:1・ 本発明で用い・、′lFことのできる高分子材料として
は、例えにポリビニルブチ2−ル、ポリj普ネート、ポ
リスルホン、ポリスチレン、アクリル系樹脂、ポリエチ
レン、シリコン樹脂、フッ素樹脂、ジエン系ゴム等適度
の可撓性を有する材料はiずれも使用可能であって、こ
れらに限定されなioまた、この錯体を高分子材料に分
散させるには、高分子材料中蝋に上記の錯体溶液あるi
は懸濁液を加えた後溶媒を揮−させる方法、あるいは、
前記の如く溶液を混合攪拌加温させて得られる錯体沈殿
を分離しこれを高分子材料の有機溶剤溶液に加え、ボー
ル考ル、i−ルなどにより混線分散さ本発明にお―で、
高分子材料中に分散す゛る電荷移動型錯体の量は、高分
子の種類にもよるが門高分子材料一対して10〜95重
量−の範囲が好−じ(、辷れが10重量%に満友な一場
合は満足すべき導電性が得られず、また95重量−を越
える場合は成型性が着しく悪化し好宜しくな―。
以下、本発明をさらに図wを用いて説明する。
第1図はi@の応力検出−子の構造の1例を示す図であ
る。同図にかiでlは板状に成形し喪電荷移動型錯体含
有材料であル、その両面に相対向する電極が形成されて
いる。鋏電極は、鋼、アにボローラム等の金属、あるi
は酸化インジウム等のも使用することができる。
M1図のように抵抗材料の両面に電極層が形成さt′乏
“る場合′は・印加応力を有効に抵抗材料層へ伝達でき
るように電極は薄い方が好オし−0このような素子を製
造するには、膜状に形成した抵抗材料の両面に電極材料
の箔を貼)合わせる方法、電極材−〇箔上に抵抗材料層
を形成し・5次″1対向電極を貼着ある%Afd蒸着に
ょ)形成する方法、抵抗材料の所I!部分に電極を蒸着
して形成する方法等、任意の方法で実−しうる。ま九応
カ検出素子を支持体上に形成することもできる。この場
合、抵抗材料および電極を薄膜とすることができ好都合
である。高分子材料中に電荷移動部錯体の針状、   
  は第5図にみられるようにドクターナイフ8等を用
iて機械的に配向することができる。図において針状晶
は、ドクターナイフの走行方向9と平行に配向する。
(本発明の実施例) 以下、実施例によシ本発明を説明する。
実施例−1 テトラチアテトラセン(TTT)を70°0に加温した
トルエンに飽和するまで溶解させる。これにトルエンと
同量の4塩化炭素1混合し、70°OK保温すると暗紫
色のTTT−0014錯体の沈殿が得られる。これをろ
過し沈殿を分離する。得られた沈殿をポリスチレンのト
ルエン溶液(601G)に加え、加えた錯体が、ポリス
チレンと等重量になるようにする。これをボールセルに
入れてよく混練する。
混入した電荷移動錯体が充分に分散したのちこれ管形に
流し込み第2図および第3図のように厚さ約1txtの
板状に成形する。かかる板状の抵抗材料1の上下に電極
2をAターン蒸着してリー゛ド曽3を引き出し金属製の
外枠4KjlE付ける。抵抗材料の背後にはシリコンゴ
ム5を貼っである。表面に圧力がかかると板は変形し、
上下、ある―は表面上の電極間の抵抗が変化し、圧□力
(圧縮応力)検出素子として働く。ゴムの弾性を調節す
ることにより圧力感度を調腎することができる。
実施例−2 実施例−1と同様にして得られた、TTT−0074錯
体微結晶管紫外線架橋型シリコンポツティング封止樹脂
に、錯体の体積分率が50 S程度になるように混合し
分散させる。これt−sm厚さのシート状に成型後、紫
外光照射を行ない架橋ゴム化する。これを第1図のよう
に10 X 10m5+の板状1に切り出し、シート上
下面に電極2を付ける。電極間の抵抗は、第4図に示す
ように上下面に加わる圧力によって変化し、感圧素子と
して使用できる。
実施例−3 実施例−1と同様にして、得られたTTT−00j4錯
体微結晶を紫外線硬化型のアクリルワニス(粘性率; 
1000〜2000 cP )に混合充分分散させる。
これを第5019に示すように電極をバタン形成した厚
さ0.51111のポリエステルシートγ上にドクター
ナイフ8を用いて0.5〜l關の厚さに塗布する。
塗布後速やかに紫外大を照射しワニスを架橋しゴム化す
る。針状の錯体微粒子は、塗布時のず多速度勾配により
シート面に平行に配向する。かくして得られたゴム状抵
抗体の表面にすシ応力を印加すると電極間の抵抗が変化
し応力を検出することができる。一方表面に垂直な圧力
を加えた場合には、抵抗値の変化は殆んど見られなかっ
た。すなわち、本実施例で得られた応力検出素子は、す
り応力のみを検出できる。
(本発明の効果) 以上の実施例に示したように本発明にかかる応力あるい
は圧力検出素子はその形成容易なこと、異方的感度を有
することから実用上多くの利点を有すると言える。
図であシ、第4図は本発明素子の実施例の効果を示すグ
ラフでう〕、第5図は本発明素子の製造方法管示す図で
ある。
1・・・応力検出抵抗材料、2・・・電極、3・・・リ
ード線。
代理人 弁理士 則 近 憲 佑(ほか1名)第  1
  図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)印加応力ないし圧力に応じて電気抵抗が変化する材
    料を一対の電極間に介在させ九応力検出素子において、
    電子受容体と電子供与体とで形゛ 成される電荷移動型
    錯体を一脂中に分散させ良材料を用い′ることt−特徴
    とする応力検出素子。 2)電子供与体が芳香環化合物、およびN−ヘテロ芳香
    環化合物のうちの少なくとも1種からなることを特徴と
    する特許請求の範囲第11[′記載の応力検出・素子。 3)芳香環化合物がテトラチアテトラセン、テトラチア
    ナフタセン、テトラセレノテトラセン、およびテトラチ
    アフルバレンのうちの少なくとも1種であることf:特
    徴とする特許請求の範囲第2項記載の応力検出素子。 4)電子受容体が7.7,8.8°−テトラシアノキノ
    ジメタシ、テトラシ′アノジメタン、パラクロラニル、
    四塩化炭素、バラベンゾキノン、ヨウ素、および塩素の
    うちの少なくともlfsであることt%黴とする特許請
    求の範囲m1項記載の応力検出素子。
JP56172040A 1981-10-29 1981-10-29 応力検出素子 Pending JPS5874086A (ja)

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