JPS5855677B2 - アツマクシユウセキカイロノセイゾウホウホウ - Google Patents

アツマクシユウセキカイロノセイゾウホウホウ

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Publication number
JPS5855677B2
JPS5855677B2 JP843775A JP843775A JPS5855677B2 JP S5855677 B2 JPS5855677 B2 JP S5855677B2 JP 843775 A JP843775 A JP 843775A JP 843775 A JP843775 A JP 843775A JP S5855677 B2 JPS5855677 B2 JP S5855677B2
Authority
JP
Japan
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printing
conductive paste
pattern
laser source
screen
Prior art date
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Expired
Application number
JP843775A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5183163A (ja
Inventor
俊明 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication of JPS5183163A publication Critical patent/JPS5183163A/ja
Publication of JPS5855677B2 publication Critical patent/JPS5855677B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は厚膜集積回路の製造方法に関する。
従来、厚膜回路の製造はスクリーン印刷により回路網を
形成した後、焼成することによって製造していた。
近年厚膜回路は超精密多層回路化と大型化が要求される
ようになったが、従来技術ではスクリーンの呻びによる
パターン寸法の変化、印刷時のエッヂのタレによるパタ
ーン幅の太り、ショート、エッヂのギザ、メツシュの影
響やごみ、目づまりによる断線等により歩留りの低下を
招き、大型化するとさらにこの影響が大きくなり製造が
困難となっていた。
またメタルマスクを使用すれば上記した問題は多少改善
されるが多層になると印刷表面の凹凸が激しくなり製造
困難となる等という問題があった。
この発明は上記の点に鑑みてなされたもので、パターン
の寸法精度が高く極めて高品質となる厚膜集積回路の製
造方法を提供することを目的とする。
以下この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図において、１１は基板１２に導体ペーストを印刷
するためのスクリーンで、１３はスフ１ノーン１１上の
印刷部の乳剤が抜けた部分である。
また１４は上記スクリーン１１によって印刷されたべた
刷り面である。
このようにして基板１２の表面ｗ７望のパターンを包含
する必要最少限の広さに導体ペーストをへた刷りし、こ
れを乾燥して第２図に示す様にパターン作画焼成するた
めのレーザソース１５を自動作画機（図示せず）を用い
て所望のパターンを１６作画する。
すなわち上記自動作画機によりレーザソース１５をＸ方
向、Ｙ方向へ自由に動かし、レーザソース１５から発射
されるレーザ光線により基板１３上のべた刷り面１４の
乾燥した導体ペースト上に所望のパターン１６を作画す
ると同時に焼付けを行う。
この工程終了後、焼付けを行わない乾燥しただけの不必
要な導体ペーストを溶剤で溶かし洗浄して厚膜集積回路
を完成する。
以上述べたようにこの発明によればスクリーン印刷でパ
ターンを形成しないのでスクリーンの呻びによるパター
ン寸法の変化がなく、パターンエツジのダレ、パターン
幅の太り等がなくなる。
さらに始めの印刷はべた刷りであり細かいパターンを印
刷する時の様な場合、メツシュの影響や、ごみ目ずまり
による断線を防止できる等という極めて大きな効果を有
する厚膜集積回路の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図はこの発明の一実施例を示す斜視図で
ある。 １１・・・・・・スクリーン、１２・・・・・・基板、
べた刷り面、１５・・・・・・レーザソース。 １４・・・・・・

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 導体ペーストを基板上に所望のパターンを包含する
    必要最少限の広さにべた刷りするスクリーンと、上記基
    板上にべた刷りされた導体ペーストにパターンを形成す
    るためのレーザソースと、このレーザソースを縦横に移
    動させる自動作画装置とを備え、基板上に導体ペースト
    をべた刷りした後、上記自動作画装置を作動させ、レー
    ザソースから発せられるレーザ光線により所望のパター
    ンを作画するようにしたことを特徴とする厚膜集積回路
    の製造方法。
JP843775A 1975-01-20 1975-01-20 アツマクシユウセキカイロノセイゾウホウホウ Expired JPS5855677B2 (ja)

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JPS59159588A (ja) * 1983-03-01 1984-09-10 日本電気株式会社 導体パタ−ンの生成方法及び導体パタ−ンの生成装置

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