JPS5850419A - 流量および流量変化率検出装置 - Google Patents
流量および流量変化率検出装置Info
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- JPS5850419A JPS5850419A JP14788581A JP14788581A JPS5850419A JP S5850419 A JPS5850419 A JP S5850419A JP 14788581 A JP14788581 A JP 14788581A JP 14788581 A JP14788581 A JP 14788581A JP S5850419 A JPS5850419 A JP S5850419A
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- Japan
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- orifice
- rate
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/22—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters
- G01F1/24—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters with magnetic or electric coupling to the indicating device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は面積流量計に係シ、特に管内を流れる流体の流
量と流量変化率を検出するのに好適な流量および流を変
化率検出装置に関するものでおる。
量と流量変化率を検出するのに好適な流量および流を変
化率検出装置に関するものでおる。
従来の面ａ流量計としては、流体が通過する管の内部に
移動体を設け、この移動体の変位を電気的な手段によっ
て検出するものが一般的に用いられている。
移動体を設け、この移動体の変位を電気的な手段によっ
て検出するものが一般的に用いられている。
上記のような従来の流量計は単に管内を流動する流体の
流量のみを検知するだめのものである。
流量のみを検知するだめのものである。
このような構造の流量計を油圧サーボ系に適用してフィ
ードバック制御用の検出手段として用いる場合には、流
量フィードバックのみしか行えず、また流量の変化率を
計測する方法がないため、それをフィードバックして制
御性能を向上させることができなかった。もしくは、ｔ
ｆｒ、量の変化速度に相当する他の物理量を計測し、フ
ィードバックする方法があるが、検出装置が２個になシ
、装置が複雑になると共に、応答性、安全比、４度等の
面で種々の問題が生じ、計測の信頼性が損なわれる欠点
があった。
ードバック制御用の検出手段として用いる場合には、流
量フィードバックのみしか行えず、また流量の変化率を
計測する方法がないため、それをフィードバックして制
御性能を向上させることができなかった。もしくは、ｔ
ｆｒ、量の変化速度に相当する他の物理量を計測し、フ
ィードバックする方法があるが、検出装置が２個になシ
、装置が複雑になると共に、応答性、安全比、４度等の
面で種々の問題が生じ、計測の信頼性が損なわれる欠点
があった。
本発明は、上述の事柄にもとづいてなされたもので、サ
ーボ系のフィードバック制御等に適用した場合に、−個
の検出装置で流体の流量及び流量変化率を精度よく検出
できる信順性の高い流体の流量および流量変化率検出装
置を提供することを目的とするものである。
ーボ系のフィードバック制御等に適用した場合に、−個
の検出装置で流体の流量及び流量変化率を精度よく検出
できる信順性の高い流体の流量および流量変化率検出装
置を提供することを目的とするものである。
本発明は上記の目的を達成するために、流体が流動する
管内に設けられた固定オリフィスと、この固定オリフィ
スとともに絞シを形成し、流体の流量に応じて絞りの前
後に生じる差圧によって前記管の内部を移動するｌ：ｉ
Ｔ励オリフィスとを備えた面積流量針において、前記可
動オリフィス本体を強磁性体の磁石にし、可動オリフィ
ス本体の先端は非磁性体のオリフィスによって形成し、
前記管の外壁上に、前記可動オリフィスの移動域に【口
って巻かれた交流励磁用の１次コイルと前記可動オリフ
ィスの移動変位とその変化率成分とを分別し出力する演
算装置を接続し、この検知用の２次コイルから流体の流
量に比例する信号出力と流体の流量変化率に比例する信
号出力とを取出すようにしたものである。
管内に設けられた固定オリフィスと、この固定オリフィ
スとともに絞シを形成し、流体の流量に応じて絞りの前
後に生じる差圧によって前記管の内部を移動するｌ：ｉ
Ｔ励オリフィスとを備えた面積流量針において、前記可
動オリフィス本体を強磁性体の磁石にし、可動オリフィ
ス本体の先端は非磁性体のオリフィスによって形成し、
前記管の外壁上に、前記可動オリフィスの移動域に【口
って巻かれた交流励磁用の１次コイルと前記可動オリフ
ィスの移動変位とその変化率成分とを分別し出力する演
算装置を接続し、この検知用の２次コイルから流体の流
量に比例する信号出力と流体の流量変化率に比例する信
号出力とを取出すようにしたものである。
以下本発明の実施例を図面によシ説明する。
第１図は本発明の装置の一実施例の構成を示す断面図で
必る。この図において、流量および流量変化率を計測す
る流体が通過する非磁性体のステンレス製の管１の内部
には、管軸に対称な形状の固定オリフィス２が左右一対
のロッド３Ａおよび３８によって支持板４Ａおよび４Ｂ
に取付けられている。各支持板４Ａ、４Ｂは各々流孔５
Ａおよび５Ｂを有し、前記管１の内壁に固定されている
。
必る。この図において、流量および流量変化率を計測す
る流体が通過する非磁性体のステンレス製の管１の内部
には、管軸に対称な形状の固定オリフィス２が左右一対
のロッド３Ａおよび３８によって支持板４Ａおよび４Ｂ
に取付けられている。各支持板４Ａ、４Ｂは各々流孔５
Ａおよび５Ｂを有し、前記管１の内壁に固定されている
。
一方、強磁性体材料の磁石かしなｐ、かつ前記固定オリ
フィス２との間に絞シを形成するような形状になされた
可動オリフィス本体６Ａとオリフィス６Ｂとからなる可
動オリフィス６が管１の内壁をガイドとしてばね７の作
用時に−Ｗ１の中心軸に沿って図中左右方向に各々移動
可能なように設けられている。また、可動オリフィス本
体６Ａの先端には、可動オリフィス本体６Ａと一体に動
作する非磁性体材料のオリフィス６Ｂが設けられておシ
、作動油中に混入する鉄粉等の付着により可動オリフィ
ス６の動作が妨げられるのを防止するようにしている。
フィス２との間に絞シを形成するような形状になされた
可動オリフィス本体６Ａとオリフィス６Ｂとからなる可
動オリフィス６が管１の内壁をガイドとしてばね７の作
用時に−Ｗ１の中心軸に沿って図中左右方向に各々移動
可能なように設けられている。また、可動オリフィス本
体６Ａの先端には、可動オリフィス本体６Ａと一体に動
作する非磁性体材料のオリフィス６Ｂが設けられておシ
、作動油中に混入する鉄粉等の付着により可動オリフィ
ス６の動作が妨げられるのを防止するようにしている。
管１の外壁面上には可動オリフィス６の移動変位を検出
するのに必要な交流励磁用の１次コイル８が設けられて
いる。この１次コイル８には交流電圧源９が接続されて
いる。一方交流励磁用の１次コイル８の左右両側には、
可動オリスイス６Ａの図中右側方向および圧側方向への
移動を各々検知してこの移動量に応じた信号ならび＆（
可動オリフィス６の変化率すなわち速度量に応じた信号
を出力するだめの検出用の２次コイルｌＯおよび１１が
各々設けられている。１２は検出用の２次コイル１０Ｊ
？よび１１からの出力を取出し、可動オリフィス６の変
位とその変化率すなわち速度成分とを分別する演算装置
である。１３は取付用の７ランジである。前述した演算
装置１２については後で詳細に述べる。
するのに必要な交流励磁用の１次コイル８が設けられて
いる。この１次コイル８には交流電圧源９が接続されて
いる。一方交流励磁用の１次コイル８の左右両側には、
可動オリスイス６Ａの図中右側方向および圧側方向への
移動を各々検知してこの移動量に応じた信号ならび＆（
可動オリフィス６の変化率すなわち速度量に応じた信号
を出力するだめの検出用の２次コイルｌＯおよび１１が
各々設けられている。１２は検出用の２次コイル１０Ｊ
？よび１１からの出力を取出し、可動オリフィス６の変
位とその変化率すなわち速度成分とを分別する演算装置
である。１３は取付用の７ランジである。前述した演算
装置１２については後で詳細に述べる。
上述した本発明の装置の実施例においては、たとえば作
動油が管１の支持板４Ａ、４Ｂの流孔５Ａまたは５Ｂか
ら流入すると、その流量による絞９の前後の差圧に応じ
て可動オリフィス６が図中右方もしくは左方に移動する
。強磁性体の磁石からなる可動オリフィス６の移動によ
る可動オリフィス６の変位と速度とは検出用の２次コイ
ル１０および１１によって検出され、また演算装置１２
によって可動オリフィス６の変位と速度成分とが分別さ
れる。この２つの出力信号はサーボ系の流量フィードバ
ック信号および流量変化速度のフィードバック信号とし
て用いられる他に、単独に流量および流量変化速度の計
測にも用いられる。
動油が管１の支持板４Ａ、４Ｂの流孔５Ａまたは５Ｂか
ら流入すると、その流量による絞９の前後の差圧に応じ
て可動オリフィス６が図中右方もしくは左方に移動する
。強磁性体の磁石からなる可動オリフィス６の移動によ
る可動オリフィス６の変位と速度とは検出用の２次コイ
ル１０および１１によって検出され、また演算装置１２
によって可動オリフィス６の変位と速度成分とが分別さ
れる。この２つの出力信号はサーボ系の流量フィードバ
ック信号および流量変化速度のフィードバック信号とし
て用いられる他に、単独に流量および流量変化速度の計
測にも用いられる。
次に演算装置１２の具体的な動作原理を′ｉ４２図、第
３図により説明する。第２図は交流励磁用の１次コイル
８、信号検出用の２次コイル１０および１１、可動オリ
フィス本体６Ａ、オリフィス６Ｂからなる等測的な電気
回路を示す。交流電圧源９により、１次コイル８に交流
電圧を印刀口したとき、可動オリフィス６が中立位置か
らｘｆだけ変化した場合、検出用の２次コイル１０およ
び１１に生じる訪導起遣圧Ｅ１１ Ｅ２は次のようにな
る。
３図により説明する。第２図は交流励磁用の１次コイル
８、信号検出用の２次コイル１０および１１、可動オリ
フィス本体６Ａ、オリフィス６Ｂからなる等測的な電気
回路を示す。交流電圧源９により、１次コイル８に交流
電圧を印刀口したとき、可動オリフィス６が中立位置か
らｘｆだけ変化した場合、検出用の２次コイル１０およ
び１１に生じる訪導起遣圧Ｅ１１ Ｅ２は次のようにな
る。
ここに、
ｄはコイル径
Ｂ、は磁石からなる可動オリフィスが発生する磁束密度
、 ｔは可動オリフィス６の全長、 ａは検知用の２次コイル１０．１１のコイル間の間隔。
、 ｔは可動オリフィス６の全長、 ａは検知用の２次コイル１０．１１のコイル間の間隔。
■は１次コイル８に流れる電流、
ｎは２次コイル１０．１１の各々のコイル巻線としてい
る。
る。
（１）、（２）式における第１項は可動オリフィス６の
速度量に対応し、第２項は可動オリフィス６の変位成分
に対応することがわかる。
速度量に対応し、第２項は可動オリフィス６の変位成分
に対応することがわかる。
第３図は、検出用の２次コイル１０．１１に誘起した可
動オリフィス６Ａの変位と速度成分とが重畳した電圧を
各々分別すふためのブロック図を示す。この第３図にお
いて、検出用の２次コイル１０および１１の出力電圧Ｅ
、、Ｅ、をホロワ１４．１５を介して同期整流器１６．
１７で個々に同期値流し、七の同期後の両１ｄ号を減算
器１８で減尊し、低域濾波器１９に通し、増幅器２０で
増幅することによって可動オリフィス６Ａの変位の直流
電圧信号を取出すことができる。
動オリフィス６Ａの変位と速度成分とが重畳した電圧を
各々分別すふためのブロック図を示す。この第３図にお
いて、検出用の２次コイル１０および１１の出力電圧Ｅ
、、Ｅ、をホロワ１４．１５を介して同期整流器１６．
１７で個々に同期値流し、七の同期後の両１ｄ号を減算
器１８で減尊し、低域濾波器１９に通し、増幅器２０で
増幅することによって可動オリフィス６Ａの変位の直流
電圧信号を取出すことができる。
次に、検出用の２次コイルｔｏ、ｉｉの出力信号Ｅ１と
Ｅ、とを減算器２１で減算したのら、低域濾波器２２に
通し、増幅器２３で増幅ｒることによって可動オリフィ
ス６の速度を直流′１１信号として取出すことができる
。
Ｅ、とを減算器２１で減算したのら、低域濾波器２２に
通し、増幅器２３で増幅ｒることによって可動オリフィ
ス６の速度を直流′１１信号として取出すことができる
。
このように管１内の可動オリフィス６の変位および速度
を検出することによって、それぞれ管１内を通過する流
体の流量および流量速度に比例した出力を・痔るために
は固定オリフィス２および可動オリフィス６で形成され
る絞υの開口面積Ｓが可動オリフィス６の移動量Ｘに対
して適正な関数形となることが必要である。ここで流量
Ｑ、可動オリフィス６の受圧′面遺Ａ、移動距離Ｘ、固
定オリフィス２と可動オリフィス６との絞り部の差圧Δ
Ｐ、流量係数Ｃ１流体の密度ρとの間には次式で示され
る関係が成ｐ立つ。
を検出することによって、それぞれ管１内を通過する流
体の流量および流量速度に比例した出力を・痔るために
は固定オリフィス２および可動オリフィス６で形成され
る絞υの開口面積Ｓが可動オリフィス６の移動量Ｘに対
して適正な関数形となることが必要である。ここで流量
Ｑ、可動オリフィス６の受圧′面遺Ａ、移動距離Ｘ、固
定オリフィス２と可動オリフィス６との絞り部の差圧Δ
Ｐ、流量係数Ｃ１流体の密度ρとの間には次式で示され
る関係が成ｐ立つ。
ＡΔＰ二ＫＸ ・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・（４）（Ｋ：バネ定数） 前記の（３）式および（４）式エカ ここで、（５成中において ５（Ｘ）＝βＶＹ ・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・（６）とすると、 となり、可動オリフィス６の変（ｆｌ−ｘは流量Ｑに比
例するものとなる。また、可動オリフィス６の速度ｄｘ
／ｄｔは流体の流量速度ｄＱ／ｄｔに比例するものとな
る。ここで、可動オリフィス６の速度の大きさは（１）
式あるいは０）式に示したように磁石の（９） 磁束密度によって定まるので、可動オリスイス６人を強
磁性体の磁石にすれば、微小の速度も検出できる。した
がって、流体の微小の流量速度も検出でき、感度のよい
流量および流量変化率を検出する装置を提供することが
できる。
・・・・・・・・・・・・（４）（Ｋ：バネ定数） 前記の（３）式および（４）式エカ ここで、（５成中において ５（Ｘ）＝βＶＹ ・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・（６）とすると、 となり、可動オリフィス６の変（ｆｌ−ｘは流量Ｑに比
例するものとなる。また、可動オリフィス６の速度ｄｘ
／ｄｔは流体の流量速度ｄＱ／ｄｔに比例するものとな
る。ここで、可動オリフィス６の速度の大きさは（１）
式あるいは０）式に示したように磁石の（９） 磁束密度によって定まるので、可動オリスイス６人を強
磁性体の磁石にすれば、微小の速度も検出できる。した
がって、流体の微小の流量速度も検出でき、感度のよい
流量および流量変化率を検出する装置を提供することが
できる。
上述した本発明の実施例にかいてｌ″ｉ、非磁性体の固
定オリフィス２および強磁性体の磁石である可動オリフ
ィス６Ｂからなる絞シを用い、計測される流体の流量に
よる絞りの前後の差圧に応じて変位する可動オリフィス
６の移動量から流量Ｗｂよび可動オリフィス６の速度量
から流な変化率を検出する流量および流量変化率検出装
置を構成し、これに検出コイルに誘起する０］′動オリ
フイス６の変位と速度とを分別する演算装置１２を設け
て。
定オリフィス２および強磁性体の磁石である可動オリフ
ィス６Ｂからなる絞シを用い、計測される流体の流量に
よる絞りの前後の差圧に応じて変位する可動オリフィス
６の移動量から流量Ｗｂよび可動オリフィス６の速度量
から流な変化率を検出する流量および流量変化率検出装
置を構成し、これに検出コイルに誘起する０］′動オリ
フイス６の変位と速度とを分別する演算装置１２を設け
て。
１個の検出器でそれらの出力をサーボ系のフィードバッ
ク制御用等の流量値によび流量変化法、ｆＬの値として
取出すようにしたので、従来のフォロアとポテンショメ
ータとの組合せにおけるような検出機構の不円滑な動作
による計測積度の低下を防止することができる。また、
従来の流量計にｐい（１０） ては、流量を微分することなく流量変化率を計測する手
段がなかつたが、本発明によれば、低流量から大流量に
いたる広範囲の流量および流量変化率を検知できるもの
である。また１個の検出装置で２種の流体量を検知でき
るので検出装置がコンパクトになる。また磁石の可動オ
リフィス６の先端部は非磁性体の絞りが可動オリフィス
６と一体に取９ついているので１作動油中に混入する鉄
粉等の付着により可動オリフィス６の動作が妨げられる
こともない。さらに、絞り開口面積と可動オリフィス移
動量との間が適正な関数形となるように固定オリフィス
２の形状が処理されているので、流量に比例した検出値
および流量変化速度に比例した検出値を得ることができ
る。したがって、本発明による流量および流量変化率検
出装置を用いてこれらの信号をサーボ系のフィードバッ
ク制御に用いる場合はもとより、−ａの流体の流量およ
び流量変化速度の計測に広□く適用することができる。
ク制御用等の流量値によび流量変化法、ｆＬの値として
取出すようにしたので、従来のフォロアとポテンショメ
ータとの組合せにおけるような検出機構の不円滑な動作
による計測積度の低下を防止することができる。また、
従来の流量計にｐい（１０） ては、流量を微分することなく流量変化率を計測する手
段がなかつたが、本発明によれば、低流量から大流量に
いたる広範囲の流量および流量変化率を検知できるもの
である。また１個の検出装置で２種の流体量を検知でき
るので検出装置がコンパクトになる。また磁石の可動オ
リフィス６の先端部は非磁性体の絞りが可動オリフィス
６と一体に取９ついているので１作動油中に混入する鉄
粉等の付着により可動オリフィス６の動作が妨げられる
こともない。さらに、絞り開口面積と可動オリフィス移
動量との間が適正な関数形となるように固定オリフィス
２の形状が処理されているので、流量に比例した検出値
および流量変化速度に比例した検出値を得ることができ
る。したがって、本発明による流量および流量変化率検
出装置を用いてこれらの信号をサーボ系のフィードバッ
ク制御に用いる場合はもとより、−ａの流体の流量およ
び流量変化速度の計測に広□く適用することができる。
また、流体の流量変化率を検出する方法として、本発明
のコアを磁石にする方法はもとより、（１１） コアを磁化されない強磁性体材料にし、交流励磁用の１
次コイルに交流４圧と直流１圧が重畳した電圧を印〃口
する場合にも通用することができる。
のコアを磁石にする方法はもとより、（１１） コアを磁化されない強磁性体材料にし、交流励磁用の１
次コイルに交流４圧と直流１圧が重畳した電圧を印〃口
する場合にも通用することができる。
上述のように、本発明によれば１個の検出装置で高精度
に流量と流量変化４．全検出することができるものであ
る。
に流量と流量変化４．全検出することができるものであ
る。
第１図は本発明の流量および流量変化率検出装置の一実
施例を示す断面図、第２図は本発明に用いられる可動オ
リフィス、１次コイルおよび２次コイル部分の等制約な
電気回路図、第３図は流量および流量変化率の出力信号
を分別するための演算装置を示すブロック図である。 ｌ・・・管、２・・・固定オリフィス、６・・・可動オ
リフィス、６Ａ・・・可動オリフィス本体、６Ｂ・・・
非磁性体のオリフィス、７・・・ばね、８・・・１次コ
イル、９・・・交流゛嵯源、ｉｏ、１１・・・検出用の
２次コイル。 １２・・・演算装置、１・４，１５・・・ホロワ、１６
゜１７・・・同期整流器、１８．２１・・・減算器、１
９゜２２・・・低域濾波器、２０．２３・・・壇幅器。 （１２）
施例を示す断面図、第２図は本発明に用いられる可動オ
リフィス、１次コイルおよび２次コイル部分の等制約な
電気回路図、第３図は流量および流量変化率の出力信号
を分別するための演算装置を示すブロック図である。 ｌ・・・管、２・・・固定オリフィス、６・・・可動オ
リフィス、６Ａ・・・可動オリフィス本体、６Ｂ・・・
非磁性体のオリフィス、７・・・ばね、８・・・１次コ
イル、９・・・交流゛嵯源、ｉｏ、１１・・・検出用の
２次コイル。 １２・・・演算装置、１・４，１５・・・ホロワ、１６
゜１７・・・同期整流器、１８．２１・・・減算器、１
９゜２２・・・低域濾波器、２０．２３・・・壇幅器。 （１２）
Claims (1)
- 流体が流動する管内に設けられた固定オリスイスと、こ
の固定オリフィスと共に絞りを形成し、流体の流量に応
じて絞シの前後に生じる差圧によって前記管の内部を移
動する可動オリスイスとを備えた面積流量計において、
前記可動オリフィス本体を強磁性体の磁石にし、可動オ
リスイス本体の先端は非磁性体のオリフィスによって形
成し、前記管の外壁上に、前記可動オリフィスの移動域
に沿って巻かれた交流励磁用の１次コイルと前記可動オ
リフィスの移動変位とその変化率とを検知する２個の検
知用の２次コイルとを設け、この２次コイルに２次コイ
ルに生ずる可動オリフィスの変位とその変化率成分とを
分別し出力する演算装置を接続したことを特徴とする流
量および流量変化率検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14788581A JPS5850419A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 流量および流量変化率検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14788581A JPS5850419A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 流量および流量変化率検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5850419A true JPS5850419A (ja) | 1983-03-24 |
| JPH0322563B2 JPH0322563B2 (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=15440396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14788581A Granted JPS5850419A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 流量および流量変化率検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850419A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07228969A (ja) * | 1994-02-18 | 1995-08-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧力測定機能を有する複合材料 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4886408B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2012-02-29 | 日本電産サンキョー株式会社 | 流量センサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4941329U (ja) * | 1972-07-13 | 1974-04-11 | ||
| JPS5292554A (en) * | 1976-01-29 | 1977-08-04 | Jiekoo Kk | Flow sensor |
| JPS57142517A (en) * | 1981-01-26 | 1982-09-03 | Deere & Co | Two-way flow measuring apparatus |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP14788581A patent/JPS5850419A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4941329U (ja) * | 1972-07-13 | 1974-04-11 | ||
| JPS5292554A (en) * | 1976-01-29 | 1977-08-04 | Jiekoo Kk | Flow sensor |
| JPS57142517A (en) * | 1981-01-26 | 1982-09-03 | Deere & Co | Two-way flow measuring apparatus |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07228969A (ja) * | 1994-02-18 | 1995-08-29 | Agency Of Ind Science & Technol | 圧力測定機能を有する複合材料 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322563B2 (ja) | 1991-03-27 |
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